JP4695362B2 - プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 - Google Patents
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Description
図1は第1の実施例に係るプラズマ処理装置の例として、UHF帯の電磁波を用いたプラズマエッチング装置を説明する図である。
図5は、第2の実施例に係るプラズマ処理装置の例として、HF帯の電磁波(13.56MHz)を用いたプラズマエッチング装置を説明する図である。
図7,8は、反応室内壁の部品が磨耗した場合における負荷電圧反射係数の変化の例を説明する図である。ウエハのエッチングを長期間にわたって実施する場合、反応室内壁の部品が磨耗して処理特性が急激に変化する。この変化をその直前に警告する例を説明する。
次いで、反応室側部の内壁部品を新品に交換後、反応室内の全掃を実施した。次に、別のプロセスについても調べるため、エッチングガスをCF4ならびにSF6の混合ガスとし、図5に示す処理装置を用いて連続処理を開始し、4500枚まで処理を進めた。この場合には、4500枚までの処理の間に、エッチングウエハをのせる試料台に流れる直流には大きな変化は無かった。しかし、負荷電圧反射係数が、図8に示すように、チャートを時計回りに変化していく様子がみられた。時計方向のシフトはプラズマ発生用の高周波の回路に対して静電容量が増加したことを示しており、これは、反応室1上部の誘電体部品表面が削れていく方向を示している。そこで、4500枚で処理を中止して、反応室の内部を注意深くしらべたところ、フッ素(F)濃度の高いプラズマを連続したため、反応室上面の石英部品の削れが進んでいることがわかった。
次に、同一反応室における反応室内部品の組付け状態または部品個体の寸法等が微妙に異なる場合にプラズマ状態の一定化を行う例、及びこれより複数の反応室間の特性差を低減する例を図1,2,3を用いて説明する。
2 誘電体真空窓
3 ガス放出板
4 ウエハ
5 試料台
6 排気口
7 磁場コイル
8 絶縁材質
9 プラズマ
10 アンテナ
11 整合器
12 プラズマ発生用電源
13 バイアス発生用電源
18 入力電圧反射係数チャートの原点
19 負荷電圧反射係数チャート上の1枚目処理時の位置
20 反時計方向に10°だけシフトした位置
21 整合動作開始点
22 不安定領域
23 導電性のガス放出板
Claims (4)
- 内部側壁を絶縁処理した反応容器と、
反応容器内に配置した試料台、アンテナを備え、該アンテナにプラズマ発生用電源から高周波電力を供給して反応容器内に導入した処理ガスをプラズマ化して試料台上に載置した試料にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、
プラズマ発生用電源とアンテナを含む負荷回路との間にインピーダンス整合をとるための整合器を備え、
該整合器は、負荷電圧反射係数を測定するセンサを備え、
測定した負荷電圧反射係数のスミスチャート上における位置のチャート内側方向に向かう変化をもとに反応室側面の内壁部の絶縁材質による保護コーティングの磨耗を判定し、時計方向へのシフトをもとに反応室上部の誘電体部品表面の削れを判定することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 内部側壁を絶縁処理した反応容器と、
反応容器内に配置した試料台、アンテナを備え、該アンテナにプラズマ発生用電源から高周波電力を供給して反応容器内に導入した処理ガスをプラズマ化して試料台上に載置した試料にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、
プラズマ発生用電源とアンテナを含む負荷回路との間にインピーダンス整合をとるための整合器を備え、
該整合器は、負荷電圧反射係数を測定するセンサを備え、
測定した負荷電圧反射係数のスミスチャート上における位置の反時計方向へのシフトをもとに反応室上部の誘電体部品表面に堆積した絶縁性の被膜の厚みの増加を判定することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 内部側壁を絶縁処理した反応容器と、
反応容器内に配置した試料台、アンテナを備え、該アンテナにプラズマ発生用電源から高周波電力を供給して反応容器内に導入した処理ガスをプラズマ化して試料台上に載置した試料にプラズマ処理を施すプラズマ処理方法において、
プラズマ発生用電源とアンテナを含む負荷回路との間にインピーダンス整合をとるための整合器を備え、
該整合器は、負荷電圧反射係数を測定するセンサを備え、
測定した負荷電圧反射係数のスミスチャート上における位置のチャート内側方向に向かう変化をもとに反応室側面の内壁部の絶縁材質による保護コーティングの磨耗を判定し、時計方向へのシフトをもとに反応室上部の誘電体部品表面の削れを判定することを特徴とするプラズマ処理方法。 - 内部側壁を絶縁処理した反応容器と、
反応容器内に配置した試料台、アンテナを備え、該アンテナにプラズマ発生用電源から高周波電力を供給して反応容器内に導入した処理ガスをプラズマ化して試料台上に載置した試料にプラズマ処理を施すプラズマ処理方法において、
プラズマ発生用電源とアンテナを含む負荷回路との間にインピーダンス整合をとるための整合器を備え、
該整合器は、負荷電圧反射係数を測定するセンサを備え、
測定した負荷電圧反射係数のスミスチャート上における位置の反時計方向へのシフトをもとに反応室上部の誘電体部品表面に堆積した絶縁性の被膜の厚みの増加を判定することを特徴とするプラズマ処理方法。
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