JP4670699B2 - マイクロホンチップの実装方法、及びその方法で実装したマイクロホンチップ - Google Patents
マイクロホンチップの実装方法、及びその方法で実装したマイクロホンチップ Download PDFInfo
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Description
2 基板
3 振動板
4 バックプレート
6 バンプ
7 実装基板
8 導電性接着剤
10 主面
71,72 電極
Claims (2)
- 基板の主面に形成され音響によって振動する振動板と、前記振動板に対向すると共に前記主面から段差状に突出して形成されたバックプレートとを有し、前記両者間の容量変化を検出することによって前記音響を検出するマイクロホンチップを実装基板に実装するマイクロホンチップの実装方法において、
前記バックプレートの前記主面に対向していない面に当該バックプレートと電気的に導通するバンプを形成する工程と、
前記工程により形成したバンプを用いて前記マイクロホンチップを実装基板の電極にフリップチップ実装する工程と、
前記工程によりフリップチップ実装したマイクロホンチップの振動板に電気的に導通する前記振動板を形成した基板の少なくとも一部と前記実装基板の電極とを導電性接着剤で導通させる工程と、を備えることを特徴とするマイクロホンチップの実装方法。 - 請求項1に記載のマイクロホンチップの実装方法によって実装されたことを特徴とするマイクロホンチップ。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007266802A JP2007266802A (ja) | 2007-10-11 |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP4670699B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI365525B (en) * | 2007-12-24 | 2012-06-01 | Ind Tech Res Inst | An ultra thin package for a sensor chip of a micro electro mechanical system |
JP5404335B2 (ja) * | 2009-11-17 | 2014-01-29 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置及びその作製方法 |
JP6261438B2 (ja) * | 2014-04-14 | 2018-01-17 | 日本メクトロン株式会社 | プリント配線基板およびプリント回路の製造方法 |
CN104735596A (zh) * | 2014-12-30 | 2015-06-24 | 华天科技(西安)有限公司 | 一种硅麦克风封装结构及其制备方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11266499A (ja) * | 1998-03-18 | 1999-09-28 | Hosiden Corp | エレクトレットコンデンサマイクロホン |
JP2000019042A (ja) * | 1998-07-02 | 2000-01-21 | Omron Corp | 半導体センサ及び実装構造 |
JP2003102097A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-04 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 音処理装置 |
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2006
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2003102097A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-04 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 音処理装置 |
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JP2007266802A (ja) | 2007-10-11 |
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A621 | Written request for application examination |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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