JP2744346B2 - 情報記録ユニットと情報記録及び／又は再生装置と情報記録及び／又は再生方法と情報記録媒体 - Google Patents
情報記録ユニットと情報記録及び／又は再生装置と情報記録及び／又は再生方法と情報記録媒体Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、走査型トンネル顕微鏡を応用した記録再生
装置の改良に関するものである。
装置の改良に関するものである。
近年、物質表面及び表面近傍の電子構造を直接観察で
きる走査型トンネル顕微鏡（以後STMと略す）が開発さ
れ、〔G.Binnig etal.,Helvetica Physica Acta,55,726
（1982）〕単結晶、非結晶を問わず実空間像の高い分解
能の測定が出来るようになり、しかも媒体に電流による
損傷を与えずに低電力で観測出来る利点をも有し、さら
には超高真空中のみならず大気中、溶液中でも動作し種
々の材料に対して用いることが出来るため広範囲な応用
が期待されている。
きる走査型トンネル顕微鏡（以後STMと略す）が開発さ
れ、〔G.Binnig etal.,Helvetica Physica Acta,55,726
（1982）〕単結晶、非結晶を問わず実空間像の高い分解
能の測定が出来るようになり、しかも媒体に電流による
損傷を与えずに低電力で観測出来る利点をも有し、さら
には超高真空中のみならず大気中、溶液中でも動作し種
々の材料に対して用いることが出来るため広範囲な応用
が期待されている。
そして最近このSTMを応用した記録再生装置〔特開昭6
3-161552号公報、63-161553号公報参照〕も開発されて
いる。
3-161552号公報、63-161553号公報参照〕も開発されて
いる。
これらの従来の記録再生装置は第７図の様な構成を用
いている。
いている。
これらの装置では電圧印加装置５を用いて、トンネル
電流が流れる程度の直流電圧を記録媒体８に加えた状態
で、そのトンネル電流を一定とするようなプローブ電極
（探針）６と記録媒体８との距離の制御が行なわれてい
る。そして記録位置における電気特性に対してスイツチ
ングメモリ効果を持つ記録媒体８へのパルス電圧の印加
により、記録部位に局所的に電気抵抗の異なる部分が作
り出される。
電流が流れる程度の直流電圧を記録媒体８に加えた状態
で、そのトンネル電流を一定とするようなプローブ電極
（探針）６と記録媒体８との距離の制御が行なわれてい
る。そして記録位置における電気特性に対してスイツチ
ングメモリ効果を持つ記録媒体８へのパルス電圧の印加
により、記録部位に局所的に電気抵抗の異なる部分が作
り出される。
再生時には微弱な電圧を印加しながら電流増幅器７、
サーボ回路３及び三次元駆動機構２を用いて探針６と記
録層の距離を一定に制御する。そしてXY走査駆動回路４
と三次元駆動機構２を用いて記録媒体面上を走査し探針
６を検出電流が一定となるように表面を倣わせ記録操作
による電気抵抗の違いに対応するＺ軸方向の制御量と面
内での探針の位置から記録情報を再現している。これら
の制御はマイクロコンピユータ１によって行なわれてい
る。またトンネル電流が流れ始めるのはプローブ電極６
と記録媒体８の距離が1nm程度まで近接してからである
ためプローブ電極６と記録媒体８の微動制御部分は高精
度な加工・製作技術が必要である。
サーボ回路３及び三次元駆動機構２を用いて探針６と記
録層の距離を一定に制御する。そしてXY走査駆動回路４
と三次元駆動機構２を用いて記録媒体面上を走査し探針
６を検出電流が一定となるように表面を倣わせ記録操作
による電気抵抗の違いに対応するＺ軸方向の制御量と面
内での探針の位置から記録情報を再現している。これら
の制御はマイクロコンピユータ１によって行なわれてい
る。またトンネル電流が流れ始めるのはプローブ電極６
と記録媒体８の距離が1nm程度まで近接してからである
ためプローブ電極６と記録媒体８の微動制御部分は高精
度な加工・製作技術が必要である。
上述の如く、この様な記録再生技術においてはプロー
ブ電極と記録媒体との間隔を高精度に調整する事が必要
であるが、同時に本記録再生装置を汎用化する為にはこ
の間隔調整のより簡素化が必要である。特にプローブ電
極と記録媒体とを媒体面に平行方向に相対移動させる際
に、移動毎に前述高精度間隔調整を長時間費やして行な
う形態では、汎用の記録再生装置としては不利になる。
本発明は前述従来例の応用発明であり、プローブと記録
媒体間に媒体面平行方向相対移動を行なう場合も常に高
精度に、かつ簡便に必要な間隔を維持する事を可能にす
る情報記録媒体及びユニツト、更に情報記録及び／又は
再生装置と同方法を提供する事を目的とする。
ブ電極と記録媒体との間隔を高精度に調整する事が必要
であるが、同時に本記録再生装置を汎用化する為にはこ
の間隔調整のより簡素化が必要である。特にプローブ電
極と記録媒体とを媒体面に平行方向に相対移動させる際
に、移動毎に前述高精度間隔調整を長時間費やして行な
う形態では、汎用の記録再生装置としては不利になる。
本発明は前述従来例の応用発明であり、プローブと記録
媒体間に媒体面平行方向相対移動を行なう場合も常に高
精度に、かつ簡便に必要な間隔を維持する事を可能にす
る情報記録媒体及びユニツト、更に情報記録及び／又は
