JPH0695257A - 画像記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光変調素子を格子状に配列した空間光変調器
を用いた画像記録を可能とし、その上で、中間的な露光
および露光時間の増大を防止する。 【構成】 水銀灯７を出射した紫外光を空間光変調器
（ＳＬＭ）２５に照射する。ＳＬＭ２５では入射された
紫外光を画像データに応じて変調し、その変調された紫
外光を偏向ミラー２７でＰＳ版３方向に反射する。ガル
バノメータ４２の駆動により主走査方向へ投射領域Ｅの
移動がなされ、また、副走査モータ４３を駆動してテー
ブル５をＹ軸方向に移動することにより、副走査方向ｙ
へ投射領域Ｅの移動がなされる。ＳＬＭ２５へは、投射
位置の移動毎に画像データを一括して書き込む。こうし
て、テーブル５上のＰＳ版に画像が記録される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、感光性の記録媒体上
に、空間光変調器によって形成された画像を投影するこ
とにより画像記録を行なう画像記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】印刷版やフォトマスク上に画像を形成す
る技術として、加工すべき材料上にフォトポリマーやフ
ォトレジストといった感光性材料を予め塗布し、この感
光性材料に光ビームやその他のエネルギービームを照射
することで、画像を描画する画像記録装置が知られてい
る。

【０００３】こうした画像記録装置におけるビーム出力
源としては、電子ビーム出力装置，レーザビーム出力装
置等が用いられるが、装置の構成の簡略化および低コス
ト化を考えたとき、水銀灯を用いた構成が有効である。

【０００４】近年、変形可能な鏡装置で光を変調して感
光性材料を露光する装置が提案されている（ United St
ates Patent ５，０４９，９０１）。ここで言う鏡装置
とは、複数の光変調素子（特開昭５７−７８０１７，特
開昭６１−１１６３２４公報等参照）を格子状に配列し
たマトリックスから構成されるもので、各光変調素子毎
に光の反射方向を２方向にそれぞれ切り替え可能なもの
である（空間光変調器）。各光変調素子における光の偏
向方向を、記録したい画像に対応する画像データによっ
て表される各画素毎のオン／オフ値に応じてそれぞれ切
り替えることで、感光性材料上に画像が記録される。

【０００５】図１０を用いて詳しく説明する。同図に示
すように、この画像記録装置は、光を放射するアークラ
ンプＡ１と、アークランプＡ１から放射された光を変調
する空間光変調器Ａ２と、変調された光を受ける感光性
材料Ａ３とを主に備える。

【０００６】空間光変調器Ａ２を構成する各光変調素子
における光の偏向方向は、前述したように、画像データ
によって表される各画素毎のオン／オフ値に応じてそれ
ぞれ切り替えられている。図１０中ハッチングで示した
光変調素子はオンの電気信号が入力された部分で、その
偏向方向は反射角（法線とのなす角）が小さい第１の方
向ｃ１となり（オン状態）、一方、図１０中ハッチング
なしで示した光変調素子はオフの電気信号が入力された
部分で、その偏向方向は反射角が大きい第２の方向ｃ２
となる（オフ状態）。その第１方向ｃ１に感光性材料Ａ
３が配置されており、オンの電気信号が入力された光変
調素子からの反射光だけが感光性材料Ａ３に達する。こ
の結果、感光性材料Ａ３には画像データに応じた像が投
影され、その画像が記録される。

【０００７】また、上記従来の画像記録装置では、感光
性材料Ａ３をｙ方向に移動する構成になっており、この
移動に同期して、ｘ方向に並んだ画像データを順次ｙ方
向に書換えている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】空間光変調器において
は、画像データの入力の際に、光変調素子がオン状態か
らオフ状態、あるいはオフ状態からオン状態に変化する
遷移状態の期間は比較的長い（例えば、１０〜２０μ
ｓ）。従って上記従来の画像記録装置のように、感光性
材料Ａ３の移動と画像データの入力とを同期させる方式
では、光変調素子が遷移状態にあるときに、被露光パタ
ーンの前後（ｙ方向）において中間的に露光される領域
が発生し、鮮鋭な画像の記録が困難である。この中間的
な露光は、被露光パターンに対する露光時間を長く設定
することにより、無視することが可能である。しかしこ
の場合には、画像の記録時間が増大するので、スループ
ットが悪くなるという問題が発生する。

