JP4680499B2 - 液滴沈着装置 - Google Patents

Description

本発明は、インクジェットプリンタ、特に、オンデマンド型インクジェットプリントに関する。

ＥＰ−Ａ−０ ２７７ ７０３号

ＥＰ−Ａ−０ ２７８ ５９０号 インクジェットプリンタは、オフィスプリンタとしてもはや全く見られず、それらの多様性は、それらが現在ディジタルプレスおよび他の産業市場で使用されていることを意味している。プリンタヘッドが５００を超えるノズルを有することは珍しくなく、２０００以上のノズルを有する「ページ全体にわたる」プリントヘッドが近い将来に市販されるであろうことは明らかである。これらの大きいプリントヘッドはスタティックヘッドであることが多く、１分当たり１２０以上のＡ４の写真のような品質イメージを印刷することができる。

インクジェットプリントヘッドのノズルは、一般に、直径が５０μｍ以下であり、それゆえ、インク内のほこり粒子と媒体からの紙繊維との両方による閉鎖をこうむりやすい。キャップすること、拭い取ること、洗浄することなどの様々なメンテナンスルーチンおよび技術により、これらの閉鎖状態を取り除くことが可能である。走査プリントヘッドが使用されている場合、ノズル閉鎖状態は、メンテナンスステップが行われるまで周知の画像処理、あるいは、印刷ルーチンを使用して隠されることが可能である。

ページ全体にわたるディジタルプレスは、１分当たりおよそ１００カラーページを印刷することができる。走査がないため、異なるノズルを発射することによってノズル閉鎖状態を隠すことができないのに対して、閉鎖されたノズルの位置で、それゆえ、問題が生ずるたびに、メンテナンスルーチンが行われる。メンテナンスルーチンは、完了するのに数分かかることがあるので、これにより、そのメンテナンス操作の間にプリントヘッドの下を通過する数百フィートの紙はもちろん言うまでもなく印刷されることが可能である数１００ページの損失を結果として生ずることがある。

印刷時間が最大に増加され、紙の浪費が最小にされることを確実にすることができるかぎり、プリントヘッドには、閉鎖状態がないことが重要であることは明瞭である。

プリントヘッドに入る前にインクをフィルタに通させるということが提案され、このことは、それにもかかわらず、かなりのアプローチである。しかしながら、フィルタを用いても、ノズルを閉鎖するのに十分なサイズの粒子、あるいは空気は、それにもかかわらず、噴射チャンバへ入る可能性がある。

言うまでもなく、小さな小さな粒子を捕獲するために、フィルタの孔サイズを縮小することは可能である。理解されるように、より小さな孔サイズは、さらに、容認できないフィルタの圧力低下の増大を結果として生ずる。

ＷＯ ００／３８９２８の先行技術には、最大噴射率の約１０倍の体積流量を有するノズルが提供されている。噴射ノズルとなるこのプリントヘッドの噴射ポートには、チャネルの長手方向軸に対して９０゜の角度が形成されている。上流側フィルタに関連するこの流量は、ノズルを閉鎖するほこり粒子あるいは気泡の可能性を減少するということが分かる。しかしながら、それにもかかわらず、特に使用されるインクが特に「よごれている」、あるいはフィルタがなんらかの理由で失敗する場合、ほこりがノズル内に飛沫同伴する可能性がある。

本発明は、メンテナンスステップ間の期間を増大し、他の問題点と取り組むような液滴沈着装置を提供している。

本発明によれば、流体入口と流体出口間に延在し、該流体入口と流体出口との間に位置される噴射ポートを含み、そのノズル出口からの噴射のための噴射流体を該チャンバから受容する入口を有する少なくとも１つの噴射チャンバと、噴射チャンバを通って流れる噴射流体に圧力を印加するために前記噴射チャンバに作用するアクチュエータ手段と、前記流体入口と流体出口間を流れる前記噴射流体中のデトリタス（ｄｅｔｒｉｔｕｓ）が前記ポートに入ることを防止するために前記噴射ポート入口に隣接して設けらた手段とを備えている、液滴沈着装置が提供されている。

好ましい実施形態には、それぞれが流体入口と流体出口との間に延在し、該流体入口と流体出口との間に位置される噴射ポートを含み、そのノズル出口からの噴射のための噴射流体を該チャンバから受容する入口に対して面取りされたエッジを有する少なくとも１つの噴射チャンバを備えている、液滴沈着装置が提供されている。