再生装置と同方法を提供する事を目的とする。
上述の目的を達成する為、本発明は、情報記録及び／
又は再生用装置によって情報が記録及び／又は再生され
るべき情報記録媒体が装着されるユニツトで、前記情報
記録媒体に情報記録を行なうため及び／又は前記情報記
録媒体から情報再生を行なうためのプローブと、該プロ
ーブを前記情報記録媒体に対して対向配置させるように
支持する支持体と、該支持体に設けられ前記支持体と情
報記録媒体との間隔を一定に保持した状態で前記支持体
と情報記録媒体との相対移動を可能にする摺動面とを設
けている。又は、情報記録媒体に対して情報記録及び／
又は再生を行なう装置で、前記情報記録媒体に情報記録
を行なうため及び／又は前記情報記録媒体から情報再生
を行なうためのプローブと、該プローブを前記情報記録
媒体に対して対向配置させるように支持する支持体と、
該支持体に設けられ前記支持体と情報記録媒体との間隔
を一定に保持した状態で前記支持体と情報記録媒体との
相対移動を可能にする摺動面とを設けている。又は、情
報記録媒体に対して情報記録及び／又は再生を行なう方
法で、情報記録及び／又は再生用プローブを前記情報記
録媒体に対して対向配置させるように支持する支持体と
前記情報記録媒体との間隔を一定に保持した状態で前記
支持体と情報記録媒体とを摺動面を摺動させて相対移動
させる過程と、前記プローブにより前記情報記録媒体に
情報記録を行なう過程及び／又は前記情報記録媒体から
情報再生を行なう過程とを設けている。又は、情報記録
及び／又は再生用装置に設けられた情報記録及び／又は
情報再生を行なうためのプローブによって情報が記録及
び／又は再生されるべき情報記録媒体で、前記プローブ
によって情報記録及び／又は情報再生を行なわれる記録
領域と、該記録領域と前記プローブを支持する支持体と
の間隔を一定に保持した状態で前記支持体と記録領域と
の相対移動を可能にする摺動面とを設けている。
又は再生用装置によって情報が記録及び／又は再生され
るべき情報記録媒体が装着されるユニツトで、前記情報
記録媒体に情報記録を行なうため及び／又は前記情報記
録媒体から情報再生を行なうためのプローブと、該プロ
ーブを前記情報記録媒体に対して対向配置させるように
支持する支持体と、該支持体に設けられ前記支持体と情
報記録媒体との間隔を一定に保持した状態で前記支持体
と情報記録媒体との相対移動を可能にする摺動面とを設
けている。又は、情報記録媒体に対して情報記録及び／
又は再生を行なう装置で、前記情報記録媒体に情報記録
を行なうため及び／又は前記情報記録媒体から情報再生
を行なうためのプローブと、該プローブを前記情報記録
媒体に対して対向配置させるように支持する支持体と、
該支持体に設けられ前記支持体と情報記録媒体との間隔
を一定に保持した状態で前記支持体と情報記録媒体との
相対移動を可能にする摺動面とを設けている。又は、情
報記録媒体に対して情報記録及び／又は再生を行なう方
法で、情報記録及び／又は再生用プローブを前記情報記
録媒体に対して対向配置させるように支持する支持体と
前記情報記録媒体との間隔を一定に保持した状態で前記
支持体と情報記録媒体とを摺動面を摺動させて相対移動
させる過程と、前記プローブにより前記情報記録媒体に
情報記録を行なう過程及び／又は前記情報記録媒体から
情報再生を行なう過程とを設けている。又は、情報記録
及び／又は再生用装置に設けられた情報記録及び／又は
情報再生を行なうためのプローブによって情報が記録及
び／又は再生されるべき情報記録媒体で、前記プローブ
によって情報記録及び／又は情報再生を行なわれる記録
領域と、該記録領域と前記プローブを支持する支持体と
の間隔を一定に保持した状態で前記支持体と記録領域と
の相対移動を可能にする摺動面とを設けている。
第１図は本発明の第１の実施例に係る記録再生装置を
示す概略図である。第１図中401は装置系全体の制御を
行なうマイクロコンピユータである。403はサーボ回
路、404はXY走査駆動回路、405はプローブ電極と記録媒
体との間に電圧を印加する電圧印加装置、406はタング
ステンよりなるプローブ電極、407は電流増幅器、408は
LB法によりSOAZ（スクアリリウム−ビス−６−オクチル
アズレン）を４層積層した記録媒体、409は真空蒸着法
によりCrを50Å堆積させ更にその上にAuを300Å同法に
より蒸着した下地電極、410は石英ガラスの基板、411は
積層圧電素子からなる上下機構、412は上下機構駆動回
路、413はXY駆動機構、414はXY駆動回路、415はプロー
ブ電極406、記録媒体408、下地電極409、基板410を密封
する密閉構造を構成する密閉容器である。プローブ電極
406は簡略化の為、ここでは３つのみ示す。複数のプロ
ーブ電極406にはそれぞれ図の様にサーボ回路403、XY走
査機構404、電圧印加装置405、電流増幅器407が設けら
れ、又それぞれに（第１図では不図示の）後述するプロ
ーブ電極を駆動する三次元駆動機構が容器415内部に設
けられている。密閉容器415は記録再生装置本体に着脱
可能である。
示す概略図である。第１図中401は装置系全体の制御を
行なうマイクロコンピユータである。403はサーボ回
路、404はXY走査駆動回路、405はプローブ電極と記録媒
体との間に電圧を印加する電圧印加装置、406はタング
