JP4667337B2 - 管状カソードを有するスパッタ装置およびこのスパッタ装置の操作方法 - Google Patents
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Description
2 前方真空室
3 管状カソード
4 筒状ターゲット
5、6 接続要素
7、8 軸
10 壁
16 回転フランジ
17〜19 線要素
20〜22 接続装置
23〜25 線要素
26 螺旋状板バネ
29 ターゲットキャリアチューブ
30 内管
32〜34 磁石
51 板バネ
52〜55 線要素
Claims (21)
- 1つの真空室(1)とこの真空室(1)内に設けられる1つの管状カソード(3)を備えるスパッタ装置であって、
1つの回転自在な受容器(47)を有し、
前記受容器は、外周に複数本の可撓性を有する案内線要素(23〜25、52〜55)が巻かれ、また、前記案内線要素がそこから解かれるようになっており、
前記複数本の可撓性を有する案内線要素(23〜25、52〜55)を前記受容器(47)に連結させる連結部材(46)を具備するとともに、
前記回転自在な受容器(47)は、管状カソード(3)を支持する軸(8)の部分であること、
を特徴とするスパッタ装置。 - 前記連結部材(46)は、留め金および/または栓部材であることを特徴とする請求項1に請求されるスパッタ装置。
- 前記受容器(47)は、前記真空室(1)の外側に配置されることを特徴とする請求項1に請求されるスパッタ装置。
- 前記受容器(47)は、前記真空室(1)内に配置されることを特徴とする請求項1に請求されるスパッタ装置。
- 前記受容器(47)は、前方の真空室(2)内に配置されることを特徴とする請求項1に請求されるスパッタ装置。
- 前記受容器(47)は、筒状に形成され、かつ、その同軸上に内管(30)を有することを特徴とする請求項1に請求されるスパッタ装置。
- 前記複数本の可撓性を有する案内線要素(23〜25、52〜55)は、電力線であることを特徴とする請求項1に請求されるスパッタ装置。
- 前記複数本の可撓性を有する案内線要素(23〜25、52〜55)は、冷却ホースであることを特徴とする請求項1に請求されるスパッタ装置。
- 前記複数本の可撓性を有する案内線要素(23〜25、52〜55)は、少なくとも部分的に螺旋状板バネ(26、51)の上に置かれることを特徴とする請求項1に請求されるスパッタ装置。
- 前記複数本の可撓性を有する案内線要素(23〜25、52〜55)は、複数個の連結要素(28、28´、28´´、56と59、57と58)を介して前記螺旋状板バネ(26、51)に連結、固定されていることを特徴とする請求項9に請求されるスパッタ装置。
- 前記螺旋状板バネ(26、51)は、可撓性を有する材料からなることを特徴とする請求項9に請求されるスパッタ装置。
- 前記螺旋状板バネ(26、51)は、電気エネルギーの導体として備えられていることを特徴とする請求項9に請求されるスパッタ装置。
- 前記複数本の可撓性を有する案内線要素(23〜25、52〜55)は、電力を供給する線であることを特徴とする請求項1または請求項9に請求されるスパッタ装置。
- 前記複数本の可撓性を有する案内線要素(23〜25、52〜55)は、信号線であることを特徴とする請求項1または請求項9に請求されるスパッタ装置。
- 前記螺旋状板バネ(26、51)は、固定装置(41)に固定されていることを特徴とする請求項9において請求されるスパッタ装置。
- 前記複数本の可撓性を有する案内線要素(23〜25、52〜55)は、連結部材(46)を介して軸(8)に連結されていることを特徴とする請求項1に請求されるスパッタ装置。
- 前記複数本の可撓性を有する案内線要素(23〜25、52〜55)の長さは、前記連結部材(46)との連結に必要な長さと、前記軸の周りで、一旦、前記螺旋状板バネ(26、51)上に置かれた前記案内線要素(23〜25、52〜55)を前記螺旋状板バネ(26、51)に巻き付けるために必要な長さとを加えた長さに少なくとも対応することを特徴とする請求項16に請求されるスパッタ装置。
- 管状カソードによって基板を被覆するための方法であって、
1つの回転自在な受容器(47)を有し、前記受容器(47)は、管状カソード(3)を支持する軸(8)の部分であって、
a)管状カソード(3)を、その長軸線(A―A)の周りで、可撓性を有する案内線要素(23〜25、52〜55)が前記受容器(47)に巻かれるか、または解かれる方向である、第1の方向に、±150度乃至270度の第1の角度で回転させ、
b)前記管状カソード(3)を、その長軸線(A―A)の周りで前記第1の方向とは反対の方向である、前記可撓性を有する案内線要素(23〜25、52〜55)が前記受容器(47)に巻かれるか、または解かれる第2の方向に、前記第1の角度として規定された大きさだけ大きいか、または小さい第2の角度で回転させ、
c)前記管状カソードが、その長軸線(A―A)の周りで少なくとも±360度だけ動かされるまで、前記a)およびb)の動作を繰り返す、
各動作ステップを含むことを特徴とする、管状カソードによって基板を被覆するための方法。 - 前記管状カソード(3)が、その長軸線(A―A)の周りで少なくとも±360度だけ動かされた後に、回転運動がある特定の反対方向に行われるように、前記方法が繰り返されることを特徴とする請求項18に請求される方法。
- 前記b)の動作ステップにおける角度が、前記a)の動作ステップにおける角度より10度だけ大きいか、または、小さいことを特徴とする請求項18に請求された方法。
- 前記案内線要素(23〜25、52〜55)が置かれている前記螺旋状板バネ(26、51)は、前記受容器(47)に巻かれ、またはそこから解かれることを特徴とする請求項18に請求された方法。
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