チャンバの構成とサイズおよびチャンネルに沿い、ポートを通り過ぎる流体の流量（最大液滴噴射体積の８倍〜３０倍が好ましい）は、ノズルにとどまるほこり粒子の可能性が容認できるレベルに減少されるように選択されることが好ましい。

チャンネルは、配列を形成するために互いに平行に延在する若干数の類似するチャンネルの１つであることが好ましい。

面取り部は、チャンネルのベースに対して１０゜〜７０゜の入口角度を有することが好ましく、別の構造では、面取り部の入口の直径は、噴射チャンバの両側の少なくとも１つを越えて延在している。

本発明の第２の実施形態において、それぞれが流体入り口と流体出口との間に延在し、該流体入口と流体出口との間に位置される噴射ポートを含み、そのノズル出口からの噴射のための噴射流体を該チャンバから受容するための入口を有する少なくとも１つの噴射チャンバが設けられ、フィルタが、前記流体入口と流体出口との間を流れる噴射流体中のデトリタスが、前記ポートに入ることを防止するために前記チャンバと前記噴射ポート入口との間に設けられている。

フィルタプレートのオリフィスは、カバープレートにおけるポートよりも２倍〜１０倍小さいものであることが好ましい。

前記フィルタは、穿孔プレートであり、前記少なくとも１つの噴射チャンバの１つの壁を形成することが好ましい。フィルタは、複数の前記少なくとも１つの噴射チャンバの１つの壁を形成することがさらにいっそう好ましい。

本発明の別の態様において、流体入口と流体出口との間に延在する細長いチャンバと；速度Ｖ_Ｔのチャンバの長さに沿う流れに使用するのに供給する流体供給と；前記流体入口と流体出口との間に位置され、前記チャンバの長さに直交して方向付けられる噴射ポートであり、該噴射ポートの方向にドリフト速度Ｖ_Ｄを有する供給された流体中にデトリタスがある、噴射ポートとを備えている、液滴沈着装置が提供されており、前記噴射ポートにドリフトするデトリタスを前記チャンバへ偏向するために、チャンバと噴射ポートとの接合点に流体入口に対向する偏向表面が設けられている。

有利な点として、チャンバの長さに対する偏向表面の角度は、ｔａｎ^−１（Ｖ_Ｄ／Ｖ_Ｔ）よりも大きく、ｔａｎ^−１（２（Ｖ_Ｄ／Ｖ_Ｔ））よりも大きいことが好ましく、チャンバの長さに対する偏向表面の角度が、ｔａｎ^−１（Ｖ_Ｔ／Ｖ_Ｄ）未満であることが適切であり、ｔａｎ^−１（１／２（Ｖ_Ｔ／Ｖ_Ｄ））未満であることが好ましい。

偏向表面は、それぞれに、噴射ポートとチャンバの直交表面間の面取り部として画定されることが有効的である。

本発明は、さらに、添付の図面を参照して一例として示されている。

図１に描かれているような先行技術によるプリントヘッドにおいて、ダブルエンド（ｄｏｕｂｌｅ−ｅｎｄｅｄ）チャンネルを有することは知られていて、インクは、２つのマニホールド２、４から供給され、そしてチャンネル６の中央に位置するノズルプレート１０に形成されるノズル８から噴射される。このチャネルは、ダイアモンド埋め付け形丸のこを使用して、圧電セラミックの、特に、ＰＺＴのブロックにのこぎりで切り込まれている。このＰＺＴは、伸びの方向に直交して、チャンネルに境界をつける壁の表面に平行に分極されている。独立した電極５は、適切な方法によって壁の両側に形成され、電気コネクタ７によってドライバチップ（図示せず）に接続されている。この壁の両側の電極間に電界の印加時、この壁はチャンネル内のインクに圧力を印加するために剪断ひずみを起こす。このプロセスは、たとえば、数ある中で、参照によりここに組み込まれるＥＰ−Ａ−０ ２７７ ７０３およびＥＰ−Ａ−０ ２７８ ５９０から明白である。