ステンよりなるプローブ電極、407は電流増幅器、408は
LB法によりSOAZ（スクアリリウム−ビス−６−オクチル
アズレン）を４層積層した記録媒体、409は真空蒸着法
によりCrを50Å堆積させ更にその上にAuを300Å同法に
より蒸着した下地電極、410は石英ガラスの基板、411は
積層圧電素子からなる上下機構、412は上下機構駆動回
路、413はXY駆動機構、414はXY駆動回路、415はプロー
ブ電極406、記録媒体408、下地電極409、基板410を密封
する密閉構造を構成する密閉容器である。プローブ電極
406は簡略化の為、ここでは３つのみ示す。複数のプロ
ーブ電極406にはそれぞれ図の様にサーボ回路403、XY走
査機構404、電圧印加装置405、電流増幅器407が設けら
れ、又それぞれに（第１図では不図示の）後述するプロ
ーブ電極を駆動する三次元駆動機構が容器415内部に設
けられている。密閉容器415は記録再生装置本体に着脱
可能である。
記録媒体408に情報の記録を行なうには、プローブ電
極406を記録媒体408に近づけ、電圧印加装置405により
例えば高さ3.5V、幅50nsの矩形状パルス電圧を印加する
ことにより記録媒体408が特性変化を起こし電気抵抗の
低い部分（１ビツトに相当）が生じることを使う。不図
示の三次元駆動機構及びXY駆動機構413を用いて各プロ
ーブ電極406及び記録媒体408をXY方向（記録媒体の面に
平行な方向）に走査しながら、各プローブ電極で独立に
所望の位置へパルス印加を行なうことで記録ができる。
極406を記録媒体408に近づけ、電圧印加装置405により
例えば高さ3.5V、幅50nsの矩形状パルス電圧を印加する
ことにより記録媒体408が特性変化を起こし電気抵抗の
低い部分（１ビツトに相当）が生じることを使う。不図
示の三次元駆動機構及びXY駆動機構413を用いて各プロ
ーブ電極406及び記録媒体408をXY方向（記録媒体の面に
平行な方向）に走査しながら、各プローブ電極で独立に
所望の位置へパルス印加を行なうことで記録ができる。
再生を行なうには、記録電圧より低い例えば200mVの
直流電圧をプローブ電極406と記録媒体408とに加えなが
ら、電流増幅器407とサーボ回路403を用いて検出される
電流が例えば0.1nAの一定になるように三次元駆動機構
のＺ方向（プローブ電極406と記録媒体408の間隔方向）
駆動を各プローブ電極毎に独立にフイードバツク制御し
ながら記録媒体面上を記録時と同様に二次元走査する。
この時のフイードバツク量（Ｚ方向駆動量）は記録媒体
上の記録情報に対応しており、記録位置との対応をとる
ことで再生を行なう。消去は記録と同様にして、例えば
5V,パルス巾１μＳ三角波パルス電圧を印加して行な
う。これら全体の制御はマイクロコンピユータ401によ
って行なう。
直流電圧をプローブ電極406と記録媒体408とに加えなが
ら、電流増幅器407とサーボ回路403を用いて検出される
電流が例えば0.1nAの一定になるように三次元駆動機構
のＺ方向（プローブ電極406と記録媒体408の間隔方向）
駆動を各プローブ電極毎に独立にフイードバツク制御し
ながら記録媒体面上を記録時と同様に二次元走査する。
この時のフイードバツク量（Ｚ方向駆動量）は記録媒体
上の記録情報に対応しており、記録位置との対応をとる
ことで再生を行なう。消去は記録と同様にして、例えば
5V,パルス巾１μＳ三角波パルス電圧を印加して行な
う。これら全体の制御はマイクロコンピユータ401によ
って行なう。
第２図は本発明第１の実施例の記録再生装置から取り
外した密閉容器415の外観図である。この容器内には複
数のプローブ電極と記録媒体が相対して配置されてい
る。627は装置本体と信号のやりとりを行なうための電
極、731はXY駆動機構413の入る窓である。装置本体に密
閉容器が挿入された状態で、電極627と装置側に設けた
不図示の接触電極とが接触して、第１図に示した様な配
線が完成する。
外した密閉容器415の外観図である。この容器内には複
数のプローブ電極と記録媒体が相対して配置されてい
る。627は装置本体と信号のやりとりを行なうための電
極、731はXY駆動機構413の入る窓である。装置本体に密
閉容器が挿入された状態で、電極627と装置側に設けた
不図示の接触電極とが接触して、第１図に示した様な配
線が完成する。
第３図は、プローブ電極をＺ軸方向（記録媒体表面と
垂直方向）及びXY方向に駆動する三次元駆動機構の概略
図である。800はバイモルフ梁、802は駆動用の配線領域
である。バイモルフ梁800及びプローブ電極406の製作
は、マイクロメカニクス、あるいはマイクロマシーニン
グと呼ばれている公知の方法で行なった。
垂直方向）及びXY方向に駆動する三次元駆動機構の概略
図である。800はバイモルフ梁、802は駆動用の配線領域
である。バイモルフ梁800及びプローブ電極406の製作
は、マイクロメカニクス、あるいはマイクロマシーニン
グと呼ばれている公知の方法で行なった。
〔参考文献:K.E.Petersen,Proc.IEEE70,420（1982）
及びT.R.Albrecht,etal.,4th International conferenc
e on STM/STS（STM'89）P1-29,S10−２〕 梁800の断面構成は幅方向に２つの上電極（Au）／絶
