JP4677944B2 - マイクロ波導波管装置 - Google Patents

Description

本発明は、マイクロ波導波管装置に関する。

図９（ａ）は、従来のマイクロ波導波管装置を示す横断面図である。また、図９（ｂ）は、同装置を示す縦断面図である。図示したマイクロ波集積回路（ＭＩＣともいう）１５は、マイクロ波信号端子１ｑと、中間周波数信号端子１ｓおよび電源端子１ｒを含む低周波数信号端子とを一面から突出させている。これら端子１ｑ，１ｒ，１ｓは、マイクロ波集積回路１５と他のマイクロ波回路および電気回路５Ｈとの電気的接続部となる。マイクロ波集積回路１５の一面は、金属板６Ｈの一面に取り付けられて（搭載されて）いる。端子１ｑ，１ｒ，１ｓは、金属板６Ｈを貫通して突出している。

金属板６Ｈの他面は、金属カバー４Ｊと共に導波管２ｓを形成する部分と、プリント基板３Ｊの一面に密着するとともに導電接続される部分とに分かれる。マイクロ波集積回路１５の端子１ｑは、導波管２ｓの内部に挿入されて同軸・導波管変換器を形成する。端子１ｒおよび１ｓは、プリント基板３Ｊも貫通して突出し、プリント基板３Ｊの他面に搭載された中間周波数信号回路または電源回路等の電気回路５Ｈと電気的に接続されている。電気回路５Ｈは、金属カバー４Ｈで覆われている。この金属カバー４Ｈは、上述の金属板６Ｈ（またはプリント基板３Ｊの一面に形成された導体層）と共に、電気回路５Ｈを他回路から電磁シールドしている。

なお、図９（ａ）および図９（ｂ）に示したものと略同じ構成のマイクロ波導波管装置が、特許文献１に開示されている。また、本発明に関連する先行技術文献としては、特許文献１の他に、特許文献２，３が挙げられる。
特開平９−８３２０２号公報 特開２００１−１３６００８号公報 特開平１０−８４２１７号公報

しかしながら、図９（ａ）および図９（ｂ）に示したマイクロ波導波管装置の構造では、導波管回路を１平面上にしか設けることができない。特に、同軸・導波管変換器を構成する、マイクロ波集積回路の端子が複数ある場合においては、導波管回路が１平面上にしか構成できないと、導波管を立体的に交差させることができない。それゆえ、従来のマイクロ波導波管装置には、装置の小型化の面で向上の余地があった。

本発明によるマイクロ波導波管装置は、プリント基板と、上記プリント基板の第１面側に設けられたマイクロ波集積回路と、上記プリント基板の上記第１面上に設けられ、上記マイクロ波集積回路に入力または上記マイクロ波集積回路から出力されるマイクロ波の経路となる第１の導波管と、上記プリント基板の上記第１面と反対側の面である第２面上に設けられ、上記マイクロ波の経路となる第２の導波管と、を備えることを特徴とする。

このマイクロ波導波管装置においては、プリント基板の両面上にそれぞれ導波管が設けられている。これにより、複数の導波管を立体的に交差させて配置することも可能となる。したがって、小型化に適した構造のマイクロ波導波管装置が実現される。

本発明によれば、小型化に適した構造のマイクロ波導波管装置が実現される。

以下、図面を参照しつつ、本発明によるマイクロ波導波管装置の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

（第１実施形態）
図１（ａ）は、本発明によるマイクロ波導波管装置の第１実施形態を示す横断面図である。また、図１（ｂ）は、同装置を示す縦断面図である。このマイクロ波導波管装置は、プリント基板３と、プリント基板３の第１面（図中、上側の面）側に設けられたマイクロ波集積回路１と、プリント基板３の第１面上に設けられ、マイクロ波集積回路１に入力またはマイクロ波集積回路１から出力されるマイクロ波の経路となる導波管２ａ（第１の導波管）と、プリント基板３の第１面と反対側の面である第２面（図中、下側の面）上に設けられ、上記マイクロ波の経路となる導波管２ｂ（第２の導波管）と、を備えている。

