JPH05108908A

JPH05108908A - 情報記録担体及びこれを使用する情報処理装置

Info

Publication number: JPH05108908A
Application number: JP3297901A
Authority: JP
Inventors: Toshihiko Miyazaki; 俊彦宮▲崎▼; Toshimitsu Kawase; 俊光川瀬; Masahiro Tagawa; 昌宏多川
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1991-10-18
Filing date: 1991-10-18
Publication date: 1993-04-30

Abstract

(57)【要約】【目的】走査型トンネル顕微鏡の原理を応用した、駆
動制御が容易で小型かつ剛性の高い情報記録担体及び情
報処理装置を実現する。【構成】容器１２内にＸＹ方向走査機構１５が固定さ
れ、その上の記録媒体基台１６をＸＹ面内で駆動する。
記録媒体基台１６には記録媒体１３が固定され、Ｚ方向
微動機構１９に保持されたプローブ電極１４がこれに対
向している。Ｚ方向微動機構１９は容器１２内に固定さ
れた押付け機構２０に付勢された可動フレーム１８に支
持されており、可動フレーム１８と記録媒体基台１６と
の間に鋼球１７を介在することにより、プローブ電極１
４が記録媒体１３に近接したままＸＹ面内で移動可能
で、かつ微動時には鋼球１７は転動せずに弾性変形す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、走査型トンネル顕微鏡
の原理を応用し、例えば高密度かつ大容量を有する情報
記録担体及びこれを使用する情報処理装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】近年においてメモリ素子及びメモリシス
テムの用途は、コンピュータ及びその関連機器、ビデオ
ディスク、ディジタルオーディオディスク等の多岐に渡
り、エレクトロニクス産業の中核を成している。従来に
おいては、磁気メモリや半導体メモリが主流であった
が、最近のレーザー技術の進展に伴い、安価で高密度な
記録媒体を用いた光メモリ素子などが登場している。し
かし、今後のホームユースでのコンピュータ利用や画像
を中心とした情報産業化が進む上で、更に容量を大き
く、かつ容積を小さくしたメモリ装置或いは情報処理方
法の具現化が望まれている。

【０００３】一方、近年において、導体の表面原子の電
子構造を直接観察できる走査型トンネル顕微鏡（以下、
ＳＴＭと云う）が開発され、単結晶、非晶質を問わず実
空間で高い分解能の測定ができるようになっている。Ｓ
ＴＭは微小電流を検知する方法を用いているため、測定
材料に損傷を与えずに、かつ低電力で観察できる利点を
有する。また、超高真空中のみならず大気中、溶液中で
も動作し、種々の材料に対して用いることができるため
広範囲な応用が期待されている。

【０００４】特に、試料中に高分解能で情報を書込む記
録装置、また試料中に書き込まれた情報を高分解能で読
み出す再生装置としての応用が進められている。このよ
うにＳＴＭ技術を応用した装置では、プローブ電極と記
録媒体とを約１ｎｍ程度まで近付けるため、高度な精密
制御技術が必要とされている。また、記録再生速度を早
めるために複数のプローブ電極を有する記録再生装置も
出現している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このＳ
ＴＭの原理を応用した従来技術において、プローブ電極
と記録媒体表面との距離をｎｍオーダで精密に制御する
必要がある。そのために両者の接近粗動機構や微動機
構、制御回路などが複雑になったり、装置が大型化する
等の問題が生ずる。また、プローブ電極と記録媒体との
間の剛性を高くしたいという要求もある。更に、複数の
プローブ電極を有する装置の場合は、複数のプローブ電
極の先端を連ねた面と記録媒体表面との面合わせ機構な
どが必要となり、制御回路等も複雑化する問題がある。

【０００６】本発明の目的は、プローブ電極と記録媒体
との接近粗動機構を省略し、記録又は再生時のプローブ
電極と記録媒体との間隔制御が容易で、剛性が高く、Ｓ
ＴＭ技術を応用した情報記録担体及びこれを使用する情
報処理装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに本発明の情報記録担体は、プローブ電極と、記録媒
体と、前記プローブ電極と前記記録媒体との間隔を規定
するための転動部材とを、外部に露出した接触電極を有
する容器内に収容したことを特徴とするものである。