縁膜（Si3Ｎ4）／ピエゾ（ZnO）／絶縁膜（Si3Ｎ4）／
中電極（Au）／絶縁膜（Si3Ｎ4）／ピエゾ（ZnO）／絶
縁膜（Si3Ｎ4）／幅方向に２つの下電極（Au）となって
おり、寸法は長さ750μｍ、幅150μｍ、厚さ7.5μｍで
ある。この２つのピエゾ層が同一方向に分極しているな
ら中電極に対して２つの上電極に＋（−）、２つの下電
極に＋（−）と同極性の電圧を加えることによりバイモ
ルフ梁800の先端即ちプローブ電極がＺ軸方向へ変位
し、その値は±15Vで約５μｍである。又中電極に対す
る上電極２つ、下電極２つへの電圧の加え方によりＸ、
Ｙ軸方向への変位も可能である。タングステンからなる
プローブ電極406からの配線はバイモルフ梁800上を通り
配線領域802上の回路へ導びかれ最終的には電極627のい
ずれかとそれぞれつながっている。又各バイモルフ梁80
0の制御信号を電極627から導く回路も配線領域802上に
形成されている。
及びT.R.Albrecht,etal.,4th International conferenc
e on STM/STS（STM'89）P1-29,S10−２〕 梁800の断面構成は幅方向に２つの上電極（Au）／絶
縁膜（Si3Ｎ4）／ピエゾ（ZnO）／絶縁膜（Si3Ｎ4）／
中電極（Au）／絶縁膜（Si3Ｎ4）／ピエゾ（ZnO）／絶
縁膜（Si3Ｎ4）／幅方向に２つの下電極（Au）となって
おり、寸法は長さ750μｍ、幅150μｍ、厚さ7.5μｍで
ある。この２つのピエゾ層が同一方向に分極しているな
ら中電極に対して２つの上電極に＋（−）、２つの下電
極に＋（−）と同極性の電圧を加えることによりバイモ
ルフ梁800の先端即ちプローブ電極がＺ軸方向へ変位
し、その値は±15Vで約５μｍである。又中電極に対す
る上電極２つ、下電極２つへの電圧の加え方によりＸ、
Ｙ軸方向への変位も可能である。タングステンからなる
プローブ電極406からの配線はバイモルフ梁800上を通り
配線領域802上の回路へ導びかれ最終的には電極627のい
ずれかとそれぞれつながっている。又各バイモルフ梁80
0の制御信号を電極627から導く回路も配線領域802上に
形成されている。
次に密閉容器415の断面を含む図を使い装置へのセツ
テイングを説明する。
テイングを説明する。
第４図、第５図は本発明の密閉容器の詳細を示した図
である。
である。
第４図はプローブ電極と記録媒体との位置関係を示す
断面図である。801はバイモルフ梁800を固定する基台、
616は基台801を接着固定し情報記録担体の構造体となる
フレーム、700は記録媒体408の下地である前述の下地電
極409、基板410より成る記録基板、700aは記録基板700
上に設けられている突起、617は記録基板700を固定し、
XY駆動機構413と接続するフレームである。基台801の下
面と突起700aの上面は高精度に平面処理され、又記録媒
体408は突起700a上面もカバーしている。更に突起700a
の高さはバイモルフ梁800を支持する基台801と、突起部
以外の面（即ち記録再生が行なわれる面）上の記録媒体
408との間隔を所定の値にする為の高さに高精度に加工
されている。609は突起700a上の記録媒体と基台801との
摺動面である。突起700a上の記録媒体と基台801とがこ
の様に密着状態にされる事によりプローブ電極406と記
録再生が実際に行なわれる部所の記録媒体408はある程
度間隔が調整された状態、即ち粗の間隔調整が完了した
状態になる。記録媒体408に対して複数のプローブ電極4
06を一勢に図面XY方向に大きく相対変位させる場合、XY
駆動機構413は、突起700a上の記録媒体と基台801を密着
させたままフレーム617を介して記録媒体408をXY方向に
駆動する。従って突起700a上の記録媒体と基台801は摺
動面609で摺動する。この様にする事でプローブ電極406
と実際に記録再生が行なわれる面上の記録媒体408はXY
駆動機構413による駆動中も駆動終了後も常に前述粗の
間隔調整完了状態が保たれる。これによりXY方向の大き
な移動を行なう記録又は再生時に移動毎にプローブ電極
406と記録媒体408の間隔調整に時間を大きく費やす必要
がない。
断面図である。801はバイモルフ梁800を固定する基台、
616は基台801を接着固定し情報記録担体の構造体となる
フレーム、700は記録媒体408の下地である前述の下地電
極409、基板410より成る記録基板、700aは記録基板700
上に設けられている突起、617は記録基板700を固定し、
XY駆動機構413と接続するフレームである。基台801の下
面と突起700aの上面は高精度に平面処理され、又記録媒
体408は突起700a上面もカバーしている。更に突起700a
の高さはバイモルフ梁800を支持する基台801と、突起部
以外の面（即ち記録再生が行なわれる面）上の記録媒体
408との間隔を所定の値にする為の高さに高精度に加工
されている。609は突起700a上の記録媒体と基台801との
摺動面である。突起700a上の記録媒体と基台801とがこ
の様に密着状態にされる事によりプローブ電極406と記
録再生が実際に行なわれる部所の記録媒体408はある程
度間隔が調整された状態、即ち粗の間隔調整が完了した
状態になる。記録媒体408に対して複数のプローブ電極4
06を一勢に図面XY方向に大きく相対変位させる場合、XY
駆動機構413は、突起700a上の記録媒体と基台801を密着
させたままフレーム617を介して記録媒体408をXY方向に
駆動する。従って突起700a上の記録媒体と基台801は摺
動面609で摺動する。この様にする事でプローブ電極406
と実際に記録再生が行なわれる面上の記録媒体408はXY
駆動機構413による駆動中も駆動終了後も常に前述粗の
間隔調整完了状態が保たれる。これによりXY方向の大き
な移動を行なう記録又は再生時に移動毎にプローブ電極
406と記録媒体408の間隔調整に時間を大きく費やす必要
がない。
第５図は、本発明情報記録担体を装置本体630にセツ
テイングし、窓731に圧電素子のインチ・ワーム構成で
あるXY駆動機構413を上下機構411により挿入した状態を
示している。記録基板を固定するフレーム617は、記録
媒体408に対し反対側の面がXY駆動機構413との結合部と
なっており、629は装置本体中の制御系からの信号や電
源を情報記録担体である密閉容器内へ供給する電極接続
部であり、770は密閉構造を形成するメカニカルシール
からなるパツキンである。密閉部分は、基台801・フレ
ーム616、617・パツキン770・記録基板700・記録媒体40
8に囲まれた領域である。
テイングし、窓731に圧電素子のインチ・ワーム構成で
あるXY駆動機構413を上下機構411により挿入した状態を
示している。記録基板を固定するフレーム617は、記録
媒体408に対し反対側の面がXY駆動機構413との結合部と
なっており、629は装置本体中の制御系からの信号や電
源を情報記録担体である密閉容器内へ供給する電極接続
部であり、770は密閉構造を形成するメカニカルシール
からなるパツキンである。密閉部分は、基台801・フレ
ーム616、617・パツキン770・記録基板700・記録媒体40
8に囲まれた領域である。
密閉容器415は装置本体630に対し矢印方向に着脱可能
である。着脱の際には上下機構411がXY駆動機構413を密
閉容器415の着脱を妨げない位置まで下げる。
である。着脱の際には上下機構411がXY駆動機構413を密
閉容器415の着脱を妨げない位置まで下げる。
密閉容器415を装置本体630に挿着した際には電極接触
部629と電極627とが接触し、電気的に接続され前述第１
図に示した様な配線ができる。記録再生時には、各バイ
モルフ梁800に印加する電圧を制御して各プローブ電極4
06と記録媒体408との距離及びXY方向の微走査状態を制
御し、記録媒体408面内方向の大きな距離の走査はXY駆
動機構413で一勢に行なう。
部629と電極627とが接触し、電気的に接続され前述第１
図に示した様な配線ができる。記録再生時には、各バイ
モルフ梁800に印加する電圧を制御して各プローブ電極4
06と記録媒体408との距離及びXY方向の微走査状態を制
御し、記録媒体408面内方向の大きな距離の走査はXY駆
動機構413で一勢に行なう。
記録媒体面側に突起形状の摺動部を形成させることに
より、プローブ電極、バイモルフ梁あるいは基台等の側
が媒体の記録再生用の領域まで接触してしまうことによ
る損傷を防ぐことが可能になった。
より、プローブ電極、バイモルフ梁あるいは基台等の側
が媒体の記録再生用の領域まで接触してしまうことによ
る損傷を防ぐことが可能になった。
第２の実施例を説明する。第１の実施例で記録媒体に
用いたSOAZの代わりにフツ素原子を含む高分子である、
無水ピロメリツト酸及び2,2−ビス（４−アミノフエノ
キシフエニル）−1,3−ヘキサフルオロプロパンからな
るポリイミドを用いた。装置構成は第１実施例と同様な
ので図は省略する。第１実施例と同様に記録、再生、消
去を行うことが可能であり、更にフツ素原子を含むポリ
イミドを記録層に用いて行なったので摺動部の表面エネ
ルギーが小さくなり記録基板を滑らかに動かすことが可
能である。
用いたSOAZの代わりにフツ素原子を含む高分子である、
無水ピロメリツト酸及び2,2−ビス（４−アミノフエノ
キシフエニル）−1,3−ヘキサフルオロプロパンからな
るポリイミドを用いた。装置構成は第１実施例と同様な
ので図は省略する。第１実施例と同様に記録、再生、消
去を行うことが可能であり、更にフツ素原子を含むポリ
イミドを記録層に用いて行なったので摺動部の表面エネ
ルギーが小さくなり記録基板を滑らかに動かすことが可
能である。
ポリイミド、特にフツ素原子を含むポリイミドを記録
媒体に用いることにより、この実施例の様に摺動面にも
一括して塗布すれば、記録媒体の形成と同時に摺動面の
良好な潤滑膜をも形成することができることになる。
媒体に用いることにより、この実施例の様に摺動面にも
一括して塗布すれば、記録媒体の形成と同時に摺動面の
良好な潤滑膜をも形成することができることになる。
第６図により本発明の第３実施例を説明する。第１実
施例と同様の部材には同じ符番を冠する。本実施例では
第１図で示した全XY走査駆動回路404、全サーボ回路403
が密閉容器415内に駆動回路631として内蔵されたもので
ある。その他の構成は第１、又は第２実施例と同様なの
で第５図と同様の断面図でのみ示す。駆動回路631内に
プローブ電極406の駆動選択を行なう選択器を含有させ
てもよい。マイクロコンピユータ401の指令信号等は電
極接触部629、電極627を介して容器415内部の駆動回路
へ送られる。
施例と同様の部材には同じ符番を冠する。本実施例では
第１図で示した全XY走査駆動回路404、全サーボ回路403
が密閉容器415内に駆動回路631として内蔵されたもので
ある。その他の構成は第１、又は第２実施例と同様なの
で第５図と同様の断面図でのみ示す。駆動回路631内に
プローブ電極406の駆動選択を行なう選択器を含有させ
てもよい。マイクロコンピユータ401の指令信号等は電
極接触部629、電極627を介して容器415内部の駆動回路
へ送られる。
上述各実施例ではプローブ電極406、記録媒体等のみ
（あるいは駆動回路も含めて）を密閉容器内に収納し、
密閉容器を装置本体に対し着脱可能にしているので、記
録媒体交換の際にこの密閉容器ごと交換でき、密閉容器
内の密封状態を媒体交換の為に変化させる必要がない。
又、プローブ電極406と記録媒体408とをある程度近づけ
た状態のまま交換可能となり、XY方向位置制御時も前述
摺動部の存在により、この状態を常に保つことが可能と
なるので、フレーム挿着後のプローブ電極406と記録媒
体408との位置合わせのスピードアツプが可能である。
（あるいは駆動回路も含めて）を密閉容器内に収納し、
密閉容器を装置本体に対し着脱可能にしているので、記
録媒体交換の際にこの密閉容器ごと交換でき、密閉容器
内の密封状態を媒体交換の為に変化させる必要がない。
又、プローブ電極406と記録媒体408とをある程度近づけ
た状態のまま交換可能となり、XY方向位置制御時も前述
摺動部の存在により、この状態を常に保つことが可能と
なるので、フレーム挿着後のプローブ電極406と記録媒
体408との位置合わせのスピードアツプが可能である。
また、本実施例の構造を用いれば、プローブ電極406
と記録媒体408の精度を要求される部分がユニツト化さ
れるために精度を比較的要求されない粗動部分・回路・
インターフエイス部分とは別工程で製造可能となり装置
組上げが容易となり生産性が向上する。また密閉容器の
脱着によって高精度部分が交換可能となるために事故等
による破損に対してメインテナンスが容易となる。
と記録媒体408の精度を要求される部分がユニツト化さ
れるために精度を比較的要求されない粗動部分・回路・
インターフエイス部分とは別工程で製造可能となり装置
組上げが容易となり生産性が向上する。また密閉容器の
脱着によって高精度部分が交換可能となるために事故等
による破損に対してメインテナンスが容易となる。
又、以上述べた実施例では、プローブ電極、バイモル
フ梁などをマイクロメカニクス手法で製作するため精度
良くでき、駆動回路等をバイモルフ梁と同基板上に組立
てることができる。
フ梁などをマイクロメカニクス手法で製作するため精度
良くでき、駆動回路等をバイモルフ梁と同基板上に組立
てることができる。
上述した実施例のうち記録再生装置として示したもの
は記録、再生あるいは０情報の記録であるところの消去
のみの機能を有する装置であっても良い。また、それら
いずれかの組合わせの装置であっても良い。
は記録、再生あるいは０情報の記録であるところの消去
のみの機能を有する装置であっても良い。また、それら
いずれかの組合わせの装置であっても良い。
突起は基台801あるいはフレーム616にあっても本質的
に本発明をはずれるものではなく、又突起は記録基板と
も基台側とも別体でも可能である。
に本発明をはずれるものではなく、又突起は記録基板と
も基台側とも別体でも可能である。
以上述べた本発明によれば、プローブと記録媒体間に
媒体面平行方向相対移動を行なう場合も常に高精度に、
かつ簡便に必要な間隔を維持する事を可能にする情報記
録媒体及びユニツト、更に情報記録及び／又は再生装置
と同方法が可能となった。
媒体面平行方向相対移動を行なう場合も常に高精度に、
かつ簡便に必要な間隔を維持する事を可能にする情報記
録媒体及びユニツト、更に情報記録及び／又は再生装置
と同方法が可能となった。
第１図は本発明の第１実施例における記録再生装置の概
略図、 第２図は同実施例における密閉容器の外観図、 第３図はプローブ電極駆動機構概略図、 第４図、第５図は同実施例における密閉容器の詳細を示
す断面図、 第６図は本発明の第３実施例における記録再生装置を説
明する断面図、 第７図は従来例の説明図である。 401……マイクロコンピユータ 405……電圧印加装置 406……プローブ電極 408……記録媒体 413……XY駆動機構 415……密閉容器 616,617……フレーム 419,421……ソケツト 609……摺動面 627……電極 800……バイモルフ梁 801……基台
略図、 第２図は同実施例における密閉容器の外観図、 第３図はプローブ電極駆動機構概略図、 第４図、第５図は同実施例における密閉容器の詳細を示
す断面図、 第６図は本発明の第３実施例における記録再生装置を説
明する断面図、 第７図は従来例の説明図である。 401……マイクロコンピユータ 405……電圧印加装置 406……プローブ電極 408……記録媒体 413……XY駆動機構 415……密閉容器 616,617……フレーム 419,421……ソケツト 609……摺動面 627……電極 800……バイモルフ梁 801……基台
Claims (9)
- 【請求項１】情報記録及び／又は再生用装置によって情
報が記録及び／又は再生されるべき情報記録媒体が装着
されるユニツトで、前記情報記録媒体に情報記録を行な
うため及び／又は前記情報記録媒体から情報再生を行な
うためのプローブと、該プローブを前記情報記録媒体に
対して対向配置させるように支持する支持体と、該支持
体に設けられ前記支持体と情報記録媒体との間隔を一定
に保持した状態で前記支持体と情報記録媒体との相対移
動を可能にする摺動面とを有することを特徴とする情報
記録ユニツト。 - 【請求項２】前記プローブが複数あることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の情報記録ユニツト。 - 【請求項３】前記ユニツトが情報記録及び／又は再生用
装置から着脱可能であることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の情報記録ユニツト。 - 【請求項４】更に前記情報記録媒体とプローブとを密閉
する密閉容器を有することを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の情報記録ユニツト。 - 【請求項５】情報記録媒体に対して情報記録及び／又は
再生を行なう装置で、前記情報記録媒体に情報記録を行
なうため及び／又は前記情報記録媒体から情報再生を行
なうためのプローブと、該プローブを前記情報記録媒体
に対して対向配置させるように支持する支持体と、該支
持体に設けられ前記支持体と情報記録媒体との間隔を一
定に保持した状態で前記支持体と情報記録媒体との相対
移動を可能にする摺動面とを有することを特徴とする情
報記録及び／又は再生装置。 - 【請求項６】情報記録媒体に対して情報記録及び／又は
再生を行なう方法で、情報記録及び／又は再生用プロー
ブを前記情報記録媒体に対して対向配置させるように支
持する支持体と前記情報記録媒体との間隔を一定に保持
した状態で前記支持体と情報記録媒体とを摺動面を摺動
させて相対移動させる過程と、前記プローブにより前記
情報記録媒体に情報記録を行なう過程及び／又は前記情
報記録媒体から情報再生を行なう過程とを有することを
特徴とする情報記録及び／又は再生方法。 - 【請求項７】前記情報記録媒体としてフッ素原子を含む
ポリイミド膜を用いることを特徴とする特許請求の範囲
第６項記載の情報記録及び／又は再生方法。 - 【請求項８】情報記録及び／又は再生装置に設けられた
情報記録及び／又は情報再生を行なうためのプローブに
よって情報が記録及び／又は再生されるべき情報記録媒
体で、前記プローブによって情報記録及び／又は情報再
生を行なわれる記録領域と、該記録領域と前記プローブ
を支持する支持体との間隔を一定に保持した状態で前記
支持体と記録領域との相対移動を可能にする摺動面とを
有することを特徴とする情報記録媒体。 - 【請求項９】フツ素原子を含むポリイミド膜より構成さ
れることを特徴とする特許請求の範囲第８項記載の情報
記録媒体。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2280696A JP2744346B2 (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 情報記録ユニットと情報記録及び／又は再生装置と情報記録及び／又は再生方法と情報記録媒体 |
| CA002053533A CA2053533C (en) | 1990-10-19 | 1991-10-16 | Information recording unit, apparatus and method for information recording/reproduction in conjunction with a scanning tunneling microscope |
| EP91117766A EP0481498B1 (en) | 1990-10-19 | 1991-10-17 | Information recording unit and apparatus and method for information recording/reproduction |
| ES91117766T ES2103764T3 (es) | 1990-10-19 | 1991-10-17 | Unidad de impresion de informacion y aparato y metodo para la impresion/reproduccion de informacion. |
| DK91117766.5T DK0481498T3 (da) | 1990-10-19 | 1991-10-17 | Informationsregistreringsenhed samt anordning og fremgangsmåde til informationsregistrering/-gengivelse |
| DE69127044T DE69127044T2 (de) | 1990-10-19 | 1991-10-17 | Informationsaufzeichnungseinheit und Gerät und Verfahren zur Informationsaufzeichnung/-wiedergabe |
