JP4688850B2 - 構造体およびこれを用いた装置 - Google Patents
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Description
また、第1電極部1は、図8に示すように、第1電極部1の流体の流れの上流側における外側面において凹凸(図8では横方向に凹凸が交互に形成されている)により突出領域9を形成しても構わない。例えば、第1電極部1用のセラミックグリーンシートの流体の流れの上流側となる側面を打抜き金型等の打抜き手段により貫通孔を形成した後、この貫通孔を切断して凹凸を形成し、他のセラミックグリーンシートと積層することにより、上述のような第1電極部1を形成することができる。
また、突出部材11は、Cu,Cu−W,Al等の金属部材を取着することで、構造体の流れの上流側の外側面に被着したものであっても構わない。なお、このような金属部材からなる突出部材11を第1電極部1の外側面に被着するには、以下の作製方法が採用可能である。即ち第1電極部1の側面に接合用の金属層を形成しておき、Ag−Cu等のろう材によりろう付することにより構造体と突出部材11とを接合する方法や第1電極部1と突出部材11との間に活性金属ろう材を挿入し、第1電極部1と突出部材とを直接ろう付けする活性金属法等によって行うことができる。
2・・・第2電極部
3・・・第1電極
4・・・第2電極
5・・・第1絶縁部
6・・・第2絶縁部
7・・・スペーサ部
8・・・空間
9・・・突出領域
10・・・配線導体
11・・・金属層
12・・・突出部材
13・・・第1の流路
14・・・第2の流路
Claims (12)
- 平板状の第1電極を有する第1電極部と、
平板状の第2電極を有するとともに、主面が前記第1電極部に対向して配設される第2電極部と、
前記第1電極部及び前記第2電極部の対向領域間に位置して、それぞれ前記第1電極部及び前記第2電極部を保持する一対のスペーサ部とを備え、
前記第1電極部、前記第2電極部及び前記一対のスペーサ部で囲まれた筒状の空間を有し、該筒状の空間の一方の開口から他方の開口へ流体が流れるとともに、
前記第1電極部は、前記一方の開口側における前記一対のスペーサ部の側面よりも前記一方の開口側の側方に突出している突出領域を備える構造体。 - 前記第1電極部は、前記第1電極と該第1電極を保持する絶縁部とからなり、
前記突出領域は、前記絶縁部の一部である請求項1に記載の構造体。 - 前記絶縁部は、間に前記第1電極を挟んで貼り合わされた少なくとも2層構造をなし、
前記突出領域は、前記2層以上の絶縁部のうちのいずれか1層の一部である請求項2に記載の構造体。 - 前記第1電極部は、前記一方の開口側における側面が凹凸形状である請求項1に記載の構造体。
- 平板状の第1電極を有する第1電極部と、
平板状の第2電極を有するとともに、主面が前記第1電極部に対向して配設される第2電極部と、
前記第1電極部及び前記第2電極部の対向領域間に位置して、それぞれ前記第1電極部及び前記第2電極部を保持する一対のスペーサ部とを備え、
前記第1電極部、前記第2電極部及び前記一対のスペーサ部で囲まれた筒状の空間を有し、該筒状の空間の一方の開口から他方の開口へ流体が流れるとともに、
前記一方の開口側における前記第1電極部の側面には、前記一方の開口側における前記一対のスペーサ部の側面よりも前記一方の開口側の側方に突出する突出部材が被着されている構造体。 - 前記第1電極部は、前記第1電極と該第1電極を保持する絶縁部とからなり、
前記突出部材は、前記絶縁部よりも熱伝導率が高い材料からなる請求項5に記載の構造
体。 - 前記突出部材は、前記一方の開口側における側面が凹凸形状である請求項5に記載の構造体。
- 前記第1電極部は、前記第1電極及びこれを保持する第1の絶縁部を備え、
前記第2電極部は、前記第2電極及びこれを保持する第2の絶縁部を備え、
前記第1の絶縁部及び第2の絶縁部、並びに前記一対のスペーサ部が、同一のセラミック材料を含んでなるとともに、前記第1電極部及び第2電極部、並びに前記一対のスペーサ部が、同時に焼成されて一体化している請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の構造体。 - 請求項1乃至請求項8に記載の構造体と、
前記構造体の前記第1電極と第2電極とに接続され、前記第1電極と第2電極との間に交流電圧あるいは直流電圧もしくは直流パルス電圧を印加するための電圧印加部と、を備えた装置。 - 前記第1電極と前記第2電極との間に交流電圧あるいは直流電圧もしくは直流パルス電圧を印加することにより、
前記空間内にプラズマを発生させるとともに、
前記空間内に流体を流入させる請求項9に記載の装置。 - 前記流体が酸素であり、前記空間に酸素を流入させることにより、オゾンを発生させる請求項10に記載の装置。
- 前記流体が、炉或いは内燃機関からの排ガスであり、前記空間に前記排ガスを流入させる第1の流路と、
前記空間から排出される被処理ガスを、前記空間から流出させる第2の流路とをさらに備えた請求項10に記載の装置。
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