JP4693397B2 - 薄膜バルク音響波共振子およびフィルタならびに通信装置 - Google Patents
薄膜バルク音響波共振子およびフィルタならびに通信装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4693397B2 JP4693397B2 JP2004342331A JP2004342331A JP4693397B2 JP 4693397 B2 JP4693397 B2 JP 4693397B2 JP 2004342331 A JP2004342331 A JP 2004342331A JP 2004342331 A JP2004342331 A JP 2004342331A JP 4693397 B2 JP4693397 B2 JP 4693397B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- acoustic wave
- metal material
- bulk acoustic
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
本発明の薄膜バルク音響波共振子の具体例について以下に説明する。ここでは、2GHzで共振する薄膜バルク音響波共振子を作製した。
実施例1で作製した薄膜バルク音響波共振子の上部電極13上に、上部アイソレート層18および保護層21の形成を行なった。まず、実施例1の薄膜バルク音響波共振子を形成した基板11上に、共振部の上部電極13上を覆うようにNiおよび発泡剤からなるスラリーを塗布し、熱処理を行なって発泡金属材料からなる厚さ50μmの膜を形成した。その後、この膜上にフォトレジストを塗布し、フォトリソグラフィによってフォトレジストパターンを形成した後、希硝酸によるウエットエッチングにより上部アイソレート層18のパターニングを行なった。この際、発泡金属材料からなる膜の上部電極13上の一部を同時にエッチング処理し、上部アイソレート層18に図3に示すような形状の支持部20を形成するための溝部を作製した。
12・・・下部電極
13・・・上部電極
14・・・圧電体薄膜
15・・・ワイヤボンド
16・・・パッケージ
17・・・下部アイソレート層
18・・・上部アイソレート層
19・・・貫通孔
20・・・支持部
21・・・保護層
Claims (8)
- 基板と、
該基板上に配置され、圧電体薄膜および該圧電体薄膜に上下から電圧を印加するための上部電極および下部電極からなる共振部と、
前記基板および前記共振部間に配置され、両者を音響的にアイソレートするための、発泡金属材料または多孔質金属材料からなる下部アイソレート層と、を具備し、
前記下部アイソレート層は、前記発泡金属材料または前記多孔質金属材料よりも高強度の材料からなり、当該下部アイソレート層の下面から上面にかけて形成される支持部を有し、
該支持部は、前記共振部の外部に形成されている、薄膜バルク音響波共振子。 - 基板と、
該基板上に配置され、圧電体薄膜および該圧電体薄膜に上下から電圧を印加するための上部電極および下部電極からなる共振部と、
該共振部上に配置され、発泡金属材料もしくは多孔質金属材料からなる上部アイソレート層と、を具備し、
前記上部アイソレート層は、前記発泡金属材料または前記多孔質金属材料よりも高強度の材料からなり、当該上部アイソレート層の下面から上面にかけて形成される支持部を有し、
該支持部は、前記共振部の外部に形成されている、薄膜バルク音響波共振子。 - 基板と、
該基板の上に配置される、発泡金属材料または多孔質金属材料からなる下部アイソレート層と、
前記下部アイソレート層の上に一部が重なって配置され、且つ一部が前記下部アイソレート層の上を介さずに前記基板の上に配置される下部電極と、
前記下部アイソレート層および前記下部電極が重なっている部位の上に、少なくとも一部が重なって配置される圧電体薄膜と、
前記下部アイソレート層、前記下部電極、および前記圧電体薄膜が重なっている部位の上に、一部が重なって配置され、且つ一部が前記下部アイソレート層の上を介さずに前記基板の上に配置される上部電極と、を具備し、
前記圧電体薄膜と、該圧電体薄膜に上下から電圧を印加する上部電極および下部電極とが共振部として機能し、前記下部アイソレート層が前記基板と前記共振部とを音響的にアイソレートする、薄膜バルク音響波共振子。 - 前記下部アイソレート層は、前記発泡金属材料または前記多孔質金属材料よりも高強度の材料からなり、当該下部アイソレート層の下面から上面にかけて形成される支持部を有し、
前記支持部は、前記共振部の外部に形成されている、請求項3に記載の薄膜バルク音響波共振子。 - 前記下部アイソレート層または前記上部アイソレート層は、電極として機能する、請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の薄膜バルク音響波共振子。
- 前記下部アイソレート層または前記上部アイソレート層は、前記共振部と反対側の表面に前記共振部で発生する音響波の波長よりも大きい凹凸を有している、請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の薄膜バルク音響波共振子。
- 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の薄膜バルク音響波共振子をフィルタを構成する共振子として用いる、フィルタ。
- 請求項7記載のフィルタを有する、受信回路および送信回路の少なくとも一方を備える、通信装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004342331A JP4693397B2 (ja) | 2004-11-26 | 2004-11-26 | 薄膜バルク音響波共振子およびフィルタならびに通信装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004342331A JP4693397B2 (ja) | 2004-11-26 | 2004-11-26 | 薄膜バルク音響波共振子およびフィルタならびに通信装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006157259A JP2006157259A (ja) | 2006-06-15 |
JP4693397B2 true JP4693397B2 (ja) | 2011-06-01 |
Family
ID=36635045
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004342331A Expired - Fee Related JP4693397B2 (ja) | 2004-11-26 | 2004-11-26 | 薄膜バルク音響波共振子およびフィルタならびに通信装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4693397B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4024741B2 (ja) | 2003-10-20 | 2007-12-19 | 富士通メディアデバイス株式会社 | 圧電薄膜共振子及びフィルタ |
DE102005027715B4 (de) * | 2005-06-15 | 2020-01-02 | Snaptrack, Inc. | Elektroakustischer Resonator, Filter, Duplexer und Verfahren zur Bestimmung von Parametern eines Resonators |
JP5695462B2 (ja) * | 2011-03-25 | 2015-04-08 | 日本碍子株式会社 | 電子部品の製造方法 |
DE102013108753A1 (de) * | 2013-08-13 | 2015-02-19 | Epcos Ag | Vielschichtbauelement mit einer Außenkontaktierung und Verfahren zur Herstellung eines Vielschichtbauelements mit einer Außenkontaktierung |
JP2017046225A (ja) * | 2015-08-27 | 2017-03-02 | 株式会社ディスコ | Bawデバイス及びbawデバイスの製造方法 |
JP7293898B2 (ja) * | 2019-06-18 | 2023-06-20 | Tdk株式会社 | 圧電素子 |
CN110868179A (zh) * | 2019-10-11 | 2020-03-06 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 一种谐振器封装系统 |
CN111049490B (zh) * | 2019-12-31 | 2020-09-15 | 诺思(天津)微系统有限责任公司 | 带电学隔离层的体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19931297A1 (de) * | 1999-07-07 | 2001-01-11 | Philips Corp Intellectual Pty | Volumenwellen-Filter |
US6509813B2 (en) * | 2001-01-16 | 2003-01-21 | Nokia Mobile Phones Ltd. | Bulk acoustic wave resonator with a conductive mirror |
JP3633925B2 (ja) * | 2002-01-28 | 2005-03-30 | 松下電器産業株式会社 | 超音波送受信器および超音波流量計 |
EP1540819A1 (en) * | 2002-09-12 | 2005-06-15 | Philips Intellectual Property & Standards GmbH | Bulk acoustic waver resonator with means for suppression of pass-band ripple in bulk acoustic wave filters |
-
2004
- 2004-11-26 JP JP2004342331A patent/JP4693397B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006157259A (ja) | 2006-06-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7378922B2 (en) | Piezoelectric filter | |
US10404231B2 (en) | Acoustic resonator device with an electrically-isolated layer of high-acoustic-impedance material interposed therein | |
CN1383610B (zh) | 包括谐振器的可调谐滤波器装置 | |
US10284173B2 (en) | Acoustic resonator device with at least one air-ring and frame | |
JP2006246451A (ja) | 薄膜バルク音響波共振子およびフィルタならびに通信装置 | |
US7728483B2 (en) | Lamb wave type frequency device and method thereof | |
US9112134B2 (en) | Resonator, frequency filter, duplexer, electronic device, and method of manufacturing resonator | |
JP5792554B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
US7224105B2 (en) | Piezoelectric element, composite piezoelectric element, and filter, duplexer and communication equipment using the same | |
WO2021253757A1 (zh) | 一种薄膜声波滤波器及其制造方法 | |
CN108631742B (zh) | 声波谐振器及其制造方法 | |
US20050269904A1 (en) | Thin film bulk acoustic resonator and method of manufacturing the same | |
JP2005536958A (ja) | 気密のカプセル化部材を備えた共振器および素子 | |
CN101510768A (zh) | 膜体声波谐振器、滤波器、通信模块和通信设备 | |
JP4836748B2 (ja) | バルク音響波共振子及びフィルタ装置並びに通信装置 | |
JP4884134B2 (ja) | 音響波共振子およびフィルタならびに通信装置 | |
WO2022056943A1 (zh) | 一种声学谐振器组件及滤波器 | |
WO2020134665A1 (zh) | 控制电路与声波滤波器的集成方法和集成结构 | |
JP4693397B2 (ja) | 薄膜バルク音響波共振子およびフィルタならびに通信装置 | |
JP5207902B2 (ja) | バルク音響波共振子および電子部品 | |
JP4854501B2 (ja) | バルク音響波共振子及びフィルタ並びに通信装置 | |
JP4663401B2 (ja) | 薄膜バルク音響波共振子およびフィルタならびに通信装置 | |
JP2006340007A (ja) | 薄膜バルク音響波共振子およびフィルタならびに通信装置 | |
JP2008005443A (ja) | 音響波共振子およびフィルタならびに通信装置 | |
JP5185004B2 (ja) | 弾性境界波デバイスおよびその製造方法、デュープレクサの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070912 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100608 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100809 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110125 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110222 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140304 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |