JP4690093B2 - 焦点検出装置 - Google Patents
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図12は、顕微鏡から切り出したシングルスポット方式による焦点検出装置の光学系を示したものである。この光学系は、光源101、コリメートレンズ102、シャッタ103、ハーフミラー104、ダイクロイックミラー105、対物レンズ106、集光レンズ107、及び光検出器108を備えて構成されている。
ダイクロイックミラー105は、赤外領域の光線を反射させる一方で可視域の光線を透過させる性質を有している。従って、対物レンズ106は、観察光学系の一部を兼ねている。
光源101から出射されてコリメートレンズ102によりコリメートされて平行光となった光線のうち、光束の半分がシャッタ103で遮光される。シャッタ103によって遮光されなかった残りの光線は、ハーフミラー104を透過しダイクロイックミラー105で反射され、光軸に対して向かって右側の光路を通り、対物レンズ106を透過して標本100の標本面にスポット状で投影される。
これに対し、標本面と光検出器108の受光面との共役な位置関係が崩れた場合、つまり標本面と対物レンズ106とのWDが変化した場合について、図13を用いて説明する。なお、図13においては、対物レンズ106と集光レンズ107とを合成した1枚の合成レンズ系120を示して説明する。
なお、以降の説明においては、特許文献1に開示されている技術に係る合焦検出の方式をマルチスポット方式と呼ぶこととし、特許文献2や特許文献3に開示されている技術に係る合焦検出の方式をスリット投影方式と呼ぶこととする。
図14は、対物レンズと標本との位置関係を示している。なお、ここでは、Z軸ステージ111に載置されている標本100の標本面に形成されている段差の上側の表面を観察しようとしている場合を想定する。
しかしながら、シングルスポット方式による焦点検出では、焦点の検出領域が常に固定された1点であるため、標本100の位置を面内で移動させて例えば図14の(b)の状態としてしまうと、段差100aの下側の表面が焦点検出の領域になってしまう。この場合には、本来観察したい部分である、段差100aの上側の表面がデフォーカスしてしまうことになる。
一方、前述したマルチスポット方式やスリット投影方式による焦点検出は、上述したシングルスポット方式の焦点検出の問題を解決するために導入されたものであり、合焦位置が標本面上に投影された範囲内の段差の高さの平均の位置になるので、合焦位置の不安定性を解消することができる。
図15は、標本100に投影されるマルチスポット200aと標本100の段差100aの間隔との関係の一例を示している。この図15の場合のように標本100の段差100aのピッチがスポット間隔と一致してしまっている場合、あるいは、このピッチとスポット間隔とがその整数倍の関係となってしまっている場合には、シングルスポット方式の場合と同様に、標本100の位置を面内で移動させたときにスポット200aが段差100aの境目に差し掛かると、図14と同様の振舞いが生じ、合焦位置が変化して所望の観察位置がデフォーカスしてしまう結果、本来観察したい面が観察できなくなる。
拡散板11は、光を面内の少なくとも1つの一次元方向にのみ拡散し、且つ当該拡散における拡散角が制御されている拡散素子であり、本実施例においては、回折次数に制限を設けると共に回折光の分離ができない程に回折角を十分に小さく設計した回折格子である。
標本100の標本面と光検出器15の受光面とが共役な位置関係にある場合には、標本面からの反射光は受光面の境界線上にスリット状に集光し、図3(b)に示すような像が結像する。
更に、本実施例においては、光検出器15には、光軸を含む面で受光面が四分割されており、分割されているそれぞれの受光面について受光量に応じた信号出力を得ることができるものを使用する。
標本100の標本面と光検出器15の受光面が共役な位置関係にある場合には、標本面からの反射光は受光面の境界線上に十字のスリット状で集光し、図8(b)に示すような像が結像する。
外部制御機器30は、図10に示すように、差分回路部23の選択制御端子22a及びステージZ軸制御回路110の外部制御端子110aに接続される。また、外部制御機器30に備えられている不図示の記憶部に、合焦判定近傍のフォーカスエラー信号の傾斜量(当該信号の単位時間当たりの変化の度合い)の許容範囲を予め登録しておく。
S103では、光検出器15の分割されている受光面のうちの領域B及び領域C(図8参照)から出力される信号が各々差分回路109へ入力されるように選択回路22を切り替える信号を選択制御端子22aへ出力する処理が行われる。
このS110の処理において、変数nの値が「0」と判別されたときには、光検出器15の分割されている受光面のうちの領域B及び領域Cから出力される信号に基づいた合焦検出は不適正なものであったとみなし、S111において、光検出器15の分割されている受光面のうちの領域B及び領域A(図8参照)から出力される信号が各々差分回路109へ入力されるように選択回路22を切り替える信号を選択制御端子22aへ出力する処理が行われ、その後はS114に処理を進める。
以上の処理が行われることにより、光検出器15の分割されている受光面の各々から出力される信号のうちから差分回路109に入力する信号が自動的に選択されるようになる。
例えば、前述した実施例1及び実施例2で共通の構成(図1)において、リレーレンズ系13で結像する中間像の位置にスリットを設けて、標本100の標本面上に投影するスリット光の投影幅を制限するようにしてもよい。このようにすることにより、焦点検出範囲を任意に設定することができると共に、標本100の裏面から反射された、ノイズとなる光を排除することができる。
12 投光側シャッタ
13 リレーレンズ系
14 受光側シャッタ
15 光検出器
20a、20c 入射光束
20b、20d 出射光束
21 遮光部
22 選択回路
22a 選択制御端子