さらに、このマイクロ波導波管装置には、マイクロ波集積回路１から導波管２ａの内部まで延びるマイクロ波信号端子１ａ（第１のマイクロ波入出力端子）と、マイクロ波集積回路１から導波管２ｂの内部まで延びるマイクロ波信号端子１ｄ（第２のマイクロ波入出力端子）とが設けられている。また、このマイクロ波導波管装置は、プリント基板３の第１面側に当該プリント基板３と所定の間隔を空けて設けられ、当該プリント基板３と共に導波管２ａの内壁を構成する金属板６（第１の金属板）と、プリント基板３の第２面側に当該プリント基板３と所定の間隔を空けて設けられ、当該プリント基板３と共に導波管２ｂの内壁を構成する金属カバー４（第２の金属板）とを備えている。

マイクロ波集積回路１は、マイクロ波信号端子１ａ，1ｄと、中間周波数信号端子１ｂと、電源端子を含む低周波数信号端子１ｃとを一面（図の下方）から突出させている。マイクロ波信号端子１ａ，1ｄは、相異なる長さを有している。具体的には、マイクロ波信号端子１ａよりもマイクロ波信号端子１ｄの方が長い。金属板６の一面（図の上方）に、マイクロ波集積回路１の一面が取り付けされて（搭載されて）いる。マイクロ波信号端子１ａ，１ｄと中間周波数信号端子１ｂと低周波数信号端子１ｃとは、金属板６の上記一面から他面（図の下方）に貫通している。プリント基板３の第１面は、金属板６の他面全体に密着すると共に導電接続される。

ただし、端子１ｂ〜１ｄは、プリント基板３も貫通してプリント基板３の他面から突出する。端子１ｄが金属板６およびプリント基板３を貫通する部分は、端子１ｄを中心導体とし、後述する支持体６１およびプリント基板３のスルーホールの端面を外部導体とする同軸構造となっている。プリント基板３の端子１ｂ〜１ｄが貫通する部分は、端子１ｂ〜１ｄが接触しないようなスルーホール構造としてもよい。また、プリント基板３の厚み方向の側面には、金属メッキを行ってもよい。なお、以下の実施の形態の説明においては、その実施の形態の特徴の把握を容易にするために、先述した構成要素等については必要時以外には説明を省略する。

プリント基板３は、金属板６と金属カバー４とで挟み込んで固定されている。ここで、プリント基板３の両面上には、上述のとおり、金属板６および金属カバー４それぞれとの間に導波管２ａ，２ｂが形成されている。それゆえ、導波管２ａを基本モードのみが通過するように、複数の支持体６１，６３，６４，６５，６６によって金属板６とプリント基板３とを所定間隔だけ離している。支持体６１，６３，６４，６５，６６は、金属板６と一体に形成してもよい。

導波管２ｂについても同様に、基本モードのみが通過するように、支持体４１〜４６によって金属カバー４とプリント基板３とを所定間隔だけ離している。支持体４１〜４６は、金属カバー４と一体に形成してもよい。支持体４１は、導波管２ｂと低周波数信号回路（電気回路５）との間の仕切りとしても機能している。

プリント基板３の導波管２ａ，２ｂに面する部分は、その両面を全面導体としてもよく、あるいは少なくとも一方の導体層を全く無くしてもよい。あるいは、プリント基板３を３層以上の多層基板とし、中間層にだけ導体層を形成してもよい。この導体層がない場合、導波管２ａ，２ｂは、プリント基板３の部分が誘電体層を形成することになる。したがって、その場合、プリント基板３と金属板６または金属カバー４との間隔を、導波管２ａまたは導波管２ｂを基本モードのみが通過するように適宜設定すればよい。

導波管２ａは、金属板６と、プリント基板３と、支持体６１，６３，６４，６５，６６とによって囲まれた部分として構成されている。同様に導波管２ｂは、金属カバー４と、プリント基板３と、支持体４１〜４６とによって囲まれた部分として構成されている。導波管２ａとマイクロ波信号端子１ａ、および導波管２ｂとマイクロ波信号端子１ｄが、それぞれ同軸−導波管回路を形成している。例えば、マイクロ波集積回路１が送受信機である場合、マイクロ波信号がマイクロ波信号端子１ａから導波管２ａに出力されるとともに、導波管２ｂからマイクロ波信号端子１ｄに入力される。

一方、中間周波数信号回路，低周波数信号回路または電源回路等の電気回路５が、プリント基板３の第２面上に設けられている。この電気回路５が設けられた部分では、金属カバー４と支持体４１〜４６とで導波管２ｂが取り囲まれている。

回路部品等を含む電気回路５は、マイクロ波集積回路１の端子１ｂ，１ｃと金属線等によって接続されている。本実施形態のマイクロ波導波管装置においては、一体の複合電気回路が構成されている。なお、このマイクロ波導波管装置において、電気回路５と他回路との間における電源および低周波数信号の接続は、プリント基板３の表層あるいは内層の配線パターン（図示せず）を通して行われる。また、プリント基板３上の電気回路５は、金属カバー４と金属板６とによって挟みこまれた構造になっているので、他回路から電磁シールドされている。

図１（ａ）において、導波管２ａおよび導波管２ｂそれぞれの開口部２２Ａおよび開口部２２Ｂは、図の左側の同一平面としているが、導波管２ａ，２ｂの何れか一方あるいは両方にＨベントを入れることによって、開口部２２Ａ，２２Ｂを相異なる平面上に出してもよい。

本実施形態の効果を説明する。このマイクロ波導波管装置においては、プリント基板３の両面上にそれぞれ導波管２ａ，２ｂが設けられている。これにより、複数の導波管を立体的に交差させて配置することも可能となる。したがって、小型化に適した構造のマイクロ波導波管装置が実現されている。

このように、同軸−導波管変換回路をプリント基板の両面に設けた場合、プリント基板の一方の面にのみ設ける場合に比べて、マイクロ波集積回路、ひいてはマイクロ波導波管装置全体の小型化が容易となる。このため、構造の簡素化により部品点数が削減され、それにより製造コストを低減することができる。さらに、導波管部、およびプリント基板に搭載された電気回路に対する電磁シールドを保持する効果も大きくなる。

ところで、複数の導波管を同一面上に構成した場合、導波管相互の電磁シールド性はプリント基板と支持体との電気的接触性に影響される。一方、本実施形態のように上下に導波管を配置した場合、それらの導波管を分離しているのは全面を金属導体とするプリント基板だけである。このため、後者の場合、プリント基板と支持体との電気的接触性の影響を受けず、上下の導波管相互の電磁シールド性は高い。

また、本実施形態においては、上側の導波管２ａよりも下側の導波管２ｂの方が広い幅を有している。マイクロ波集積回路１を周波数逓倍モジュールとした場合、出力端子の使用周波数は入力端子のそれの整数倍になる。一般的に導波管の機械寸法は周波数に反比例するので、入力端子の導波管寸法は出力端子のそれよりも整数倍大きくする必要がある。本構造では、入力端子を長いプローブ（端子１ｄ）にして、周波数が低く機械寸法の大きくなる導波管２ｂをカバー側にし、金属板６およびプリント基板３は同軸構造で貫通させるだけにしている。同軸構造のため金属板６とプリント基板３のスルーホール径は周波数に依存せず、小さく作ることが可能である。すなわち、マイクロ波集積回路１のプローブの間隔を詰めることが可能となるため、マイクロ波集積回路１、ひいてはマイクロ波導波管装置全体の小型化に貢献できる。

（第２実施形態）
図２は、本発明によるマイクロ波導波管装置の第２実施形態を示す断面図である。図２に示したマイクロ波導波管装置も、図１（ａ）および図１（ｂ）のマイクロ波導波管装置と略同じ設計思想に基づいた構成となっている。しかしながら、図２のマイクロ波導波管装置においては、導波管２ａ，２ｂの開口部２２Ａ、２２Ｂを金属板６Ａに対して垂直方向（図の上方）に向けるようにして、他の導波管装置との接続の多様化を図っている。

図２のマイクロ波導波管装置では、金属板６Ａの導波管２ａの部分にＥベンド２１Ａ（Ｅコーナーでもよい）を設けている。さらに、金属カバー４Ａの導波管２ｂの部分にＥベンド２１Ｂ（Ｅコーナーでもよい）を設けている。この導波管２ｂの曲がり方向にあるプリント基板３Ａおよび金属板６Ａに導波管２ｂの口径と同じ寸法の導波管を貫通させて構成している。プリント基板３Ａの導波管壁部分には導体層が設けられている。金属板６Ａの導波管壁部分は、導体層を有する。

また、開口部２２Ａ、２２Ｂのどちらか一方あるいは両方を金属カバー４Ａあるいは金属板６Ａに対して直角方向（図面の手前方向または奥行き方向）にするように、金属カバー４Ａおよび金属板６Ａのどちらか一方あるいは両方にＨベンド（Ｈコーナーでもよい）を形成してもよい。