【０００９】本発明は、光変調素子を格子状に配列した
２次元の空間光変調器を用いた画像記録を可能とし、そ
の上で、上記のような中間的な露光および露光時間の増
大を防止することを、その目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
べく、前記課題を解決するための手段として、以下に示
す構成を取った。

【００１１】本発明の画像記録装置は、格子状に配列さ
れた複数の光変調素子を有する２次元の空間光変調器を
具備し、外部から供給される画像データに基づいて、前
記空間光変調器によって形成された像を投影光学系を介
して感光性の記録媒体上に投影する画像記録装置におい
て、光を前記空間光変調器に照射する光源と、前記光源
と前記空間光変調器との間に配置されたシャッタ手段
と、前記シャッタ手段の閉動作に応じて、前記光変調素
子の数に対応する容量の画像データを前記空間光変調器
に一括して入力する画像データ入力手段と、画像データ
の入力と並行して、前記記録媒体上の第１方向に対し
て、投影領域を移動する投影領域移動手段と、前記空間
光変調器に対する画像データ入力の終了に応じて前記シ
ャッタ手段を開動作し、前記記録媒体の投影領域に対す
る投影の終了に応じて前記シャッタ手段を閉動作するシ
ャッタ制御手段と、前記第１方向とほぼ直交する第２方
向に前記記録媒体を所定量移動する記録媒体移動手段
と、を備えたことを要旨としている。

【００１２】

【作用】請求項１記載の画像記録装置では、シャッタ手
段が閉動作され、光源からの光が遮断されると、画像デ
ータ入力手段が空間光変調器に画像データを一括して入
力する。また投影領域移動手段は、画像データの入力と
並行して、第１方向に投影領域を移動する。そして画像
データの入力が終了するとシャッタ手段が開動作され、
空間光変調器で形成された像が記録媒体上に投影され
る。投影領域に対する投影が終了するとシャッタ手段が
閉動作され、画像データ入力手段及び投影領域移動手段
が同様に作用する。さらに、記録媒体移動手段は、記録
媒体を第２方向に移動するので、記録媒体上に２次元的
な画像が記録される。

【００１３】従って、空間光変調器への画像データ入力
が行われているときは、記録媒体に対する像の投影が行
われないので、中間的に露光される領域は発生しない。
このため、中間的露光を無視させるために露光時間を長
くする必要が無いので、短時間の露光で画像を記録でき
る。

【００１４】

【実施例】以上説明した本発明の構成・作用を一層明ら
かにするために、以下本発明の好適な実施例について説
明する。

【００１５】図１は、第１実施例の画像記録装置１の要
部を示す斜視図である。画像記録装置１は、図１に示す
ように、上面に記録媒体としてのＰＳ版３を保持するテ
ーブル５と、光源である水銀灯７と、水銀灯７から放射
された紫外光をＰＳ版３に導く光学系９と、光学系９に
含まれる能動素子を電気的に制御する制御系１１とを備
える。なお、ＰＳ版３は、感光性樹脂を感光層としたア
ルミニウムベースの版材である。

【００１６】水銀灯７は、ＰＳ版３を感光させる紫外線
領域の波長の光を放射する光源である。水銀灯７からの
紫外光を受ける光学系９は、コールドミラー２１，シャ
ッタ２２，部分反射鏡２３，照明レンズ２４，空間光変
調器（以下、ＳＬＭと呼ぶ）２５，コリメータレンズ２
６，偏向ミラー２７および結像レンズ２８から構成され
ている。

【００１７】水銀灯７から放射された紫外光は、コール
ドミラー２１で反射され、シャッタ２２に至る。シャッ
タ２２は、紫外光の光路を遮断状態と開放状態とに切り
換えるもので、遮断板を光路上に移動するメカニカルな
構成を備える。開放状態となったシャッタ２２を通過し
た紫外光は、部分反射鏡２３に至る。部分反射鏡２３で
は、入射した紫外光の一部を進行方向とは別の方向に反
射すると共にその残りをそのまま透過させる。その透過
した紫外光は、照明レンズ２４を介して光量分布が均一
な照明光となり、ＳＬＭ２５に入射する。