【０００８】また、上記特定発明に関連する本発明に係
る情報処理装置は、プローブ電極と、記録媒体と、前記
プローブ電極と前記記録媒体との間隔を規定するための
転動部材とを外部に露出した接触電極を有する容器内に
収容した情報記録担体に、前記接触電極を介して電気的
に接続し、前記プローブ電極と前記記録媒体との間に電
圧を印加し、前記プローブ電極に流れる電流を検出して
情報処理を行うことを特徴とするものである。

【０００９】

【作用】上述の構成を有する情報記録担体及びこれを使
用する情報処理装置は、記録媒体とプローブ電極の相対
的な粗動駆動時には転動部材が転動し、微動駆動時には
弾性変形することにより、記録媒体とプローブ電極が近
接状態に保たれたまま記録面内で駆動される。

【００１０】

【実施例】本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明
する。図１は第１の実施例の構成図を示し、情報記録担
体１１は容器１２内に記録媒体１３とプローブ電極１４
及び走査手段を収納している。容器１２の底部にＸＹ方
向走査機構１５が固定され、この走査機構１５はその上
に取り付けられた記録媒体基台１６を水平面内つまりＸ
Ｙ面内で駆動可能に支持している。記録媒体基台１６の
上面の中央には記録媒体１３が固定され、記録媒体基台
１６の周辺部の上面に接する鋼球１７を介して可動フレ
ーム１８が記録媒体１３を覆うように支持されている。

【００１１】可動フレーム１８の内側に、下向きに円筒
型圧電素子から成るＺ方向微動機構１９が取り付けら
れ、Ｚ方向微動機構１９から下向きに電解研磨法で作成
したタングステン製のプローブ電極１４が記録媒体１３
に向けて突出され、上下方向に微小距離の移動が可能に
支持されている。一方、可動フレーム１８の上面は押付
け機構２０により下方に付勢され、押付け機構２０の上
面は容器１２の内壁に固定されている。

【００１２】また、ＸＹ方向走査機構１５には走査機構
駆動回路２１の出力が接続され、Ｚ方向微動機構１９に
はＺ方向駆動回路２２の出力が接続されている。更に、
記録媒体１３とプローブ電極１４間には電圧印加回路２
３により電圧が印加され、電流増幅回路２４により記録
媒体１３とプローブ電極１４間を流れる電流を検出でき
るようになっている。そして、これらの回路２１〜２４
はマイクロコンピュータ２５に接続されている。

【００１３】記録媒体１３は下から順に、マイカを劈開
してして得られた平滑な基板と、この基板の上にＡｕを
エピタキシャル成長させた下地電極と、そして電気メモ
リ効果を有するスクアリリウム−ビス−６−オクチルア
ズレン（以下ＳＯＡＺと略す）をＬＢ法により８層累積
した記録層とを重ねて構成されている。

【００１４】記録媒体１３の表面は記録媒体基台１６の
表面と平行になるように固定されている。ＸＹ方向走査
機構１５は記録媒体１３を搭載している記録媒体基台１
６をＸＹ方向に走査させるものである。鋼球１７の相互
間隔を保持するために図示しない保持器が鋼球１７の周
囲に配置されており、鋼球１７は可動フレーム１８と記
録媒体基台１６との間に介在され、プローブ電極１４と
記録媒体１３との距離を一定に保つようになっている。
鋼球１７の直径と、記録媒体１３の記録媒体基台１６表
面からの高さと、可動フレーム１８の鋼球１７と接する
面からプローブ電極１４の先端の飛出量つまりＺ方向微
動機構１９の可動範囲との関係は、プローブ電極１４が
記録媒体１３の表面を走査することができる関係にあ
り、鋼球１７は可動フレーム１８を介して押付け機構２
０により記録媒体基台１６に弾性変形の範囲の力で押し
付けられている。鋼球１７の直径の誤差は０．１μｍ以
下で、記録媒体基台１６の表面及び可動フレーム１８の
鋼球１７が転動する部分の表面粗さは０．１μｍ以下と
されている。