| AT91117766T ATE156293T1 (de) | 1990-10-19 | 1991-10-17 | Informationsaufzeichnungseinheit und gerät und verfahren zur informationsaufzeichnung/- wiedergabe |
| US08/176,516 US5392275A (en) | 1990-10-19 | 1994-01-03 | Information recording unit and method for information recording/reproduction |
| GR970402335T GR3024687T3 (en) | 1990-10-19 | 1997-09-10 | Information recording unit and apparatus and method for information recording/reproduction |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2280696A JP2744346B2 (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 情報記録ユニットと情報記録及び／又は再生装置と情報記録及び／又は再生方法と情報記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04155635A JPH04155635A (ja) | 1992-05-28 |
| JP2744346B2 true JP2744346B2 (ja) | 1998-04-28 |
Family
ID=17628675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2280696A Expired - Fee Related JP2744346B2 (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 情報記録ユニットと情報記録及び／又は再生装置と情報記録及び／又は再生方法と情報記録媒体 |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5392275A (ja) |
| EP (1) | EP0481498B1 (ja) |
| JP (1) | JP2744346B2 (ja) |
| AT (1) | ATE156293T1 (ja) |
| CA (1) | CA2053533C (ja) |
| DE (1) | DE69127044T2 (ja) |
| DK (1) | DK0481498T3 (ja) |
| ES (1) | ES2103764T3 (ja) |
| GR (1) | GR3024687T3 (ja) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3135779B2 (ja) * | 1994-03-18 | 2001-02-19 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置 |
| US6339217B1 (en) * | 1995-07-28 | 2002-01-15 | General Nanotechnology Llc | Scanning probe microscope assembly and method for making spectrophotometric, near-field, and scanning probe measurements |
| US6337479B1 (en) | 1994-07-28 | 2002-01-08 | Victor B. Kley | Object inspection and/or modification system and method |
| US5751683A (en) * | 1995-07-24 | 1998-05-12 | General Nanotechnology, L.L.C. | Nanometer scale data storage device and associated positioning system |
| US6353219B1 (en) | 1994-07-28 | 2002-03-05 | Victor B. Kley | Object inspection and/or modification system and method |
| US6752008B1 (en) | 2001-03-08 | 2004-06-22 | General Nanotechnology Llc | Method and apparatus for scanning in scanning probe microscopy and presenting results |
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