図２に示されるような先行技術の別のプリントヘッドにおいて、ポート１２は、鋳造圧電ベースに形成されている。ノズルプレート１４が、ノズル１６を含んで設けられている。インクは、中央の入口ポート１８を通って噴射チャンバ２０へ供給され、この噴射チャンバの両端に位置されるポート２２を通って取り除かれる。インクが、クリーニングのため、チャンバセグメント２０のそれぞれを通って任意に循環されることが可能であるということは本明細書において留意されることである。

ポート１２は、モールドから圧電材料の取り除きを促進するために先細状に形成されている。従って、ポートの角度は、比較的鋭角であり、一般に、５゜未満である。
図３に描かれているような先行技術の別のプリントヘッドにおいて、ノズルプレート２４は、カバーコンポーネント２６に接着され、このカバーコンポーネント２６は、噴射チャンネルに境界をつける壁２８にさらに接着されている。このカバーコンポーネントは、ノズル３０と噴射チャンネル２８とを接続する直線エッジポート２９を有している。インクは、ベースコンポーネント３６に形成されるマニホールド３２、３４からチャンネルを通って流れる。マニホールド３２は、インク入口として作用するのに対して、インク入口に対してチャネルの対向する端部に位置されるマニホールド３４は、出口マニホールドとして作用する。インクは、印刷の間さえ、チャンネルを通って流れる。

インクのこの流れは、インク内にとどまり、ノズル内に飛沫同伴されないインク中のほこり粒子、すなわち、デトリタスの可能性を増大する。しかしながら、それにもかかわらず、ノズル内に飛沫同伴されるデトリタスのかなりの可能性があるということが分かる。

理論によって縛られることを意図していないが、飛沫同伴が、ほこり粒子あるいは気泡への重力と噴射効果との両方によってもたらされると、出願人は思っている。プリントヘッドがほこり粒子を下方へ発射するように構成される場合、流体よりも密度が大きいことにより、重力の作用のもとに、ノズルの方へドリフトすることが多い。プリントヘッドが、次に、気泡の上方へ垂直に発射するように構成される場合、流体よりも密度が低いことにより、ノズルの方へドリフトすることが多い。噴射チャンネルに作用するアクチュエータは、ノゾルの方へ向うインクの動きを生成し、あらゆるほこりまたは空気は、アクチュエータが水平に発射されるように構成される場合でさえ、インクのこの動きによって、同様にノズルの方へ押し進められる。

一般に、カバーコンポーネントが、ノズルに対する構造上の安定性をもたらすように役割を果たすので、このカバープレートを取り除くことによって簡単にデブリ（ｄｅｂｒｉｓ）の捕獲を回避することができない。ノズルプレートが単独で使用される場合、インクの高いスルーフロー（ｔｈｒｏｕｇｈｆｌｏｗ）の苛酷に耐える、あるいは、収縮することなく作動する際、チャンバ内の圧力を維持するために十分な剛性をもたらすことができないということが分かる。

この問題は、それゆえ、インク噴射ポートに捕獲されることになるデトリタスの可能性を回避する、あるいは減少するにとどまっている。

この問題が本発明によって解消されるこの課題および方法は、ここでは、図３〜図１１を参照として説明される。

図３および図４のプリントヘッドにおいて、インクは、中央の入口ポート３２を通る圧電材料２８のブロックに形成される２列のチャンネル４０、４２に供給される。このインクは、あらゆる大きい粒子を取り除くために、ヘッドに入る前に予めフィルタを通され、ノズルの閉鎖の可能性を減少するために、最大印刷速度のほぼ１０倍の速度でチャンネルを通って循環される。印刷されていないインクは、その後、出口ポート３４を通って容器へ流れ、この容器でインクは再循環のために準備される。

チャンネル４０、４２は、一般に、幅が７５μｍであり、高さが３００μｍである。カバーの穴の直径は、ほぼ１００μｍである。ヘッドは、ほぼ６．２ｋＨｚの周波数で３ｐ〜ｌ５０ｐｌのドロップを印刷することができ、これは、ノズルを通る最大流量が、３．１×１０^‐１０ｍ^３／ｓであることを意味する。この量の１０倍で、チャネルに沿うインクの速度は、０．１４ｍ／ｓである。

スルーフローに関連するレイノルズ（Ｒｅｙｎｏｌｄｓ）数ｖ_ｐＤ／μは、特性長さとして流体直径Ｄ＝４Ａ／Ｐを使用して評価され、式中、Ａはチャネルの断面積であり、Ｐはその周辺の長さである。従って、インクが１０ｃＰの粘性を有し、９００ｋｇ／ｍ^３の密度を有する場合、レイノルズ数は、１．４である。温度変化は、レイノルズ数については影響が小さい。