【００１５】鋼球１７は記録媒体１３のＸＹ方向の粗動
の時には記録媒体基台１６の周辺部上を転動し、記録再
生時などの数μｍの移動時には弾性変形内で動く。即
ち、鋼球１７は記録再生時には、可動フレーム１８と記
録媒体基台１６との間の構造体の役割を果たす。装置系
全体の制御を行うマイクロコンピュータ２５は、Ｚ方向
駆動回路２２を介してＺ方向微動機構１９を駆動し、走
査機構駆動回路２１を介してＸＹ方向走査機構１５を駆
動する。電圧印加回路２３はマイクロコンピュータ２５
からの指令信号により、プローブ電極１４と記録媒体１
３との間に、記録時にはデータを書込むためのパルス状
電圧を印加し、再生時には読み出し電圧を印加し、また
消去時には消去用のパルス状電圧を印加する。電流増幅
回路２４はプローブ電極１４と記録媒体１３との間に流
れる電流を増幅し、マイクロコンピュータ２５に伝達す
る。これらの駆動回路などからの信号は、容器１２の外
側に設けられた図示しない電極を介して容器１２内の機
構等に接続されている。

【００１６】動作時においては、情報記録担体１１の運
搬時の衝撃などを考慮し、プローブ電極１４は記録媒体
１３から離されているので、最初にＺ方向微動機構１９
によって両者を接近させる。プローブ電極１４と記録媒
体１３の下地電極との間に電圧印加回路２３から、例え
ば０．１Ｖの読み出し電圧を印加しながら、Ｚ方向微動
機構１９を駆動して、電流増幅回路２４で検出される電
流が例えば１０ｐＡになるまで、プローブ電極１４を記
録媒体１３に近付けることで、両者を接触させることな
く、記録再生が可能な距離まで接近することができる。
このとき、予め鋼球１７によってプローブ電極１４と記
録媒体１３との距離はＺ方向微動機構１９のみで接近で
きる距離まで接近しているので、電流を検出するまでの
時間は従来装置に比べて早くなっている。ここで、Ｚ方
向微動機構１９を保持し、プローブ電極１４に対し記録
媒体１３をＸＹ方向走査機構１５を用いて走査すること
で、記録再生が可能な状態になる。

【００１７】実際に、この状態で読み出し情報を確認し
たところ情報は何も記録されていなかった。更に詳しく
は、記録媒体１３を走査しながら得られる電流増幅回路
２４の出力値はプローブ電極１４と記録媒体１３の下地
電極との間に流れる電流に換算して１０ｐＡの値であっ
た。

【００１８】記録は記録媒体１３を走査しながらプロー
ブ電極１４が記録領域の書込み位置に至ると、電圧印加
回路２３で書込み電圧を印加して行う。この書込み電圧
は電気メモリ効果を有する記録層がオン状態（低抵抗）
に変化するために充分な電圧である。書込みのタイミン
グなどはマイクロコンピュータ２５からの制御信号によ
って制御される。記録媒体１３をＸ方向に移動しながら
記録を行い、Ｘ方向１列分の記録が終了すると、Ｙ方向
に１段ずれて次の列で同様にＸ方向１列分の記録を行
う。記録媒体１３の走査中に、記録媒体１３上の各書込
み位置で、書込み電圧が加えられる。これにより記録ビ
ットが形成されてゆく。

【００１９】再生はプローブ電極１４と記録媒体１３の
下地電極との間に、例えば０．１Ｖの読み出し電圧を電
圧印加回路２３により印加しながら、ＸＹ方向走査機構
１５を用いて記録媒体１３を記録時と同様の経路で走査
し、電流増幅回路２４で電流変化を検出することにより
行う。読み出し電圧は記録層が抵抗値の変化を起こさな
いように充分に小さな値にする。実際に、記録媒体１３
を走査しながら得られる電流増幅回路２４の出力値は、
プローブ電極１４と記録媒体１３の下地電極の間に流れ
る電流に換算して記録ビットの位置では１０ｎＡ以上で
あり、その他の個所では１０ｐＡの値であった。この電
流変化はコンピュータ２５を通して外部装置へ伝えら
れ、読み出しのタイミングなどもコンピュータ２５から
の制御信号によっている。

【００２０】記録、再生何れの場合も、安定した記録再
生ができ、記録ビットの寸法は直径９０ｎｍであった。
実施例で使用したプローブ電極１４は、タングステン棒
を電解研磨したものであるが、白金−ロジウムや白金−
イリジウム等の棒を電解研磨或いは機械研磨して用いて
も支障はない。また、Ｚ方向微動機構１９は円筒型圧電
素子を用いたが、バイモルフ型圧電素子などを用いるこ
ともできる。

