JP2008089600A - スリット弾性波を用いたsawセンサ素子およびその方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】素子内の液体を感知することができるように、その内部にスリット弾性波が通過するスリットを形成し、前記スリットを基準に上部と下部とに分けられる圧電基板と、前記圧電基板の一側に形成され、電気的な入力信号を前記スリット弾性波に変換する入力IDTと、前記圧電基板の前記入力IDTと反対の一側に形成され、伝播された前記スリット弾性波を受信して電気的な信号に変換する出力IDTと、前記圧電基板のスリット内に液体が入力されるようにする液体入力ポートと、前記圧電基板のスリット内の液体が出力されるようにする液体出力ポートと、を備えてなるスリット弾性波を用いたSAWセンサ素子。
【選択図】図2
Description
前述の移動通信システムにおいて、一般に使用されるアンテナデュプレクサには、通常、低損失、耐電力性、温度安定性などを考慮した誘電体共振器デュプレクサが使用されてきている。
本発明の他の側面によれば、(a)薄膜に圧力を加えていない状態のスリット内において、入力IDTおよび出力IDTの電気的な信号の周波数および速度を計算し、その値を相互比較するステップと、(b)前記薄膜に外部圧力が加えられる時、前記入力IDTおよび出力IDTの電気的な信号の周波数および速度を計算し、その値を相互比較するステップと、(c)前記薄膜に加えられる外部圧力による変化した速度の差および周波数の差を考慮して外部圧力強度をを感知するステップとを含んでなるSAWセンサ素子の外部入力感知方法が提供される。
前記(c)ステップにおいて、前記外部圧力強度の感知は、予め外部的な装置に前記外部入力による周波数および速度の変化値データを備え、そのデータを比較して求めることで得られる。
また、本発明によれば、SAW素子スリット内の共振器から発生したスリット表面波の変化する周波数と速度との相関関係を適用することで、スリットに通過する液体の粘性度と誘電率を知ることができる。
本発明は同様な符号が同様な要素を示す以下の図面を参照して詳しくされる。
以下、添付の図面を参照して本発明の好適な実施例を詳述する。
ここで、前記薄膜205に外部圧力が加えられると、前記薄膜205は、その中央部が曲がり、前記スリット204の幅(t)が変化するため、前記スリット204内を進行する前記スリット弾性波の速度が変化するようになる。
102・・・入力IDT
103・・・出力IDT
201・・・入力IDT
202・・・出力IDT
203・・・圧電基板
204・・・スリット
205・・・薄膜
301・・・圧電基板
302・・・入力IDT
303・・・出力IDT
304・・・スリット
305・・・液体入力ポート
306・・・液体出力ポート
Claims (5)
- 素子内の液体を感知することができるように、
その内部にスリット弾性波が通過するスリットを形成し、前記スリットを基準に上部と下部とに分けられる圧電基板と、
前記圧電基板の一側に形成され、電気的な入力信号を前記スリット弾性波に変換する入力IDTと、
前記圧電基板の前記入力IDTと反対の一側に形成され、伝播された前記スリット弾性波を受信して電気的な信号に変換する出力IDTと、
前記圧電基板のスリット内に液体が入力されるようにする液体入力ポートと、
前記圧電基板のスリット内の液体が出力されるようにする液体出力ポートと、
を備えてなることを特徴とする、
スリット弾性波を用いたSAWセンサ素子。 - 請求項1に記載のスリット弾性波を用いたSAWセンサ素子において、前記スリット内に所定の液体が流れると、スリット内の液体スリット弾性波の速度と周波数を測定することで、その液体の誘電率と粘性度を知ることができることを特徴とする、スリット弾性波を用いたSAWセンサ素子。
- (a)空スリットの状態で進行されるスリット弾性波の位相速度(v0)を測定し、周波数(f0)を計算するステップと、
(b)液体入力ポートを介して前記スリット内に所定の液体が流れると、前記スリット内のスリット弾性波の位相速度(v1)を測定し、周波数(f1)を計算するステップと、
(c)前記速度(v0)と速度(v1)との差および前記周波数(f0)と周波数(f1)との差を考慮して前記スリットを通過する液体の誘電率と粘性度を感知するステップと、
を含んでなることを特徴とする、
SAWセンサ素子の液体感知方法。 - 請求項3に記載のスリット弾性波を用いたSAWセンサ素子において、前記(b)ステップにおいて、前記スリット弾性波の位相速度(v1)の測定および周波数(f1)の計算は、前記液体が液体出力ポートまで満たされた時のスリット弾性波の速度と周波数を求めることであることを特徴とする、SAWセンサ素子の液体感知方法。
- 請求項3に記載のスリット弾性波を用いたSAWセンサ素子において、前記(c)ステップにおいて、前記液体の誘電率と粘性度の感知は、予め外部的な装置に各種液体の誘電率および粘性度データを備え、そのデータを比較して求めることであることを特徴とする、SAWセンサ素子の液体感知方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020020032147A KR20030094826A (ko) | 2002-06-08 | 2002-06-08 | 슬릿탄성파를 이용한 유동체 센서 |
KR10-2002-0032146A KR100431767B1 (ko) | 2002-06-08 | 2002-06-08 | 슬릿탄성파를 이용한 압력 센서 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004511784A Division JP2005534894A (ja) | 2002-06-08 | 2003-06-09 | スリット弾性波を用いたsawセンサ素子およびその方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008089600A true JP2008089600A (ja) | 2008-04-17 |