レイノルズ数は、慣性効果対粘性効果の比の表示をもたらす。１未満のレイノルズ数は、インク中に懸濁される粒子が、等しい圧力の両表面に直交する経路に、すなわち、両壁が作動されるときのノズルを経て進む可能性がある。１を優に超える数値は、慣性効果が優位を占め、粒子が両壁を作動する際に偏向される可能性が少ないということを意味する。この場合、レイノルズ数は、ほぼ１であり、最大印刷速度の１０倍の速度でチャネルに沿って流れるインクの運動量は、粒子がノズルに入り、閉鎖状態を生ずることを防止するように当てにされることができない。

図５の矢印Ｖ_Ｔ、Ｖ_Ｄは、それぞれ、インクチャンネルに沿うインクの流れおよびノズルに向う実際のドリフト速度を表わしている。このドリフト速度は、カバー穴の面積によるノズルへの最大流量に相当し、従って、最大印刷速度で０．０３９ｍ／ｓである。Ｖ_ＴとＶ_Ｄ間の比が高いことは、粒子がノズルの方へ偏向される可能性が少ないことと、チャンネルのベースにすでにあるそれらの粒子のみが、偏向されることとを意味している。この場合、Ｖ_Ｄは、かなりのものであるＶ_Ｔの２９％であり、粒子はそれゆえ、チャンネルの底部における相当の大きさの領域からノズルの方へ偏向されることが可能である。

図６および図７は、ドリフト速度Ｖ_Ｄのために、ノズルへ向う粒子４４の動きを描いている。上述のように、ノズルを通る最大流量はＶであり、ドリフト速度は、Ｖ_Ｄ＝Ｖ／πｄ^２／４のように計算される。チャネルの底部から間隔ｓに最初に集中される粒子は、間隔ｒ＝ｄＶ_Ｄ／Ｖ_Ｔだけ下方にドリフトする。ｓが大きく、ｒが小さい場合、粒子は飛沫同伴を回避する。ｓが小さく、ｒが大きい場合、粒子はノズルの方へ飛沫同伴される。ｓおよびｒが、同等である場合、粒子はカバー穴のエッジを衝突するであろう。

図６におけるように、先行技術によると、ポートのエッジが直線の場合、ポートの壁あるいはエッジに衝突するあらゆる粒子は、ノズルの方へ飛沫同伴する可能性を増大する。粒子が存在し、ポート内に飛沫同伴されると、インク流速Ｖ_Ｔ独力では、バックフラッシング、あるいは、洗浄などのさらなるメンテナンスステップなしに、粒子を取り除くことができない。

ポートのエッジの深さｃの面取り部を設けることにより、粒子が飛沫同伴を回避する可能性を増大するということが、図７に示されるように、本発明の第１の実施形態により分かった。Ｖ_ＴがＶ_Ｄよりも大きい場合、図７におけるように面取り部に衝突するあらゆる粒子は、スルーフローの方へ逆行する可能性がある。しかしながら、粒子が穴の面取りされていない部分（あるいは、図６におけるように面取り部がない場合に、穴のエッジ）に衝突する場合、それは、最後にはノズルに至り、閉鎖を生ずる可能性がある。ノズルへの粒子の飛沫同伴を生ずる可能性のあるｓの臨界値は、ｓ＜ｒ−ｃの場合のあらゆる値と定義されることが可能である。

粒子は、チャンネルの高さｈ全体にわたり等しく分布されることが多い。従って、ｓは、ｐ／２から（ｈ−ｐ／２）までの間の値であることが可能である。飛沫同伴される粒子の破片ｆは、従って、
ｆ＝［（ｒ−ｃ）−（ｐ／２）］／（ｈ−ｐ／２）
と定義される。

図８は、それぞれ、飛沫同伴される粒子のパーセンテージとスルーフローファクタと面取り部深さとの間の関係を示している。

２０μｍの面取り部深さ、４５゜の面取り部角度および最大印刷速度の１０倍のインク循環速度は、飛沫同伴される粒子の可能性をほんのわずかの可能性に減少するとはいえ、それにもかかわらず、容認できる循環速度を用いているということが分かった。