【００２１】図２は第２の実施例の断面図であり、情報
記録担体３１は容器３２内に複数のプローブ電極３３を
有している。容器３２内の底部にＸＹ方向走査機構１５
が固定され、記録媒体基台３４を支持しており、記録媒
体基台３４上に記録媒体３５が固定されている。記録媒
体３５と対向して可動フレーム１８が設けられ、記録媒
体基台３４と可動フレーム１８との平行な向かい合った
面の間にルビー製の球３６が介在されている。可動フレ
ーム１８は上下に可動で、容器３２の上板内側に接着固
定された弾性部材３７により上方から付勢されている。
可動フレーム１８には図示しないＺ方向微動機構が複数
個設けられ、それぞれに電解研磨法で作成したタングス
テン製のプローブ電極３３が先端を記録媒体３５の表面
に近接して設けられている。

【００２２】記録媒体３５は表面研磨された石英ガラス
基板の上に真空蒸着法によりＣｒを５ｎｍ堆積させ、そ
の上にＡｕを３０ｎｍ蒸着して下地電極を設け、その上
にＬＢ法によりＳＯＡＺを６層積層した記録層を設けて
構成されている。記録媒体３５の表面と記録媒体基台３
４の表面とは平行になるように固定されている。容器３
２内には複数のプローブ電極３３の選択を行う選択器な
どを含む駆動回路３８も設けられ、情報処理装置本体３
９の制御系からの信号や電源は容器３２の外側に設けら
れた電極４０を介して容器３２内に供給される。情報処
理装置本体３９には電極接続部４１が設けられ、外部接
続部が電極４０に接触し得るようになっている。容器３
２は情報処理装置本体３９に対して矢印方向に着脱可能
であり、電気制御系は第１の実施例と同じ構成になって
いて、図示しないコンピュータにより制御される。

【００２３】図３はプローブ電極３３を主にＺ方向つま
り記録媒体３５の表面と垂直な方向に駆動する機構の斜
視図である。図示しない可動フレーム１８に取り付けら
れたバイモルフ基台４３には複数の孔部が形成され、こ
の孔部の中央に向かってバイモルフ梁４４が形成され、
バイモルフ梁４４のそれぞれの先端近傍から、バイモル
フ基台４３の面に垂直な方向にプローブ電極３３が突出
されている。バイモルフ梁４４の断面構成は、上電極
（Ａｕ）／絶縁膜（Ｓｉ₃ Ｎ₄ ）／圧電層（ＺｎＯ）／
絶縁膜（Ｓｉ₃ Ｎ₄ ）／中電極（Ａｕ）／絶縁膜（Ｓｉ
₃ Ｎ₄ ）／圧電層（ＺｎＯ）／絶縁膜（Ｓｉ₃ Ｎ₄ ）／
下電極（Ａｕ）となっており、寸法は６００μｍ×１２
０μｍ、厚さ１０μｍ程度のものを作製して用いた。

【００２４】バイモルフ基台４３の表面には配線領域４
５が形成され、バイモルフ梁４４の電極４０とプローブ
電極３３とを駆動回路３８に接続配線している。上中下
電極に電圧を加えバイモルフ梁４４を駆動することで、
プローブ電極３３を動かすことができ、印加電圧±１０
Ｖで変位量として約４μｍが得られる。なお、バイモル
フ梁４４及びプローブ電極３３の製作は、マイクロメカ
ニクス、或いはマイクロマシーニングと呼ばれているK.
E.Petersen,Proc.IEEE,70,420(1982) に基づく公知の方
法で行った。プローブ電極３３からの信号線は、バイモ
ルフ梁４４上を通り配線領域４５上の回路に導かれ、最
終的には電極４０の何れかと接続されている。また、各
バイモルフ梁４４の制御信号を電極４０から導く回路
も、配線領域４５上に形成されている。

【００２５】図４は情報記録担体３１の断面図であり、
プローブ電極３３と記録媒体３５と球３６との位置関係
を示している。バイモルフ梁４４はプローブ電極３３を
上下方向に駆動するよう支持し、バイモルフ基台４３は
バイモルフ梁４４を固定している。保持器４６は可動フ
レーム１８と記録媒体基台３４の間にあって、球３６の
相互間隔を保持している。球３６の直径と、記録媒体３
５の記録媒体基台３４表面からの高さと、可動フレーム
１８の球３６と接する面からプローブ電極３３の先端の
飛出量つまりバイモルフ梁４４の可動範囲との関係は、
プローブ電極３３が記録媒体３５の表面を走査すること
が充分にできる関係にある。

