JPH1114602A - 膜センサ装置 - Google Patents
膜センサ装置Info
- Publication number
- JPH1114602A JPH1114602A JP16230597A JP16230597A JPH1114602A JP H1114602 A JPH1114602 A JP H1114602A JP 16230597 A JP16230597 A JP 16230597A JP 16230597 A JP16230597 A JP 16230597A JP H1114602 A JPH1114602 A JP H1114602A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- ultrasonic
- wall surface
- solution
- sensor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 センサ膜表面近傍の微量の試料溶液を効果的
に循環させる手法を組み込んだ膜センサ装置を提供する
ことを目的とする。 【解決手段】 膜センサ装置は、組成を測定する溶液を
おさめる容器部１と、膜センサ１０、放熱ユニット２お
よび温度センサ１６よりなる。容器部には、管２１から
試料溶液が導入され、管２２より排出される。２枚の板
３１、３２に挟まれたスペーサー４１内に溶液が蓄えら
れる隙間があり、スペーサー４１内には二つの超音波振
動子がそれぞれ板３１、３２に対面するかたちで、互い
の進行波が重なり合わないように固定されている。超音
波振動子よりバルク波を発生させる場合には、超音波振
動子を厚み振動モード（３３モード）あるいは長さ振動
モード（３１モード）で振動させ、容器中の試料溶液
に、溶液の流れを作り出す。
に循環させる手法を組み込んだ膜センサ装置を提供する
ことを目的とする。 【解決手段】 膜センサ装置は、組成を測定する溶液を
おさめる容器部１と、膜センサ１０、放熱ユニット２お
よび温度センサ１６よりなる。容器部には、管２１から
試料溶液が導入され、管２２より排出される。２枚の板
３１、３２に挟まれたスペーサー４１内に溶液が蓄えら
れる隙間があり、スペーサー４１内には二つの超音波振
動子がそれぞれ板３１、３２に対面するかたちで、互い
の進行波が重なり合わないように固定されている。超音
波振動子よりバルク波を発生させる場合には、超音波振
動子を厚み振動モード（３３モード）あるいは長さ振動
モード（３１モード）で振動させ、容器中の試料溶液
に、溶液の流れを作り出す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、膜センサを用いた
溶液中の試料成分分析装置に関する。
溶液中の試料成分分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】水溶液中に溶けている特定の種類のイオ
ンあるいは溶存酸素等の定量的測定には、従来は煩雑な
前処理を必要とする化学分析法が主流であったが、近
年、目的とするイオンあるいは物質を選択的に透過する
薄膜などを用いて、溶液中に存在する特定のイオンの濃
度に応答し、そのイオン濃度に応じた電位を生じるイオ
ン電極が開発され利用されている。たとえば、水中に溶
け込んでいる溶存酸素量を測定する方法には、一般に隔
膜型ガルバニ電池式測定法が用いられている。これは、
酸素透過性隔膜を通過して拡散してくる溶存酸素が、そ
の量に応じてカソードの銀電極上で還元反応を起こし起
電力を発生させるので、この電流量を測定することで定
量的に隔膜を透過してきた酸素量を見積ることができる
ものである。このような薄膜を用いた手法で測定を行え
ば、煩雑な過程を経ることなく、薄膜を先端に組み込ん
だセンサを用いて、直接、連続的に試料溶液中に含まれ
る物質の組成を測定することが可能となる利点がある。
ンあるいは溶存酸素等の定量的測定には、従来は煩雑な
前処理を必要とする化学分析法が主流であったが、近
年、目的とするイオンあるいは物質を選択的に透過する
薄膜などを用いて、溶液中に存在する特定のイオンの濃
度に応答し、そのイオン濃度に応じた電位を生じるイオ
ン電極が開発され利用されている。たとえば、水中に溶
け込んでいる溶存酸素量を測定する方法には、一般に隔
膜型ガルバニ電池式測定法が用いられている。これは、
酸素透過性隔膜を通過して拡散してくる溶存酸素が、そ
の量に応じてカソードの銀電極上で還元反応を起こし起
電力を発生させるので、この電流量を測定することで定
量的に隔膜を透過してきた酸素量を見積ることができる
ものである。このような薄膜を用いた手法で測定を行え
ば、煩雑な過程を経ることなく、薄膜を先端に組み込ん
だセンサを用いて、直接、連続的に試料溶液中に含まれ
る物質の組成を測定することが可能となる利点がある。
【０００３】選択的透過膜を用いる場合には、膜に接す
る試料溶液の組成が一定であることが測定精度を上げる
ためには重要であるが、一般には膜に接する溶液の組成
を安定化させるために、膜近傍で攪拌子を３００〜５０
０ｒｐｍ程度の速度で回転させ緩やかな試料溶液の流れ
を膜表面に作らせることで膜表面の溶液を交換したり、
試料溶液を含む容器を２０〜３０ｃｍ／ｓｅｃ程度の速
度で震盪させることで溶液を交換している。
る試料溶液の組成が一定であることが測定精度を上げる
ためには重要であるが、一般には膜に接する溶液の組成
を安定化させるために、膜近傍で攪拌子を３００〜５０
０ｒｐｍ程度の速度で回転させ緩やかな試料溶液の流れ
を膜表面に作らせることで膜表面の溶液を交換したり、
試料溶液を含む容器を２０〜３０ｃｍ／ｓｅｃ程度の速
度で震盪させることで溶液を交換している。
【０００４】超音波を液体に照射することで、液体自体
に流れが生じる超音波流動現象は、W. L. Nyborgによっ
てPhysical AcousticsのAcoustic Streamingの中に紹
介されている（Vol. 2B, Ed. W. P. Mason, Academic
Press, 1965）。この現象は、超音波強度の傾きによっ
て生じるものと考えられており、より大きな駆動力を得
るためには超音波のパワー密度を増加させるか、超音波
の流体中での減衰を大きくすればよい。また、表面弾性
波（ＳＡＷ）による流動現象に関しても塩川らによって
報告されている（S. Shiokawa et al., Jpn. J. Appl.
Phys. Supl. 29-1 (1990) pp. 135-137）。これは、櫛
形電極によって基板表面に作り出されたレーリーＳＡＷ
が、水／個体の界面では水中への放射モードであるリー
キーＳＡＷとなり、これによって基板上に滴下した水滴
が流動したり飛翔したりする現象である。
に流れが生じる超音波流動現象は、W. L. Nyborgによっ
てPhysical AcousticsのAcoustic Streamingの中に紹
介されている（Vol. 2B, Ed. W. P. Mason, Academic
Press, 1965）。この現象は、超音波強度の傾きによっ
て生じるものと考えられており、より大きな駆動力を得
るためには超音波のパワー密度を増加させるか、超音波
の流体中での減衰を大きくすればよい。また、表面弾性
波（ＳＡＷ）による流動現象に関しても塩川らによって
報告されている（S. Shiokawa et al., Jpn. J. Appl.
