JP4677653B2 - 光半導体素子 - Google Patents

光半導体素子 Download PDF

Info

Publication number
JP4677653B2
JP4677653B2 JP2000109527A JP2000109527A JP4677653B2 JP 4677653 B2 JP4677653 B2 JP 4677653B2 JP 2000109527 A JP2000109527 A JP 2000109527A JP 2000109527 A JP2000109527 A JP 2000109527A JP 4677653 B2 JP4677653 B2 JP 4677653B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
optical semiconductor
reflecting surface
light emitting
emitting diode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000109527A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001291905A (ja
Inventor
広昭 為本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nichia Corp
Original Assignee
Nichia Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nichia Corp filed Critical Nichia Corp
Priority to JP2000109527A priority Critical patent/JP4677653B2/ja
Publication of JP2001291905A publication Critical patent/JP2001291905A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4677653B2 publication Critical patent/JP4677653B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/58Optical field-shaping elements
    • H01L33/60Reflective elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16245Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)
  • Led Devices (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光半導体素子、特に発生した光を放射する発光素子及び入射した光を受光して電気に変換する受光素子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の発光素子や受光素子などの光半導体素子は、光の取り出し効率又は受光効率を向上させるために、例えば、特開平10−308535号公報に示されているように、側面を反射面としたすりばち状の凹部をパッケージに形成してその凹部にダイ(光半導体チップ)搭載するように構成していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このすりばち状の凹部を形成するには、パッケージ部材にエンドミル等によりザグリ加工をしたり、パッケージ成形時に型に凹部に対応した凸部を形成して成形する等の加工を必要とし、凹部のない平板状のパッケージを作製する場合に比較して非常に手間がかかるという問題点があった。
このために、光の取り出し効率又は受光効率の高い光半導体素子は、安価に製造することができないという問題点があった。
【0004】
そこで、本発明は光の取り出し効率又は受光効率が高く、かつ安価に製造することができる光半導体素子を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
以上の目的を達成するために、本発明に係る半導体素子は、光を放射又は吸収する活性層と同一面側に形成されたp側及びn側電極とを有する光半導体チップが、基材に形成された正負の電極上又は1対のリードフレームからなる正負の電極上にそれぞれ導電性の接合部材を用いてフリップチップボンディングされてなる光半導体素子であって、上記基材は凹部のない平板状であり、上記接合部材はそれぞれ上記光半導体チップの外側に該光半導体チップの側面と鋭角をなす光反射面を有するように形成されていることを特徴とする。
このように構成された本発明に係る半導体素子は、上記光反射面により光を反射させて上方に出射又は活性層に入射させることができ、出射又は受光効率を向上させることができる。
【0007】
本発明に係る半導体素子において、より効果的に取り出し又は受光効率を高くするために、上記光反射面は上記活性層より高い位置まで形成されていることが好ましい。
【0008】
また、本発明に係る半導体素子において、より効果的に取り出し又は受光効率を高くするために、上記光反射面は上記光半導体チップの周囲を囲むように形成されていることが好ましい。
【0009】
