JP4686753B2 - 露光方法及び露光装置 - Google Patents
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本発明は、かかる問題点に鑑みなされたもので、ワークに対して適切な照射を行うことが可能な露光方法及び露光装置を提供することを目的としている。
照明手段2は空間光変調手段3を照らすためのものである。光源としてはメタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ又は発光ダイオード等が使用される。空間光変調手段3を前記照明手段2によって照明するにあたっては、特に限定はされないが、空間光変調手段3がデジタルマイクロミラーデバイス(DMD)の場合には、後述のコリメートレンズ8を介して平行光又は集束光をデジタルマイクロミラーデバイスの主面の法線方向から照らすことが好ましい。この法線方向から照らすためには、たとえば、アパーチャ等で点光源を作り、それをハーフミラーでもってコリメートレンズを介して光をデジタルマイクロミラーデバイスに導くようにすればよい。一方、空間光変調手段3が液晶の場合には、液晶の背後から光で照らせばよい。
空間光変調手段3は、特に検定はされないが、縦横にマイクロミラーが並んだデジタルマイクロミラーデバイスや、縦横に画素が並んだ液晶が使用される。
前者のデジタルマイクロミラーデバイスは空間光変調手段の一種であり、固定軸回りに回転するマイクロミラーと呼ばれる多数のミラーを持つデバイスである。このデジタルマイクロミラーデバイスの各マイクロミラーは静電界作用などによって回転制御される。この回転制御によって、デジタルマイクロミラーデバイスは任意のミラーパターンを坦持することができ、照明手段2によってそのミラーパターンが照らされた際に被転写パターン(転写すべき光像パターン)が形成される。
一方、後者の液晶も空間光変調手段の一種であり、多数の画素を持つデバイスである。この液晶の各画素は電圧制御される。この電圧制御によって、液晶は任意の画素パターンを坦持することができ、その画素パターンが照らされた際に被転写パターンが形成される。
なお、空間光変調手段3の動作制御は図2に示す制御装置4によってなされる。この場合の空間光変調手段用制御プログラムは予め、又は適宜に入力部5から入力され記憶部6に格納される。また、空間光変調手段3の被転写パターンデータも予め、又は適宜に入力部5から入力される。そして、被転写パターンデータは空間光変調手段用制御プログラムに従って処理され、その処理結果に基づいて空間光変調手段3が動作制御される。
偏向反射手段7としては、特に限定はされないが、ポリゴンミラー又はガルバノミラーが使用される。この偏向反射手段7の動作制御は図2に示す制御装置4によってなされる。この場合の偏向反射手段用制御プログラムは予め、又は適宜に入力部5から入力され記憶部6に格納される。また、偏向反射手段7の動作速度データも予め、又は適宜に入力部5から入力される。そして、動作速度データは偏向反射手段用制御プログラムに従って処理され、その処理結果に基づいて偏向反射手段7が動作制御される。
図1において符号8はコリメートレンズ、符号9,10は両側テレセントリック光学系を構成するレンズ、符号11は絞り面である。これらレンズによって空間光変調手段3の被転写パターンの中間像が偏向反射手段7に照射される。また、符号12は結像レンズであり、空間光変調手段3からの被転写パターンがこの結像レンズ12によってワーク表面に照射される。なお、各レンズは単一の場合だけでなく、収差等の解消のため、複数のレンズから構成されていてもよい。
テーブル13はワークを吸着支持するためのものである。なお、このテーブル13は図2に示す制御装置4によって動作制御される。この場合のテーブル用制御プログラムは予め、又は適宜に入力部5から入力され記憶部6に格納される。また、テーブル13の動作データも予め、又は適宜に入力部5から入力される。そして、動作データはテーブル用制御プログラムに従って処理され、その処理結果に基づいてテーブル13が動作制御される。
なお、テーブル13、空間光変調手段3及び偏向反射手段7の動作は相互に関連付けられている。すなわち、テーブル13の動作は空間光変調手段3の構成・動作や偏向反射手段7の構成・動作に依存する。また、空間光変調手段3の動作は偏向反射手段7の構成・動作に依存する。
制御装置4により空間光変調手段3に被転写パターンを形成し、照明手段2によって空間光変調手段3の被転写パターンを照らす。すると、空間光変調手段3によって形成される被転写パターンはコリメートレンズ8、テレセントリックレンズ9,10、偏向反射手段7及び結像レンズ12を介してワークに照射される。この場合、偏向反射手段7の動作に応じて空間光変調手段3の動作を制御し、ワークの所定部分に同一の被転写パターンを継続的又は間欠的に照射するようにする。そして、ワークの所定部分に十分な時間被転写パターンが照射されたなら、制御装置4によりテーブル13を動作させ、次の被転写パターンをワークの別の部分に照射する。そして、必要ならば、その被転写パターンを上記と同様な方法によって継続的又は間欠的に照射する。以上の方法を繰り返して、ワークの必要箇所に転写パターンを形成する。
