JP2946132B2

JP2946132B2 - 情報処理装置及び情報処理用カセット

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Publication number: JP2946132B2
Application number: JP24022591A
Authority: JP
Inventors: 春紀河田; 宏松田; 芳浩柳沢; 有子森川
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1991-08-28
Filing date: 1991-08-28
Publication date: 1999-09-06
Anticipated expiration: 2014-09-06
Also published as: JPH0554443A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＳＴＭを応用した記
録、再生あるいは消去の処理を行う情報処理装置等に関
する。

【０００２】

【従来の技術】近年、情報化社会の発展につれ、大容量
メモリ化技術の開発が行われている。最近では走査型ト
ンネル電子顕微鏡（以後ＳＴＭと略す）を用いた記録再
生装置が登場してきた（例えば特開昭６１−８０６３６
号公報等）。かかるＳＴＭは、金属の探針（トンネルチ
ップ）を導電性物質間に電圧を加えて１ｎｍ程度の距離
まで近づけるとトンネル電流が流れることを利用してい
るものである。この電流は両者の距離変化に敏感であ
る。よって、トンネル電流を一定に保つようにプローブ
電極を走査することにより、実空間の全電子雲に関する
種々の情報をも読み取ることができる。この際面内方向
の分解能は０．１ｎｍ程度である。従って、ＳＴＭの原
理を応用すれば原子オーダー（サブナノメートル）での
高密度記録再生を行うことができる。

【０００３】また、トンネルチップのアレイを用い、マ
イクロディスク状の記録面を有する媒体に書き込まれた
情報をトンネル電流により読みだす提案がされている
（特開昭６２−２８１１３８）。これは、カンチレバー
上にトンネル電流を検出するためのチップを有するプロ
ーブにより記録再生を行うものである。

【０００４】他に、電気メモリー効果、例えばσ電子準
位を持つ群と共役π電子準位を有する群を併有する有機
化合物を用い、単分子膜あるいはその累積膜等の有機薄
膜を一対の電極間に配置させた状態でそれぞれ異なる２
つ以上の導電率を示す状態（図１２中のＯＮ状態、ＯＦ
Ｆ状態）へ遷移させることが可能なしきい値を越えた電
圧を印加することにより、可逆的に低抵抗状態（ＯＮ状
態）及び高抵抗状態（ＯＦＦ状態）へ遷移（スイッチン
グ）させることができる。また、それぞれの状態は電圧
を印加しなくとも保持（メモリー）しておくことができ
る記録媒体を用い、トンネル電流等の電流を検出するこ
とにより記録再生消去を行うという提案もされている。
（特開昭６３−１６１５５２号公報、特開昭６３−１６
１５５３号公報）さて、前述したように、かかるＳＴＭ
の手法においては、トンネルチップと導電性物質間の距
離（Ｚ）変化が重要な因子となる。従って、トンネル電
流を用いて情報の記録再生を行う装置においては、記録
媒体を装置に装着する際、ハンドリング時にトンネルチ
ップと記録面が接触するのを防ぐために、最初になるべ
く離した状態で行う。次に、記録媒体をＸＹ面内でプロ
ーブに対してその記録されるあるいは記録された領域に
適切な配置状態となるように、粗く位置調整を行う。こ
の後、トンネルチップと記録媒体の相対位置を粗く調整
するために、記録媒体及び／またはトンネルチップを接
近させる。以上のようにＸＹ面内及びＺ方向の記録媒体
配置に関して初期設定を行う。

【０００５】次に、記録媒体表面からのトンネル電流等
の電流が検出される領域まで、トンネルチップを、それ
と記録層表面間の距離（Ｚ間距離）を縮めるように調整
する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の操作においては以下に示すような問題点があった。．トンネルチップを記録層表面に接近させる場合、接
触により記録層あるいはトンネルチップの損傷を生じる
おそれがある。．複数のトンネルチップを用い、１つの記録媒体中に
形成された複数の区分された記録領域から記録再生を行
う場合、各々のトンネルチップを各々の区分された記録
領域に対応させる必要がある。即ち、複数のトンネルチ
ップを有するマルチプローブアレイ及び記録媒体をＸＹ
面内で速やかに制御された状態で配置させることが望ま
れている。

【０００７】すなわち、本発明の目的とするところは、
上述のような問題点を解消した情報の記録再生等を行え
る情報処理装置及び情報処理用カセットを提供すること
にある。