また、本発明に係る半導体素子において、上記接合部材は、はんだ又は錫合金からなることが好ましく、このようにすると、上記接合部材を所定の形状に成形するだけで、表面をコーティングすることなく光反射面を形成できる
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら、本発明に係る実施の形態について説明する。
実施の形態1.
本発明に係る実施の形態1の光半導体素子は、図1(a)に示すように、絶縁物構造体31に正の電極32と負の電極33とが形成されてなる基材3上に、発光ダイオードチップ1が設けられて透光性樹脂4でモールドされた発光素子である。
本実施の形態1の発光素子において、図1(a)(b)に示すように、発光ダイオードチップ1は同一面側にp側電極11とn側電極12とが形成され、p側電極11とn側電極12とがそれぞれ正の電極32と負の電極33に対向するように導電性の接合部材2で接合されている。
【0011】
ここで、特に本実施の形態1では、接合部材2において、発光ダイオードチップ1の外側を実質的に囲むように該発光ダイオードチップ1の側面と鋭角をなす光反射面21を形成したことを特徴とし、この光反射面21によって発光ダイオードチップ1の側面から漏れ出した光を上方に反射して光の上方への取り出し効率を向上させている。
尚、図1(a)(b)において、22の符号は接合部材2の稜線を示し、本実施の形態1ではその稜線22がいずれの場所においても、発光ダイオードチップ1の発光層より高い位置に形成されるように接合部材2を構成している。
また、接合部材2の反射面は、図1(b)に示すように発光ダイオードチップ1の周囲を囲むように形成することが好ましく、これにより効果的に光の取り出し効率を向上させることができる。
【0012】
詳細に説明すると、本実施の形態1において発光ダイオードチップ1は、図4に示すように、例えばサファイアからなる透光性基板16上にn型窒化ガリウム系半導体層15、例えばアンドープの窒化ガリウム系半導体からなる発光層(活性層)14、p型窒化ガリウム系半導体層13が順に積層され、そのp型窒化ガリウム系半導体層13の上にp側電極11が形成され、p型窒化ガリウム系半導体層13及び発光層14の一部が除去されて露出されたn型窒化ガリウム系半導体層15上にn側電極12が形成されてなる。
【0013】
そして、発光ダイオードチップ1は、そのn側電極12が負の電極33に接合部材2で接合され、p側電極11が正の電極32に接合部材2で接合されて基材3上に固定され、さらに凸レンズ形状に成形された透光性樹脂4によって封止されている。
【0014】
次に、本実施の形態1の所定の形状を有する接合部材2の形成方法について説明する。
本接合部材の形成方法ではまず、図2に示すように、基材3の正負の電極32,33上に接合部材2を所定量塗布し、所望の接合部材2の形状に対応した形状のヒートツール34を用いて押圧加熱して、そのヒートツール34の外形に沿った形状に接合材2を成形する。
その後、図3に示すように、発光ダイオードチップ1を吸着したヒートツール35を用いて、所望の形状に成形した接合部材2の所定の位置に発光ダイオードチップ1を載置した押圧加熱し、発光ダイオードチップ1のp側電極11、n側電極12と正負の電極32,33の間に位置する接合材のみを溶融させて接合する。
このようにすると、発光ダイオードチップ1の外側に位置する光反射面21の形状を所望の形状に保ったまま、発光ダイオードチップ1のn側電極とp側電極を正負の電極32,33と接合することができる。
【0015】
以上のように構成された実施の形態1の発光素子は、接合部材2を発光ダイオードチップ1のp側電極11及びn側電極12と基材3の電極32,33とを接合するとともに、その光反射面21により発光ダイオードチップ1の側面から漏れ出した光を上方に反射させるように形成しているので、発光ダイオードチップ1により発光した光の上方への取り出し効率を高くすることができる。
また、実施の形態1の発光素子では、基材3に反射面を形成するための凹部を形成する必要がないので、凹部を有するパッケージを作製する場合に比較して基材3を安価に製造することができ、発光素子を安価にできる。
すなわち、本実施の形態1の発光素子によれば、光の取り出し効率の高い発光素子を安価に製造することができる。
【0016】
本実施の形態1において、接合部材2としてははんだ、錫、又は錫合金等の表面が金属光沢を有する軟ロウを用いることが好ましく、このように金属光沢を有する軟ロウを用いると、接合部表面をなんらコーティング処理を施すことなく、比較的大きな反射率が得られる。
また、本発明では、光に対して比較的高い反射率を有する金属粒子を含む導電性接着材を接合部材2として用いることもできる。
さらに、本発明では、比較的光に対する反射率が低い導電性の材料を用い、所望の形状に成形した後、反射コーティングをするようにしても良い。
尚、本発明において光反射面21は、発光ダイオードチップ1が発光する光に対する光反射率が50%以上となるようにすることが好ましい。
【0017】
本実施の形態1において、絶縁物構造体31としてガラスエポキシ積層基板、液晶ポリマー、PBT樹脂、セラミックス等を用いることができる。
また、電極32,33として、銅、りん青銅、鉄、ニッケル等が固着された電極又は電極膜等を使用することができる。
さらに、透光性樹脂4としては、例えば、シリコーン、エポキシ、不飽和ポリエステル、ポリイミド、非晶質ポリアミド等の樹脂を用いることができる。
【0018】
実施の形態2.
本発明に係る実施の形態2の光半導体素子は、1対の正負の電極リード32a,33b上に、発光ダイオードチップ1が設けられて透光性樹脂4aでモールドされて構成された発光素子である。
すなわち、実施の形態2の発光素子は、図5に示すように、発光ダイオードチップ1のp側電極11及びn側電極12をそれぞれ正負の電極リード32a,33bに接合部材2aを介して接合して、透光性樹脂4aによりモールドしたいわゆるリードタイプの発光ダイオード(発光素子)である。
本実施の形態2の発光素子も、実施の形態1と同様に、発光ダイオードチップ1の外側に該発光ダイオードチップ1の側面と鋭角をなす光反射面21aが形成されるように構成し、この光反射面21aによって発光ダイオードチップ1の側面から漏れ出した光を上方に反射して光の上方への取り出し効率を向上させたものである。
尚、接合部材2aの光反射面21aは、実施の形態1と同様に形成することができる。
【0019】
以上のように構成された実施の形態2の発光素子は、接合部材2aを発光ダイオードチップ1のp側電極11及びn側電極12と電極リード32a,33bとを接合するとともに、その光反射面21aにより漏れ出した光を上方に反射させるように形成しているので、発光ダイオードチップ1で発光した光の上方への取り出し効率を高くすることができる。
従って、実施の形態2の発光素子では、光を上方に反射させるためのカップ等を別に設ける必要がないので、電極リードの上にカップが形成された発光素子を作製する場合に比較して安価に製造することができる。
すなわち、本実施の形態2の発光素子によれば、光の取り出し効率の高い発光素子を安価に製造することができる。
【0020】
尚、実施の形態2において、電極リードとして、銅、りん青銅、鉄、ニッケル等を用いて構成することができる。
また、接合部材2a、透光性樹脂4a等は実施の形態1と同様の材料を用いて構成することができる。
【0021】
変形例.
実施の形態1において、所望の形状の接合部材の形成方法の一例を示したが、本発明はこれに限られるものではなく、以下のような種々の方法を用いることができる。
簡易的には、例えば、はんだや錫等を用いる場合、接合部材を予め成形することなく、所定量の接合部材を溶融させた状態で、図3に示すように、発光ダイオードチップ1を吸着したヒートツール35を用いて、溶融させた接合部材2の所定の位置に発光ダイオードチップ1を載置して接合部材がチップ1の側面の外側にはみ出すように押圧し、その状態を保持したまま、冷却して接合する。
このようにすると、発光ダイオードチップの側面は軟ロウに対して濡れ性を有していないためにはじかれて側面の外側に傾斜した表面である光反射面21が形成される。
【0022】
またさらに、基材3上で成形することなく、所望の形状に成形されたプリフォームを用いるようにしてもよい。
以上のようにしても、実施の形態1と同様に所望の光反射面21を有する接合部材を構成することができる。
【0023】
また、接合部材として、銀又は金等の金属粒子を樹脂に含んで成る導電性接着材を用いる場合、基材側に導電性接着剤を塗布した後、硬化させる前に所望の形状に成形して、その後発光ダイオードチップ1を実装して硬化させるようにしても良い。
この場合、樹脂が半硬化状態、すなわちBステージ状態のときに所望の形状に成形することが好ましい。
以上のように本発明では、選択される接合部材の材料に応じて種々の方法により、光反射面を形成することができる。
【0024】
また、本発明に係る実施の形態1及び2では、光半導体チップとして発光ダイオードチップを用いた発光素子について説明したが、本発明はこれに限らず、フォトダイオード等の光電変換素子チップを光半導体チップとして用いた受光素子に適用することもできる。
この場合、実施の形態1及び2で説明した方法を用いて受光層である活性層を実質的に取り囲むように接合部材に光反射面を形成するようにすれば良い。
このように構成された受光素子は、受光効率を高くでき、かつ安価に製造できる。
【0025】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明に係る第1又は第2の光半導体素子は、上記接合部材を上記光半導体チップの外側に該光半導体チップの側面と鋭角をなす光反射面を有するように形成しているので、その光反射面により光を反射させて上方に出射又は活性層に入射させることができ、出射又は受光効率を向上させることができる。
また、本発明に係る光半導体素子は、上記接合部材で光反射面を形成しているので、別体で光反射面を形成する必要がなく、安価に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る実施の形態1の発光素子の構成を示す断面図(a)と平面図(b)である。
【図2】 本発明に係る実施の形態1の発光素子における接合部材2の成形方法を示す断面図である。
【図3】 本発明に係る実施の形態1の発光素子における発光ダイオードチップの接合工程を示す断面図である。
【図4】 本発明に係る実施の形態1の発光素子において、発光ダイオードチップの部分を拡大して示す断面図である。
【図5】 本発明に係る実施の形態2の発光素子の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
1…発光ダイオードチップ、2…接合部材、3…基材、4,4a…透光性樹脂、11…p側電極、12…n側電極、13…p型窒化ガリウム系半導体層、14…発光層(活性層)、15…n型窒化ガリウム系半導体層、16…透光性基板、21,21a…光反射面、31…絶縁物構造体、32…正の電極、32a,33b…電極リード、33…負の電極。