図3(A)に示すようにポリゴンミラーが回転し所定位置に来た時(例えばポリゴンミラーのC1面が所定位置に来た時)、デジタルマイクロミラーデバイスの縦方向又は横方向のいずれか一の方向に一次元的に並ぶマイクロミラーによって構成されるミラー列の1つ(例えばA1)に被転写パターン20を形成する(図4(A)参照)。そして、この被転写パターン20をコリメートレンズ8、テレセントリックレンズ9,10、偏向反射手段7及び結像レンズ12を介してワークの所定部分(例えばB1)に照射する。そして、次の瞬間に、被転写パターンを形成すべきミラー列を隣の列(例えばA2)に移行するとともに、そのミラー列に被転写パターン20を形成する(図3(B)、図4(B)参照)。移行及びパターン形成のタイミングは、ポリゴンミラーの回転速度等を考慮して決定される。すなわち、ポリゴンミラーの回転速度等を考慮して、移行後のミラー列によって形成される被転写パターン20が先ほどと同一部分(例えばB1)に照射されるようなタイミングとする。このようにして、同じ被転写パターン20を形成するミラー列を順次に移行し、ワークの同一部分を適切な照射量で照射する。以上のようにして、ワークの一の部分(例えばB1)が適切に照射されたなら、制御装置4によりテーブル13を動作させ、次の被転写パターンをワークの別の部分((例えばB2)に照射する。そして、必要ならば、その被転写パターンを上記と同様な方法によって継続的に照射する。以上の方法を繰り返して、ワークの必要箇所に転写パターンを形成する。
図5(A)に示すようにポリゴンミラーが回転し所定位置に来た時(例えばC1面が所定位置に来た時)、デジタルマイクロミラーデバイスの縦方向又は横方向に二次元的に並ぶマイクロミラーに被転写パターン21を形成する(図6(A)参照)。そして、この被転写パターン20をコリメートレンズ8、テレセントリックレンズ9,10、偏向反射手段7及び結像レンズ12を介してワークの所定部分(例えばB11)に照射する。そして、次の瞬間に、被転写パターンを消去する。さらに、ポリゴンミラーが回転して当該ポリゴンミラーの位置が前記所定位置と等価となった時(例えばC2面の位置が先ほどのC1面と同じ位置になった時)、デジタルマイクロミラーデバイスの縦方向又は横方向に二次元的に並ぶマイクロミラーに先ほどと同じ被転写パターン21を形成する(図5(B)、図6(B)参照)。そして、この被転写パターン21をコリメートレンズ8、テレセントリックレンズ9,10、偏向反射手段7及び結像レンズ12を介してワークの所定部分(例えばB11)に照射する。このような操作を適切な照射量が得られるまで繰り返す。以上のようにして、ワークの一の部分(例えばB11)が適切に照射されたなら、制御装置4によりテーブル13を動作させ、次の被転写パターンをワークの別の部分((例えばB2)に照射する。そして、必要ならば、その被転写パターンを上記と同様な方法によって間欠的に照射する。この方法によれば、パターンの解像度を犠牲にせずに露光面積が拡大できる。
2 照明手段
3 空間光変調手段
7 偏向反射手段
8〜10,12 レンズ
Claims (2)
- 被転写パターンを形成するためのマイクロミラーが縦横に並んだデジタルマイクロミラーデバイスと、デジタルマイクロミラーデバイスを照明して被転写パターンを形成させる照明手段と、デジタルマイクロミラーデバイスに形成される被転写パターンを偏向反射してワークに照射するガルバノミラー又はポリゴンミラーとを備えた露光装置であって、被転写パターン毎に適切な露光量となるように照射継続時間を設定しておき、縦方向又は横方向のいずれか一の方向に一次元的に並ぶマイクロミラーによって構成されるミラー列を利用し、このミラー列に一の被転写パターンを形成させ、ガルバノミラー又はポリゴンミラーの動作に伴って、被転写パターンを形成すべきミラー列を前記一の方向と直交する方向に移行させると共に、移行後のミラー列に前記一の被転写パターンと同じ被転写パターンを形成させ、停止したワークの同一部分に継続的に同じ被転写パターンを照射させることができるように構成したことを特徴とする露光装置。
- 被転写パターンを形成するための画素が縦横に並んだ液晶と、液晶を照明して被転写パターンを形成させる照明手段と、液晶によって形成される被転写パターンを偏向反射してワークに照射させるガルバノミラー又はポリゴンミラーとを備えた露光装置であって、被転写パターン毎に適切な露光量となるように照射継続時間を設定しておき、縦方向又は横方向のいずれか一の方向に一次元的に並ぶ画素によって構成される画素列を利用し、この液晶に一の被転写パターンを形成させ、ガルバノミラー又はポリゴンミラーの動作に伴って、被転写パターンを形成する画素列を前記一の方向と直交する方向に移行させると共に、移行後の画素列に前記一の被転写パターンと同じ被転写パターンを形成させ、停止したワークの同一部分に継続的に同じ被転写パターンを照射させることができるように構成したことを特徴とする露光装置。」
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