Phys. Supl. 29-1 (1990) pp. 135-137）。これは、櫛
形電極によって基板表面に作り出されたレーリーＳＡＷ
が、水／個体の界面では水中への放射モードであるリー
キーＳＡＷとなり、これによって基板上に滴下した水滴
が流動したり飛翔したりする現象である。
【０００５】ＳＡＷを発生させる手法としては、主とし
てインター・ディジタル・トランスデューサー（ＩＤ
Ｔ）を用いた方法と、バルク波を表面波に変換する方法
の２つがある。ＩＤＴを用いた手法は、圧電体基板上に
櫛形に電極を交差させて、これらの電極に交流電圧を印
加することで発生させるものであるが、この場合には櫛
電極の間隔は、用いたい超音波の波長（λ）の１／２
（すなわちλ／２）にする必要があり、また、櫛形電極
に印加できる電界は、４ｋＶ／ｃｍまでに制限されてい
るため、周波数の低い超音波で強力超音波を発生させる
ことは難しい。
てインター・ディジタル・トランスデューサー（ＩＤ
Ｔ）を用いた方法と、バルク波を表面波に変換する方法
の２つがある。ＩＤＴを用いた手法は、圧電体基板上に
櫛形に電極を交差させて、これらの電極に交流電圧を印
加することで発生させるものであるが、この場合には櫛
電極の間隔は、用いたい超音波の波長（λ）の１／２
（すなわちλ／２）にする必要があり、また、櫛形電極
に印加できる電界は、４ｋＶ／ｃｍまでに制限されてい
るため、周波数の低い超音波で強力超音波を発生させる
ことは難しい。
【０００６】バルク波を表面波に変換する方法は、すで
に確立されているバルク波の発生手段を利用して、強力
超音波等のバルク波を表面波に変換する手法である。た
とえば、プリズム形状の固体を用いてバルク波の境界面
での漏洩波からＳＡＷを発生させるプリズムカップラ法
や、ＳＡＷを発生させる固体表面上に周期構造を作り、
これにバルク波を当てることでＳＡＷを発生させるグレ
ーティングカップラ法などが知られている（R. F. Hump
hryes and E. A. Ash, Electronics Lett. Vol. 5 (196
9) pp.175-176）。
に確立されているバルク波の発生手段を利用して、強力
超音波等のバルク波を表面波に変換する手法である。た
とえば、プリズム形状の固体を用いてバルク波の境界面
での漏洩波からＳＡＷを発生させるプリズムカップラ法
や、ＳＡＷを発生させる固体表面上に周期構造を作り、
これにバルク波を当てることでＳＡＷを発生させるグレ
ーティングカップラ法などが知られている（R. F. Hump
hryes and E. A. Ash, Electronics Lett. Vol. 5 (196
9) pp.175-176）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術でも述べ
たように、選択的透過膜を用いたセンサに接する試料溶
液の組成が一定であることが測定精度を上げるためには
重要であるが、従来技術では膜近傍で攪拌子を回転させ
緩やかな試料溶液の流れを膜表面に作らせることで膜表
面の溶液を交換したり、試料溶液を含む容器を震盪させ
ることで溶液を交換していたため、センサを浸ける試料
溶液の容器は攪拌子を回転させるのに十分な容積が必要
であったり、センサを揺らすのに十分な容量が必要であ
った。また、試料を攪拌する場合に、攪拌子を用いた場
合に、その攪拌子の成分あるいは付着物が測定結果に変
化を与える可能性があった。
たように、選択的透過膜を用いたセンサに接する試料溶
液の組成が一定であることが測定精度を上げるためには
重要であるが、従来技術では膜近傍で攪拌子を回転させ
緩やかな試料溶液の流れを膜表面に作らせることで膜表
面の溶液を交換したり、試料溶液を含む容器を震盪させ
ることで溶液を交換していたため、センサを浸ける試料
溶液の容器は攪拌子を回転させるのに十分な容積が必要
であったり、センサを揺らすのに十分な容量が必要であ
った。また、試料を攪拌する場合に、攪拌子を用いた場
合に、その攪拌子の成分あるいは付着物が測定結果に変
化を与える可能性があった。
【０００８】本発明は、センサ膜表面近傍の微量の試料
溶液を非接触で効果的に循環させる手法を組み込んだ膜
センサ装置を提供することを目的とする。
溶液を非接触で効果的に循環させる手法を組み込んだ膜
センサ装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的のセンサ膜表面
近傍の微量の試料溶液を非接触で効果的に循環させる手
法は、膜センサ表面近傍に超音波流動現象によって生じ
た試料溶液の流れを起こすことで達成される。
近傍の微量の試料溶液を非接触で効果的に循環させる手
法は、膜センサ表面近傍に超音波流動現象によって生じ
た試料溶液の流れを起こすことで達成される。
【００１０】超音波流動現象を試料容器内で効果的に発
生させるために、本装置は試料溶液を含む容器中に超音
波進行波あるいは漏洩表面弾性波を導入する手段を有す
る。超音波進行波を導入するため、（１）試料溶液を入
れる容器の内壁面の、少なくとも１つの壁面の一部から
超音波バルク波を照射する手段を有し、前記超音波バル
ク波を照射する壁面と、この壁面に対向する壁面との距
離が、用いた超音波の波長の１／２の整数倍でないよう
に装置を構成する。あるいは、（２）容器の内壁面の、
少なくとも１つの壁面の一部から超音波バルク波を照射
する手段を有し、前記超音波バルク波を照射する壁面
と、この壁面に対向する壁面の少なくとも一部が平行で
ないように容器を構成する。
生させるために、本装置は試料溶液を含む容器中に超音
波進行波あるいは漏洩表面弾性波を導入する手段を有す
る。超音波進行波を導入するため、（１）試料溶液を入
れる容器の内壁面の、少なくとも１つの壁面の一部から
超音波バルク波を照射する手段を有し、前記超音波バル
ク波を照射する壁面と、この壁面に対向する壁面との距
離が、用いた超音波の波長の１／２の整数倍でないよう
に装置を構成する。あるいは、（２）容器の内壁面の、
少なくとも１つの壁面の一部から超音波バルク波を照射
する手段を有し、前記超音波バルク波を照射する壁面
と、この壁面に対向する壁面の少なくとも一部が平行で
ないように容器を構成する。
【００１１】また、漏洩弾性波を容器内壁面に発生させ
るとき、本発明は、特に効果的に溶液を交換させるため
に（３）容器の内壁面のうち、膜センサを含む面あるい
は、これに対面する面上に表面弾性波を発生させる手段
を有する。また、本発明は、（４）流体の温度を制御す
るため、試料に超音波を作用させる容器の温度を制御す
る手段を有する。
るとき、本発明は、特に効果的に溶液を交換させるため
に（３）容器の内壁面のうち、膜センサを含む面あるい
は、これに対面する面上に表面弾性波を発生させる手段
を有する。また、本発明は、（４）流体の温度を制御す
るため、試料に超音波を作用させる容器の温度を制御す
る手段を有する。
【００１２】また、本発明では、用いる超音波によって
生じるキャビテーションの発生を防ぐため、周波数５０
０ｋＨｚより高い周波数を用いることができる。
生じるキャビテーションの発生を防ぐため、周波数５０
０ｋＨｚより高い周波数を用いることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１に本発明の膜センサ装置の模
式図を示し、以下にこの図を用いて本発明の膜センサ装
置を説明する。本発明の構成は、（１）組成を測定する
溶液をおさめる容器部１と、（２）膜センサ１０、
（３）放熱ユニット２および温度センサ１６よりなる。
容器部１には、管２１から試料溶液が導入され、管２２
より排出される。２枚の板３１、３２に挟まれたスペー
サー４１内に溶液が蓄えられる隙間がある。板３１に
は、膜センサ１０を組み込む穴と、試料溶液の温度を測
定する温度センサ１６を導入する穴が開けられている。
また、放熱ユニット２では、ペルチエ素子５０が板３２
と放熱板６０とに挟まれており、温度センサ１６の温度
データを基に試料溶液の温度を調節することができる。
式図を示し、以下にこの図を用いて本発明の膜センサ装
置を説明する。本発明の構成は、（１）組成を測定する
溶液をおさめる容器部１と、（２）膜センサ１０、
（３）放熱ユニット２および温度センサ１６よりなる。
容器部１には、管２１から試料溶液が導入され、管２２
より排出される。２枚の板３１、３２に挟まれたスペー
サー４１内に溶液が蓄えられる隙間がある。板３１に
は、膜センサ１０を組み込む穴と、試料溶液の温度を測
定する温度センサ１６を導入する穴が開けられている。
また、放熱ユニット２では、ペルチエ素子５０が板３２
と放熱板６０とに挟まれており、温度センサ１６の温度
データを基に試料溶液の温度を調節することができる。
【００１４】つぎに、図２および図３を用いて超音波振
動子を用いた試料溶液の循環方法について説明する。図
２は図１で示した膜センサ装置のＡ−Ａ断面図、図３は
Ｂ−Ｂ断面図である。膜センサ１０のセンサ膜１１は、
容器内の試料溶液に接するように配置されている。スペ
ーサー４１内には超音波振動子７１、７２がそれぞれ板
３１、３２に接するかたちで、互いの進行波が重なり合
わないように固定されている。超音波振動子７１、７２
よりバルク波を発生させる場合には、超音波振動子を厚
み振動モード（３３モード）あるいは長さ振動モード
（３１モード）で振動させ、それぞれ矢印８１、８２方
向に超音波進行波を発生させる。この時の超音波の周波
数は、キャビテーションの発生を抑制するために５００
ｋＨｚ以上の超音波を用いることが望ましい。また、容
器内の隙間の幅は、超音波の波長λについて、（λ／
２）の整数倍でないことが望ましい。容器中の試料溶液
に、矢印９１で示したような溶液の流れを作り出すため
には、超音波振動子７１、７２を互いにずらすよう配置
する。
動子を用いた試料溶液の循環方法について説明する。図
２は図１で示した膜センサ装置のＡ−Ａ断面図、図３は
Ｂ−Ｂ断面図である。膜センサ１０のセンサ膜１１は、
容器内の試料溶液に接するように配置されている。スペ
ーサー４１内には超音波振動子７１、７２がそれぞれ板
３１、３２に接するかたちで、互いの進行波が重なり合
わないように固定されている。超音波振動子７１、７２
よりバルク波を発生させる場合には、超音波振動子を厚
み振動モード（３３モード）あるいは長さ振動モード
（３１モード）で振動させ、それぞれ矢印８１、８２方
向に超音波進行波を発生させる。この時の超音波の周波
数は、キャビテーションの発生を抑制するために５００
ｋＨｚ以上の超音波を用いることが望ましい。また、容
器内の隙間の幅は、超音波の波長λについて、（λ／
２）の整数倍でないことが望ましい。容器中の試料溶液
に、矢印９１で示したような溶液の流れを作り出すため
には、超音波振動子７１、７２を互いにずらすよう配置
する。
【００１５】また、超音波振動子をすべり振動モ−ド
（１５モード）で振動させた場合、超音波振動子は、板
３１、３２表面に表面弾性波を励起させることができ
る。板３１、３２を進行する表面弾性波は、固体／液体
境界層で試料容器中におのおの矢印８１、８２方向の漏
洩超音波を放出し、矢印９１のような溶液の流れを生み
出す。
（１５モード）で振動させた場合、超音波振動子は、板
３１、３２表面に表面弾性波を励起させることができ
る。板３１、３２を進行する表面弾性波は、固体／液体
境界層で試料容器中におのおの矢印８１、８２方向の漏
洩超音波を放出し、矢印９１のような溶液の流れを生み
出す。
【００１６】図４を用いて、図１で示した膜センサ装置
中に表面弾性波を発生させる本装置の第２の実施例を説
明する。図４は、図２と同様に膜センサ装置のＡ−Ａ断
面である。２枚の板３３、３４それぞれには周期的に鋸
状の窪みが刻まれており、超音波振動子７３、７４より
板３３、３４に照射されたバルク波はこの窪みにおい
て、表面弾性波に変換され、それぞれ矢印８３、８４の
方向に伝搬してゆく。２枚の板にある周期的な窪みは、
周期的な突起でもよい。
中に表面弾性波を発生させる本装置の第２の実施例を説
明する。図４は、図２と同様に膜センサ装置のＡ−Ａ断
面である。２枚の板３３、３４それぞれには周期的に鋸
状の窪みが刻まれており、超音波振動子７３、７４より
板３３、３４に照射されたバルク波はこの窪みにおい
て、表面弾性波に変換され、それぞれ矢印８３、８４の
方向に伝搬してゆく。２枚の板にある周期的な窪みは、
周期的な突起でもよい。
【００１７】図５を用いて、図１で示した膜センサ装置
中に進行波を発生させる本装置の第３の実施例を説明す
る。図５は、図２と同様に膜センサ装置のＡ−Ａ断面で
ある。２枚の板３５、３６に挟まれたスペーサー４３
は、その一部が板３５、３６に対して４５度程度の角度
を持つように加工されており、超音波振動子から板３６
へ導入されたバルク波が溶液中に導入されたときに、矢
印９３方向に溶液の流れが発生するように、超音波の進
行波が反射する構成になっている。このとき、板３５、
３６の厚さは、使用する超音波の板中での波長をλ’に
としたとき、（λ’／２）の整数倍とはなっていないこ
とが望ましい。
中に進行波を発生させる本装置の第３の実施例を説明す
る。図５は、図２と同様に膜センサ装置のＡ−Ａ断面で
ある。２枚の板３５、３６に挟まれたスペーサー４３
は、その一部が板３５、３６に対して４５度程度の角度
を持つように加工されており、超音波振動子から板３６
へ導入されたバルク波が溶液中に導入されたときに、矢
印９３方向に溶液の流れが発生するように、超音波の進
行波が反射する構成になっている。このとき、板３５、
３６の厚さは、使用する超音波の板中での波長をλ’に
としたとき、（λ’／２）の整数倍とはなっていないこ
とが望ましい。
【００１８】
【発明の効果】以上詳述したように、従来の攪拌子を用
いた測定法に対して、本発明を用いることによって、膜
センサ表面の試料溶液を、非接触に循環させることが可
能となり、試料溶液の微量化、膜センサの測定精度の安
定化と、測定装置の小型化ができるという効果を奏す
る。
いた測定法に対して、本発明を用いることによって、膜
センサ表面の試料溶液を、非接触に循環させることが可
能となり、試料溶液の微量化、膜センサの測定精度の安
定化と、測定装置の小型化ができるという効果を奏す
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例の基本構成を示す模式
図。
図。
【図２】図１で示した装置のＡ−Ａ断面図。
【図３】図１で示した装置のＢ−Ｂ断面図。
【図４】図１で示した装置の第２の実施例のＡ−Ａ断面
図。
図。
【図５】図１で示した装置の第３の実施例のＡ−Ａ断面
図。
図。
１…容器部、２…放熱ユニット、１０、１２、１４…膜
センサ、１１、１３、１５…センサ膜、１６…温度セン
サ、２１、２２…管、３１、３２、３３、３４、３５、
３６…板、４１、４２、４３…スペーサー、５０ペルチ
エ素子、６０…放熱板、７１、７２、７３、７４、７５
…超音波振動子、８１、８２、８３、８４、８５…超音
波の進行方向、９１、９２、９３…溶液の流れ。
センサ、１１、１３、１５…センサ膜、１６…温度セン
サ、２１、２２…管、３１、３２、３３、３４、３５、
３６…板、４１、４２、４３…スペーサー、５０ペルチ
エ素子、６０…放熱板、７１、７２、７３、７４、７５
…超音波振動子、８１、８２、８３、８４、８５…超音
波の進行方向、９１、９２、９３…溶液の流れ。
Claims (9)
- 【請求項１】組成を測定する試料溶液をおさめる容器
と、前記溶液に接するように前記容器の内壁面に配置さ
れた膜センサと、前記容器中に超音波進行波を導入する
手段と、を有することを特徴とする膜センサ装置。 - 【請求項２】前記容器の内壁面の、少なくとも１つの壁
面の一部から超音波バルク波を照射する手段を有し、前
記超音波バルク波を照射する壁面と、この壁面に対向す
る壁面との距離が、用いた超音波の波長の１／２の整数
倍からずれた距離であることを特徴とする請求項１記載
の膜センサ装置。 - 【請求項３】前記容器の内壁面の、少なくとも１つの壁
面の一部から超音波バルク波を照射する手段を有し、前
記超音波バルク波を照射する壁面と、この壁面に対向す
る壁面の少なくとも一部が非平行であることを特徴とす
る請求項１記載の膜センサ装置。 - 【請求項４】組成を測定する試料溶液をおさめる容器
と、前記溶液に接するように前記容器の内壁面に配置さ
れた膜センサと、前記容器の内壁面に超音波表面弾性波
を発生させる手段とを有することを特徴とする膜センサ
装置。 - 【請求項５】前記容器の内壁面のうち、膜センサを含む
面または膜センサを含む面に対向する面に超音波表面弾
性波を発生させる手段を有することを特徴とする請求項
４記載の膜センサ装置。 - 【請求項６】試料溶液をおさめる前記容器中の溶液の温
度を制御する手段を有することを特徴とする請求項１記
載の膜センサ装置。 - 【請求項７】試料溶液をおさめる前記容器中の溶液の温
度を制御する手段を有することを特徴とする請求項４記
載の膜センサ装置。 - 【請求項８】前記超音波進行波の周波数が５００ｋＨｚ
以上であることを特徴とする請求項第１項記載の膜セン
サ装置。 - 【請求項９】前記超音波弾性表面波の周波数が５００ｋ
Ｈｚ以上であることを特徴とする請求項４記載の膜セン
サ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16230597A JPH1114602A (ja) | 1997-06-19 | 1997-06-19 | 膜センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16230597A JPH1114602A (ja) | 1997-06-19 | 1997-06-19 | 膜センサ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1114602A true JPH1114602A (ja) | 1999-01-22 |
Family
ID=15751990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16230597A Pending JPH1114602A (ja) | 1997-06-19 | 1997-06-19 | 膜センサ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1114602A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008089600A (ja) * | 2002-06-08 | 2008-04-17 | Lg Innotek Co Ltd | スリット弾性波を用いたｓａｗセンサ素子およびその方法 |
-
1997
- 1997-06-19 JP JP16230597A patent/JPH1114602A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008089600A (ja) * | 2002-06-08 | 2008-04-17 | Lg Innotek Co Ltd | スリット弾性波を用いたｓａｗセンサ素子およびその方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Muller et al. | Ultrasound-induced acoustophoretic motion of microparticles in three dimensions | |
| JP4769423B2 (ja) | 液体攪拌デバイス | |
| US5212988A (en) | Plate-mode ultrasonic structure including a gel | |
| US8038337B2 (en) | Method and device for blending small quantities of liquid in microcavities | |
| Birkin et al. | Multiple observations of cavitation cluster dynamics close to an ultrasonic horn tip | |
| US8303778B2 (en) | Method and device for generating movement in a thin liquid film | |
| US20050031499A1 (en) | Ultrasound device | |
| JPS6015554A (ja) | 分散系の界面動電特性の測定方法および装置 | |
| Hauptmann et al. | Time-resolved monitoring of cavitation activity in megasonic cleaning systems | |
| Asakura | Experimental methods in sonochemistry | |
| Palan et al. | Removal of excess product water in a PEM fuel cell stack by vibrational and acoustical methods | |
| Hayashi | Defect imaging for plate-like structures using diffuse field | |
| JPH1114602A (ja) | 膜センサ装置 | |
| US20070264161A1 (en) | Method and Device for Generating Movement in a Thin Liquid Film | |
| US7331232B2 (en) | Measurement method and biosensor apparatus using resonator | |
| JP2005351799A (ja) | 表面弾性波素子、バイオセンサー装置及び表面弾性波素子による測定方法 | |
| JP2019211235A (ja) | 分析セル、及び分析ユニット | |
| Viens et al. | Mass sensitivity of thin rod acoustic wave sensors | |
| JP4437022B2 (ja) | 生化学、医療及び食品分野における化学反応の追跡や状態分析等に使用される振動子を使用した測定方法及びバイオセンサー装置 | |
| Sato et al. | Oscillation mode conversion and energy confinement of acoustically agitated bubbles | |
| NO316095B1 (no) | Fremgangsmåte og anordning for å öke fölsomheten i målinger ved utförelse av elektrokjemisk analyse, samt anvendelser derav | |
| Viens et al. | Gravimetric response of thin rod acoustic wave sensors | |
| JP2004205263A (ja) | バイオセンサ用セル | |
| Tani et al. | Quantitative evaluation of hemolysis in bovine red blood cells caused by acoustic cavitation under pulsed ultrasound | |
| Yamamoto et al. | Nonlinear piezoelectricity in PZT ceramics for generating ultrasonic phase conjugate waves |