JP4675617B2 - 表面処理装置 - Google Patents
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Description
silane;Si(CH3)4)ガスおよびアセチレン(C2H2)ガスを導入するための材料ガス供給口82が設けられている。このため、図には示さないが、当該材料ガス供給口82には、材料ガス供給手段としての材料ガス配管路が結合される。そして、この材料ガス配管路および材料ガス供給口82を介して、真空槽12内に、TMSガスおよびアセチレンガスが個別に導入される。なお、材料ガス配管路にも、TMSガスおよびアセチレンガスのそれぞれの流量を調整するための材料ガス流量調整手段としてのマスフローコントローラが設けられている。そして、材料ガス供給口82は、真空槽12内の上面に近い位置であって、上述したプラズマ安定電極46よりも下方の位置に材料ガスが供給されるように設けられている。また、真空槽12内において材料ガスが効率よく散布されるように、図には示さないが、当該材料ガス供給口82には、真空槽12内に向けて水平に延伸するガスノズルが設けられており、このガスノズルには、その長さ方向に沿って複数のガス噴出孔が穿設されている。
12 真空槽
16 真空ポンプ
18 プラズマガン
34 プラズマ
46 プラズマ安定電極
Claims (4)
- プラズマを利用して被処理物の表面に絶縁性の被膜を形成する表面処理装置において、
接地電位に接続され内部に上記被処理物が配置される真空槽と、
上記真空槽と電気的に絶縁された状態で該真空槽と結合され内部が該真空槽内と連通する中空体を備え、該中空体内および該真空槽内が排気された後に、該中空体内で上記プラズマを発生させて該プラズマを該真空槽内に供給するプラズマ発生手段と、
上記真空槽と電気的に絶縁された状態で該真空槽の内壁のうち上記プラズマ内の電子が流れ込もうとする部分を覆うことで該電子が該真空槽の内壁に流れ込むのを阻止する阻止手段と、
を具備し、
上記プラズマ発生手段は、上記中空体内に設けられ電子を放出する電子放出手段と、該中空体内に設けられ該電子放出手段の電位を基準とする正電圧が印加されると共に上記接地電位に接続された陽極手段と、該中空体内に放電用のガスを供給する放電用ガス供給手段と、を備えること、
を特徴とする、表面処理装置。 - 上記真空槽内において該真空槽内と上記中空体内との連通部分であるアパーチャと対向するように設けられ該アパーチャを介して該真空槽内に供給された上記プラズマを該アパーチャに向けて反射させる反射手段と、
上記アパーチャと上記反射手段との間を延伸するように上記プラズマをビーム状に閉じ込めるための磁界を上記真空槽内に発生させる電磁コイルと、
をさらに具備し、
上記阻止手段は上記アパーチャの周縁近傍から上記ビーム状の上記プラズマを中心とする円の半径方向に向かって広がるように設けられた板状体である、
請求項1に記載の表面処理装置。 - 上記真空槽は概略円筒形であり該概略円筒形の両端面に当たる面を上面および下面とした状態で設置され、
上記真空槽の上記上面の略中央に上記アパーチャが設けられ、
上記真空槽内における上記アパーチャの真下に該アパーチャと対向するように上記反射手段が設けられ、
上記板状体は円板状であり上記真空槽の上記上面を覆うように設けられ、
上記円板状の板状体の略中央に上記アパーチャとの干渉を回避するための貫通孔が穿設された、
請求項2に記載の表面処理装置。 - 上記板状体は金属板である、
請求項2または3に記載の表面処理装置。
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