JP4671400B2 - 音叉形圧電振動ジャイロの製造方法 - Google Patents
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Description
の手振れ防止装置等に用いられるジャイロスコープの内、特に音叉形振動子を用いた音叉形圧電振動ジャイロの製造方法に関する。
2 基部
3,4 アーム
5,6,7,8,9,10 電極
11a,12a,13a,14a,15a ランド
11b,12b,13b,14b,15b バンプ
11c,12c,13c,14c,15c ランド(実装面)
16 基板
17 回路実装面
18 音叉形振動子実装面
19 ランド群(回路実装面)
20 回路部品
21 位相回路
22,23 オペアンプ
24,25 帰還抵抗
26 加算回路
27 自励発信回路
28 同期検波回路
29 LPF
30 基準電位
31 出力
40 ウエハ
41 電極
42 音叉形振動子アーム部
43 保護膜
44 溝
50 電極
Claims (1)
- 第1および第2のアームと前記アームを接続した基部が圧電単結晶にて一体的に形成され、前記第1、第2のアームおよび前記基部の主面のみに、駆動および検出用の帯状電極が6本形成された音叉形振動子を具備し、音叉振動モードおよび前記音叉振動モードと直交した面外振動モードを励振および検出に用いる音叉形圧電振動ジャイロの製造方法において、前記電極が形成される主面の算術平均表面粗さ(Ra)がRa<0.005μmの鏡面で、その裏面の算術平均表面粗さが0.05μm<Ra<0.15μmである前記圧電単結晶からなるウエハを用い、前記鏡面を切断時の表側としてダイシング加工することを特徴とする音叉形圧電振動ジャイロの製造方法。
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