プレートの平面に対する面取り部角度は、重要であるということが分かった。その角度が浅すぎる、あるいは、急勾配すぎる場合、面取りされた部分の深さまたは長さに関係なく、プレートを通るポートは、面取り部が実際上存在しないかのように作用する。

この角度は、ｔａｎ^−１（Ｖ_Ｄ／Ｖ_Ｔ）より大きく、ｔａｎ^−１（Ｖ_Ｔ／Ｖ_Ｄ）未満であることが好ましい。この角度は、ｔａｎ^−１（２（Ｖ_Ｄ／Ｖ_Ｔ））より大きく、ｔａｎ^−１（１／２（Ｖ_Ｔ／Ｖ_Ｄ））未満であることがなおいっそう好ましい。

面取り部は、粒子を捕獲するためにプリントヘッドの上流に位置されるフィルタのための必要性を減少することが有益なことである。このことは、フィルタが、費用を削減するためのさらに安い加工品に、あるいは従って、それ全体にわたる圧力低下を減少するより大きい孔サイズでのいずれかで製造されることが可能であるということを意味している。

面取り部の深さは、平均粒子サイズの１／２より大きく、より好ましくは、平均粒子サイズ以上である。実際には、フィルタがプリントヘッドの上流側に使用される場合、面取り部は、孔サイズの１／２より大きく、好ましくは孔サイズ以上である。

面取り部角度および深さは、入口エッジが、ノズル３０全体にわたる断面図である図９に示されるようなチャネルの境界の１つを越えて延在するようなものでよい。

図の別の実施例に描かれているように、閉鎖の可能性を減少するために、ポートの個々のエッジを調節することもさらに可能である。この実施形態において、ポートの下流エッジのみが面取りされ、これにより閉鎖の可能性をさらに減少することが分かった。面取り部の角度は、粒子の回避を援助するために、４５゜であることが好ましく、３０゜以下であることがさらにいっそう好ましい。面取り部の角度は、プレートの平面に対してｔａｎ^‐１（Ｖ_Ｔ／Ｖ_Ｄ）未満にするべきでない。これらの実施形態の両方において、ポートは、製造を容易にするために、矩形であることが好ましい。

ポートの穴は、エッチング、アブレーション、穿孔などのあらゆる適切な技術を使用して形成される。このステップ、あるいは、別のエッチングあるいはアブレーションステップの念入りな制御により、面取り部が形成されることを可能とする。

図１１の別の実施形態において、穿孔フィルタ層は、カバープレートと噴射チャンバとの間に設けられている。このフィルタ層の孔のサイズは、粒子がノズル領域に入ることを防止するような大きさである。驚いたことには、この穿孔プレートがプリントヘッドの効率を著しく減少しないということが分かった。

カバープレートの孔６０のサイズは、直径が約１００μｍである。１０μｍ〜５０μｍのフィルタ層の孔サイズが、最適な噴射をもたらすということが分かった。チャンバを通る連続的な流れが、最大印刷速度の１０倍のレベルでないが、それにもかかわらず必要とされている。

フィルタ層は、カバープレートのほぼ表面全体にわたり積層され、延在する別のプレートである。穿孔は、このカバープレートの孔に対応する位置に形成される。これらの穿孔は、アラインメントを容易にするために、比較的大きい領域全体にわたり延在することが可能である。このプレートは、あらゆる適切な、インク融和性材料から形成されることが可能であり、ポリイミドが、特に適切であることが分かった。フィルタ孔は、アブレーション、エッチング、あるいは、あらゆる他の適切なプロセスによって製造されることが可能である。

本発明は、流体中のデブリおよび粒子に対して記述されてきたが、それは、流体中に飛沫同伴される気泡の影響を制限することと同じ程度に両立するものである

この明細書に開示されている、および／または、図面に示されている各特徴（この用語は、特許請求の範囲に含まれている）は、他の開示された、および／または、図示された特徴と独立して、あるいは組み合わせて、本発明に包含されることができる。

先行技術によるダブルエンドプリントヘッドである。 先行技術によるスルーフロープリントヘッドである。 先行技術によるスルーフロープリントヘッドである。 図３のプリントヘッドの分解斜視図である。 図３および図４のカバープレートおよびノズルプレートの拡大図である。 先行技術によるプリントヘッドにおける噴射流体内に含有される粒子の経路を示す。 本発明によるカバープレートの拡大図を示す。 スルーフローファクタと、図６および図７のカバープレートに対して飛沫同伴される２０μｍのパーセンテージとの関係を示すグラフである。 チャンネルの境界の１つを越えて延在する面取り部を示す。 第２の実施形態によるプリントヘッドの図である。 第３の実施形態によるプリントヘッドの図である。

Claims (14)

1. 液滴沈着装置であって、
   前記液滴沈着装置は、
   複数の細長い噴射チャンバであって、
   前記複数の噴射チャンバの各々の長さは、流体入口と流体出口間に延在し、各々の噴射チャンバは前記チャンバの長さ方向と直角に延在している噴射ポートを含み、前記噴射ポートは前記チャンバの前記流体入口と前記流体出口との間に位置され、そのノズル出口からの噴射のために前記チャンバの噴射流体から受容する入口を有している、複数の噴射チャンバと、
   前記流体入口と前記流体出口間で、各々のチャンバの長さ方向に沿う流れに使用するために準備された液体供給手段と、
   前記噴射チャンバを通って流れる噴射流体に圧力を印加するために、前記噴射チャンバの各々に作用する複数の個々に調整可能なアクチュエータ手段と、
   前記流体入口によって供給され、前記噴射ポートから離れ、前記流れに戻る前記噴射流体中のデトリタスを偏向させるために前記噴射ポート入口に隣接して設けられた、前記噴射ポート入口に向かって面取りされたエッジを備えている手段と、
   を備えている、液滴沈着装置。
2. 前記デトリタスは、気泡を備えている、請求項１に記載の装置。
3. 前記チャンバは、チャンネルである、請求項１または請求項２に記載の装置。
4. 前記面取り部は、前記チャンバの長さ方向に対して２０゜と７０゜との間の角度を有している、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の装置。
5. 前記面取り部は、前記チャンバの少なくとも１つの側面を越えて延在している、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の装置。
6. 前記面取り部は、前記ポートの下流側エッジに隣接して設けられている、請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の装置。
7. 前記液体入口と液体出口との間の噴射流体の前記流れは、最大ドロップ噴射速度の１倍と３０倍との間である、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の装置。
8. 前記液体入口と液体出口との間の噴射流体の前記流れは、最大ドロップ噴射速度の１倍と１０倍との間である、請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の装置。
9. 前記アクチュエータ手段は、前記チャンバに境界をつける圧電壁の少なくとも一部を備えている、請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載の装置。
10. 前記圧電壁は、剪断モードで作動する、請求項９に記載の装置。
11. 液滴沈着装置であって、前記液滴沈着装置は、
    複数の細長い噴射チャンバであって、前記複数の噴射チャンバの各々の長さは、流体入口と流体出口間に延在し；
    前記噴射チャンバを通って流れる噴射流体流れに圧力を印加するために前記噴射チャンバの各々に作用する、複数の個々に調整可能なアクチュエータ手段と；
    速度Ｖ_Ｔの各々の前記チャンバの長さに沿う流れに使用するのに準備する流体供給と；
    前記流体入口と前記流体出口との間に位置され、前記チャンバの長さに直交して方向付けられる噴射ポートであり、前記噴射ポートの方向にドリフト速度Ｖ_Ｄを有する前記供給された流体中にデトリタスがあり、
    前記噴射ポートにドリフトするデトリタスを前記チャンバの方へ偏向するために、前記チャンバと前記噴射ポートとの接合点に前記流体入口に対向する偏向表面が設けられている、液滴沈着装置。
12. 前記チャンバの長さに対する前記偏向表面の角度は、ｔａｎ^−１（Ｖ_Ｄ／Ｖ_Ｔ）よりも大きく、好ましくはｔａｎ^−１（２（Ｖ_Ｄ／Ｖ_Ｔ））よりも大きい、請求項１１に記載の装置。
13. 前記チャンバの長さに対する前記偏向表面の角度は、ｔａｎ^−１（Ｖ_Ｔ／Ｖ_Ｄ）未満であり、好ましくはｔａｎ^−１（１／２（Ｖ_Ｔ／Ｖ_Ｄ））未満である、請求項１１または請求項１２に記載の装置。
14. 前記偏向表面は、それぞれに、前記噴射ポートと前記チャンバの直交表面間の面取り部として画定される、請求項１１〜請求項１３のいずれか１項に記載の装置。

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