この場合、導波管２ａには、開口部２２Ａを金属板６Ａに対して直角方向（図面の手前方向または奥行き方向）にするように、金属板６ＡにＨベンド（Ｈコーナーでもよい）を形成してもよい。プリント基板３Ａおよび金属板６Ａには、導波管用の貫通穴を設ける必要がない。そして、図２の如く、プリント基板３Ａの一面にも電気回路を搭載できる。

同様に、導波管２ｂには、開口部２２Ｂを金属カバー４Ａに対して直角方向（図面の手前方向または奥行き方向）にするように、金属カバー４ＡにＨベンド（Ｈコーナーでもよい）を形成してもよい。この場合、プリント基板３Ａおよび金属板６Ａには、導波管用の貫通穴を設ける必要がない。そして、図２の如く、プリント基板３Ａの一面にも電気回路を搭載できる。

いずれの場合も、金属カバー４Ａおよび金属板６Ａには上記導波管を構成するために、別の支持体および支持体４１Ａ，６１Ａに相当する電気回路５との仕切り用の支持体が設けられる。このマイクロ波導波管装置においても、プリント基板３Ａの両面に電気部品および機構部品を含む電気回路５Ａが搭載できるようにすることが可能なのは勿論である。

（第３実施形態）
図３は、本発明によるマイクロ波導波管装置の第３実施形態を示す断面図である。図３に示したマイクロ波導波管装置も、図２のマイクロ波導波管装置と略同じ設計思想に基づいた構成となっている。しかしながら、図３のマイクロ波導波管装置においては、導波管２ｃ，２ｄの開口部２２Ｃ，２２Ｄを金属カバー４Ｂに対して垂直方向（図の下方）に向けるようにして、他の導波管装置との接続の多様化を図っている。

図２で説明したように、開口部２２Ｃ，２２Ｄのどちらか一方を金属カバー４Ｂあるいは金属板６Ｂに対して直角方向（図面の手前方向または奥行き方向）にするように、金属カバー４Ｂあるいは金属板６ＢにＨベンド（Ｈコーナーでもよい）を形成してもよい。

（第４実施形態）
図４は、本発明によるマイクロ波導波管装置の第４実施形態を示す断面図である。図４に示したマイクロ波導波管装置も、図２のマイクロ波導波管装置と略同じ設計思想に基づいた構成となっている。しかしながら、図４のマイクロ波導波管装置においては、導波管２ｅの開口部２２Ｅを金属板６Ｃに対して垂直方向（図の上方）に向けるようにし、一方、導波管２ｆの開口部２２Ｆは金属カバー４Ｃに対して垂直方向（図の下方）に向けるようにして他の導波管装置との接続の多様化を図っている。

（第５実施形態）
図５は、本発明によるマイクロ波導波管装置の第５実施形態を示す断面図である。図５に示したマイクロ波導波管装置も、図２のマイクロ波導波管装置と略同じ設計思想に基づいた構成となっている。しかしながら、図５のマイクロ波導波管装置においては、導波管２ｇ，２ｈを構成するプリント基板３Ｄに結合穴７を設けるとともに、導波管２ｈの終端に電波吸収体８を設けることによって、導波管方向性結合器が実現されている。

マイクロ波集積回路１を送信機、端子１ａを主信号出力、端子１ｄを送信出力を測定するための入力端子とした場合に、本構造は特に有用である。

（第６実施形態）
図６は、本発明によるマイクロ波導波管装置の第６実施形態を示す断面図である。図６に示したマイクロ波導波管装置においては、複数のマイクロ波集積回路１が縦続接続されている。

（第７実施形態）
図７は、本発明によるマイクロ波導波管装置の第７実施形態を示す断面図である。図７に示したマイクロ波導波管装置においては、マイクロ波集積回路１１のマイクロ波信号端子１ｆと別のマイクロ波集積回路１２のマイクロ波信号端子１ｊとが導波管２ｎを介して互いに接続されている。さらに、マイクロ波集積回路１１のマイクロ波信号端子１ｅ，１ｈを開口部２２Ｇ，２２Ｈの導波管入出力構造とした構成となっている。

