JP4667818B2 - パターン形成体およびその製造方法 - Google Patents
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Description
なお、本発明に関する従来技術は、未だ見出されていない。
本発明においては、上記特性付与層が撥液層であることが好ましい。特性付与層が撥液層であれば、例えば機能性層を形成するための機能性層形成用塗工液をインクジェット法等の吐出法を用いて塗布することにより、容易に高精細な機能性層のパターンを形成することが可能となるからである。
本発明のパターン形成体は、吸収領域と緻密領域とからなる粗密パターンと、上記緻密領域上に形成され、特性付与剤を含有する特性付与層とを有することを特徴とするものである。
図1は、本発明のパターン形成体の一例を示すものである。この例では、基材1上に吸収層2が形成され、この吸収層2上にパターン状に緻密層3が形成され、この緻密層3上に特性付与層4が形成されている。この場合、基材1の吸収層2が形成された側から見ると、吸収層2が表面に露出している吸収領域5と、緻密層3が吸収層2上に形成されている緻密領域6とからなる粗密パターンが形成されており、この粗密パターンの緻密領域6上に特性付与層4が形成されている。
1.粗密パターン
本発明において用いられる粗密パターンとは、吸収領域と緻密領域とからなるパターンである。ここで、本発明に用いられる粗密パターンにおける吸収領域と緻密領域とは、同一粗密パターンにおいて、より吸収性の高い領域を吸収領域とし、より吸収性の低い領域を緻密領域とするものである。
このような、粗密パターンは、その構成としては、以下に示す3つの実施態様であることが好ましい。
本発明に用いられる粗密パターンの第1実施態様は、吸収層上に緻密層がパターン状に形成されてなるパターンである。具体的には、上記図1に示す例を挙げることができる。本態様においては、緻密層が形成された領域が本発明における緻密領域となり、緻密層が形成されておらず、吸収層が露出している領域が本発明における吸収領域となる。
a.吸収層
本態様に用いられる吸収層としては、図1に示すように基材上に形成されたものであってもよく、基材が無いもの、すなわち吸収層自体が自己支持性を有するものであってもよい。
なお、吸収層が基材無しで用いられる場合、すなわち吸収層を基材として用いる場合は、表面のみが特性付与剤を吸収できるように加工された材料等を用いることも可能である。
本態様に用いられる緻密層とは、上述した吸収層上にパターン状に形成でき、吸収層より、特性付与剤の吸収量のの小さい材料であれば特に限定されるものではない。このような材料としては、通常用いられる樹脂や金属等を挙げることができる。
本態様においては、吸収層に自己支持性が無い場合や、吸収層の材料が高価な場合等においては、基材上に吸収層が形成される。この際、用いられる基材としては、上記吸収層が形成可能であれば、特に限定されるものではなく、パターン形成体の用途や種類等によって適宜選択されるものである。また、透明性や可撓性についても適宜選択される。
なお、本態様においては、基材表面と上記吸収層との密着性を向上させるために、基材上にアンカー層を形成するようにしてもよい。このようなアンカー層としては、例えば、シラン系、チタン系のカップリング剤等を挙げることができる。
本態様においては、上記吸収層上に第2の吸収層を形成し、その上に緻密層を形成する等、吸収層を種類の異なる複数の層とすることが可能である。吸収層の特性付与剤の吸収性等を変化させることにより、表面に形成される特性付与層の特性の強弱をつけることができるため、機能性層を複数種類のパターンで形成したい場合等に好適だからである。また、吸収層における特性付与剤の吸収性を傾斜させて形成するようにしてもよい。この場合も、表面に形成される特性付与層の特性を連続して変化させることが可能となり、機能性層が連続的に変化するような機能性素子を得る場合等に好適だからである。
本発明に用いられる粗密パターンの第2実施態様は、緻密層上に吸収層がパターン状に形成されてなるものである。図2は、このような第2実施態様の一例を示すものであり、緻密層3上に吸収層2がパターン状に形成されており、緻密層3が露出している部分に特性付与剤4が形成されている。この場合は、吸収層2が形成されている領域が吸収領域5であり、緻密層3が露出している領域が緻密領域6となり、特性付与剤4はこの緻密領域6に形成されていることになる。
a.吸収層
本態様に用いられる吸収層は、第1実施態様において挙げられた材料であって、パターニング可能な材料であれば特に限定されるものではない。なお、上記第1実施態様において説明した材料は、通常はパターニング可能であることから、本態様においては、上記第1実施態様で説明した材料を通常用いることができる。
このような吸収層の膜厚としては、0.01μm〜10μmの範囲内、特に0.05μm〜2μmの範囲内であることが好ましい。上記範囲より薄い場合は、第1実施態様において説明した理由と同様の理由により特性付与層のパターニングが十分に行えない可能性があるからであり、上記範囲より厚い場合は、パターニングが困難である等の不具合が生じる可能性があるからである。
本態様に用いられる緻密層は、例えば図2に示すように基材として用いることも可能であり、また基材上に緻密層を全面に設け、その表面に吸収層をパターン状に形成するようにしてもよい。
本態様において、基材を用いた場合の基材の材料としては、上記第1実施態様と同様のものを用いることができる。また、第1実施態様と同様に、この場合も複数種類の吸収層を用いてもよく、また、吸収層として特性付与剤に対する吸収性が連続的に変化するものを用いてもよい。
本発明に用いられる粗密パターンの第3実施態様は、上記粗密パターンが、吸収領域および緻密領域を有する粗密パターン層からなるものである。図3は、このような第3実施態様の一例を示すものであり、基材1上に、吸収領域5および緻密領域6を有する粗密パターン層7が形成されている。この粗密パターン層7の緻密領域6上には特性付与層4が形成されている。
このような粗密パターン層としては、例えば、多孔質ガラスにパターン状に熱を加えて粗密パターンにしたものや、樹脂層にパターン状に熱を加えて粗密パターンにしたもの等を挙げることができる。
このような粗密パターン層の膜厚は、特に限定されるものではないが、10nm以上であることが好ましく、特に100nm以上であることが好ましい。上述したように、膜厚が上記範囲より薄い場合は、吸収領域において特性付与剤が吸収層の細孔内に十分に入り込むことができず、特性付与層のパターニングが十分に行えない可能性があるからである。
なお、基材が用いられる場合における基材としては、上記第1実施態様と同様であるので、ここでの説明は省略する。
次に、本発明に用いられる特性付与層について説明する。本発明に用いられる特性付与層は、上記粗密パターンの緻密領域上に形成されるものであり、特性付与剤を含有することを特徴とするものである。
本発明に用いられる特性付与剤としては、塗布等することにより緻密領域表面には特性付与層を形成することが可能であり、吸収領域表面にはほとんど残存しない状態となるものであれば特に限定されるものではない。
このような特性付与剤の具体例としては、付与する特性により種々のものを挙げることができる。例えば特性付与層を撥液層とする特性付与剤としては、オルガノポリシロキサンを挙げることができる。このようなオルガノポリシロキサンとしては、具体的には、(1)ゾルゲル反応等によりクロロまたはアルコキシシラン等を加水分解、重縮合して大きな強度を発揮するオルガノポリシロキサン、(2)撥水牲や撥油性に優れた反応性シリコーンを架橋したオルガノポリシロキサン等を挙げることができる。
YnSiX(4−n)
(ここで、Yはアルキル基、フルオロアルキル基、ビニル基、アミノ基、フェニル基、クロロアルキル基、イソシアネート基、もしくはエポキシ基、またはこれらを含む有機基であり、Xはアルコキシル基、アセチル基またはハロゲンを示す。nは0〜3までの整数である。)
で示される珪素化合物の1種または2種以上の加水分解縮合物もしくは共加水分解縮合物であるオルガノポリシロキサンであることが好ましい。なお、ここでXで示されるアルコキシ基は、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基であることが好ましい。また、Yで示される有機基全体の炭素数は1〜20の範囲内、中でも5〜10の範囲内であることが好ましい。
CF3(CF2)5CH2CH2Si(OCH3)3;
CF3(CF2)7CH2CH2Si(OCH3)3;
CF3(CF2)9CH2CH2Si(OCH3)3;
