JP4654232B2 - 弾性波を用いたｓａｗセンサ素子およびその方法 - Google Patents

Description

本発明は、ＳＡＷ素子に関し、特に、ＳＡＷ素子の共振器から発生する表面弾性波の適用と同様に、共振器から発生したスリット表面波の変化する周波数と速度との相関関係を適用することで、液体の粘性度と誘電率を感知することができる弾性波を用いたＳＡＷセンサ素子およびその方法に関する。

近年、移動通信システムの発展に伴い、携帯電話、携帯型情報端末などの移動通信機器が急速に普及され、これらの機器の小型化および高性能化の要求から、使用部品の小型化および高性能化が行われている。また、携帯電話においては、アナログ方式とデジタル方式の２種類の無線通信システムが採用されており、無線通信に使用する周波数は、８００ＭＨｚ〜１ＧＨｚ、１．５ＧＨｚ〜２．０ＧＨｚにわたっている。
前述の移動通信システムにおいて、一般に使用されるアンテナデュプレクサには、通常、低損失、耐電力性、温度安定性などを考慮した誘電体共振器デュプレクサが使用されてきている。

しかし、最近、ＳＡＷフィルタの低損失設計方法、耐電力性材料の開発、温度特性の安定した基板開発の急速な進行により、前記ＳＡＷデュプレクサを適用する動きが活発化している。

前記誘電体デュプレクサと前記ＳＡＷデュプレクサとの長短所を比較すると、前記ＳＡＷデュプレクサは、耐電力性を除いては、全ての特性が誘電体に比べて同等または優れている。特に、外形寸法を比較してみると、前記ＳＡＷデュプレクサが絶対的に優れている。但し、現在、価格的には、誘電体共振器型デュプレクサに比べてずっと高価であるが、半導体工程を用いたＳＡＷ製造工程の特性上、量産化が進むにつれ価格が安定化し、価格競争力を確保できると考えられる。

図１は、一般の表面弾性波（ＳＡＷ）フィルタを概略的に示す図である。同図に示されたように、表面弾性波フィルタは、単結晶基板１０１、入力ＩＤＴ１０２、出力ＩＤＴ１０３からなる。

前記単結晶基板１０１は、一般に、クォーツ（Ｑｕａｒｔｚ）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ₃）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ₃）などの圧電単結晶基板から形成されると、前記入力ＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）１０２と、前記出力ＩＤＴ１０３は、金属薄膜から形成される。

図１において、入力ＩＤＴ１０２に印加された電気的信号は、圧電単結晶基板１０１により機械的な波動に変換され、媒質である単結晶基板１０１を介して出力ＩＤＴ１０３に伝播していく。出力ＩＤＴ１０３に到達した波動を圧電効果により、さらに電気的な信号に変換して出力される。

即ち、前記ＳＡＷフィルタは、移動通信端末において高周波信号をフィルタリングするために一般に使用されているフィルタであって、圧電単結晶基板上に金属薄膜で変換器をパターン化して入出力端子に連結することで、目的の周波数のみを選択的に通過させる受動素子である。

前記ＳＡＷフィルタの共振器において周波数応答全体の伝達関数は、圧電体の材料物性、結晶体の純度、金属薄膜の材料特性などの材料的な特性と、電極設計の際に考慮すべき変数を含むデバイス変数の複合的な関数として与えられる。

このとき、前記共振周波数範囲の最小値の限界については、デバイスの大きさで決定され、最大値の限界は、電極の線幅と電波損失により制約を受けると知られている。共振器は、特性上、帯域幅の非常に狭い周波数応答と長い応答を有するため、電極の設計による正確な電極の製造によってのみ希望の特性を得ることが可能である。

以上のように、ＳＡＷ素子に適用される特性を考慮して他の応用分野、特にセンサ分野においても適用しようとする動きがある。

本発明は、前述のような要求に答えるためになされたものであって、本発明の目的は、特に、ＳＡＷ素子の共振器から発生する表面弾性波の適用と同様に、共振器から発生したスリット表面波の変化する周波数と速度との相関関係を適用することで、スリットを通過する液体の粘性度と誘電率を感知することができる弾性波を用いたＳＡＷセンサ素子およびその方法を提供することにある。

上記の目的を達成するための本発明の一側面によれば、弾性波を用いたＳＡＷセンサ素子は、素子内の液体を感知することができるように、その内部に弾性波が通過するスリットを形成し、前記スリットを基準に上部と下部とに分けられる圧電基板と、前記圧電基板の一側に形成され、電気的な入力信号を前記弾性波に変換する入力ＩＤＴと、前記圧電基板の前記入力ＩＤＴと反対の一側に形成され、伝播された前記弾性波を受信して電気的な信号に変換する出力ＩＤＴと、前記圧電基板のスリット内に液体が入力されるようにする液体入力ポートと、前記圧電基板のスリット内の液体が出力されるようにする液体出力ポートとを備え、前記入力ＩＤＴと出力ＩＤＴの間の前記スリットの幅は一定であることを特徴とする。