【００１８】ＳＬＭ２５は、照明光を外部から受けたパ
ターン情報（画像データ）に対応する電気信号で変調す
るもので、格子状に配列した複数の光変調素子から構成
されている。詳しくは、図２に示すように、光変調素子
Ｄを横方向にｎ個、縦方向にｍ個（本実施例では、ｎ，
ｍ共、１０２４の値とした）格子状に配列した構成であ
る。

【００１９】光変調素子Ｄは、図３に示すように、基板
３１上にスペーサ３２を介して表面層３３を固着し、そ
の表面層３３に基板３１と表面層３３との間の空間を覆
うフラップ部３３ａを形成した構成である。なお、フラ
ップ部３３ａの表面には反射膜３５が被覆されており、
この反射膜３５で光を反射する。

【００２０】フラップ部３３ａと基板３１との間に電圧
を印加することにより、フラップ部３３ａと基板３１と
の対向面が極板を形成し、電圧によって誘起された電荷
が両者を互いに引きつける。このため、図４に示すよう
に、オフ状態（電圧が印加されていない場合）に基板３
１に対して平行な位置にあるフラップ部３３ａは、破線
に示すように、フラップ部３３ａのヒンジ部３３ｈで曲
げられ表面層３３に対して所定の角度θだけ下方向に傾
く（オン状態）。したがって、電圧を印加するか否か
で、フラップ部３３ａの傾きを、基板３１に平行な方向
と所定の角度θだけ下方向に傾いた方向とに切り換える
ことができ、この結果、所定の角度で入射した光線束Ｂ
１は第１の方向αと第２の方向βとに切り換えて反射さ
れる。

【００２１】こうした構成の光変調素子Ｄを格子状に配
列したＳＬＭ２５によれば、各光変調素子Ｄに入力され
る電気信号をＰＳ版３に記録したい画像の各画素毎のオ
ン／オフ値に応じて定めることにより、各光変調素子Ｄ
に入射する光を変調して、２次元画像を形成することが
できる。本実施例では、図１に示すようにＳＬＭ２５と
ＳＬＭ制御回路４１とが電気的に接続されており、画像
データに対応する電気信号がＳＬＭ制御回路４１から出
力され、ＳＬＭ２５に入力される。

【００２２】ＳＬＭ２５において、オン状態の光変調素
子で反射された光線束は、その後、コリメータレンズ２
６に至り、平行光線束となる。次いで、平行光線束は偏
向ミラー２７に至る。なお、オフ状態の光変調素子で反
射された光線束は光吸収板２９に至り、光吸収板２９で
吸収される。

【００２３】偏向ミラー２７は、図５に示すように、ガ
ルバノメータ４２の回動軸４２ｓに固定されており、ガ
ルバノメータ４２の駆動力を受けてｙ軸（図１）を中心
として回動する。本実施例では、偏向ミラー２７へほぼ
ｘ方向に沿って平行光線束が入射されており、偏向ミラ
ー２７が回動することで、図１中、ｘ−ｚ平面に沿って
平行光線束が偏向される。

【００２４】偏向ミラー２７で反射された平行光線束
は、その後、結像レンズ２８を透過してＰＳ版３上で結
像する。この像は、ＳＬＭ２５に現在入力されている画
像を示す像であり、ＳＬＭ２５のマトリックスを構成す
る光変調素子Ｄの数に対応した画素数の矩形の投影領域
（図中、破線で示した領域）Ｅの範囲にその像が形成さ
れる。

【００２５】ＰＳ版３を保持するテーブル５は、副走査
モータ４３と図示しない往復機構により、Ｙ軸方向（ｙ
方向に一致）に往復移動する。偏向ミラー２７を回動す
ることによりＰＳ版３上の投影領域Ｅは主走査方向ｘに
移動し、また、副走査モータ４３を駆動することによ
り、その主走査のラインを順に副走査方向ｙに移動する
ことができ、これらの結果、ＰＳ版３の全表面が露光さ
れることになる。なお、この走査の制御方法については
後程詳しく説明する。

【００２６】一方、前述した部分反射鏡２３で反射した
一部の紫外光は、積算光量計４４に入射される。積算光
量計４４は、入射した紫外光の光量を積算して測定す
る。

【００２７】次に、画像記録装置１の制御系１１の構成
を説明する。画像記録装置１は、制御系１１として、ガ
ルバノメータ４２を駆動する主走査駆動回路５１，副走
査モータ４３を駆動する副走査駆動回路５２，シャッタ
２２を駆動するシャッタ駆動回路５３，前述したＳＬＭ
制御回路４１およびこれらに電気的に接続された電子制
御回路６０を備えている。

【００２８】電子制御回路６０は、周知のＣＰＵ６０
ａ，ＲＯＭ６０ｂ，ＲＡＭ６０ｃ等を中心に算術論理回
路として構成され、主走査駆動回路５１，副走査駆動回
路５２，シャッタ駆動回路５３および積算光量計４４に
対してデータの入出力を行なう入出力ポート６０ｄと、
ＳＬＭ制御回路４１に対する画像データの出力を行なう
出力ポート６０ｅとを更に備える。電子制御回路６０の
ＣＰＵ６０ａは、ＲＯＭ６０ｂに予め格納されたプログ
ラムに従ってＲＡＭ６０ｃとデータのやり取りを行ない
つつ以下の処理を行なう。

【００２９】 主走査駆動回路５１および副走査駆動
回路５２を制御することでガルバノメータ４２および副
走査モータ４３を駆動する処理、 外部から入力された画像データを所定の規則に従っ
てＳＬＭ制御回路４１に転送する処理、 積算光量計４４で測定された光量に応じてシャッタ
駆動回路５３を制御する処理、等を行なう。

【００３０】以下、これら〜に示す処理を行なう処
理ルーチンについて図６のフローチャートに沿って詳し
く説明する。電子制御回路６０のＣＰＵ６０ａは、処理
が開始されると、まず、変数ｉ、ｊに値１をそれぞれ代
入する初期設定処理を行なう（ステップＳ１００）。

【００３１】変数ｉ，ｊは、テーブル５上の有効露光域
を、図７に示すように、前述した投影領域Ｅの大きさの
領域で分割した場合に、テーブル５のＸ軸方向（図１中
のｘ方向と一致）とＹ軸方向（図１中のｙ方向と一致）
において何番目に位置するかをそれぞれ示すパラメータ
である。なお、テーブル５上の有効露光域のＸ軸方向の
長さをＷ、有効露光域のＹ軸方向の長さをＬとし、投影
領域Ｅの１辺の長さをωとした場合、変数ｉ，ｊのとり
うる最大値Ｍ，Ｎは以下の式（１），（２）となる。 Ｍ ＝ ＩＮＴ（Ｗ／ω） ＋ １ …（１） Ｎ ＝ ＩＮＴ（Ｌ／ω） ＋ １ …（２） ここで、ＩＮＴは、小数点以下を切り捨てた整数値を与
える関数である。

【００３２】ステップＳ１００で初期設定処理が行なわ
れると、次いで、変数ｊが式（２）で求めたＹ軸方向の
最大値Ｎの値を越えていないか否かを判定する（ステッ
プＳ１１０）。ここで、変数ｊがＮの値を越えていない
（ｊ≦Ｎ）と判定されると、以下の処理を行なう。ま
ず、ＰＳ版３上の投影領域ＥがＹ軸値として変数ｊをと
る位置に移動するようにテーブル５の位置を移動する処
理を行なう（ステップＳ１２０）。この処理は、副走査
駆動回路５２を制御して副走査モータ４３を駆動回転す
ることによりなされる。ステップＳ１２５では、シャッ
タ駆動回路５３にシャッタ２２を閉じる旨の制御信号を
出力する。この結果、シャッタ駆動回路５３はシャッタ
２２を閉方向に駆動してコールドミラー２１から部分反
射鏡２３に至る光路を閉鎖する。続いて、変数ｉが式
（１）で求めたＸ軸方向の最大値Ｍの値を越えていない
か否かを判定する（ステップＳ１３０）。

