JP4672342B2 - 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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したがって、補正回路によって、熱電対温度計で測定した検査基板温度と検査基板測定用放射温度計で測定した検査基板温度との差に応じて、制御器からランプに供給する電力を補正するようにすると、実際の被処理基板温度と被処理基板測定用放射温度計の測定温度との間の温度差を解消することができ、再現性のある被処理基板温度を得ることが可能となる。
被処理基板測定用放射温度計の測定温度そのものが補正されなくても、結果においてランプに供給される電力が補正されるので、再現性のある被処理基板温度を得ることが可能となる。
被処理基板測定用放射温度計の測定温度そのものが補正されるので、測定温度が補正されずに制御器内で換算補正される場合に比して、ユーザインタフェースが円滑になる。
再現性のある被処理基板温度を得ることが可能であるので、歩留まりが良好で高品質の半導体装置を製造することができる。
なお、他のランプゾーン102〜104に対応して設けられる被処理基板測定用光ファイバ式放射温度計402〜404も、上述した被処理基板測定用光ファイバ式放射温度計401と同じ構成である。
したがって、各ランプゾーン101〜104のランプ11には、温度変動と電力変動とが加味された補正電力が供給されるために、ランプ11にはより安定した電力が供給される。
なお、被処理基板測定用光ファイバ式放射温度計401〜404の測定温度をチェックレベルでチェックしているのは、測定温度の補正は、被処理基板測定用光ファイバ式放射温度計401〜404の光導入面の汚れや経時変化による劣化が許容できなくなったとき行えばよく、その判定は被処理基板測定用光ファイバ式放射温度計401〜404の測定温度を確認することによって可能となるからである。この判定は温度調節計601〜604にチェックレベルを設定することで、温度調節計601〜604で行う。
次の運用時の昇温からは、この補正値を加えた各ウェハ部位の測定温度と各ウェハ部位の設定温度との差に基づいてランプ電力を制御することで、補正前のずれを吸収して正しいウェハ温度制御を行うことが可能となる。
401〜404 被処理基板測定用光ファイバ式放射温度計
51 温度モニタ用ウェハ(検査基板)
52 TCセンサ(熱電対温度計)
58 検査基板測定用光ファイバ式放射温度計
59 差分補正回路
601〜604 温度調節計
70 電力フィードバック回路
91 AC電源
300 制御器
310 電力フィードバック部
320 温度制御部
200 ウェハ(被処理基板)
Claims (4)
- 被処理基板を収容するチャンバと、
前記被処理基板に非接触で被処理基板温度を測定する被処理基板測定用放射温度計と、
前記チャンバ内の被処理基板を加熱するランプと、
このランプに電力を供給する電源から前記ランプに供給される電力を制御し、前記被処理基板測定用放射温度計によって測定された前記被処理基板の測定温度が設定温度となるように前記ランプに供給すべき電力量を演算し、その演算結果に応じた電力を前記ランプに供給する制御器とを備えた基板処理装置において、
前記チャンバに収容される検査基板と、前記検査基板に接触して検査基板温度を測定する熱電対温度計と、前記検査基板に非接触で検査基板温度を測定する検査基板測定用放射温度計と、前記熱電対温度計で測定した検査基板温度と、前記検査基板測定用放射温度計で測定した検査基板温度との偏差に応じて、前記制御器から前記ランプに供給する電力を補正する補正回路とを備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記補正回路による電力の補正は、前記偏差を前記制御器に入力して前記制御器内で前記被処理基板測定用放射温度計から出力された測定温度を補正することにより行うようにしたことを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記補正回路による電力の補正は、前記偏差を前記被処理基板測定用放射温度計に入力して、前記被処理基板測定用放射温度計から出力される測定温度を補正することにより行うようにした請求項1に記載の基板処理装置。
- 半導体装置の製造方法において、
被処理基板を収容するチャンバと、
前記被処理基板に非接触で被処理基板温度を測定する被処理基板測定用放射温度計と、
前記チャンバ内の被処理基板を加熱するランプと、
このランプに電力を供給する電源から前記ランプに供給される電力を制御し、前記被処理基板測定用放射温度計によって測定された前記被処理基板の測定温度が設定温度となるように前記ランプに供給すべき電力量を演算し、その演算結果に応じた電力を前記ランプに供給する制御器と、
前記チャンバに収容される検査基板と、
前記検査基板に接触して検査基板温度を測定する熱電対温度計と、
前記検査基板に非接触で検査基板温度を測定する検査基板測定用放射温度計と、
前記熱電対温度計で測定した検査基板温度と前記検査基板測定用放射温度計で測定した検査基板温度との差に応じて、前記制御器から前記ランプに供給する電力を補正する補正回路と
を備えた基板処理装置を用いて前記被処理基板を処理する半導体装置の製造方法。
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JP5169299B2 (ja) * | 2008-02-22 | 2013-03-27 | 株式会社デンソー | 半導体製造装置 |
JP5104405B2 (ja) * | 2008-03-03 | 2012-12-19 | 株式会社デンソー | 半導体製造装置 |
JP5562529B2 (ja) * | 2008-04-17 | 2014-07-30 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 熱処理装置 |
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Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001257169A (ja) * | 2000-02-01 | 2001-09-21 | Asm America Inc | 加工室の温度制御方法、半導体加工装置及びセンサ較正方法 |
Family Cites Families (8)
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---|---|---|---|---|
JPS5599035A (en) * | 1979-01-25 | 1980-07-28 | Nippon Steel Corp | Method and apparatus for calibrating radiation thermometer |
JPH01194319A (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体の気相成長方法および装置 |
JPH0623935B2 (ja) * | 1988-02-09 | 1994-03-30 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 再現性を高めた熱処理制御方法 |
JPH0372624A (ja) * | 1989-03-30 | 1991-03-27 | Toshiba Corp | 表面処理装置 |
JPH02298829A (ja) * | 1989-05-15 | 1990-12-11 | Fuji Electric Co Ltd | 熱処理装置 |
JPH0469531A (ja) * | 1990-07-09 | 1992-03-04 | Tokyo Electron Ltd | 放射温度計による温度測定方法 |
JPH05190462A (ja) * | 1992-01-10 | 1993-07-30 | Toshiba Corp | プラズマcvd装置 |
JPH0862046A (ja) * | 1994-08-18 | 1996-03-08 | Touyoko Kagaku Kk | 基板の温度校正方法及び該方法に使用する温度校正装置 |
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