前記スリット内に所定の液体が流れると、スリット内の液体弾性波の速度と周波数を測定することで、その液体の誘電率と粘性度を知ることができる。

好適な実施例において、ＳＡＷセンサ素子の液体感知方法は、（ａ）空スリットの状態で進行される弾性波の位相速度（ｖ₀）を測定し、周波数（ｆ₀）を計算するステップと、（ｂ）液体入力ポートを介して前記スリット内に所定の液体が流れると、前記スリット内の弾性波の位相速度（ｖ₁）を測定し、周波数（ｆ₁）を計算するステップと、（ｃ）前記速度（ｖ₀）と速度（ｖ₁）との差および前記周波数（ｆ₀）と周波数（ｆ₁）との差を考慮して前記スリットを通過する液体の誘電率と粘性度を感知するステップとを含むことができる。

前記（ｂ）ステップにおいて、前記弾性波の位相速度（ｖ₁）の測定および周波数（ｆ₁）の計算は、前記液体が液体出力ポートまで満たされた時の弾性波の速度と周波数を求めることで得られる。

前記（ｃ）ステップにおいて、前記液体の誘電率と粘性度の感知は、予め外部的な装置に各種液体の誘電率および粘性度データを備え、そのデータを比較して求めることで得られる。

本発明によれば、本発明に係る弾性波を用いたＳＡＷセンサ素子およびその方法は、ＳＡＷ素子スリット内の共振器から発生したスリット表面波の変化する周波数と速度との相関関係を適用することで、スリットに通過する液体の粘性度と誘電率を知ることができる。

本発明の追加的な長所、目的、及び特徴は、以下の説明で部分的に主張され、審査時この技術において通常の知識を有する者に明白になり、あるいは発明の実行により教わることになる。特に添付された請求項で指摘されることにより、本発明の目的及び長所は実現されて達成される。
本発明は同様な符号が同様な要素を示す以下の図面を参照して詳しくされる。
以下、添付の図面を参照して本発明の好適な実施例を詳述する。

図２は、本発明に係る弾性波を用いた液体センサとして機能するＳＡＷセンサ素子の構成の断面を概略的に示す図である。

同図に示されたように、液体センサとして機能するＳＡＷセンサ素子は、その内部に弾性波が通過するスリット３０４を形成し、前記スリットを基準に上部と下部とに分けられる圧電基板３０１と、前記圧電基板の一側に形成され、電気的な入力信号を弾性波に変換する入力ＩＤＴ３０２と、前記圧電基板３０１の前記入力ＩＤＴ３０２と反対の一側に形成され、伝播された前記弾性波を受信して電気的な信号に変換する出力ＩＤＴ３０３と、前記圧電基板３０１のスリット内に液体が入力されるようにする液体入力ポート（Ｉｎｐｕｔ ｌｉｑｕｉｄ ｐｏｒｔ）３０５と、前記圧電基板３０１のスリット内の液体が出力されるようにする液体出力ポート（Ｏｕｔｐｕｔ ｌｉｑｕｉｄ ｐｏｒｔ）３０６とを備えてなる。

前述のような本発明に係る液体センサとして機能するＳＡＷセンサ素子の動作原理は、次の通りである。

先ず、入力ＩＤＴ３０２で変換した弾性波は、前記圧電基板３０１により伝達され、前記出力ＩＤＴ３０３でさらに弾性波を電気的な信号に変換するようになる。前記圧電基板３０１のスリット３０４を通過する弾性波は、特定の周波数のみを通過させるようになる。

このように、圧電基板３０１のスリット３０４を弾性波が伝播する時、前記弾性波の位相速度は、スリット３０４内の液体の誘電率に依存する。即ち、空スリットで進行される弾性波の速度をｖ₀とし、液体が満たされたスリットで進行される弾性波の速度をｖ₁とする時、液体の誘電率に従ってその位相速度が変化する。

また、液体の粘性度に応じて波力の損失が発生し、これによって、速度の変化が発生する。

従って、このような液体の粘性度と誘電率に応じて弾性波の位相速度が変化するため、これらの相関関係を用いて前記ＳＡＷセンサ素子が液体感知センサとして使用可能であり、以下、その詳細な過程を説明する。

先ず、液体の粘性度（ｖｉｓｃｏｓｉｔｙ）と誘電率（ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ ｐｅｒｍｉｔｔｉｖｉｔｙ）を知るためには、先ず、前記空スリット３０４の状態で進行される弾性波の位相速度（ｖ₀）を測定し、周波数（ｆ₀）を計算する（Ｓ３１）。ここで、前記速度と周波数とは、ｆ＝ｖ／λの式を適用して相関関係を求めることができる。

そして、前記液体入力ポート３０５を介して前記スリット内に所定の液体が流れると、前記スリット３０４内の弾性波の位相速度（ｖ₁）を測定し、周波数（ｆ₁）を計算する（Ｓ３２）。ここで、前記液体は、前記液体出力ポート３０６まで満たされた時の弾性波の速度と周波数を求めるようになる。

従って、前記速度（ｖ₀）と速度（ｖ₁）との差（ｖｅｌｏｃｉｔｙ ｓｈｉｆｔ）および前記周波数（ｆ₀）と周波数（ｆ₁）との差（ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ ｓｈｉｆｔ）を考慮して前記スリット３０４を通過する液体の誘電率と粘性度を知ることができる。

即ち、予め弾性波の位相速度の差および周波数の差による各種液体の誘電率と粘性度の値データを外部的な装置にセットしてデータベース化する（Ｓ３３）。

なお、前記液体の誘電率や粘性度については、予め外部的な装置に各種液体の誘電率と粘性度データを備えているため、そのデータと比較して類似した値を有するものを探すことで知ることができ（Ｓ３４）、前記ＳＡＷ素子が液体センサとしての役割をすることが可能である。

一般の表面弾性波フィルタの概略図。 本発明に係る弾性波を用いた液体センサとして機能するＳＡＷセンサ素子の構成の断面の概略図。

１０１・・・単結晶基板
１０２・・・入力ＩＤＴ
１０３・・・出力ＩＤＴ
３０１・・・圧電基板
３０２・・・入力ＩＤＴ
３０３・・・出力ＩＤＴ
３０４・・・スリット
３０５・・・液体入力ポート
３０６・・・液体出力ポート

Claims (5)

1. 素子内の液体を感知することができるように、
   その内部に弾性波が通過するスリットを形成し、前記スリットを基準に上部と下部とに分けられる圧電基板と、
   前記圧電基板の一側に形成され、電気的な入力信号を前記弾性波に変換する入力ＩＤＴと、
   前記圧電基板の前記入力ＩＤＴと反対の一側に形成され、伝播された前記弾性波を受信して電気的な信号に変換する出力ＩＤＴと、
   前記圧電基板のスリット内に液体が入力されるようにする液体入力ポートと、
   前記圧電基板のスリット内の液体が出力されるようにする液体出力ポートと、
   を備え、
   前記入力ＩＤＴと出力ＩＤＴの間の前記スリットの幅は一定であることを特徴とする、
   弾性波を用いたＳＡＷセンサ素子。
2. 請求項１に記載の弾性波を用いたＳＡＷセンサ素子において、前記スリット内に所定の液体が流れると、スリット内の液体弾性波の速度と周波数を測定することで、その液体の誘電率と粘性度を知ることができることを特徴とする、弾性波を用いたＳＡＷセンサ素子。
3. 素子内の液体を感知することができるように、
   その内部に弾性波が通過するスリットを形成し、前記スリットを基準に上部と下部とに分けられる圧電基板と、
   前記圧電基板の一側に形成され、電気的な入力信号を前記弾性波に変換する入力ＩＤＴと、
   前記圧電基板の前記入力ＩＤＴと反対の一側に形成され、伝播された前記弾性波を受信して電気的な信号に変換する出力ＩＤＴと、
   前記圧電基板のスリット内に液体が入力されるようにする液体入力ポートと、
   前記圧電基板のスリット内の液体が出力されるようにする液体出力ポートと、を備え、
   前記入力ＩＤＴと出力ＩＤＴの間の前記スリットの幅は一定であることを特徴とする弾性波を用いたＳＡＷセンサ素子の液体感知方法において、
   （ａ）空スリットの状態で進行される弾性波の位相速度（ｖ₀）を測定し、周波数（ｆ₀）を計算するステップと、
   （ｂ）液体入力ポートを介して前記スリット内に所定の液体が流れると、前記スリット内の弾性波の位相速度（ｖ₁）を測定し、周波数（ｆ₁）を計算するステップと、
   （ｃ）前記速度（ｖ₀）と速度（ｖ₁）との差および前記周波数（ｆ₀）と周波数（ｆ₁）との差を考慮して前記スリットを通過する液体の誘電率と粘性度を感知するステップと、
   を含んでなることを特徴とする、
   ＳＡＷセンサ素子の液体感知方法。
4. 請求項３に記載の弾性波を用いたＳＡＷセンサ素子の液体感知方法において、前記（ｂ）ステップにおいて、前記弾性波の位相速度（ｖ₁）の測定および周波数（ｆ₁）の計算は、前記液体が前記液体出力ポートまで満たされた時の前記弾性波の速度と周波数を求めることであることを特徴とする、ＳＡＷセンサ素子の液体感知方法。
5. 請求項３に記載の弾性波を用いたＳＡＷセンサ素子の液体感知方法において、前記（ｃ）ステップにおいて、前記液体の誘電率と粘性度の感知は、各種液体の誘電率および粘性度データを備え、そのデータを比較して求めることであることを特徴とする、ＳＡＷセンサ素子の液体感知方法。

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