【００２６】図５は情報処理装置から取り外した情報記
録担体３１の斜視図である。先に説明したように、この
容器３２内には複数のプローブ電極３３に記録媒体３５
が相対して配置され、プローブ電極３３と記録媒体３５
との間隔を定める球３６と、プローブ電極３３を動かす
微動機構としてのバイモルフ梁４４と、記録媒体３５を
動かすＸＹ方向走査機構１５とが内蔵されている。前側
面に露出された複数の電極４０は、容器３２内のプロー
ブ電極３３と、記録媒体３５の下地電極と、バイモルフ
梁４４と、ＸＹ方向走査機構１５とにそれぞれ電気的に
接続されている。横側面の前寄りには、情報処理装置本
体３９へのセッティング用の案内溝４７が設けられてい
る。

【００２７】記録媒体３５に情報の記録を行うには、第
１の実施例と同様にバイモルフ梁４４を用いてプローブ
電極３３を記録媒体３５に近付け、図示しない電圧印加
回路により、例えば３．５Ｖの書込み電圧をプローブ電
極３３と記録媒体３５の間に印加することによって記録
媒体３５の記録層が特性変化を起こし、電気抵抗の低い
部分（１ビットに相当）が生ずることを利用する。ＸＹ
方向走査機構１５を用いて記録媒体３５を走査しなが
ら、所望の位置へ書込み電圧を印加することにより記録
を行うことができる。

【００２８】再生を行うには、書込み電圧より低い例え
ば０．２Ｖの読み出し電圧を電圧印加回路で加えなが
ら、ＸＹ方向走査機構１５を用いて記録媒体３５の表面
を記録時と同様に走査し、図示しない電流増幅回路で電
流変化を測定することにより行う。また、記録位置との
対応をとることで再生ができ、これらの制御は図示しな
いマイクロコンピュータで行う。

【００２９】図６は第３の実施例を示し、情報処理装置
本体５０に装着された情報記録担体５１の断面図であ
る。電解研磨法で作成したタングステン製の複数のプロ
ーブ電極３３を上下方向に微動可能に支持する図示しな
いバイモルフ梁４４が、可動フレーム５２上に形成され
ている。可動フレーム５２は上面を容器５３の上板の内
側に接着固定されている弾性部材３７により上方から付
勢されており、ルビー製の４個の内球５４と８個の外球
５５を挟んで、回動可能な記録媒体基台５６と対向して
いる。記録媒体５７は第２の実施例のものと同様であ
り、ＳＯＡＺの記録層と、Ｃｒを５ｎｍ堆積させその上
にＡｕを３０ｎｍ蒸着した下地電極と、表面研磨された
石英ガラス基板とで構成されている。記録媒体５７を固
定する円板状の記録媒体基台５６は、記録媒体５７の表
面と記録媒体基台５６の表面とが平行になるようにされ
ている。記録媒体基台５６の下面にはモータ接続部５８
が固定されていて、容器５３の下面に一部が露出されて
いる。モータ５９は情報処理装置本体５０に固定され、
モータ接続部５８を介して記録媒体５７を回転駆動する
ようになっている。

【００３０】容器５３は情報処理装置本体５０に対して
矢印方向に着脱可能とされ、容器５３内には複数のプロ
ーブ電極３３の選択を行う選択器などを含む駆動回路３
８も設けられ、情報処理装置本体５０の制御系からの信
号や電源は容器５３の外側に面して設けられた電極４０
を介して容器５３内に供給されている。情報処理装置本
体５０には電極接続部４１が設けられ、電極４０が取り
付けられている。電気制御系は第１の実施例と同様の構
成になっており、その回路等は図示しないコンピュータ
により制御される。

【００３１】図７は構成部品の分解斜視図を示し、中心
に円形の穴を有する円板状の記録媒体５７は円板状の記
録媒体基台５６上に固定され、バイモルフ梁４４が形成
されているシリコンウェハからなる可動フレーム５２に
対向していて、内球５４と外球５５が記録媒体基台５６
と可動フレーム５２との介在され、プローブ電極３３と
記録媒体５７との間隔を定めている。４個の内球５４は
略円板状の内保持器６０により相互間隔を一定に保持さ
れ、８個の外球５５は略円環状の外保持器６１により同
様に保持されている。内球５４と外球５５の直径と、記
録媒体５７の記録媒体基台５６表面からの高さと、可動
フレーム５２の下面からプローブ電極３３の先端の飛出
量つまりバイモルフ梁４４の可動範囲との関係は、プロ
ーブ電極３３が記録媒体５７の表面を走査することが十
分できる関係にある。バイモルフ梁４４の形状は第２の
実施例と同様で図３に示すようになっている。また、可
動フレーム５２上にはプローブ電極３３からの電流信号
を増幅する電流増幅回路が搭載されている。

【００３２】図８は情報処理装置から取り外した容器５
３の斜視図である。先に説明したように、この容器５３
内には複数のプローブ電極３３と記録媒体５７が相対し
て配置され、プローブ電極３３と記録媒体５７との間隔
を定める内球５４、外球５５や、プローブ電極３３を動
かす微動機構であるバイモルフ梁４４などが内蔵されて
いる。電極４０は容器５３内のプローブ電極３３と、記
録媒体５７の下地電極と、バイモルフ梁４４とにそれぞ
れ電気的に接続され、容器５３の外面に露出されてい
る。容器５３の電極４０を有する面に垂直な側面には、
情報処理装置本体５０へのセッティング時のための案内
溝６２が形成されている。

【００３３】記録媒体５７に情報の記録を行うには、第
１の実施例と同様にバイモルフ梁４４を用いてプローブ
電極３３を記録媒体５７に近付け、電圧印加回路により
例えば３．５Ｖの書込み電圧を印加することにより記録
媒体５７の記録層が特性変化を起こし、電気抵抗の低い
部分（１ビットに相当）が生ずることを利用する。モー
タ５９によりモータ接続部５８を介して記録媒体５７を
回動駆動しながら所望の位置に書込み電圧印加を行うこ
とで記録ができる。

【００３４】再生を行うには、書込み電圧より低い例え
ば０．１Ｖの読み出し電圧を電圧印加回路で加えなが
ら、記録媒体５７を記録時と同様に回動し、電流増幅回
路で電流変化を測定することで行う。記録位置との対応
をとることで再生ができる。これらの制御をマイクロコ
ンピュータで行う。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る情報記
録担体及びこれを使用する情報処理装置は、プローブ電
極と記録媒体との接近粗動機構が不要となり、小型化が
実現すし、プローブ電極と記録媒体との間の剛性が高く
なる。また、複数のプローブ電極を有する情報記録担体
を用いる場合に面合わせ機構が不要となり、走査機構等
が単純化され、信頼性が向上すると同時に情報記録媒体
の持ち運びの操作性も良くなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施例の構成図である。

【図２】第２の実施例の情報記録担体を処理装置本体に
装着した状態の断面図である。

【図３】バイモルフ梁の斜視図である。

【図４】情報記録担体の拡大断面図である。

【図５】情報記録担体の斜視図である。

【図６】第３の実施例の情報記録担体を処理装置本体に
装着した状態の断面図である。

【図７】可動フレーム・球・記録媒体の分解斜視図であ
る。

【図８】情報記録担体の斜視図である。

【符号の説明】

１１、３１、５１情報記録担体１２、３２、５３容器１３、３５、５７記録媒体１４、３３プローブ電極１５ＸＹ方向走査機構１６、３４、５６記録媒体基台１７鋼球１８、５２可動フレーム１９Ｚ方向微動機構２０押付け機構２３電圧印加回路２４電流増幅回路２５コンピュータ３６、５４、５５球３７弾性部材４１電極４４バイモルフ梁５９モータ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】プローブ電極と、記録媒体と、前記プロ
ーブ電極と前記記録媒体との間隔を規定するための転動
部材とを、外部に露出した接触電極を有する容器内に収
容したことを特徴とする情報記録担体。
【請求項２】前記プローブ電極は複数個とした請求項
１に記載の情報記録担体。
【請求項３】前記転動部材の転動断面を円形とした請
求項１に記載の情報記録担体。
【請求項４】前記転動部材は球とした請求項３に記載
の情報記録担体。
【請求項５】前記記録媒体は高分子膜とした請求項１
に記載の情報記録担体。
【請求項６】前記高分子膜はポリイミド膜とした請求
項５に記載の情報記録担体。
【請求項７】プローブ電極と、記録媒体と、前記プロ
ーブ電極と前記記録媒体との間隔を規定するための転動
部材とを外部に露出した接触電極を有する容器内に収容
した情報記録担体に、前記接触電極を介して電気的に接
続し、前記プローブ電極と前記記録媒体との間に電圧を
印加し、前記プローブ電極に流れる電流を検出して情報
処理を行うことを特徴とする情報処理装置。