JP4654232B2 JP4654232B2 (ja) | 2011-03-16 |
Family
ID=29738508
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004511784A Pending JP2005534894A (ja) | 2002-06-08 | 2003-06-09 | スリット弾性波を用いたsawセンサ素子およびその方法 |
JP2007277457A Expired - Fee Related JP4654232B2 (ja) | 2002-06-08 | 2007-10-25 | 弾性波を用いたsawセンサ素子およびその方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004511784A Pending JP2005534894A (ja) | 2002-06-08 | 2003-06-09 | スリット弾性波を用いたsawセンサ素子およびその方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP2005534894A (ja) |
CN (1) | CN100335878C (ja) |
AU (1) | AU2003241851A1 (ja) |
DE (1) | DE10392760B4 (ja) |
WO (1) | WO2003104759A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7096736B2 (en) * | 2003-08-04 | 2006-08-29 | The Goodyear Tire & Rubber Company | Passive tire pressure sensor and method |
JP2006108766A (ja) | 2004-09-30 | 2006-04-20 | Fuji Xerox Co Ltd | 無線応答装置および画像形成装置 |
CN105934667B (zh) * | 2014-09-30 | 2019-09-24 | 京瓷株式会社 | 传感器装置 |
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DE19850799A1 (de) * | 1998-11-04 | 2000-05-11 | Bosch Gmbh Robert | Sensoranordnung zur Ermittlung physikalischer Eigenschaften von Flüssigkeiten |
-
2003
- 2003-06-09 DE DE10392760T patent/DE10392760B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2003-06-09 CN CNB038126311A patent/CN100335878C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-06-09 AU AU2003241851A patent/AU2003241851A1/en not_active Abandoned
- 2003-06-09 JP JP2004511784A patent/JP2005534894A/ja active Pending
- 2003-06-09 WO PCT/KR2003/001119 patent/WO2003104759A1/en active Application Filing
-
2007
- 2007-10-25 JP JP2007277457A patent/JP4654232B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1659426A (zh) | 2005-08-24 |
AU2003241851A1 (en) | 2003-12-22 |
JP2005534894A (ja) | 2005-11-17 |
DE10392760T5 (de) | 2005-06-02 |
CN100335878C (zh) | 2007-09-05 |
DE10392760B4 (de) | 2013-07-18 |
WO2003104759A1 (en) | 2003-12-18 |
JP4654232B2 (ja) | 2011-03-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100608 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100908 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100913 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101006 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101220 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131224 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |