JP2934037B2 - 情報記録及び／又は再生装置 - Google Patents
情報記録及び／又は再生装置Info
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- JP2934037B2 JP2934037B2 JP4249191A JP4249191A JP2934037B2 JP 2934037 B2 JP2934037 B2 JP 2934037B2 JP 4249191 A JP4249191 A JP 4249191A JP 4249191 A JP4249191 A JP 4249191A JP 2934037 B2 JP2934037 B2 JP 2934037B2
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- Japan
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- movable
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、針状電極を用いて記録
媒体に対し情報を記録し、また記録媒体から情報を再生
する情報記録及び／又は再生装置に関するものである。
媒体に対し情報を記録し、また記録媒体から情報を再生
する情報記録及び／又は再生装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、走査型トンネル顕微鏡の原理を応
用した情報記録再生装置の研究が進められている。走査
型トンネル顕微鏡（以下ＳＴＭと云う）が開発され、
[G.Binnig et al.,Helvetica Physica Acta.,55,726(19
82)]、単結晶、非結晶を問わず実空間で高い分解能を有
する測定ができるようになった。ＳＴＭは金属の探針と
導電性物質の間に電圧を加えて、１ｎｍ程度の距離まで
近付けるとトンネル電流が流れることを利用している。
この電流は両者の間の距離変化に非常に敏感なため、ト
ンネル電流を一定に保つように探針を走査することによ
り、導電性物質の表面の実空間像を高い分解能で測定す
ることができる。
用した情報記録再生装置の研究が進められている。走査
型トンネル顕微鏡（以下ＳＴＭと云う）が開発され、
[G.Binnig et al.,Helvetica Physica Acta.,55,726(19
82)]、単結晶、非結晶を問わず実空間で高い分解能を有
する測定ができるようになった。ＳＴＭは金属の探針と
導電性物質の間に電圧を加えて、１ｎｍ程度の距離まで
近付けるとトンネル電流が流れることを利用している。
この電流は両者の間の距離変化に非常に敏感なため、ト
ンネル電流を一定に保つように探針を走査することによ
り、導電性物質の表面の実空間像を高い分解能で測定す
ることができる。
【０００３】ＳＴＭを用いた測定は導電性材料に限られ
るが、導電性材料の表面に薄く形成された絶縁膜の構造
解析にも応用され始めている。更に、ＳＴＭは微小電流
を検知する方法を用いているため、測定材料に損傷を与
えず、かつ低電力で観察できる利点をも有する。また、
超高真空中のみならず大気中、溶媒中でも動作し、種々
の材料に対して用いることができるため、広範囲な応用
が期待されている。
るが、導電性材料の表面に薄く形成された絶縁膜の構造
解析にも応用され始めている。更に、ＳＴＭは微小電流
を検知する方法を用いているため、測定材料に損傷を与
えず、かつ低電力で観察できる利点をも有する。また、
超高真空中のみならず大気中、溶媒中でも動作し、種々
の材料に対して用いることができるため、広範囲な応用
が期待されている。
【０００４】このようなＳＴＭを応用して、使用中に高
密度に情報を書込み、呼び出す情報記録及び／又は再生
装置には、探針つまりプローブ電極をｘｙ方向に微動移
動させるための微動機構が用いられている。従来の微動
機構には、圧電素子を可動部の片側にのみ配置する片押
しタイプと、可動部の両側に一対の圧電素子の伸縮特性
を逆にして配した圧電素子に、位相が逆の駆動電圧を加
える両押しタイプに大別される。
密度に情報を書込み、呼び出す情報記録及び／又は再生
装置には、探針つまりプローブ電極をｘｙ方向に微動移
動させるための微動機構が用いられている。従来の微動
機構には、圧電素子を可動部の片側にのみ配置する片押
しタイプと、可動部の両側に一対の圧電素子の伸縮特性
を逆にして配した圧電素子に、位相が逆の駆動電圧を加
える両押しタイプに大別される。
【０００５】図４は片押しタイプのものを示した平面図
であり、一体切欠形ばね機構による２自由度微動機構と
なっている。部材１は切り欠きによってＬ字形の固定部
１ａとその他の部分に分かれ、固定部１ａのｘ方向に平
行な腕の内側に、ｙ方向に平行な２個のリンク１ｂを介
して第１の可動部１ｃが支持され、可動部１ｃは固定部
１ａに対してｘ方向に可動とされている。この可動部１
ａのｙ方向に平行な腕の内側にｘ方向に平行な２個のリ
ンク１ｄを介して第２の可動部１ｅが支持されている。
固定部１ａのｙ方向での先端と第１の可動部１ｃの間に
圧電素子２が取り付けられ、圧電素子２の伸縮により第
１の可動部１ｃはｘ方向に駆動される。また、第１の可
動部１ｃと第２の可動部１ｅ内に圧電素子３が取り付け
られ、この圧電素子３の伸縮により第２の可動部１ｅは
第１の可動部１ｃに対してｙ方向に駆動される。この機
構では、圧電素子２、３に加える電圧によって、第２の
可動部１ｅを固定部１ａに対してｘｙ平面内で移動する
ことができる。
であり、一体切欠形ばね機構による２自由度微動機構と
なっている。部材１は切り欠きによってＬ字形の固定部
１ａとその他の部分に分かれ、固定部１ａのｘ方向に平
行な腕の内側に、ｙ方向に平行な２個のリンク１ｂを介
して第１の可動部１ｃが支持され、可動部１ｃは固定部
１ａに対してｘ方向に可動とされている。この可動部１
ａのｙ方向に平行な腕の内側にｘ方向に平行な２個のリ
ンク１ｄを介して第２の可動部１ｅが支持されている。
固定部１ａのｙ方向での先端と第１の可動部１ｃの間に
圧電素子２が取り付けられ、圧電素子２の伸縮により第
１の可動部１ｃはｘ方向に駆動される。また、第１の可
動部１ｃと第２の可動部１ｅ内に圧電素子３が取り付け
られ、この圧電素子３の伸縮により第２の可動部１ｅは
第１の可動部１ｃに対してｙ方向に駆動される。この機
構では、圧電素子２、３に加える電圧によって、第２の
可動部１ｅを固定部１ａに対してｘｙ平面内で移動する
ことができる。
【０００６】図５は両押しタイプの微動機構の斜視図で
あり、探針１０にはｘ方向に伸縮する圧電素子１１ａ、
１１ｂがｘ方向の両側に取り付けられ、ｙ方向に伸縮す
る圧電素子１２ａ、１２ｂがｙ方向の両側に取り付けら
れ、上方からはｚ方向に伸縮する圧電素子１３が取り付
けられている。圧電素子１１〜１３の他端は図示しない
固定部に固定されている。圧電素子１１、１２に加える
電圧により、探針１０をｘｙ平行面で駆動できる。
あり、探針１０にはｘ方向に伸縮する圧電素子１１ａ、
１１ｂがｘ方向の両側に取り付けられ、ｙ方向に伸縮す
る圧電素子１２ａ、１２ｂがｙ方向の両側に取り付けら
れ、上方からはｚ方向に伸縮する圧電素子１３が取り付
けられている。圧電素子１１〜１３の他端は図示しない
固定部に固定されている。圧電素子１１、１２に加える
電圧により、探針１０をｘｙ平行面で駆動できる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、片押し
タイプの微動機構では圧電素子２、３の温度ドリフトに
よる変位ずれが生じ易く、これを防止するために温度を
高精度で制御すると装置全体を巨大化せざるを得ず、電
気的に温度ドリフトを補正することも容易ではない。ま
た、両押しタイプの場合は温度ドリフトは相殺される
が、圧電素子１１、１２を直接に探針１０に接合してい
るため、ｘ方向とｙ方向の駆動が完全に独立にはなら
ず、正確な位置決めが不可能で、高速走査に向いていな
い。そして、何れの微動機構も剛性強化が難しいという
問題点を有する。
タイプの微動機構では圧電素子２、３の温度ドリフトに
よる変位ずれが生じ易く、これを防止するために温度を
高精度で制御すると装置全体を巨大化せざるを得ず、電
気的に温度ドリフトを補正することも容易ではない。ま
た、両押しタイプの場合は温度ドリフトは相殺される
が、圧電素子１１、１２を直接に探針１０に接合してい
るため、ｘ方向とｙ方向の駆動が完全に独立にはなら
ず、正確な位置決めが不可能で、高速走査に向いていな
い。そして、何れの微動機構も剛性強化が難しいという
問題点を有する。
【０００８】本発明の目的は、圧電素子の温度ドリフト
による可動部の変位がなく、同一面内での２つの軸方向
の駆動が独立していて、かつ駆動機構の剛性強化が容易
な情報記録及び／又は再生装置を提供することにある。
による可動部の変位がなく、同一面内での２つの軸方向
の駆動が独立していて、かつ駆動機構の剛性強化が容易
な情報記録及び／又は再生装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めの本発明に係る情報記録及び／又は再生装置は、書込
み及び読み出しを行うプローブ電極と、該プローブ電極
に対向して設けた記録媒体を相対移動させ情報の記録及
び／又は再生を行う固定部に対し、第１の可動部を第１
の軸方向に案内する第１のばねと、前記第１の可動部を
挟んで前記第１の軸方向に直列に対向して前記固定部に
設けた第１の圧電素子と、前記第１の可動部に対し第２
の可動部を第２の軸方向に案内する第２のばねと、前記
第２の可動部を挟んで前記第２の軸方向に直列に対向し
て前記第１の可動部に設けた第２の圧電素子とから成る
微動機構の第２の可動部に、前記プローブ又は前記記録
媒体を保持することを特徴とするものである。
めの本発明に係る情報記録及び／又は再生装置は、書込
み及び読み出しを行うプローブ電極と、該プローブ電極
に対向して設けた記録媒体を相対移動させ情報の記録及
び／又は再生を行う固定部に対し、第１の可動部を第１
の軸方向に案内する第１のばねと、前記第１の可動部を
挟んで前記第１の軸方向に直列に対向して前記固定部に
設けた第１の圧電素子と、前記第１の可動部に対し第２
の可動部を第２の軸方向に案内する第２のばねと、前記
第２の可動部を挟んで前記第２の軸方向に直列に対向し
て前記第１の可動部に設けた第２の圧電素子とから成る
微動機構の第２の可動部に、前記プローブ又は前記記録
媒体を保持することを特徴とするものである。
【００１０】
【作用】上述の構成を有する情報記録及び／又は再生装
置は、第１の圧電素子に加える電圧により、第１の可動
部を介して第２の可動部の第１の軸方向の移動及び位置
決めを行い、第２の圧電素子に加える電圧により第２の
可動部の第２の軸方向の移動及び位置決めを行い、第２
の可動部に保持されたプローブ又は記録媒体の相対位置
を変化させる。
置は、第１の圧電素子に加える電圧により、第１の可動
部を介して第２の可動部の第１の軸方向の移動及び位置
決めを行い、第２の圧電素子に加える電圧により第２の
可動部の第２の軸方向の移動及び位置決めを行い、第２
の可動部に保持されたプローブ又は記録媒体の相対位置
を変化させる。
【００１１】
【実施例】本発明を図１〜図３に図示の実施例に基づい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００１２】図１は情報記録及び／又は再生装置の構成
図であり、ｘｙ方向粗動機構２１の上に記録媒体２２が
載置され、ｘｙ面内での粗動が可能とされており、この
上方にｚ方向微動粗動機構２３が配設され、その下面の
被駆動部に取り付けられたｘｙ方向微動機構２４は、電
解研磨法で作成されたタングステン製のプローブ電極２
５を駆動可能に支持し、プローブ電極２５の先端は記録
媒体２２の表面に近接している。記録媒体２２はガラス
を研磨して製作した基板２６の上に、クロムを下引層と
して金（Ａｕ）を真空蒸着して下地電極２７を形成し、
その上にグラファイト（ＨＯＰＧ）から成る記録層２８
を導電性接着剤で接着したものであり、記録層２８の表
面の記録再生領域は劈開により原子オーダで平滑にされ
ている。一方、情報記録及び／又は再生装置の上位装置
との接続を行うインタフェース２９は以下の電気回路を
介して上記の駆動機構及び記録媒体２２とプローブ電極
２５に接続されている。つまり、情報記録及び／又は再
生装置内の各ブロック間の相互動作の集中制御を行う制
御回路３０、書込み読出しデータを制御回路３０からの
指示により書込んだり読出したりする書込読出回路３
１、この書込読出回路３１からの信号に基づいて、ｘ方
向とｙ方向との間にパルス状電圧を印加しデータを書込
み、読出し時には読出し電圧を印加する電圧印加回路３
２、ｘ方向とｙ方向との間に流れる電流を増幅し、これ
を読出し時には読出し情報信号として書込読出回路３１
に送る電圧増幅回路３３、制御回路３０等の指示により
電圧増幅回路３３や後述する位置検出回路の信号を基に
ｘ方向やｙ方向の位置を決定する位置決め回路３４、こ
の位置決め回路３４からのサーボ信号を基にｘ方向やｙ
方向の位置をサーボ制御するサーボ回路３５、サーボ回
路３５の信号に従ってｚ方向微動粗動機構２３を駆動す
るｚ方向駆動回路３６、サーボ回路３５の信号に従いｘ
ｙ方向微動機構２４やｘｙ方向粗動機構２１を駆動する
ｘｙ方向駆動回路３７、ｘ方向とｙ方向との相対位置を
検出する位置検出回路３８が設けられている。
図であり、ｘｙ方向粗動機構２１の上に記録媒体２２が
載置され、ｘｙ面内での粗動が可能とされており、この
上方にｚ方向微動粗動機構２３が配設され、その下面の
被駆動部に取り付けられたｘｙ方向微動機構２４は、電
解研磨法で作成されたタングステン製のプローブ電極２
５を駆動可能に支持し、プローブ電極２５の先端は記録
媒体２２の表面に近接している。記録媒体２２はガラス
を研磨して製作した基板２６の上に、クロムを下引層と
して金（Ａｕ）を真空蒸着して下地電極２７を形成し、
その上にグラファイト（ＨＯＰＧ）から成る記録層２８
を導電性接着剤で接着したものであり、記録層２８の表
面の記録再生領域は劈開により原子オーダで平滑にされ
ている。一方、情報記録及び／又は再生装置の上位装置
との接続を行うインタフェース２９は以下の電気回路を
介して上記の駆動機構及び記録媒体２２とプローブ電極
２５に接続されている。つまり、情報記録及び／又は再
生装置内の各ブロック間の相互動作の集中制御を行う制
御回路３０、書込み読出しデータを制御回路３０からの
指示により書込んだり読出したりする書込読出回路３
１、この書込読出回路３１からの信号に基づいて、ｘ方
向とｙ方向との間にパルス状電圧を印加しデータを書込
み、読出し時には読出し電圧を印加する電圧印加回路３
２、ｘ方向とｙ方向との間に流れる電流を増幅し、これ
を読出し時には読出し情報信号として書込読出回路３１
に送る電圧増幅回路３３、制御回路３０等の指示により
電圧増幅回路３３や後述する位置検出回路の信号を基に
ｘ方向やｙ方向の位置を決定する位置決め回路３４、こ
の位置決め回路３４からのサーボ信号を基にｘ方向やｙ
方向の位置をサーボ制御するサーボ回路３５、サーボ回
路３５の信号に従ってｚ方向微動粗動機構２３を駆動す
るｚ方向駆動回路３６、サーボ回路３５の信号に従いｘ
ｙ方向微動機構２４やｘｙ方向粗動機構２１を駆動する
ｘｙ方向駆動回路３７、ｘ方向とｙ方向との相対位置を
検出する位置検出回路３８が設けられている。
【００１３】次に、ｘｙ方向微動機構２４の構成を図２
の平面図に基づいて説明する。ｚ方向微動粗動機構２３
によって紙面に垂直なｚ方向に可動に支持された枠状の
ベース４０の内側に、同様に枠状のフレーム４１がｘ方
向に平行な弾性ヒンジばね４２を介して支持され、更に
正方形の可動部４３がｙ方向に平行な弾性ヒンジばね４
４を介してフレーム４１の内側に支持されている。弾性
ヒンジばね４２はベース４０とフレーム４１の間のｙ軸
に平行な部分に２個ずつ取り付けられて平行ばねを構成
し、ベース４０に対してフレーム４１をｙ方向に微動可
能としており、弾性ヒンジばね４４は同様にｘ軸に平行
な可動部４３とフレーム４１の間の部分で、フレーム４
１に対して可動部４３をｘ方向に微動可能としている。
また、ベース４０とフレーム４１のｘ軸に平行な２つの
間隙には、ｙ方向に伸縮可能なｙ方向圧電素子４５ａ、
４５ｂがそれぞれ挟設され、フレーム４１と可動部４３
のｙ軸に平行な２つの間隙ｘ方向に伸縮可能なｘ方向圧
電素子４６ａ、４６ｂがそれぞれ挟設されている。そし
て、可動部４３には図１に示すプローブ電極２５が取り
付けられ駆動されるようになっており、可動部４３をｘ
方向プラス側に動かすには２つのｘ方向圧電素子４６
ａ、４６ｂのうち、ｘ方向マイナス側に位置するｘ方向
圧電素子４６ａに伸長するような極性の電圧を印加し、
ｘ方向プラス側に位置するｘ方向圧電素子４６ｂに縮小
するように電圧を印加する。また、例えば可動部４３を
ｙ方向プラス側に動かす場合には、ｙ方向圧電素子４５
ａに縮小する方向に電圧を印加して、圧電素子４５ｂに
伸長するように電圧を印加して、フレーム４１をｙ方向
プラス側に移動することにより、可動部４３も共にｙ方
向に移動される。このように、可動部４３は弾性ヒンジ
ばね４２、４４によってｘ方向とｙ方向が独立して、圧
電素子４５、４６により駆動できる。
の平面図に基づいて説明する。ｚ方向微動粗動機構２３
によって紙面に垂直なｚ方向に可動に支持された枠状の
ベース４０の内側に、同様に枠状のフレーム４１がｘ方
向に平行な弾性ヒンジばね４２を介して支持され、更に
正方形の可動部４３がｙ方向に平行な弾性ヒンジばね４
４を介してフレーム４１の内側に支持されている。弾性
ヒンジばね４２はベース４０とフレーム４１の間のｙ軸
に平行な部分に２個ずつ取り付けられて平行ばねを構成
し、ベース４０に対してフレーム４１をｙ方向に微動可
能としており、弾性ヒンジばね４４は同様にｘ軸に平行
な可動部４３とフレーム４１の間の部分で、フレーム４
１に対して可動部４３をｘ方向に微動可能としている。
また、ベース４０とフレーム４１のｘ軸に平行な２つの
間隙には、ｙ方向に伸縮可能なｙ方向圧電素子４５ａ、
４５ｂがそれぞれ挟設され、フレーム４１と可動部４３
のｙ軸に平行な２つの間隙ｘ方向に伸縮可能なｘ方向圧
電素子４６ａ、４６ｂがそれぞれ挟設されている。そし
て、可動部４３には図１に示すプローブ電極２５が取り
付けられ駆動されるようになっており、可動部４３をｘ
方向プラス側に動かすには２つのｘ方向圧電素子４６
ａ、４６ｂのうち、ｘ方向マイナス側に位置するｘ方向
圧電素子４６ａに伸長するような極性の電圧を印加し、
ｘ方向プラス側に位置するｘ方向圧電素子４６ｂに縮小
するように電圧を印加する。また、例えば可動部４３を
ｙ方向プラス側に動かす場合には、ｙ方向圧電素子４５
ａに縮小する方向に電圧を印加して、圧電素子４５ｂに
伸長するように電圧を印加して、フレーム４１をｙ方向
プラス側に移動することにより、可動部４３も共にｙ方
向に移動される。このように、可動部４３は弾性ヒンジ
ばね４２、４４によってｘ方向とｙ方向が独立して、圧
電素子４５、４６により駆動できる。
【００１４】次に、情報記録及び／又は再生装置の動作
を説明する。プローブ電極２５は記録媒体２２との接触
を避けるため、初期位置は稍々上方にあり、使用時には
ｚ方向微動粗動機構２３によって記録媒体２２に接近さ
れる。このとき、電圧印加回路３２により２００ｍＶの
読取り電圧をプローブ電極２５と記録媒体２２の下地電
極２７の間に印加しておき、電流増幅回路３３で検出し
ている電流が１００ｐＡになるまで接近させ、ｚ方向微
動粗動機構２３を保持し、その後にｘｙ方向微動機構２
４を用いて記録媒体２２上を走査して記録再生を行う。
記録は記録媒体２２の記録領域上を１列ずつプローブ電
極２５で走査しながら、制御回路３０で指令された書込
み位置で電圧印加回路３２よりパルス状電圧を印加する
ことにより行われる。このパルス状電圧はパルス高さ４
Ｖ、パルス幅１μＳであり、グラファイト膜の電圧を印
加された部分が凹状に変化するための閾値である。再生
は電圧印加回路３２よりプローブ電極２５と下地電極２
７の間に２００ｍＶの読み取り電圧を印加しながら、ｘ
ｙ方向微動機構２４を用いてプローブ電極２５で記録領
域を走査し、電流増幅回路３３での電流の変化から読み
取りを行う。実験では、可動部４３のｘ方向の固有振動
数は約３ｋHzであり、ｙ方向の固有振動数は約１．５ｋ
Hzであった。また、記録ビットの寸法は直径４ｎｍであ
り、書き込み及び読み出しの条件は上記の例には限定さ
れることはない。
を説明する。プローブ電極２５は記録媒体２２との接触
を避けるため、初期位置は稍々上方にあり、使用時には
ｚ方向微動粗動機構２３によって記録媒体２２に接近さ
れる。このとき、電圧印加回路３２により２００ｍＶの
読取り電圧をプローブ電極２５と記録媒体２２の下地電
極２７の間に印加しておき、電流増幅回路３３で検出し
ている電流が１００ｐＡになるまで接近させ、ｚ方向微
動粗動機構２３を保持し、その後にｘｙ方向微動機構２
４を用いて記録媒体２２上を走査して記録再生を行う。
記録は記録媒体２２の記録領域上を１列ずつプローブ電
極２５で走査しながら、制御回路３０で指令された書込
み位置で電圧印加回路３２よりパルス状電圧を印加する
ことにより行われる。このパルス状電圧はパルス高さ４
Ｖ、パルス幅１μＳであり、グラファイト膜の電圧を印
加された部分が凹状に変化するための閾値である。再生
は電圧印加回路３２よりプローブ電極２５と下地電極２
７の間に２００ｍＶの読み取り電圧を印加しながら、ｘ
ｙ方向微動機構２４を用いてプローブ電極２５で記録領
域を走査し、電流増幅回路３３での電流の変化から読み
取りを行う。実験では、可動部４３のｘ方向の固有振動
数は約３ｋHzであり、ｙ方向の固有振動数は約１．５ｋ
Hzであった。また、記録ビットの寸法は直径４ｎｍであ
り、書き込み及び読み出しの条件は上記の例には限定さ
れることはない。
【００１５】図３は第２の実施例のｘｙ方向微動機構２
４の平面図を示し、第１の実施例の弾性ヒンジばね４
２、４４の代りに平行板ばね５１、５２が用いられてい
る。ベース４０の内側に２組の平行板ばね５１を介して
フレーム４１がｙ方向に可動に支持され、ｙ方向圧電素
子４５ａ、４５ｂによりｙ方向に結合され、ｙ方向に駆
動されるようになっており、フレーム４１の内側の可動
部４３は平行板ばね５２によりｘ方向に可動とされ、ｘ
方向圧電素子４６ａ、４６ｂによりｘ方向に駆動される
ようになっている。また、図示しない記録媒体はマイカ
を劈開して得られた平滑な基板の上に金をエピタキシャ
ル成長させ、電気メモリ効果を有するスクアリリウム−
ビス−６−オクチルアズレンをＬＢ法により８層累積し
たものを用いている。その他の構成は第１の実施例と同
様であり、この実施例では従来のものよりも位置決め精
度が向上し、これによる書込み読み出しエラーが改善さ
れた。
４の平面図を示し、第１の実施例の弾性ヒンジばね４
２、４４の代りに平行板ばね５１、５２が用いられてい
る。ベース４０の内側に２組の平行板ばね５１を介して
フレーム４１がｙ方向に可動に支持され、ｙ方向圧電素
子４５ａ、４５ｂによりｙ方向に結合され、ｙ方向に駆
動されるようになっており、フレーム４１の内側の可動
部４３は平行板ばね５２によりｘ方向に可動とされ、ｘ
方向圧電素子４６ａ、４６ｂによりｘ方向に駆動される
ようになっている。また、図示しない記録媒体はマイカ
を劈開して得られた平滑な基板の上に金をエピタキシャ
ル成長させ、電気メモリ効果を有するスクアリリウム−
ビス−６−オクチルアズレンをＬＢ法により８層累積し
たものを用いている。その他の構成は第１の実施例と同
様であり、この実施例では従来のものよりも位置決め精
度が向上し、これによる書込み読み出しエラーが改善さ
れた。
【００１６】以上の実施例では、何れも可動部４３つま
りプローブ電極２５のｘｙ方向の微動がｘ軸とｙ軸で独
立に行われるため、位置決め精度が向上し、高速走査が
可能である。
りプローブ電極２５のｘｙ方向の微動がｘ軸とｙ軸で独
立に行われるため、位置決め精度が向上し、高速走査が
可能である。
【００１７】なお、実施例では情報記録再生装置に、ｘ
ｙ方向微動機構を適用したが、ＳＴＭの走査機構に用い
るものとしてもよい。
ｙ方向微動機構を適用したが、ＳＴＭの走査機構に用い
るものとしてもよい。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る情報記
録及び／又は再生装置は、可動部の移動が、２つの軸方
向で独立に行えるため、書き込み、読み出しの位置制御
の精度が高く、高速走査が容易であり、書き込み読み出
しエラーが少ない。
録及び／又は再生装置は、可動部の移動が、２つの軸方
向で独立に行えるため、書き込み、読み出しの位置制御
の精度が高く、高速走査が容易であり、書き込み読み出
しエラーが少ない。
【図１】第１の実施例のブロック回路構成図である。
【図２】ｘｙ方向微動機構の平面図である。
【図３】第２の実施例のｘｙ方向微動機構の平面図であ
る。
る。
【図４】従来の片押しタイプの微動機構の平面図であ
る。
る。
【図５】従来の両押しタイプの微動機構の平面図であ
る。
る。
４０ ベース ４１ フレーム ４２、４４ 弾性ヒンジばね ４３ 可動部 ４５ ｙ方向圧電素子 ４６ ｘ方向圧電素子 ５１、５２ 平行板ばね
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 9/00 G01N 37/00 G05D 3/00
Claims (5)
- 【請求項１】 書込み及び読み出しを行うプローブ電極
と、該プローブ電極に対向して設けた記録媒体を相対移
動させ情報の記録及び／又は再生を行う固定部に対し、
第１の可動部を第１の軸方向に案内する第１のばねと、
前記第１の可動部を挟んで前記第１の軸方向に直列に対
向して前記固定部に設けた第１の圧電素子と、前記第１
の可動部に対し第２の可動部を第２の軸方向に案内する
第２のばねと、前記第２の可動部を挟んで前記第２の軸
方向に直列に対向して前記第１の可動部に設けた第２の
圧電素子とから成る微動機構の第２の可動部に、前記プ
ローブ又は前記記録媒体を保持することを特徴とする情
報記録及び／又は再生装置。 - 【請求項２】 前記第２の軸方向を主走査方向とした請
求項１に記載の情報記録及び／又は再生装置。 - 【請求項３】 前記ばねを板ばねとした請求項１に記載
の情報記録及び／又は再生装置。 - 【請求項４】 前記ばねを弾性ヒンジばねとした請求項
１に記載の情報記録及び／又は再生装置。 - 【請求項５】 前記圧電素子を積層型とした請求項１に
記載の情報記録及び／又は再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4249191A JP2934037B2 (ja) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | 情報記録及び／又は再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4249191A JP2934037B2 (ja) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | 情報記録及び／又は再生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04258826A JPH04258826A (ja) | 1992-09-14 |
| JP2934037B2 true JP2934037B2 (ja) | 1999-08-16 |
Family
ID=12637533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4249191A Expired - Fee Related JP2934037B2 (ja) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | 情報記録及び／又は再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2934037B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008243293A (ja) | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Toshiba Corp | プローブメモリを備える記録再生装置 |
-
1991
- 1991-02-13 JP JP4249191A patent/JP2934037B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04258826A (ja) | 1992-09-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |