JP4660122B2 - アクティブマトリックス型液晶表示装置用検査基板 - Google Patents
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Description
13 信号線
15 蓄積容量線
17 蓄積容量上部電極
19 蓄積容量下部電極
21 蓄積容量素子
23 スイッチング素子
23a 上部電極
23b 下部電極
25a、25b ダミー配線
27a〜27g コンタクトホール
31、33 ダミー電極
34 ダミー配線
41 コンタクトチェーン構造
51、53 パッド
Claims (12)
- 実用されるアクティブマトリックス型液晶表示装置で使用されるアレイ基板と同一の材質のガラス基板上に実際のアレイ基板と同一の製造プロセスで実際のアレイ基板と同等の電気的特性を有するように製造されるアクティブマトリックス型液晶表示装置用検査基板であって、
主面上に互いに交差するように配置された複数の走査線および複数の信号線と、前記走査線に並行に配置された複数の蓄積容量線と、前記蓄積容量線の一部を一方の電極とする蓄積容量素子と、前記信号線と同一層で形成されかつ前記蓄積容量素子と電気的に接続される蓄積容量上部電極と、前記信号線と走査線の各交差部に配置されかつ前記蓄積容量素子と電気的に接続されるスイッチング素子と、前記スイッチング素子のゲート電極とソースまたはドレイン電極を構成する2種類の金属のうち少なくとも一つを用いて形成されかつ前記走査線、蓄積容量線、信号線および蓄積容量上部電極のいずれかと電気的に接続されるダミー配線とを有して、
前記ダミー配線は、前記走査線、蓄積容量線、信号線および蓄積容量上部電極のいずれかと電気的に接続されることを特徴とするアクティブマトリックス型液晶表示装置用検査基板。 - 前記信号線、走査線、蓄積容量線、蓄積容量上部電極、スイッチング素子およびダミー配線からなる配線領域がいずれの配線も存在しない非配線領域よりも大きいことを特徴とする請求項1記載のアクティブマトリックス型液晶表示装置用検査基板。
- 前記スイッチング素子を構成する前記2種類の金属のうち下部電極からなる前記走査線と前記蓄積容量線との間に前記走査線および前記蓄積容量線と同一の金属層によるダミー配線を配置することを特徴とする請求項1記載のアクティブマトリックス型液晶表示装置用検査基板。
- 前記ダミー配線を前記信号線と電気的に接続することを特徴とする請求項3記載のアクティブマトリックス型液晶表示装置用検査基板。
- 前記スイッチング素子を構成する前記2種類の金属のうち上部電極からなる信号線と、前記蓄積容量上部電極と、前記蓄積容量上部電極を延在してなるダミー配線とを設け、各々を互いに近接配置することを特徴とする請求項3記載のアクティブマトリックス型液晶表示装置用検査基板。
- 前記スイッチング素子を構成する前記2種類の金属のうち上部電極からなる前記信号線と、前記蓄積容量上部電極と、前記蓄積容量上部電極を延在してなるダミー配線と、ダミー電極とを設け、各々を互いに近接配置することを特徴とする請求項3記載のアクティブマトリックス型液晶表示装置用検査基板。
- 前記ダミー電極を前記走査線に電気的に接続することを特徴とする請求項6記載のアクティブマトリックス型液晶表示装置用検査基板。
- 前記ダミー電極および前記蓄積容量上部電極の大きさを所定の大きさ以上とし、かつ前記信号線の一部に所定の幅以上の領域を設けることを特徴とする請求項7記載のアクティブマトリックス型液晶表示装置用検査基板。
- 実用されるアクティブマトリックス型液晶表示装置で使用されるアレイ基板と同一の材質のガラス基板上に実際のアレイ基板と同一の製造プロセスで実際のアレイ基板と同等の電気的特性を有するように製造されるアクティブマトリックス型液晶表示装置用検査基板であって、
主面上に互いに交差するように配置された複数の走査線および複数の信号線と、前記走査線に並行に配置された複数の蓄積容量線と、前記蓄積容量線の一部を一方の電極とする蓄積容量素子と、前記信号線と同一層で形成されかつ前記蓄積容量素子と電気的に接続される蓄積容量上部電極と、前記信号線と走査線の各交差部に配置されかつ前記蓄積容量素子と電気的に接続されるスイッチング素子とを有するアクティブマトリックス型液晶表示装置用検査基板において、前記信号線および前記走査線の少なくとも一方を蛇行させて走査線および信号線の少なくとも一方の配線長を長くすることを特徴とするアクティブマトリックス型液晶表示装置用検査基板。 - 前記信号線が前記蓄積容量線上で蛇行していることを特徴とする請求項9記載のアクティブマトリックス型液晶表示装置用検査基板。
- 前記信号線および前記走査線の少なくとも一方が前記スイッチング素子のゲート電極とソースまたはドレイン電極を構成する2種類の金属を交互に配置して構成され、かつ各々の端部でコンタクトホールを介して電気的に接続されているコンタクトチェーン構造を有することを特徴とする請求項9記載のアクティブマトリックス型液晶表示装置用検査基板。
- 前記ダミー電極および前記蓄積容量上部電極の所定の大きさは、10μm以上であり、前記信号線の一部の所定の幅は、10μm以上であることを特徴とする請求項8記載のアクティブマトリックス型液晶表示装置用検査基板。
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