【００３３】ステップ１３０で、変数ｉがＭの値を越え
ていない（ｉ≦Ｍ）と判定されると、まず、変数ｉ，ｊ
で定まるテーブル５上の領域（ｉ，ｊ）に記録する画像
データをＳＬＭ制御回路４１に転送する処理を行なう
（ステップＳ１４０）。ＳＬＭ制御回路４１は、その画
像データを受けて画像データに応じた電気信号をＳＬＭ
２５に転送する。この結果、ＳＬＭ２５は、その画像デ
ータに対応する画像を示す画素毎のオン／オフ値に応じ
て各光変調素子Ｄのフラップ部３３ａの状態が切り換え
られる。

【００３４】続いて、偏向ミラー２７を一定角度回動さ
せることにより、テーブル５上の投影領域Ｅを変数ｉで
示されるｉ番目の位置に移動する処理を行なう（ステッ
プＳ１５０）。この処理は、主走査駆動回路５１を制御
してガルバノメータ４２を駆動することにより偏向ミラ
ー２７を回動させる。なお、ステップＳ１４０とステッ
プＳ１５０は、同時に処理を開始するのが効率的であ
る。

【００３５】続いて、主走査方向ｘおよび副走査方向ｙ
への位置決めが終了したか否かを、例えばモータに内蔵
されたエンコーダにより判定する（ステップＳ１６
０）。主走査方向ｘおよび副走査方向ｙへの位置決め
は、ステップＳ１２０およびＳ１５０の処理によりなさ
れるが、ステップＳ１６０では、両ステップで主／副駆
動回路５１，５２に制御信号が出力された後、実際に主
／副駆動回路５１，５２からの駆動信号を受けてガルバ
メータ４２，副走査モータ４３の動作が完了したか否か
を判定する。

【００３６】ステップＳ１６０で位置決めが終了してい
ないと判定された場合、ステップＳ１６０の判定処理を
繰り返し実行して位置決め処理が終了するのを待つ。そ
の後、位置決め処理が終了すると、ステップＳ１６０で
肯定判定されて、その繰り返しを抜けてステップＳ１７
０に進む。

【００３７】ステップＳ１７０では、ステップＳ１４０
によるＳＬＭ２５への画像データの書込みが実際に終了
したか否かを判定する。この処理は、ステップＳ１４０
でＳＬＭ制御回路４１に画像データが転送された後、Ｓ
ＬＭ制御回路４１によるＳＬＭ２５への画像データの転
送が実際に完了したか否かを判定するものである。ステ
ップＳ１７０でＳＬＭへの書込みが終了していないと判
定された場合、ステップＳ１７０の判定処理を繰り返し
実行してその書込み処理が終了するのを待つ。その書込
み処理が終了すると、ステップＳ１７０で肯定判定され
て、その繰り返しを抜けてステップＳ１８０に進む。

【００３８】ステップＳ１８０では、シャッタ駆動回路
５３にシャッタ２２を開ける旨の制御信号を出力する。
この結果、シャッタ駆動回路５３はシャッタ２２を開方
向に駆動してコールドミラー２１から部分反射鏡２３に
至る光路が開通する。こうして紫外光は、その一部が部
分反射鏡２３を透過してＳＬＭ２５に至り、他方、部分
反射鏡２３を反射した一部の紫外光は積算光量計４４に
至りその光量が測定される。続く、ステップＳ１９０で
は積算光量計４４の測定値を読み取る（ステップＳ１９
０）。その後、その読み取った測定値からＰＳ版３に至
る露光量を算出して、その算出値がＰＳ版３の露光に十
分な露光量に達したか否かを判定する（ステップＳ２０
０）。ここで、十分な露光量に達していないと判定され
た場合、処理はステップＳ１９０に戻り、十分な露光量
に達するまでステップＳ１９０およびＳ２００の処理を
繰り返し実行する。ステップＳ２００で十分な露光量に
達したと判定されると、その繰り返しを終えてステップ
Ｓ２２０に進む。

【００３９】ステップＳ２２０では、変数ｉを値１だけ
インクリメントし、処理をステップＳ１２５に戻す。こ
うして、変数ｉが主走査方向ｘの最大値Ｍの値を越える
までステップＳ１２５ないしＳ２２０の処理を繰り返し
実行することにより、投影領域Ｅが主走査方向ｘに順に
移動される。

【００４０】一方、ステップＳ１３０で変数ｉが主走査
方向ｘの最大値Ｍの値を越えたと判定された場合、処理
をステップＳ２３０に進め、副走査方向ｙの処理位置を
示す変数ｊに値１をインクリメントする処理を行なう。
その後、処理をステップＳ１１０に進め、ステップＳ１
１０ないしＳ２３０の処理を繰り返し実行する。この繰
り返しにより、変数ｊで示すｊ番目の主走査ラインにつ
いても、投影領域Ｅが主走査方向ｘへ順に移動される。

【００４１】その後、ステップＳ１１０で変数ｊがＮの
値を越えたと判定されると、処理を「エンド」に進め本
ルーチンを終える。こうして主走査方向ｘへ配置される
投影領域Ｅの順次露光が、副走査方向ｙに１ライン毎順
に行なわれることになる。

【００４２】以上のように構成された本実施例によれ
ば、ＳＬＭ２５への画像データの入力は、投影領域Ｅの
移動毎に、その投影領域Ｅに記録する画像データの書き
換えを一括して行なう構成であることから、中間的な露
光が行なわれることがなく、従って、余分な露光時間が
不要である。その結果、鮮鋭な画像を記録できるし、ス
ループットの向上を図ることもできる。また本実施例に
よれば、ＰＳ版３の主走査方向（第１方向）ｘに対して
投影領域Ｅを移動する手段として、偏向ミラー２７およ
びガルバノメータ４２を採用しているので、テーブル５
を主走査方向ｘに移動させる必要がなく、装置を小型化
できる。なお装置の小型化を考慮しなければ、投影領域
Ｅを移動する手段として、テーブル５を主走査方向ｘに
移動させる機構を採用してもよい。

【００４３】さらに、本実施例によれば、水銀灯７から
照射される紫外光の光量を積算光量計４４の測定値から
算出して、その算出結果に応じてシャッタ２２をオン／
オフ制御していることから、水銀灯７のような光量の不
安定な光源であっても一定した光量でＰＳ版３を露光す
ることができる。この結果、ＰＳ版３にムラのない画像
を記録することができる。

【００４４】次に、本発明の第２実施例を説明する。図
８は、本発明の第２実施例としての画像記録装置５０１
の要部を示す斜視図である。

【００４５】第２実施例の画像記録装置５０１は、第１
実施例の画像記録装置１と比較して、高解像度光学系を
用い、テーブル５をＹ軸方向に加えてＸ軸方向にも移動
する構成とした点が相違し、その他のハードウェアの構
成は同一である。図８中、第１実施例と同一の構成の部
分に対しては、第１実施例と同一の番号を付した。な
お、電子制御回路６０で実行される処理ルーチン（ソフ
トウェア）についても第１実施例と相違するが、後程、
詳しく説明する。さらに記録媒体としては、フォトレジ
ストが塗布されたマスクブランクス５０３を採用してい
る。

【００４６】図８に示すように、本実施例の画像記録装
置５０１では、偏向ミラー２７で反射された紫外光を、
複数のレンズから構成されたリレー系５０２を通すこと
で像の縮小倍率を大きくしている。その後、紫外光を対
物レンズ５０４を介してマスクブランクス５０３上に結
像させて、ＳＬＭ２５で形成された像を縮小投影する。

【００４７】テーブル５は、副走査モータ４３と主軸方
向移動モータ５１０との駆動力を受けて、図示しない往
復機構によりＸ軸方向およびＹ軸方向に往復移動する。
なお、両モータ４３，５１０は、第１実施例の副走査駆
動回路５２に替えたモータ駆動回路５１２により駆動さ
れる。

【００４８】こうして構成された画像記録装置５０１に
よれば、リレー系５０２および対物レンズ５０４を通過
した紫外光によりＳＬＭ２５で形成された像がマスクブ
ランクス５０３上に縮小投影される。ガルバノメータ４
２により偏向ミラー２７を投影領域Ｅ毎に繰り返し回動
させると共に、主軸方向移動モータ５１０によりテーブ
ル５をＸ軸方向へ移動させることにより、投影領域Ｅを
主走査方向ｘに順に移動することができる。すなわち本
実施例においては、マスクブランクス５０３の主走査方
向（第１方向）ｘに対して投影領域Ｅを移動する手段
が、偏向ミラー２７、ガルバノメータ４２、主軸方向移
動モータ５１０および往復機構により構成されている。

【００４９】この構成によると、マスクブランクス５０
３上の投影領域Ｅは、一定速度で主走査方向ｘに沿って
移動するので、この移動に追従させて偏向ミラー２７を
回動させれば、投影領域Ｅに投影される像は、相対的に
静止しているのと等価である。従って、各投影領域Ｅ毎
に偏向ミラー２７を繰り返して回動させれば、各領域Ｅ
にそれぞれの像を投影することができる。又、副走査モ
ータ４３によりテーブル５をＹ軸方向へ移動することに
より、像を副走査方向ｙに順に移動することができる。
こうしてマスクブランクス５０３の全表面が露光される
ことになる。

【００５０】次に、上記動作を制御する処理について図
９のフローチャートを用いて詳しく説明する。この処理
は、第１実施例と同様に電子制御回路６０により実行さ
れるものである。なお、図９中、ステップＳ６００ない
しＳ６２０，ステップＳ６３５ないしＳ６５０，ステッ
プＳ６８０ないしＳ７３０は第１実施例のステップＳ１
００ないしＳ１２０，ステップＳ１２５ないしＳ１４
０，ステップＳ１８０ないしＳ２３０とそれぞれ同じ処
理内容を示し、これらについては説明を省略する。

【００５１】電子制御回路６０のＣＰＵ６０ａは、第１
実施例と同じステップＳ６００ないしＳ６２０を実行
後、次いで、テーブル５のＸ軸方向への移動を開始する
（Ｓ６３０）。この移動開始の処理は、モータ駆動回路
５１２を制御して主軸方向移動モータ５１０を駆動回転
することによりなされるが、そのテーブル５のＸ軸方向
への移動速度は予め定められた一定なものである。続い
て、第１実施例と同じステップＳ６３５ないしＳ６５０
の処理を行ない、その後、偏向ミラー２７を初期位置に
リターン（テーブル５の移動とは逆方向に回動）する処
理を行なう（ステップＳ６６０）。

【００５２】続いて、偏向ミラー２７による偏向を開始
する処理を行なう（ステップＳ６７０）。ここでは、ス
テップＳ６２０によるテーブル５のＸ軸方向への移動に
追従させて偏向ミラー２７を回動させる処理を開始する
もので、この結果、マスクブランクス５０３上の投影領
域Ｅは一定速度で主走査方向ｘに沿って移動している
が、その投影領域Ｅには相対的に静止した像が投影され
ることになる。

【００５３】続いて、第１実施例と同じステップＳ６８
０ないしＳ７３０の処理を実行する。ステップＳ７３０
で変数ｊのインクリメント後、テーブル５をＸ軸が初期
位置となる位置にリターンし（ステップＳ７４０）、そ
の後、処理をステップＳ６１０に戻す。

【００５４】以上のように構成された第２実施例の画像
記録装置５０１によれば、ＳＬＭ２５への画像データの
入力は、投影領域Ｅの移動毎に、その投影領域Ｅに記録
する画像データを一括して行なう構成であるから、中間
的な露光が行なわれることがなく、従って、余分な露光
時間が不要である。その結果、鮮鋭な画像を記録できる
し、スループットの向上を図ることもできる。

【００５５】また本実施例においては、リレー系５０２
および対物レンズ５０４を設け、縮小倍率を高くしてい
るので、高精細な画像を記録することができる。但しこ
の場合には、第１実施例のように、偏向ミラー２７の回
動だけでは広範囲にわたって投影領域Ｅを移動させるこ
とは困難である。このため本実施例では、偏向ミラー２
７、ガルバノメータ４２、主軸方向移動モータ５１０お
よび往復機構を用いて投影領域Ｅを移動させており、そ
の結果、高精細で大サイズの画像を記録することが可能
である。なお、第１実施例と同様に、シャッタ２２によ
りＳＬＭ２５への光量を補正していることから、マスク
ブランクス５０３にムラのない画像を記録することがで
きるといった効果も奏する。

【００５６】以上、本発明のいくつかの実施例を詳述し
てきたが、本発明は、こうした実施例に何等限定される
ものではなく、例えば、光源としての水銀灯７に替えて
レーザビーム出力手段を用いた構成、あるいは、光ビー
ム遮断手段としてのメカニカルシャッタ２２に替えて液
晶シャッタを用いた構成等、本発明の要旨を逸脱しない
範囲において、種々なる態様にて実施することができる
のは勿論のことである。

【００５７】

【発明の効果】以上詳述したように本発明の画像記録装
置によれば、光変調素子を格子状に配列した空間光変調
器を用いて画像記録を行なうことができ、しかも中間的
露光を防止できるので、鮮鋭な画像の記録の実現および
スループットの向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の画像記録装置１の要部を
示す斜視図である。

【図２】空間光変調器が格子状に配列された複数の光変
調素子から構成されていることを示す空間光変調器の概
略構成図である。

【図３】その光変調素子の概略斜視図である。

【図４】光変調素子の破断側面図である。

【図５】ガルバノメータ４２の周辺の斜視図である。

【図６】電子制御回路６０のＣＰＵ６０ａで実行される
処理ルーチンを示すフローチャートである。

【図７】テーブル５上の有効露光域を示す説明図であ
る。

【図８】本発明の第２実施例の画像記録装置５０１の要
部を示す斜視図である。

【図９】第２実施例における電子制御回路６０のＣＰＵ
６０ａで実行される処理ルーチンを示すフローチャート
である。

【図１０】従来の技術を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 画像記録装置 ３ ＰＳ版 ５ テーブル ７ 水銀灯 ２２ シャッタ ２３ 部分反射鏡 ２５ 空間光変調器（ＳＬＭ） ２６ コリメータレンズ ２７ 偏向ミラー ２８ 結像レンズ ２９ 光吸収板 ４１ ＳＬＭ制御回路 ４２ ガルバノメータ ４３ 副走査モータ ４４ 積算光量計 ５１ 主走査駆動回路 ５２ 副走査駆動回路 ５３ シャッタ駆動回路 ６０ 電子制御回路 ６０ａ ＣＰＵ ５０１ 画像記録装置 ５０２ リレー系 ５０３ マスクブランクス ５０４ 対物レンズ ５１０ 主軸方向移動モータ ５１２ モータ駆動回路

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 格子状に配列された複数の光変調素子を
   有する２次元の空間光変調器を具備し、外部から供給さ
   れる画像データに基づいて、前記空間光変調器によって
   形成された像を投影光学系を介して感光性の記録媒体上
   に投影する画像記録装置において、 光を前記空間光変調器に照射する光源と、 前記光源と前記空間光変調器との間に配置されたシャッ
   タ手段と、 前記シャッタ手段の閉動作に応じて、前記光変調素子の
   数に対応する容量の画像データを前記空間光変調器に一
   括して入力する画像データ入力手段と、 画像データの入力と並行して、前記記録媒体上の第１方
   向に対して、投影領域を移動する投影領域移動手段と、 前記空間光変調器に対する画像データ入力の終了に応じ
   て前記シャッタ手段を開動作し、前記記録媒体の投影領
   域に対する投影の終了に応じて前記シャッタ手段を閉動
   作するシャッタ制御手段と、 前記第１方向とほぼ直交する第２方向に前記記録媒体を
   所定量移動する記録媒体移動手段と、 を備えた画像記録装置。