(CF3)2CF(CF2)4CH2CH2Si(OCH3)3;
(CF3)2CF(CF2)6CH2CH2Si(OCH3)3;
(CF3)2CF(CF2)8CH2CH2Si(OCH3)3;
CF3(C6H4)C2H4Si(OCH3)3;
CF3(CF2)3(C6H4)C2H4Si(OCH3)3;
CF3(CF2)5(C6H4)C2H4Si(OCH3)3;
CF3(CF2)7(C6H4)C2H4Si(OCH3)3;
CF3(CF2)3CH2CH2SiCH3(OCH3)2;
CF3(CF2)5CH2CH2SiCH3(OCH3)2;
CF3(CF2)7CH2CH2SiCH3(OCH3)2;
CF3(CF2)9CH2CH2SiCH3(OCH3)2;
(CF3)2CF(CF2)4CH2CH2SiCH3(OCH3)2;
(CF3)2CF(CF2)6CH2CH2Si CH3(OCH3)2;
(CF3)2CF(CF2)8CH2CH2Si CH3(OCH3)2;
CF3(C6H4)C2H4SiCH3(OCH3)2;
CF3(CF2)3(C6H4)C2H4SiCH3(OCH3)2;
CF3(CF2)5(C6H4)C2H4SiCH3(OCH3)2;
CF3(CF2)7(C6H4)C2H4SiCH3(OCH3)2;
CF3(CF2)3CH2CH2Si(OCH2CH3)3;
CF3(CF2)5CH2CH2Si(OCH2CH3)3;
CF3(CF2)7CH2CH2Si(OCH2CH3)3;
CF3(CF2)9CH2CH2Si(OCH2CH3)3;
CF3(CF2)7SO2N(C2H5)C2H4CH2Si(OCH3)3 。
本発明のパターン形成体は、上記特性付与層を用いて機能性層をパターン状に形成することにより機能性素子とすることができる。また、特性付与層自体が特性を有する場合は、本発明のパターン形成体を機能性素子として用いることも可能である。
次に、上述した機能性層がカラーフィルタである場合について説明する。図4は、本発明のパターン形成体を用いたカラーフィルタの一例を示すものである。このカラーフィルタは、図1に示すパターン形成体を用いて形成されたものであり、図1に示す吸収領域に着色層8が形成されてなるものである。なお、この場合、緻密層3は遮光部として形成されたものとなる。また、基材1は透明基板が用いられる。
上記カラーフィルタは、液晶表示装置等に用いられるものであり、赤、緑、青等の複数の画素部がガラス基板等上に高精細なパターンで形成されたものである。本発明のパターン形成体をこのカラーフィルタの製造に用いることにより、低コストで高精細なカラーフィルタとすることができる。すなわち、例えば特性付与層を撥液層とすることにより、濡れ性の異なるパターンが形成されたパターン形成体を得る。次いで、この撥液層が形成されなかった領域部位(すなわち、吸収領域)に、例えばインクジェット装置等によりインク(機能性部用組成物)を付着・硬化させることにより、容易に着色層(機能性層)を形成することができ、これにより少ない工程数で高精細なカラーフィルタを得ることができる。
次に、本発明のパターン形成体の製造方法について詳細に説明する。本発明のパターン形成体の製造方法は、吸収領域と緻密領域とからなる粗密パターンを形成する粗密パターン形成工程と、上記粗密パターン上に特性付与剤を含有する特性付与層を形成する特性付与層形成工程とを有することを特徴とするものである。
1.粗密パターン形成工程
本発明においては、まず吸収領域と緻密領域とからなる粗密パターンを形成する粗密パターン形成工程が行われる。
本発明における粗密パターンとは、上記「A.パターン形成体」の欄で説明したものと同様であるので、ここでの説明は省略する。このような粗密パターンの形成方法、具体的には緻密層上に吸収層をパターン状に形成する方法、吸収層上に機密層をパターン状に形成する方法、もしくは粗密パターン層を形成する方法としては、従来から用いられているパターニング手法、例えばフォトリソグラフィー法、印刷法、転写法等を挙げることができる。
次に、本発明における特性付与層形成工程について説明する。本発明における特性付与層形成工程は、上記粗密パターン上に特性付与剤を含有する特性付与層を形成する工程である。
本発明において、粗密パターン上に特性付与層を形成する方法としては、特性付与剤を含有する特性付与層形成用塗工液を用いる湿式法、および蒸着法等を用いて特性付与層を形成する乾式法のいずれの方法であってもよい。本発明においては、いずれの方法を用いても、単に粗密パターン上に全面に特性付与層を形成することだけで、緻密層上にのみ特性付与層が形成されるものである。
スピンコート法、ディップコート法を用いると、0.1μm以下の薄膜を簡便に形成できるため好ましい。
本発明においては、このようにして形成されたパターン形成体に対して、機能性層を形成することにより、上述したカラーフィルタ等の機能性素子を形成することができる。これらの機能性素子等に関しては、上記「A.パターン形成体」で説明したものと同様であるので、ここでの説明は省略する。
[実施例1]
(吸収層の形成)
無アルカリガラス基板上にコロイダルシリカ(IPA-ST-UP日産化学製)溶液をスピンコーティング法にて0.2μm成膜し、220℃のオーブンで10分間加熱し吸収層を形成した。
下記組成の混合物を90℃に加熱して溶解し、12000rpmで遠心分離を行い、その後、1μmのグラスフィルタでろ過した。得られた水性着色樹脂溶液に、架橋剤として重クロム酸アンモニウムを1重量%添加して、緻密層用塗料を調製した。
・カーボンブラック(三菱化学(株)製#950) … 4重量部
・ポリビニルアルコール … 0.7重量部
(日本合成化学(株)製ゴーセノールAH−26)
・イオン交換水 …95.3重量部
得られた緻密層用塗料を用いて、以下の如く遮光膜(レジスト)パターンを形成し評価した。遮光部用塗料をスピンコーターにて、上記無アルカリガラス基板上に成膜した吸収層上に塗布し、ホットプレートで80℃、1分間乾燥した。乾燥後のレジストの膜厚を触針式膜厚計(α−ステップ、テンコール社製)で測定したところ1μmであった。次に、このサンプルをマスクを通して水銀ランプで像露光した。温度25℃、濃度0.05%の水酸化カリウム及び0.1%のノニオン系界面活性剤(エマルゲンA−60 花王社製)を含有する現像液に浸漬現像し緻密層パターンを得た。その後、60℃、3分間の乾燥を行い、水銀ランプで露光することにより、緻密層用塗料を硬化させ、さらに、150℃、
30分間の加熱処理を施して緻密層を形成した。
上記吸収層上に緻密層がパターン状に形成されてなるパターン上に、特性付与剤として撥水剤(XC98-B2472 GE東芝シリコーン製)をスピンコート法で15nm成膜し、200℃のオーブンで10分間加熱した。
上記撥水剤をコーティングした吸収量域及び緻密領域との液体との接触角を測定した。緻密領域においては、表面張力30mN/mの液体(純正化学株式会社製、エチレングリコールモノエチルエーテル)との接触角を接触角測定器(協和界面科学(株)製CA−Z型)を用いて測定(マイクロシリンジから液滴を滴下して30秒後)した結果、30度であった。また吸収領域では、表面張力50mN/mの液体(純正化学株式会社製、ぬれ指数標準液No.50)との接触角を同様にして測定した結果、7度であった。このように、吸収領域が親液性領域、緻密領域が撥液性領域となり、親液性と撥液性との濡れ性の相違によるパターン形成が可能なことが確認された。
次に、インクジェット装置を用いて、顔料5重量部、溶剤20重量部、重合開始剤5重量部、UV硬化樹脂70重量部を含むRGB各色のUV硬化型多官能アクリレートモノマーインクを、親液性とした吸収領域上に付着させ着色し、これにUV処理を行い硬化させた。ここで、赤色、緑色、および青色の各インクについて、溶剤としてはポリエチレングリコールモノメチルエチルアセテート、重合開始剤としてはイルガキュア369(商品名、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ(株)製)、UV硬化樹脂としてはDPHA(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬(株)製)を用いた。また、顔料としては、赤色インクについてはC. I. Pigment Red 177、緑色インクについてはC. I. Pigment Green 36、青色インクについてはC. I. Pigment Blue 15 + C. I. Pigment Violet 23をそれぞれ用いた。
保護層として、2液混合型熱硬化剤(日本合成ゴム(株)製SS7265)をスピンコーターにより塗布し、200℃、30分間の硬化処理を施し保護層を形成し、カラーフィルタを得た。
(粗密パターンの形成)
無アルカリガラス基板(緻密層)上に下記組成で作製したペーストを、ディスペンサーを用いてパターン状に塗布し、150℃で1時間乾燥を行い、厚みが5μmの酸化バリウム層を主成分とする吸収層を形成した。
・酸化バリウム…10重量部
・ポリメタクリル酸メチルの1wt%キシレン溶液…100重量部
上記粗密パターン上に、特性付与剤としてフルオロアルキル基含有オリゴマー(X-24-7890 信越化学製)をディップコート法で30nm成膜し、250℃で5分加熱した。
実施例1と同様に、上記特性付与剤をコーティングした吸収量域及び緻密領域との液体との接触角を測定した。緻密領域においては、表面張力30mN/mの液体との接触角を測定した結果、35度であった。また吸収領域では、表面張力50mN/mの液体との接触角を測定した結果、5度であった。このように、吸収領域が親液性領域、緻密領域が撥液性領域となり、親液性と撥液性との濡れ性の相違によるパターン形成が可能なことが確認された。
(粗密パターンの形成)
テトラエトキシシラン20gを0.05Nの硝酸で3時間加水分解・縮重合させたのちイソプロピルアルコールで10倍に希釈した。続いて上記組成物をスピンコート法で0.3μm成膜し、100℃で5分加熱した。さらに上記膜をレーザーでパターン状に熱を加え粗密パターンにした。
上記粗密パターン上に、特性付与剤として撥水剤(XC98-A5382 GE東芝シリコーン製)をスピンコート法で20nm成膜し、150℃のオーブンで10分間加熱した。
実施例1と同様に、上記特性付与剤をコーティングした吸収領域及び緻密領域との液体との接触角を測定した。緻密領域においては、表面張力30mN/mの液体との接触角を測定した結果、27度であった。また吸収領域では、表面張力50mN/mの液体との接触角を測定した結果、8度であった。このように、吸収領域が親液性領域、緻密領域が撥液性領域となり、親液性と撥液性との濡れ性の相違によるパターン形成が可能なことが確認された。
2 … 吸収層
3 … 緻密層
4 … 特性付与層
5 … 吸収領域
6 … 緻密領域
7 … 粗密パターン層
8 … 着色層
Claims (8)
- 多孔質材料から形成され、特性付与剤を吸収する吸収領域と前記吸収領域よりも前記特性付与剤の吸収量が小さい材料から形成される緻密領域とからなり、平面視した際に、前記吸収領域および前記緻密領域が隣接して配置される粗密パターンと、
前記緻密領域上に形成され、前記特性付与剤を含有する特性付与層とを有するパターン形成体であって、
前記吸収領域は、前記特性付与剤を内部に含有し、
前記吸収領域と比較して、前記緻密領域の方がより強く前記特性付与剤の特性を発現することを特徴とするパターン形成体。 - 前記粗密パターンが、吸収層上に緻密層がパターン状に形成されてなるものであることを特徴とする請求項1に記載のパターン形成体。
- 前記粗密パターンが、緻密層上に吸収層がパターン状に形成されてなるものであることを特徴とする請求項1に記載のパターン形成体。
- 前記粗密パターンが、吸収領域および緻密領域を有する粗密パターン層からなるものであることを特徴とする請求項1に記載のパターン形成体。
- 前記特性付与層が撥液層であることを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかの請求項に記載のパターン形成体。
- 多孔質材料から形成され、特性付与剤を吸収する吸収領域と前記吸収領域よりも前記特性付与剤の吸収量が小さい材料から形成される緻密領域とからなり、平面視した際に、前記吸収領域および前記緻密領域が隣接して配置される粗密パターンを形成する粗密パターン形成工程と、
前記粗密パターン上に前記特性付与剤を含有する特性付与層を形成する特性付与層形成工程とを有するパターン形成体の製造方法であって、
前記吸収領域は、前記特性付与層形成工程において塗布された前記特性付与剤を内部に含有し、
前記吸収領域と比較して、前記緻密領域の方がより強く前記特性付与剤の特性を発現することを特徴とするパターン形成体の製造方法。 - 請求項1から請求項5までいずれかの請求項に記載のパターン形成体の吸収領域上に機能性層が形成されていることを特徴とする機能性素子。
- 請求項7に記載の機能性素子の機能性層が着色層であることを特徴とするカラーフィルタ。
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