マイクロ波集積回路１２を発振器、マイクロ波集積回路１１を送受信器とすると、マイクロ波信号端子１ｊから出力された発振器出力信号は共有の導波管２ｎを介してマイクロ波集積回路１１のマイクロ波信号端子１ｆに入力される。そして、マイクロ波集積回路１１によって変調あるいは周波数変換されたマイクロ波信号が、マイクロ波信号端子１ｅ，１ｈ、導波管２ｍ，２ｐ、開口部２２Ｇ，２２Ｈを介して他のマイクロ波回路と接続される。

図７においては、長いプローブ（端子１ｆ）を周波数の低いＬ０入力端子、短いプローブ（端子１ｅ，１ｈ）を周波数の高いＲＦの入出力端子とする送受信コンバーターモジュールとした場合に、図１と同様にモジュールや装置の小型化に貢献できる。

（第８実施形態）
図８（ａ）は、本発明によるマイクロ波導波管装置の第８実施形態を示す横断面図である。また、図８（ｂ）は、同装置を示す縦断面図である。これらの図に示したマイクロ波導波管装置においては、基本的な構成は図１のマイクロ波導波管装置と同じであるが、上記電気回路の搭載規模を増加させるために、プリント基板３Ｇと金属カバー４Ｇとの間にプリント基板３Ｈを追加している。プリント基板３Ｇとプリント基板３Ｈとは、金属ブロック８１〜８７によって所定間隔だけ離されている。

（ａ）は、本発明によるマイクロ波導波管装置の第１実施形態を示す横断面図である。（ｂ）は、同装置を示す縦断面図である。 本発明によるマイクロ波導波管装置の第２実施形態を示す断面図である。 本発明によるマイクロ波導波管装置の第３実施形態を示す断面図である。 本発明によるマイクロ波導波管装置の第４実施形態を示す断面図である。 本発明によるマイクロ波導波管装置の第５実施形態を示す断面図である。 本発明によるマイクロ波導波管装置の第６実施形態を示す断面図である。 本発明によるマイクロ波導波管装置の第７実施形態を示す断面図である。 （ａ）は、本発明によるマイクロ波導波管装置の第８実施形態を示す横断面図である。（ｂ）は、同装置を示す縦断面図である。 （ａ）は、従来のマイクロ波導波管装置を示す横断面図である。（ｂ）は、同装置を示す縦断面図である。

符号の説明

１，１１，１２，１３，１５ マイクロ波集積回路（ＭＩＣ）
１ａ，１ｄ，１ｅ，１ｆ，１ｈ，１ｊ，１ｋ，１ｍ，１ｑ マイクロ波信号端子
１ｂ，１ｐ，１ｓ 中間周波数信号端子
１ｃ，１ｇ，１ｎ，１ｒ 低周波数信号端子
２ａ〜２ｓ 導波管
２２Ａ〜２２Ｋ 開口部
３，３Ａ〜３Ｊ プリント基板
４，４Ａ〜４Ｊ 金属カバー
４１〜４６，４１Ａ〜４１Ｇ 支持体
６１，６３，６４，６５，６６，６１Ａ〜６１Ｇ 支持体
５，５Ａ〜５Ｈ 電気部品
６，６Ａ〜６Ｈ 金属板
８１〜８７ 金属ブロック
７ 結合穴
８ 電波吸収体

Claims (16)

1. 第１のプリント基板と、
   前記第１のプリント基板の第１面側に設けられたマイクロ波集積回路と、
   前記第１のプリント基板の前記第１面上に設けられ、前記マイクロ波集積回路に入力または前記マイクロ波集積回路から出力されるマイクロ波の経路となる第１の導波管と、
   前記第１のプリント基板の前記第１面と反対側の面である第２面上に設けられ、前記マイクロ波の経路となる第２の導波管と、
   前記マイクロ波集積回路から前記第１の導波管の内部まで延びる第１のマイクロ波入出力端子と、
   前記マイクロ波集積回路から前記第２の導波管の内部まで延びる第２のマイクロ波入出力端子と、
   を備えることを特徴とするマイクロ波導波管装置。
2. 請求項１に記載のマイクロ波導波管装置において、
   前記第１のプリント基板の前記第１面側に当該第１のプリント基板と所定の間隔を空けて設けられ、当該第１のプリント基板と共に前記第１の導波管の内壁を構成する第１の金属板と、
   前記第１のプリント基板の前記第２面側に当該第１のプリント基板と所定の間隔を空けて設けられ、当該第１のプリント基板と共に前記第２の導波管の内壁を構成する第２の金属板と、を備えるマイクロ波導波管装置。
3. 請求項２に記載のマイクロ波導波管装置において、
   前記第１の金属板は、前記第１のプリント基板の前記第１面のうち前記第１の導波管に面する部分の近傍において電気回路搭載用の空間を有するマイクロ波導波管装置。
4. 請求項２または３に記載のマイクロ波導波管装置において、
   前記第１の導波管の開口部が前記第１の金属板に対して垂直方向となるように、前記第１の金属板にＥベンドが形成されているマイクロ波導波管装置。
5. 請求項２乃至４いずれかに記載のマイクロ波導波管装置において、
   前記第２の導波管の開口部が前記第１の金属板に対して垂直方向となるように、前記第２の金属板にＥベンドが形成されるとともに、前記第１の金属板および前記第１のプリント基板に導電性の貫通穴が形成されているマイクロ波導波管装置。
6. 請求項２乃至５いずれかに記載のマイクロ波導波管装置において、
   前記第１の導波管の開口部が前記第２の金属板に対して垂直方向となるように、前記第１の金属板にＥベンドが形成されるとともに、前記第２の金属板および前記第１のプリント基板に導電性の貫通穴が形成されているマイクロ波導波管装置。
7. 請求項２乃至６いずれかに記載のマイクロ波導波管装置において、
   前記第２の導波管の開口部が前記第２の金属板に対して垂直方向となるように、前記第２の金属板にＥベンドが形成されているマイクロ波導波管装置。
8. 請求項２乃至７いずれかに記載のマイクロ波導波管装置において、
   前記第１の導波管の開口部が前記第１の金属板に対して直角方向となるように、前記第１の金属板にＨベンドが形成されているマイクロ波導波管装置。
9. 請求項２乃至８いずれかに記載のマイクロ波導波管装置において、
   前記第２の導波管の開口部が前記第２の金属板に対して直角方向となるように、前記第２の金属板にＨベンドが形成されているマイクロ波導波管装置。
10. 請求項２乃至９いずれかに記載のマイクロ波導波管装置において、
    前記第１のプリント基板と前記第２の金属板との間に設けられた第２のプリント基板を備え、
    前記第１のプリント基板と前記第２のプリント基板とは、金属製支持体によって互いに所定の間隔を空けており、
    前記第１の導波管は、前記第１のプリント基板と前記第２のプリント基板との間に設けられ、
    前記第２の導波管は、前記第２のプリント基板と前記第２の金属板との間に設けられているマイクロ波導波管装置。
11. 請求項１乃至１０いずれかに記載のマイクロ波導波管装置において、
    前記第１のプリント基板の前記第２面のうち前記第２の導波管に面する部分に、導体層が形成されているマイクロ波導波管装置。
12. 請求項１乃至１１いずれかに記載のマイクロ波導波管装置において、
    前記第１のプリント基板に結合穴が形成されており、当該結合穴により前記第１の導波管と前記第２の導波管とが互いに電磁結合されているマイクロ波導波管装置。
13. 請求項１乃至１２いずれかに記載のマイクロ波導波管装置において、
    複数の前記マイクロ波集積回路を備え、
    互いに異なる前記マイクロ波集積回路のマイクロ波信号端子間の接続が、前記第１の導波管を介して行われるように構成されているマイクロ波導波管装置。
14. 請求項１乃至１２いずれかに記載のマイクロ波導波管装置において、
    複数の前記マイクロ波集積回路を備え、
    互いに異なる前記マイクロ波集積回路のマイクロ波信号端子間の接続が、前記第２の導波管を介して行われるように構成されているマイクロ波導波管装置。
15. 請求項１３または１４に記載のマイクロ波導波管装置において、
    互いに異なる前記マイクロ波集積回路のマイクロ波信号端子間の接続が、前記第１および第２の導波管を介して行われるように構成されているマイクロ波導波管装置。
16. 請求項１乃至１５いずれかに記載のマイクロ波導波管装置において、
    前記第１のプリント基板のうち前記第２の導波管に面する部分以外の部分が、前記マイクロ波集積回路から延びる低周波数信号端子に直接あるいは間接的に接続されるとともに、他回路から電磁シールドされた電気回路を搭載しているマイクロ波導波管装置。

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