【０００８】

【課題を解決するための手段及び作用】上記目的を達成
するための本発明の構成は以下の通りである。

【０００９】第１に、記録媒体と探針間を流れる電流を
検出することにより記録再生を行う情報処理装置におい
て、情報処理装置内に該記録媒体を保持する記録媒体ホー
ルド部、複数の探針を有する基板、該複数の探針を有する基板上を摺動しかつ基板との間
隔を調整する間隔調整用突起、記録媒体ホールダーの形
状に適合する先端形状及び被ガイド部を有する記録媒
体、とを有することを特徴とする情報処理装置、第２
に、前記間隔調整用突起の摺動面上に有機薄膜が形成さ
れていることを特徴とする前記第１に記載の情報処理装
置、ここで、有機薄膜としては、ポリイミドからなるも
のが好ましく、また、かかるポリイミドがフッ素原子を
含むものが好ましい。

【００１０】第３に、開閉可能なフードを有した容器内
に、記録媒体と、該記録媒体を３次元に移動させる機構
と、該機構を駆動させる回路を有し、該記録媒体の電極
及び該回路に接続された接触電極を容器外部に設けたこ
とを特徴とする情報処理用カセット、第４に、記録媒体
と探針間を流れる電流を検出することにより記録再生を
行う情報処理装置において、複数の探針、前記第３に記載の情報処理用カセット装着時において
そのフードを開閉させる機構、該記録媒体ホールド部、とを有することを特徴とする
情報処理装置、第５に、記録媒体ホールド部が、ガイド
部及びホールダーを有することを特徴とする前記第１又
は第４に記載の情報処理装置、第６に、記録媒体ホール
ド部が、ガイド部及びホールダーを有し、かつ、ホール
ダーの形状が直線状であり、ガイド部の形状がホールダ
ーに垂直又は鋭角をなした直線状、あるいは、曲線状で
あることを特徴とする前記第１又は第４に記載の情報処
理装置、としている点にある。

【００１１】即ち、本発明においては記録媒体の基板上
の一部にＺ軸方向の間隔（探針たるトンネルチップと記
録媒体間の間隔）調整用の突起物（間隔調整用突起６）
を設け、トンネルチップ（図４中、４０１）の記録面へ
の接触を避けるようにしたものである。

【００１２】更に、記録媒体ホールド部（図２中、２０
１）を情報処理装置内に設け、記録媒体を粗く装置内の
定められた位置に配置させることを可能にしたものであ
る。図１中において、２はマルチプローブであり、トン
ネルチップ４０１をカンチレバー（図４中、４０２）上
に形成してプローブヘッド１とし、それを２次元に配列
させたものである。このマルチプローブ２はマイクロメ
カニクス技術により前述特開昭６２−２８１１３８号公
報に開示と同様な方法で形成させることができる。ま
た、これらプローブヘッド１はマルチプローブ面全面に
存在するのではなく、マルチプローブ面の一部に複数の
プローブヘッドが存在するものである。また、４は記録
層であり、基板３の一部に記録面を囲む閉空間を形成さ
せるように間隔調整用突起６がある。そしてＺ軸方向大
粗動機構（図３中、３０３）によりトンネルチップ４０
１を接近させる際に、マルチプローブ２面が記録媒体７
上に設けた間隔調整用突起６に接触するまで移動させる
ことによって、素早く記録再生を行う位置に平行配置さ
せることが可能になる。

【００１３】更に、マルチプローブ２面は間隔調整用突
起６で区切られる閉空間の４倍以上の面積を有していれ
ば、そのマルチプローブ面の大半がプローブヘッド１の
存在しない空きスペースであるため記録エリアがプロー
ブヘッド１が存在する領域よりもはるかに大きくても、
マルチプローブ２を２次元的に一定の間隔を保持したま
ま大きく容易に動かすことが可能になる。

【００１４】また、マルチプローブ２及び間隔調整用突
起６を平行配置させた状態においては、記録面は外気か
らほぼ遮断された状態に保持されるために、記録面を塵
の付着等による損傷から防止することが可能である。

【００１５】また、これら記録媒体上の間隔調整用突起
６は、記録媒体に用いる基板３をリソグラフィーにより
エッチング，パターニングすることにより、任意の高
さ，任意の幅，任意の位置に形成させることができる。

