JP4668746B2 - 成膜装置 - Google Patents
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Description
図1によって本発明に係る成膜装置の実施形態1について説明する。図1は第1の成膜装置100における電源部の電源ユニット及びその出力電力を総合監視する監視部の具体例を示す図である。図1において、交流電源1には同一構成の複数の電源ユニット2、2A、・・・・・・2Nが並列に接続されている。図面では交流電源1は単相で示されているが、3相交流でも勿論よい。また、交流電源1は商用交流電源が一般的であるが、発電機でも構わない。電源ユニット2、2A、・・・・・・2Nの出力側は互いに並列になるよう接続され、電源ユニット2、2A、・・・・・・2Nの出力電力を合算した電力が成膜負荷3に給電される。成膜負荷3についての詳細は示さないが、成膜の行われる真空チャンバなどからなる通常のものであり、成膜負荷3は成膜装置100のシステム部4から制御配線5を通して送られる各種の信号によって制御される。なお、図1では図面が複雑になって分かり難くなるので、電源ユニット2A、・・・・・・2Nの出力線は図示するのを省略している。
図2によって本発明の実施形態2に係る第2の成膜装置200について説明する。図2において、図1で用いた記号と同じ記号は同じ名称の部材を示すものとする。交流電源1は3相交流電源であり、したがって、詳細は示さないが、AC−DCコンバータ21の入力側整流器は3相交流を直流に整流する3相全波ブリッジ整流回路又は3相ハーフブリッジ整流回路からなる。これら整流回路については広く知られているので説明を省略する。実施形態2では、互いに同一構成の電源ユニット2、2A、・・・・・・・・・2Nの出力電力を実施形態1と同様に総合監視する他に、出力電流についても総合監視を行うことを特徴としている。電源ユニット2〜2Nの出力電力の総合監視については実施形態1と同様であるので、説明を省略する。成膜装置にあっては、成膜負荷によっては定電流の供給を必要とするものもある。また、同時に成膜負荷に給電される電力の総合監視を行う必要がある場合もある。成膜装置200はこのような定電流制御を行いながら、電力の総合監視を行うのに適する実施形態である。なお、図2では図面が複雑になって分かり難くなるので、電源ユニット2A、・・・・・・2Nの出力線は図示するのを省略しているが、電源ユニット2、2A、・・・・・・2Nの出力線は互いに並列接続されて成膜負荷3に接続されている。
2、2A〜2N・・・電源ユニット
3・・・成膜負荷
4・・・成膜装置のシステム部
5・・・制御配線
6・・・電力監視信号線
7・・・信号リターン線
8・・・監視回路
8A、8C・・・演算増幅器
8B、8D・・・帰還抵抗
9・・・制御信号線
10・・・制御信号線
21・・・AC−DCコンバータ
22・・・電圧検出器
23・・・電流検出器
24・・・乗算回路
25・・・電流変換回路
26・・・誤差増幅器
27・・・電圧増幅器
28・・・電流増幅器
30・・・電流変換回路
31・・・電流監視信号線
32・・・信号線
Claims (6)
- 電源ユニットを複数台互いに並列接続してなる電源装置と、該電源装置から電力が供給され、システム部により制御されて所望の成膜を行う成膜負荷とを備える成膜装置であって、
前記電源ユニットは、交流電力を直流電力に変換するAC−DCコンバータと、該AC−DCコンバータそれぞれの出力電流を検出する電流検出器と、出力電圧を検出する電圧検出器と、前記電流検出器により検出された検出電流信号と前記電圧検出器により検出された検出電圧信号とを乗算して出力電力に比例する電圧の監視信号を出力する乗算回路と、該乗算回路からの前記監視信号をこれに比例する監視電流信号に変換する電流変換回路とを備え、
前記電流変換回路は、前記監視信号を該監視信号に比例する所望の電圧信号に増幅する増幅器と、その出力に接続されて前記電圧信号をこれに比例する電流の前記監視電流信号に変換する抵抗手段とを有し、
前記複数の電源ユニットのそれぞれの前記電流変換回路から出力される電流の前記監視電流信号は共通の電力監視信号線と前記電流変換回路の前記増幅器の接地電位にある共通の信号リターン線とを通して監視回路に入力され、
該監視回路は、前記接地電位にある共通の信号リターン線に対して前記共通の電力監視信号線を通じて入力される電源ユニットそれぞれの前記監視電流信号の合算値に対応する電圧の信号(Vt)を総合電力監視信号として制御信号線を通して前記システム部に出力することを特徴とする成膜装置。 - 請求項1において、
前記監視回路は、前記電力監視信号線と前記信号リターン線とが接続される一対の入力端子を有する演算増幅器と、前記電力監視信号線が接続されている前記入力端子と前記演算増幅器の出力端子との間に接続されている帰還用抵抗とを備えることを特徴とする成膜装置。 - 請求項1又は請求項2において、
前記総合電力監視信号に左右される設定信号と前記乗算回路からの前記監視信号とを入力端子に受けて、前記設定信号と前記監視信号との誤差増幅信号を出力する誤差増幅器を備え、前記誤差増幅信号が前記AC−DCコンバータに制御信号として与えられることを特徴とする成膜装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかにおいて、
前記複数の電源ユニットのそれぞれの出力電流に対応する監視電流信号が共通の電流監視信号線と共通の前記信号リターン線とを通して前記監視回路に入力され、
該監視回路は、前記接地電位にある共通の信号リターン線に対して前記共通の電流監視信号線を通じて入力される電源ユニットそれぞれの前記監視電流信号の合算値に対応する電圧の信号(Vu)を総合電流監視信号として前記制御信号線とは別の信号線を通して前記システム部に出力することを特徴とする成膜装置。 - 請求項4において、
前記監視回路は、前記電流監視信号線及び前記信号リターン線に接続されている一対の入力端子を有する演算増幅器と、該演算増幅器の出力端子と前記電流監視信号線が接続されている前記入力端子との間に接続されている帰還用抵抗とを有することを特徴とする成膜装置。 - 請求項4又は請求項5において、
前記総合電流監視信号に依存する設定信号と前記監視信号とを入力端子に受けて、前記設定信号と前記監視信号との誤差増幅信号を出力する誤差増幅器を備え、前記誤差増幅信号が前記AC−DCコンバータに制御信号として与えられることを特徴とする成膜装置。
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