JP4687055B2 - 単結晶の製造方法およびその装置 - Google Patents
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Description
3 炉体
5 耐火物
7 台座耐火物
9 固定耐火物
11 開口部
13 ルツボ
15 高周波コイル(加熱手段)
17 高周波電源
19 原料
21 ホルダ
23 種結晶
25 ガス流れ発生手段
27 ガス取り入れ口(ガス流路)
29 結晶
29K 肩部
31 シャッタ(開閉装置)
33 制御装置
35 配管(チューブ)
Claims (4)
- 炉体内に上部に開口部を有した耐火物を設置し、この耐火物内に設けられたルツボ内の原料を加熱して融解して融液とし、この融液に種結晶の下端を接触させ、この種結晶を引き上げながら結晶を成長させるべく育成し、ついで、成長された結晶を融液から切り離した後冷却する単結晶の製造方法において、前記結晶の成長中および/又は冷却中に、前記結晶の周囲への前記耐火物の上部に形成された開口部からの低温ガスの流入を抑制すべく、前記炉体の外側あるいは耐火物の外側から耐火物の内側にガスを流入させて、この流入したガスが前記耐火物の内側から外側への一方向に流れることにより、前記結晶の周囲に安定したガス流れを生成させて結晶の製造を行い、
前記一方向に流れるガスは、前記耐火物の側面に設けられたガス取り入れ口から流入され、
前記ガス取り入れ口の開閉は、単結晶の冷却時にガスの流れを切り替えるために制御されることを特徴とする単結晶の製造方法。 - 炉体内に設けられ上部に開口部を有した耐火物と、この耐火物内に設けられ内部に原料が入るルツボと、前記耐火物の外側に設けられ前記原料を加熱して融解し融液せしめる加熱手段と、前記原料が融解した融液に種結晶の下端を接触させこの種結晶を引き上げる引き上げ手段とで構成された単結晶の製造装置において、前記種結晶により育成された結晶の周囲への前記耐火物の上部に形成された開口部からの低温ガスの流入を抑制すべく、前記炉体の外側あるいは耐火物の外側から耐火物の内側にガスを流入させて、この流入したガスを耐火物内において内側から外側への一方向に流すためのガス流れ発生手段を備えてなり、
前記ガス流れ発生手段が、前記耐火物の側面に、耐火物の外側から内側へガスを取り入れるためのガス取り入れ口として構成され、
前記ガス取り入れ口の開閉を行うための開閉装置と、この開閉装置の開閉を制御するための制御装置とが備えられ、
単結晶の冷却時にガスの流れを切り替えるための切り替え手段を前記制御装置に備えていることを特徴とする単結晶の製造装置。 - 前記ガス取り入れ口の位置、数及び面積の少なくともいずれかを調整し、耐火物の外側から内側へのガス流量を調節するためのガス流量調節手段を前記制御装置に備えていることを特徴とする請求項2に記載の単結晶の製造装置。
- 前記ガス流れ発生手段が、前記炉体の外側から耐火物の内側へガスを取り入れるためのガス取り入れ口を備えた配管であると共に、この配管の先端が前記炉体の外側に突出されていることを特徴とする請求項2又は3に記載の単結晶の製造装置。
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JPS57170894A (en) * | 1981-04-15 | 1982-10-21 | Toshiba Corp | Manufacture of single crystal of ferrodielectic substance |
JPS605094A (ja) * | 1983-06-13 | 1985-01-11 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ガリウムガ−ネツト単結晶の製造方法 |
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- 2004-09-29 JP JP2004285325A patent/JP4687055B2/ja not_active Expired - Fee Related
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