23 差分回路部
30 外部制御機器
100 標本
100a 段差
101 光源
102 コリメートレンズ
103 シャッタ
104 ハーフミラー
105 ダイクロイックミラー
106 対物レンズ
107 集光レンズ
108 光検出器
109 差分回路
110 ステージZ軸制御回路
110a 外部制御端子
111 Z軸ステージ
120 合成レンズ系
200a スポット
200b スリット
200c ライン投影光
Claims (4)
- 光源から発せられた光を面内の2つの一次元方向にのみ拡散し、且つ当該拡散における拡散角が制御されている拡散素子と、
平行光を前記拡散素子に入射させたときに当該拡散素子から出射する光の光束を集光させる集光光学系であって観察光学系の一部を兼ねている当該集光光学系と、
前記集光光学系の集光位置に受光面が配置されている光検出器であって当該集光光学系によって集光させた前記光束が標本面上で反射した後に当該集光光学系を戻って当該受光面へ照射される当該光検出器と、
前記光検出器から出力される信号に基づいて前記標本面と前記集光光学系との間の距離を制御する距離制御部と、
前記拡散素子に入射させる光若しくは当該拡散素子から出射した光の光束のうちの四分の三の領域を遮光する遮光部材と、
を有し、
前記光検出器は、前記受光面へ照射される前記光束の光軸を含む面で当該受光面が4つの領域に分割されており、当該領域に照射される光の光量に応じた信号を当該領域毎に出力し、
前記光検出器から出力される前記領域毎の信号から2つの信号を選択する選択部を更に有し、
前記距離制御部は、前記選択部によって選択された2つの信号の差が小さくなるように前記距離を制御して、前記光検出器の受光面へ照射される前記光束が当該受光面上での所定位置に結像するようにする、
ことを特徴とする焦点検出装置。 - 前記距離制御部による制御の結果として得られた前記距離が焦点位置の検出結果として適正なものであるか否かを判定する判定部と、
前記判定部が不適正との判定を下したときに、前記選択部を制御して当該選択部による前記信号の選択を切り替える選択制御部と、
を更に有することを特徴とする請求項1に記載の焦点検出装置。 - 前記判定部は、前記距離制御部による前記制御に応じて変化する、前記選択部によって選択されている2つの信号の差の変化の度合いに基づいて前記判定を行うことを特徴とする請求項2に記載の焦点検出装置。
- 前記判定部は、前記選択部によって選択されている2つの信号の差の変化の度合いが予め設定されているものよりも少ない場合に、不適正との判定を下すことを特徴とする請求項3に記載の焦点検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005108828A JP4690093B2 (ja) | 2005-04-05 | 2005-04-05 | 焦点検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005108828A JP4690093B2 (ja) | 2005-04-05 | 2005-04-05 | 焦点検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006285154A JP2006285154A (ja) | 2006-10-19 |
JP4690093B2 true JP4690093B2 (ja) | 2011-06-01 |
Family
ID=37407120
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005108828A Expired - Fee Related JP4690093B2 (ja) | 2005-04-05 | 2005-04-05 | 焦点検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4690093B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI411860B (zh) * | 2009-12-09 | 2013-10-11 | Ind Tech Res Inst | 聚焦定位判定方法 |
JP6252876B2 (ja) * | 2016-07-01 | 2017-12-27 | 株式会社ニコン | 顕微鏡の調整方法及び顕微鏡 |
JP6579403B2 (ja) * | 2017-12-01 | 2019-09-25 | 株式会社ニコン | 顕微鏡及び顕微鏡の調整方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56111877A (en) * | 1980-02-08 | 1981-09-03 | Minolta Camera Kk | Optical test apparatus |
JPH10161195A (ja) * | 1996-12-02 | 1998-06-19 | Sony Corp | オートフォーカス方法及びオートフォーカス装置 |
JP2001296469A (ja) * | 2000-04-13 | 2001-10-26 | Olympus Optical Co Ltd | 焦点検出装置 |
-
2005
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2001296469A (ja) * | 2000-04-13 | 2001-10-26 | Olympus Optical Co Ltd | 焦点検出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006285154A (ja) | 2006-10-19 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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