JP4680521B2 - SiO発生装置及びSiO製造装置 - Google Patents
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Description
SiOガスを得る方法としては、例えば、特許文献3に示されるように、次の2つの反応による手法が知られている。
C+SiO2→SiO+CO (3)
これは、高温低圧下で発生する大きな吸熱反応である。
図9及び図15に示される装置に準じてSiOを製造した。SiO発生装置(炉)内に原料室3室、加熱室5室を配置した。原料室の上部は、炉内に開放され、発生したSiOガスは、炉内に放出され、炉頂部に配置された導管を通って、SiO凝縮器に送られる。
原料室 幅0.1m、高さ1m、長さ2mの箱型容器。1mx2mの壁(両側)が加熱壁となる。
加熱室 幅0.1m、高さ1m、長さ2mの箱型容器。完全に囲われており、動力配線を通す管のみが炉外部に連結されている。
炉壁は、高純度黒鉛内張りのマグネシア系耐火物で構成した。
原料室内で加熱壁から、曲率半径50mmの曲面状ひさしを加熱壁から50mmの長さで、長さ方向に配置し、上下方向に等間隔で4本配置した。ひさしと原料室壁(0.1mx1mの壁)の交差点には、ひさしの下部に直径40mmのSiO排出孔を配置した。
原料貯留槽を有する原料投入機を炉外に設置し、耐熱配管を通して原料室に原料を投入した。原料投入管を原料室の長さ方向に複数配置することによって、原料室内部に均一な量で原料を供給した。
原料室の炉床を炉外部から上下させる装置によって、原料室底から残原料を排出した。
(原料)
平均直径5mmのけい砂+0.5mm直径の金属Siを事前に十分に混合した後、別の炉を用い、大気圧Ar雰囲気下で1550℃、30分間仮焼処理を行ったものを、SiO原料として原料投入機に貯留した。
原料投入機を用い、各原料室に、合計100kgの原料を均一な高さで装入した。この後、炉を密閉した。
第1:炉内を真空ポンプによって10Paまで真空引きした。
第2:炉壁温度を1650℃まで昇温させ、その後温度を一定に維持して1.5時間操業した。
第3:炉内にArガスを吹込み、常圧とした。
第4:炉底開閉装置を操作して、残原料を全て炉外に排出した。この間も、炉壁温度は1650℃であった。
第5:炉床を閉じ、炉頂から再び原料を投入した。
第6:原料の加熱−残原料排出−原料の装入の操作を、計5サイクル実施し、計9時間で400kgのSiOを発生させた。
3 原料室、
5 加熱室、
7 鍔、
9 加熱装置、
11 原料、
13 SiOガス、
15 導管、
17 加熱壁、
19 多孔管、
21 孔、
23 ひさし状の突起、
25 通路、
27 通気空間、
29 SiO発生器、
31 原料投入機、
33 炉床、
35 炉床開平装置、
37 残原料、
39 残原料受け、
41 装入側壁、
43 排出側壁、
45 装入側壁移動装置、
47 排出側壁開閉装置、
49 SiO凝縮器、
51 真空ポンプ、
53 SiO固体。
Claims (4)
- 固体SiO2を金属Siまたはカーボンと接触させてSiOを発生させる発生装置において、扁平な箱型SiOガス発生器と、箱型SiOの最も広い壁を加熱する加熱室とが交互に配置されてなることを特徴とする発生装置。
- 前記箱型SiOガス発生器内に箱型SiOガス発生器の最も広い壁に並行して箱型SiOガス発生器の外部まで、原料の存在しないSiOガス通気流路を設けてなることを特徴とする請求項1記載の発生装置。
- 前記箱型SiOガス発生器において、最も広い壁とは異なる壁の一端を開放してSiO原料を装入し、この壁とは異なる、最も広くはない壁を開放して残留原料を排出してなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の発生装置。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載のSiO発生装置を用いることを特徴とするSiO製造装置。
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