JP4683180B2 - 配線基板の製造方法および多層配線基板の製造方法 - Google Patents
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かかる形成方法においては、基板に対する導電性インクの吐出・乾燥を交互に繰り返すことにより、配線をなす導電膜パターン及び層間接続用の導体ポストをなす導電膜の厚さを徐々に大きくして所望の厚さ及び高さを得ている。
A.第1の実施形態
図1は、第1の実施形態に係る配線基板100の製造プロセスを説明するための図である。
まず、図1(a)に示すように、基板1上に受容層2を形成する。基板1としては、得られる導電性パターンの用途に応じて適宜なものが選択され用いられる。例えば、半導体装置(電子デバイス)における配線として用いる場合にはシリコンなど、液晶表示装置や有機EL装置、プラズマディスプレイなどの電気光学装置(電子デバイス)における配線として用いる場合にはガラスなど、多層配線基板の配線として用いる場合にはポリイミドなど、用途に応じて適宜選択され用いられる。なお、この基板1については、その表面に絶縁層などの各種の層や、薄膜トランジスタ(TFT)などの構成要素がすでに形成されたものであってもよく、さらには受容層2を予め設けたものであっても良い。
次に、図1(b)に示すように導電性微粒子を含有する液状体22を、液滴吐出法によって液滴吐出ヘッド10から前記基板1の受容層2上の所望位置に連続して複数回吐出し、導電ポスト30を形成する。ここで、受容層2は、導電性微粒子を含有する液状体22のライン状吐出(後述)に対して十分な性能がでるように設計されているため、導電ポスト30を形成するような場合の点吐出(液状体22を略同じ位置に連続して吐出する方法)に対する溶剤(分散媒)の受容に関しては十分な余裕がある。よって、液状体22を点吐出したとしても、吐出した液状体22に含まれる分散媒は受容層2に速やかに受容され、受容層2上には導電性微粒子が残るようになるので、結果として乾燥工程を経ることなく直接重ね塗りを行うことができ、導電ポスト30を容易に形成することができる。
次に、図1(c)に示すように導電性微粒子を含有する液状体22を、例えば液滴吐出法によって前記基板1の受容層2の上に移動しながら連続して吐出(ライン状吐出)することにより、配線パターンとなる導電性パターン4を形成する。具体的には、所望するパターン形状(例えば、配線パターン形状)が得られるように、受容層2の上の所定位置に分散液(液状体)を吐出する。このとき、液滴吐出ヘッド10からの吐出を着弾後の液状体22が互いに接するようにして行うことで、受容層2の上に残った導電性微粒子は隣り合うものどうしが接するようになる。これにより、結果として全ての導電性微粒子が連続し、所望の導電性パターン4が形成されることになる。なお、分散液中に含有された導電性微粒子にあっても、特にその粒径がより小さいものは、一部が分散媒とともに受容層2内に入り込む。
上述した第1の実施形態では、配線としての導電膜パターン4aが1層形成された配線基板100について説明した。これに対し、以下に示す第2の実施形態では、該導電膜パターン4aが多数形成された多層配線基板200について説明する。
第1の実施形態と同様、基板1上に受容層2を介して導電膜パターン4aからなる配線を形成すると、層間絶縁膜5を形成する(図3(a)参照)。層間絶縁膜5を形成する際には、例えば市販のポリイミドワニスを用材で希釈したものを、液滴吐出装置などを用いて導電ポスト30を避けるように塗布する。かかる塗布により、導体ポスト30の周辺を埋め込むように受容層2及び導電膜パターン4aの上に層間絶縁膜5を形成する。
次に、このようにして形成した層間絶縁膜5の上に2層目の導電膜パターン4a等を形成する。かかる2層目の導電膜パターン4a等も1層目の導電膜パターン4a等と同様な方法によって形成する。具体的には、第1層目の層間絶縁膜5の上に、第2層目の受容層2、導通ポスト30、導電膜パターン4をこの順番で順次形成する(図3(b)参照)。すなわち、受容層2、導電ポスト30、導電膜パターン4、層間絶縁膜5を形成する一連の層形成処理を繰り返し実行する。
以上説明した本発明に係る配線基板を各種の半導体装置、液晶表示装置、有機EL装置、プラズマディスプレイなどの電子デバイスに適用しても良い。
Claims (6)
- 基板に設けた受容層の上に、導電性微粒子からなる液状体を液滴吐出法を用いて点吐出することにより、所望の位置に導電ポストを形成する工程と、
前記導電ポストが形成された前記受容層の上に、配線パターンとなる導電性パターンを形成する工程と、
前記導電ポスト及び前記導電性パターンが形成された当該基板に熱処理を施す工程と
を含むことを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記導電性パターンを形成する工程においては、導電性微粒子からなる液状体を液滴吐出法を用いてライン吐出することにより、所望の位置に前記導電性パターンを形成することを特徴とする請求項1に記載の配線基板の製造方法。
- 前記導電ポストを形成する工程に先立って行われる工程であって、前記受容層を当該基板に設ける工程をさらに含むことを特徴とする請求項1または2に記載の配線基板の製造方法。
- 前記受容層は、多孔性シリカ粒子またはアルミナ若しくはアルミナ水和物とバインダーとからなる多孔質層、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン等の水溶性樹脂を主成分とする層、もしくはポリビニルブチラール、アクリル等の親油性樹脂を主成分とする層であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法。
- 基板の上に受容層を形成する工程と、
前記受容層の上に、導電性微粒子からなる液状体を液滴吐出法を用いて点吐出することにより、所望の位置に導電ポストを形成する工程と、
前記導電ポストが形成された前記受容層の上に、配線パターンとなる導電性パターンを形成する工程と、
前記導電ポスト及び前記導電性パターンが形成された当該基板に熱処理を施す工程と、
熱処理後の当該基板の上に層間絶縁膜を形成する工程とを含む一連の層形成処理を少なくとも2回以上繰り返し実行することを特徴とする多層配線基板の製造方法。 - 第n層の導電性パターンの一部が、第(n−1)層の導電ポストの直上に位置するように形成されることを特徴とする請求項5に記載の多層配線基板の製造方法。
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