Claims (4)

  1. 光を放射又は吸収する活性層と同一面側に形成されたp側及びn側電極とを有する光半導体チップが、基材に形成された正負の電極上又は1対のリードフレームからなる正負の電極上にそれぞれ導電性の接合部材を用いてフリップチップボンディングされてなる光半導体素子であって、
    上記基材は凹部のない平板状であり、上記接合部材はそれぞれ上記光半導体チップの外側に該光半導体チップの側面と鋭角をなす光反射面を有するように形成されていることを特徴とする光半導体素子。
  2. 上記光反射面は上記活性層より高い位置まで形成されている請求項1記載の光半導体素子。
  3. 上記光反射面は上記光半導体チップの周囲を囲むように形成されている請求項1又は2記載の光半導体素子。
  4. 上記接合部材は、はんだ又は錫合金からなる請求項1〜3のうちのいずれか1つに記載の光半導体素子。
JP2000109527A 2000-04-11 2000-04-11 光半導体素子 Expired - Fee Related JP4677653B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000109527A JP4677653B2 (ja) 2000-04-11 2000-04-11 光半導体素子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000109527A JP4677653B2 (ja) 2000-04-11 2000-04-11 光半導体素子

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010269492A Division JP5234093B2 (ja) 2010-12-02 2010-12-02 光半導体素子の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001291905A JP2001291905A (ja) 2001-10-19
JP4677653B2 true JP4677653B2 (ja) 2011-04-27

Family

ID=18622204

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000109527A Expired - Fee Related JP4677653B2 (ja) 2000-04-11 2000-04-11 光半導体素子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4677653B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080103399A (ko) * 2007-05-23 2008-11-27 아우곡스 컴파니 리미티드 솔더형 발광다이오드 칩의 결합방법
JP2016115881A (ja) * 2014-12-17 2016-06-23 京セラ株式会社 発光素子搭載用基板および発光装置
CN108305932A (zh) * 2018-03-08 2018-07-20 北京大学东莞光电研究院 一种高光效白光lamp-led结构及封装方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58193650U (ja) * 1982-06-17 1983-12-23 三洋電機株式会社 発光ダイオ−ド表示装置
JPS63136365U (ja) * 1987-02-27 1988-09-07

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3267045B2 (ja) * 1994-03-24 2002-03-18 日亜化学工業株式会社 Led素子
JP3948789B2 (ja) * 1997-07-02 2007-07-25 シチズン電子株式会社 赤外線データ通信モジュール
JPH1187782A (ja) * 1997-09-03 1999-03-30 Oki Electric Ind Co Ltd 発光ダイオード
JPH11161197A (ja) * 1997-11-25 1999-06-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 画像表示装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58193650U (ja) * 1982-06-17 1983-12-23 三洋電機株式会社 発光ダイオ−ド表示装置
JPS63136365U (ja) * 1987-02-27 1988-09-07

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001291905A (ja) 2001-10-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6515515B2 (ja) 発光装置の製造法
TWI316747B (en) Surface mountable optoelectronic component and its production method
JP5038623B2 (ja) 光半導体装置およびその製造方法
JP3492178B2 (ja) 半導体発光装置及びその製造方法
US8310023B2 (en) Light emitting diode package and fabrication method thereof
CN100423306C (zh) 发光二极管封装的制造方法
JP3685018B2 (ja) 発光素子とその製造方法
JP4114364B2 (ja) 発光装置およびその製造方法
US20020163001A1 (en) Surface mount light emitting device package and fabrication method
JP3627592B2 (ja) 発光装置の製造方法
WO2004001862A1 (ja) 半導体発光装置及びその製法並びに半導体発光装置用リフレクタ
WO2011027240A1 (en) Led package with phosphor plate and reflective substrate
JP2007287713A (ja) 発光装置及びその製造方法
TW201015670A (en) Ceramic package structure of high power light emitting diode and manufacturing method
JP3632507B2 (ja) 発光装置
JPH11251644A (ja) 半導体発光装置
JPH0786640A (ja) 発光デバイス
JP2006514426A (ja) 表面実装型発光ダイオード
JP2001223391A (ja) 発光ダイオードの形成方法
JP2002324919A (ja) 発光ダイオードおよびその製造方法
JPH1032351A (ja) 発光装置
JP2006269783A (ja) 光半導体パッケージ
JP4677653B2 (ja) 光半導体素子
KR100878327B1 (ko) 웨이퍼레벨 패키징된 발광다이오드 및 그의 제조 방법
JP2007081430A (ja) 半導体発光装置及びその製法並びに半導体発光装置用リフレクタ

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20050817

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20050817

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20051013

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070202

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20070313

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090608

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090616

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090807

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20090807

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100302

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100506

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100907

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101202

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20101208

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110104

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110117

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4677653

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140210

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140210

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees