JP4695647B2 - 駆動装置 - Google Patents
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Description
こうしたプローブを用いた装置における駆動ステージの制御方法の一例が特許文献1に開示されている。
加えて、本発明によれば、対向構造体が、作用構造体として、媒体に対する情報の記録及び媒体に記録された情報の再生の少なくとも一方を行うプローブ(言い換えれば、カンチレバー等)を備えている。このため、プローブを備える情報記録再生装置に対して、当該駆動装置を適用することができる。
更に、本発明によれば、プローブは、媒体に対して電界を印加することで記録及び再生の少なくとも一方を行い、媒体は背面電極を備え、対向側位置検出部は位置検出用電極を備え、ステージ側位置検出部は、背面電極と電気的導通を有する位置検出用電極を備える。このため、後に詳述するように、例えばSNDM(Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy:走査型非線形誘電率顕微鏡)の原理を利用した情報記録再生装置の構成を有効に利用しつつ、対向構造体のステージ構造体に対する基準位置を検出することができる。
11 上側部材
12 プローブ
13 第1電極
14 突出部
21 下側部材
22 ステージ
23 第2電極
初めに、図1から図3を参照して、本発明の駆動装置に係る第1実施例について説明する。ここに、図1は、第1実施例に係る駆動装置の基本構成を概略的に示す断面図であり、図2は、第1実施例に係る駆動装置の動作の一の態様を概念的に示す断面図であり、図3は、第1実施例に係る駆動装置の動作の他の態様を概念的に示す断面図である。
続いて、図6を参照して、第2実施例に係る駆動装置について説明する。ここに、図6は、第2実施例に係る駆動装置の基本構成を概略的に示す断面図である。尚、上述した第1実施例に係る駆動装置1と同様の構成については、同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。即ち、ここでは、第2実施例に係る駆動装置に特有の構成について詳しく説明を進める。
続いて、図7を参照して、第3実施例に係る駆動装置について説明する。ここに、図7は、第3実施例に係る駆動装置の基本構成を概略的に示す断面図である。尚、上述した第1実施例に係る駆動装置1や第2実施例に係る駆動装置2と同様の構成については、同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。即ち、ここでは、第3実施例に係る駆動装置に特有の構成について詳しく説明を進める。
続いて、図8から図11を参照して、上述した本実施例に係る駆動装置を用いた情報記録再生装置について説明する。尚、ここでは、強誘電体を記録材料として用いる記録媒体40に対して記録動作或いは再生動作を行う強誘電体記録再生装置について説明を進める。
先ず、本実施例に係る誘電体記録再生装置の基本構成について、図8を参照して説明する。ここに、図8は、本実施例に係る誘電体記録再生装置の基本構成を概念的に示すブロック図である。
続いて、図10及び図11を参照して、本実施例に係る誘電体記録再生装置400の動作原理について説明する。尚、以下の説明では、図8に示した誘電体記録再生装置400のうち一部の構成要素を抜き出して説明している。
先ず、図10を参照して、本実施例に係る誘電体記録再生装置400の記録動作について説明する。ここに、図10は、データの記録動作を概念的に示す断面図である。
続いて、図11を参照して、本実施例に係る誘電体記録再生装置400の再生動作について説明する。ここに、図11は、データの再生動作を概念的に示す断面図である。
続いて、誘電体記録再生装置400に上述した駆動装置1等を用いる際の、誘電体記録再生装置400の特性を考慮した該駆動装置1の変形例について説明を進める。
初めに、図12を参照して、第1変形例に係る駆動装置4について説明する。ここに、図12は、第1変形例に係る駆動装置の基本構成を概略的に示す断面図である。
続いて、図13を参照して、第2変形例に係る駆動装置5について説明する。ここに、図13は、第2変形例に係る駆動装置の基本構成を概略的に示す断面図である。
Claims (14)
- 微小な記録領域を担持する媒体を搭載するステージ構造体と、
前記媒体に対して所定の作用を行うための少なくとも一つの微小な作用構造体を前記媒体に対向するように備えると共に、前記媒体に対向し且つ前記ステージ構造体に対して所定の平面上で相対的に移動する対向構造体と
を備え、
前記対向構造体は、該対向構造体の前記ステージ構造体に対する相対的な基準位置を検出するための対向側位置検出部を備え、
前記ステージ構造体は、前記対向構造体の前記ステージ構造体に対する相対的な基準位置を検出するためのステージ側位置検出部を備え、
前記対向構造体は、前記作用構造体として、前記媒体に対する情報の記録及び前記媒体に記録された前記情報の再生の少なくとも一方を行うプローブを備え、
前記プローブは、前記媒体に対して電界を印加することで前記記録及び前記再生の少なくとも一方を行い、
前記媒体は背面電極を備えており、
前記対向側位置検出部は位置検出用電極を備えており、
前記ステージ側位置検出部は、前記背面電極と電気的導通を有する位置検出用電極を備えることを特徴とする駆動装置。 - 前記ステージ側位置検出部は、前記所定の平面に直交する基準面を含み、
前記対向側位置検出部は、前記ステージ構造体に対する前記対向構造体の相対的な移動に伴って前記基準面と接触可能であって且つ前記ステージ構造体に対して突き出た突出部を含むことを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。 - 前記ステージ側位置検出部の少なくとも一部は、前記ステージ構造体と同一の部材で構成され、
前記対向側位置検出部の少なくとも一部は、前記対向構造体と同一の部材で構成されることを特徴とする請求項2に記載の駆動装置。 - 前記ステージ側位置検出部の少なくとも一部は、前記ステージ構造体と一体に形成され、
前記対向側位置検出部の少なくとも一部は、前記対向構造体と一体に形成されることを特徴とする請求項2に記載の駆動装置。 - 前記対向側位置検出部は、前記所定の平面に直交する基準面を含み、
前記ステージ側位置検出部は、前記ステージ構造体に対する前記対向構造体の相対的な移動に伴って前記基準面と接触可能であって且つ前記対向構造体に対して突き出た突出部を含むことを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。 - 前記対向側位置検出部の少なくとも一部は、前記対向構造体と同一の部材で構成され、
前記ステージ側位置検出部の少なくとも一部は、前記ステージ構造体と同一の部材で構成されることを特徴とする請求項5に記載の駆動装置。 - 前記対向側位置検出部の少なくとも一部は、前記対向構造体と一体に形成され、
前記ステージ側位置検出部の少なくとも一部は、前記ステージ構造体と一体に形成されることを特徴とする請求項5に記載の駆動装置。 - 前記対向側位置検出部及び前記ステージ側位置検出部の夫々は、位置検出用電極を備え、
前記対向側位置検出部が備える位置検出用電極と前記ステージ側位置検出部が備える位置検出用電極との間の電気的導通を検出する導通検出手段を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。 - 前記対向側位置検出部及び前記ステージ側位置検出部の夫々は、位置検出用電極を備え、
前記対向側位置検出部が備える位置検出用電極と前記ステージ側位置検出部が備える位置検出用電極との間の静電容量を検出する静電容量検出手段を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。 - 前記プローブから得られるプローブ信号の変化に基づいて、該対向構造体の前記ステージ構造体に対する相対的な基準位置を検出することを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。
- 前記対向構造体は、前記対向位置検出部が備える前記位置検出用電極を前記プローブとして備えることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。
- 前記対向構造体は、前記作用構造体として、前記媒体の表面及び内部の少なくとも一方の特性を測定する少なくとも1つのプローブを備えることを特徴とする請求項1項に記載の駆動装置。
- 前記対向構造体の前記ステージ構造体に対する相対的な移動量を検出するための移動量検出部を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。
- 前記対向構造体は、前記作用構造体として、前記媒体に対する情報の記録及び前記媒体に記録された前記情報の再生の少なくとも一方を行う、又は前記媒体の表面及び内部の少なくとも一方の特性を測定する複数のプローブを含むプローブアレイを備え、
前記ステージ側位置検出部及び前記対向側位置検出部の少なくとも一方は、前記プローブアレイが占める領域の外側に配置されることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。
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