【００１６】更に記録層にＬＢ法で形成される有機膜を
用いる場合には、間隔調整用突起６がマルチプローブ２
と接触、摺動する面（摺動面８）に有機膜を形成するこ
とができるため、その有機膜が潤滑保護膜として働き、
マルチプローブ２と記録媒体７の相対的な移動が容易に
なる。そして、ポリイミド等の高分子膜を用いることに
より摺動面の耐久性を向上させることができる。また、
フッ素原子を含む有機材料からなる膜を用いることによ
り、摺動面の表面エネルギーが低減し、更に摺動性を向
上させることができる。

【００１７】尚、ＬＢ法によるポリイミド膜の形成につ
いては、ＰｏｌｙｍｅｒＪｏｕｒｎａｌ２０巻２６
９項（１９８８年）に示されている方法と同様な方法を
用いて形成させることが可能である。

【００１８】図２中において、２０１は記録媒体ホール
ド部であって、記録媒体７の先端形状と雌雄関係となる
ように形成されているホールダー２０３を有し、更に記
録媒体をＸ軸に平行に移動を行わせるためのガイド部２
０２を有している。このように、情報処理装置内に記録
媒体ホールド部を設けることによって、記録媒体を装置
に装着させる際に、ＸＹ面内においてミリメートル以下
のオーダーで容易に配置させることが可能となる。この
時、Ｘ軸及びＹ軸は各々記録媒体挿入方向に対し平行な
方向、垂直な方向とする。また、ホールダー２０３は記
録媒体の先端と雌雄関係をなすものならば如何なる形状
のものでも使用可能であるが、特に直線からなるホール
ダーにおいてはガイド部２０２との交点のなす角度が鋭
角であるものがホールド後の記録媒体の振動等による移
動を抑制できるため好ましい形態となる。また同様な理
由で曲面形状であるものも良好である。さらに、ガイド
部２０２が直線であれば、速やかに記録媒体をＸ軸方向
に移動させることが可能となる。

【００１９】記録媒体７は、ガイド部に対応する被ガイ
ド部を有している。そして、記録媒体７はその被ガイド
部がガイド部に接触しつつガイド部に沿って記録媒体先
端部がホールダーに適合するまで移動を行う。尚、記録
媒体の先端部位は、ここでは記録媒体が記録媒体ホール
ド部に装着される部位を示す。また、所望の記録媒体形
状に形成させるためには機械的な切削による形成、リソ
グラフィによる形成等が挙げられる。

【００２０】図３に、本発明の情報処理装置の構成を示
す。７は記録媒体である。３０１，３０２はＸＹステー
ジ等の駆動機構から構成される大粗動機構（ＸＹ）及び
その駆動回路である。３０３，３０４は記録媒体７をＺ
方向に大きく移動させるためのステッピングモーター等
から構成される駆動機構及びその駆動回路である。そし
て、大粗動機構３０１，３０２を用いることによって、
粗動機構及び微動機構を駆動させ記録再生を行うことが
できる初期位置に記録媒体７を配置させることができ
る。

【００２１】３１６はトンネル電流等の電流を検出する
トンネルチップまたはプローブ電極である。３０７，３
０８はプローブ電極をＺ方向に粗動駆動させるリニアア
クチュエータ及びその駆動系である。３０５，３０６は
ＸＹステージをそれぞれＸ，Ｙ方向に駆動するリニアア
クチュエータ及びその駆動系である。３１４は記録，再
生用のパルスまたはバイアス電圧印加回路である。３１
５はプローブ電極から記録媒体７中の記録層４を介して
電極へ流れる電流を検出する記録，再生用のトンネル電
流検出器である。３１３はＺ軸微動機構３１２を駆動す
るためのサーボ回路である。３１７はこれらの操作を制
御するコンピュータである。３１８は表示装置である。

【００２２】以下に、大粗動駆動機構、粗動機構、微動
機構の駆動範囲を示す。

【００２３】大粗動駆動機構（ＸＹ）；１μｍ〜数十ｍｍ大粗動駆動機構（Ｚ）；１μｍ〜数十ｍｍ粗動駆動機構（ＸＹ）；０．１μｍ〜数ｍｍ粗動駆動機構（Ｚ）；０．１μｍ〜数ｍｍ微動駆動機構（ＸＹ）；０．１ｎｍ〜１μｍ微動駆動機構（Ｚ）；０．１ｎｍ〜３μｍ図４はプローブヘッド２の構成例の断面図である。４０
１はトンネル電流を検出あるいは記録信号を記録層に対
して電圧を印加するトンネルチップである。４０２はト
ンネルチップをＺ方向に移動させるためのカンチレバー
であり、マイクロメカニクス技術により形成される。１
はトンネルチップをカンチレバー上に有するプローブヘ
ッドである。そして、静電力あるいは圧電体アクチュエ
ーターによりカンチレバーを変位させることができる。

【００２４】本図中においては静電力での場合を示して
あり、電極４０３に電圧印加を行うことにより、その静
電力によってカンチレバーを駆動することが可能であ
る。

【００２５】図５は図１の相対したマルチプローブ２及
び記録媒体の一部を斜め下方から見た図である。

【００２６】図６、７はこの間隔調整用突起６を含んだ
記録媒体７を容器内に外気からほぼ遮断された状態で封
入し、カセット化したものの斜視図及び断面図である。
カセット化することにより、情報処理装置に装着してい
ない場合においても外気にさらされる状態がなくなり、
記録媒体７の損傷、塵等の付着を防止することが可能と
なる。

【００２７】この情報処理用カセット６０１は、開閉可
能なフード６０２を有した容器内に、記録媒体７を配置
し、記録媒体の電極に接続された接触電極６０３をカセ
ットの外部に設けている。更に、記録媒体を初期位置に
配置させるための大粗動機構３０１，３０３及びそれら
の駆動機構３０２，３０４を内蔵している。

【００２８】また、このカセットを装着可能とする情報
処理装置を図８に示す。本図においてはカセット挿入部
分の断面図を示す。この情報処理装置は前記カセットが
装着可能であること、カセット装着時にフードを開ける
機構を有し、カセット内の記録媒体が情報処理装置内の
マルチプローブ２と位置合わせを行うことが可能な状態
になること、接触電極６０３によって情報処理装置と記
録媒体を電気的に接続し、トンネルチップ１と記録媒体
７の電極に電圧を印加し、トンネルチップ１に流れる電
流を検出し、記録，再生あるいは消去の情報処理を行う
ことができること以外は、前述の情報処理装置と構成は
同様である。

【００２９】また、本図面中ではマルチプローブ２にお
いてもカセット側の大粗動機構３０１，３０３の駆動範
囲を補うための大粗動機構（装置側、８０４及び８０
５）を示しているが、カセット側の大粗動駆動機構の駆
動範囲が十分であるものならばなくとも良い。

【００３０】

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。

【００３１】（実施例１）図３に示した情報処理装置を
用い、記録再生消去の実験を行った。

【００３２】まず、間隔調整用突起６が形成された記録
基板に、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル及び無
水ピロメリット酸からなるポリイミドをラングミュアー
ブロジェット法（ＬＢ法）により４層形成させ、これを
記録層４に用いた。この時ポリイミド記録層の厚さは約
１．６ｎｍであった。この記録媒体を図３に示すような
情報処理装置に装着した。

【００３３】マルチプローブ２は図１に示すような中央
の一部にプローブヘッドを有するものを用いた。プロー
ブヘッド以外の平らな部分はマルチプローブが記録エリ
ア間を一定間隔に保ちながら移動するときにＺ間隔調整
用の摺動部分として作用する。尚、装着する際にはプロ
ーブヘッドあるいはトンネルチップが記録層に接触する
のを極力避けるために数ｍｍ以上離れた位置で行った。
この状態から大粗動機構（ＸＹ）３０１を用いて記録媒
体ホールド部のガイド部及び記録媒体の被ガイド部を接
触させるまで近づけた。その後、ガイド部に沿って記録
媒体を移動させ、記録媒体先端をホールダーに装着させ
た（図９及び図１０参照）。

【００３４】次に、記録媒体を大粗動機構（Ｚ）３０３
を用いてマルチプローブアレイを相対的に接近させた。
接近の際にはトンネルチップ、電極間に電圧を印加せず
に、即ちトンネル電流の検出及び検出した結果に基づき
フィードバックをかけることなく接近させた。マルチプ
ローブ及び記録媒体の相対的な接近はマルチプローブが
記録媒体の一部に設けられた間隔調整用突起６に接触す
るまで行われる。接触と共に粗動機構２０４の動きを直
ちに停止し、その位置を保持する。この時Ｚ方向の間隔
は物理的な突起によって制御されるために、ミクロンオ
ーダーの一定間隔を保つ為の制御動作は不要である。ま
た図１においては間隔調整用突起６はマルチプローブを
装着した時に外気からの遮断性が向上するように突起物
を連続的に記録面を囲むように形成させているが、少な
くとも間隔の調整を行うことが可能であるものならばそ
の突起の形状、大きさはどんなものでも良い。

【００３５】次に、トンネルチップと記録媒体の電極と
の間に＋１．５Ｖの電圧を印加し、電流をモニターしな
がらトンネルチップと記録層表面との距離（Ｚ）を調整
した。この時、トンネルチップと記録層表面との距離Ｚ
を制御するための電流Ｉｐを１０^-10 Ａ≧Ｉｐ≧１０
^-11 Ａになるように設定して情報の記録を行った。かか
る情報の記録は、トンネルチップを＋側、基板電極を−
側にして、ポリイミドＬＢ膜４層が低抵抗状態（ＯＮ状
態）に変化するしきい値電圧Ｖ_thＯＮ以上の矩形パルス
電圧（図１１）を加えて行った。その結果、記録ビット
においては１０ｎＡ程度のプローブ電流が流れ、ＯＮ状
態となっていることが示された。

【００３６】尚、プローブ電圧を電気メモリ材料がＯＮ
状態からＯＦＦ状態に変化するしきい値電圧Ｖ_thＯＦＦ
以上の１０Ｖに設定し、再び記録位置をトレースした結
果、全ての記録状態が消去されＯＦＦ状態に遷移したこ
とが確認された。

【００３７】また、本実施例において、記録層はＬＢ法
により形成したが、蒸着法、吸着法等の無機、有機記録
材料が形成できる方法ならばいずれを用いても良い。

【００３８】次に、記録媒体及びマルチプローブをリニ
アアクチュエータによりＸＹステージを駆動させること
により相対的に２次元的に大きく移動させた。この時カ
ンチレバーをトンネル電流等の電流を検知できない領域
まで上方に移動させた。プローブヘッドはマルチプロー
ブ面の一部にしか存在していないためにプローブヘッド
或いはトンネルチップは記録媒体に接触することなく、
記録面の任意の場所にプローブヘッドを配置させること
が可能である、ということを確認した。

【００３９】次に、記録媒体７及びマルチプローブ２に
おいて、３０５，３０７のリニアアクチュエータにより
マルチプローブ２を駆動させることにより、両者間距離
を相対的に大きく２次元的に移動させた。この時カンチ
レバー４０２をトンネル電流等の電流を検知できない領
域まで上方に移動させた。プローブヘッド１はマルチプ
ローブ面の一部にしか存在していないため、プローブヘ
ッド１あるいはトンネルチップ４０１は記録媒体に接触
することなく、記録面の任意の場所にプローブヘッド１
を配置させることが可能であるということが判った。

【００４０】（実施例２）実施例１で用いたポリイミド
の代わりに２，２’−ビス（４，４’−ジアミノジフェ
ニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロ
パン及び無水ピロメリット酸からなるポリイミドを、ラ
ングミュアーブロジェット法（ＬＢ法）により４層形成
させ、これを記録層に用い、同様な実験を行った。実施
例１と同様な結果を得た。

【００４１】（実施例３）図３に示した情報処理装置を
用い、記録再生消去の実験を行った。

【００４２】まず間隔調整用突起６が形成された記録基
板に４，４’−ジアミノジフェニルエーテル及び無水ピ
ロメリット酸からなるポリイミドをラングミュアーブロ
ジェット法（ＬＢ法）により４層形成させ、これを記録
層４に用いた。この時ポリイミド記録層の厚さは約１．
６ｎｍであった。この記録媒体を図７に示すカセット内
に配置した。

【００４３】この情報処理用カセットを情報処理装置に
装着した。装着時にはカセットのフードの一部に設けら
れたフックを装置のフックに引っかけることによってフ
ードを開けることが可能になっている。また、カセット
を抜き出すさいにはカセット内に設けられたバネ等の復
元機構によりフードを閉めることができるものである。

【００４４】次に、記録媒体側及び装置側の大粗動機構
（３０１，３０３，８０４，８０５）を用い記録媒体を
実施例１と同様な手順で装置に初期配置させた。装着
後、実施例１と同様に記録再生実験を行い、同様な結果
を得た。

【００４５】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、．記録媒体を装置に装着、初期位置配置することが容
易になった。．Ｚ間隔調整用突起を有するために、マルチプローブ
２を記録エリア間で大きく移動させる際に、ミクロンオ
ーダーで一定間隔を保ちながら容易に行うことが可能に
なった。．記録再生時においては外気に触れる領域が少なくな
ったので塵芥等による記録媒体の劣化等が軽減された。．記録媒体の摺動面に有機薄膜を形成させた場合、摺
動面の耐久性を向上させるとともに摺動性を向上させる
ことができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るマルチプローブと記録媒体との構
成を示す断面図である。

【図２】本発明に係る記録媒体ホールド部及び記録媒体
の関係を示す断面図である。

【図３】本発明に係る情報処理装置のブロック構成図で
ある。

【図４】本発明に係るマルチプローブの構成を示す断面
図である。

【図５】マルチプローブ及び記録媒体の一部を下方より
見た斜視図である。

【図６】本発明に係る情報処理用カセットの外観斜視図
である。

【図７】本発明に係る情報処理用カセットの断面図であ
る。

【図８】図６及び図７に示すカセットを情報処理装置に
装着した状態を示す断面図である。

【図９】記録媒体ホールド部における記録媒体の移動を
示す図である。

【図１０】トンネルチップへ記録媒体を接近させる際の
移動工程を示した図である。

【図１１】トンネルチップ及び基板電極間に印加する矩
形パルス電圧を示す図である。

【図１２】電気メモリー効果に係る２つの導電率を示す
ＯＮ状態とＯＦＦ状態の電流−電圧特性図である。

【符号の説明】

１トンネルチップ２マルチプローブ３基板４記録層５電極６間隔調整用突起７記録媒体８摺動面２０１記録媒体ホールド部２０２ガイド部２０３ホールダー３０１大粗動機構（ＸＹ）３０２大粗動機構（ＸＹ）駆動回路３０３大粗動機構（Ｚ）３０４大粗動機構（Ｚ）駆動回路３０５粗動機構（ＸＹ）３０６粗動機構（ＸＹ）駆動回路３０７粗動機構（Ｚ）３０８粗動機構（Ｚ）駆動回路３０９微動機構（ＸＹ）３１０微動機構（ＸＹ）駆動回路３１１微動機構（Ｚ）３１２微動機構（Ｚ）駆動回路３１３サーボ回路３１４パルス、バイアス電圧印加回路３１５トンネル電流検出回路３１６トンネルチップまたはプローブ電極３１７マイクロコンピュータ３１８表示装置４０１トンネルチップ４０２カンチレバー４０３電極６０１カセット６０２フード６０３接触電極８０３情報処理装置８０４大粗動駆動機構（装置側、Ｚ）８０６大粗動駆動機構（装置側、ＸＹ）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者森川有子東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (56)参考文献特開平４−155635（ＪＰ，Ａ) 特開平４−281237（ＪＰ，Ａ) 特開平４−281238（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G11B 9/00

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】記録媒体と探針間を流れる電流を検出す
ることにより記録再生を行う情報処理装置において、情報処理装置内に該記録媒体を保持する記録媒体ホー
ルド部、複数の探針を有する基板、該複数の探針を有する基板上を摺動しかつ基板との間
隔を調整する間隔調整用突起、記録媒体ホールダーの形
状に適合する先端形状及び被ガイド部を有する記録媒
体、とを有することを特徴とする情報処理装置。
【請求項２】前記間隔調整用突起の摺動面上に有機薄
膜が形成されていることを特徴とする請求項１記載の情
報処理装置。
【請求項３】前記間隔調整用突起の摺動面上にポリイ
ミドからなる有機薄膜が形成されていることを特徴とす
る請求項１記載の情報処理装置。
【請求項４】前記間隔調整用突起の摺動面上にフッ素
原子を含むポリイミドからなる有機薄膜が形成されてい
ることを特徴とする請求項１記載の情報処理装置。
【請求項５】開閉可能なフードを有した容器内に、記
録媒体と、該記録媒体を３次元に移動させる機構と、該
機構を駆動させる回路を有し、該記録媒体の電極及び該
回路に接続された接触電極を容器外部に設けたことを特
徴とする情報処理用カセット。
【請求項６】記録媒体と探針間を流れる電流を検出す
ることにより記録再生を行う情報処理装置において、複数の探針、請求項５記載の情報処理用カセット装着時においてそ
のフードを開閉させる機構、該記録媒体ホールド部、とを有することを特徴とする
情報処理装置。
【請求項７】記録媒体ホールド部がガイド部及びホー
ルダーを有することを特徴とする請求項１又は６記載の
情報処理装置。
【請求項８】ガイド部の形状が直線状であることを特
徴とする請求項７記載の情報処理装置。
【請求項９】ホールダーの形状が直線状からなり、ガ
イド部及びホールダーの交点の角度が鋭角であることを
特徴とする請求項７記載の情報処理装置。
【請求項１０】ホールダーの形状が曲線状からなるこ
とを特徴とする請求項７記載の情報処理装置。