JP4653470B2 - エッチング方法 - Google Patents
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ッドなどに用いられる、TMR(Tunneling Magnetro-Resistive;トンネル磁気抵抗)や
MTJ(Metal Tunneling junction)等の、トンネルバリア層を有するトンネル接合素子
の製造に好適な、エッチング方法に関するものである。
図6は、トンネル接合素子の側面断面図である。トンネル接合素子10は、磁性層(固定層)14、トンネルバリア層15、磁性層(フリー層)16等を順次積層したトンネル接合膜10aから形成される。このトンネルバリア層15は、アルミナ等の電気絶縁性材料で構成されている。また、固定層14の面内における磁化方向は一定に保持され、フリー層16の面内における磁化方向は外部磁場の向きによって反転しうるようになっている。これら固定層14およびフリー層16の磁化方向が平行か反平行かによって、トンネル接合素子10の抵抗値が異なるので、トンネル接合素子10の厚さ方向に電圧を印加した場合に、トンネルバリア層15を流れる電流の大きさが異なることになる(TMR効果)。そこで、この電流値を検出することにより、「1」または「0」を読み出すことができるようになっている。また、フリー層16と固定層14との積層順序を逆にしている素子構造も多い。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、付着物を確実に除去することが可能なエッチング方法および装置の提供を目的とする。
この構成によれば、プラズマ非発生時には、反応ガスの分子が機能膜に等方的に吸着して、揮発性化合物が形成される。またプラズマ発生時には、反応ガスのイオンを機能膜に衝突させて、揮発性化合物を離脱させることができる。このように、プラズマを間歇的に発生させることにより、機能膜への付着物を確実かつ効率的に除去することができる。
この構成によれば、バイアス非印加時には、反応ガスのラジカル等が機能膜に等方的に吸着して、揮発性化合物が形成される。またバイアス印加時には、反応ガスのイオンを機能膜に衝突させて、揮発性化合物を離脱させることができる。このように、バイアスを間歇的に印加することにより、機能膜への付着物を確実かつ効率的に除去することができる。
この構成によれば、凹部の側壁への付着物を確実かつ効率的に除去することができる。
この構成によれば、凹部の側壁への導電性付着物を確実かつ効率的に除去して、トンネルバリア層のショートを防止することができる。
この構成によれば、基板への付着物を確実かつ効率的に除去することができる。
この構成によれば、基板への付着物を確実かつ効率的に除去することができる。
最初に、第1実施形態について説明する。
図2および図3は、第1実施形態に係るエッチング方法の工程図である。第1実施形態に係るエッチング方法は、図2(c)に示すように、トンネル接合膜10aのトンネルバリア層15を貫通して所定パターンの凹部20を形成する異方性ドライエッチング工程と、図3(a)および図3(b)に示すように、反応ガスを導入し、トンネル接合膜10aにバイアスを連続的に印加しつつ、プラズマを間歇的に発生させて、凹部20の側壁への付着物22を除去する等方性ドライエッチング工程と、を有するものである。
図1(a)は、トンネル接合素子の側面断面図である。トンネル接合素子10は、PtMnやIrMn等からなる反強磁性層(不図示)、NiFeやCoFe等からなる磁性層(固定層)14、AlO(アルミナ)等からなるトンネルバリア層15、およびNiFeやCoFe等からなる磁性層(フリー層)16を主として構成されている。実際には、上記以外の機能層も積層されて、15層程度の多層構造になっている。なお、トンネル接合素子10の断面は、図1(a)に示すような長方形状に限られず、台形状であってもよい。また、フリー層の厚さを固定層の厚さより薄く形成すれば、膜厚差を利用した保磁力差型のトンネル接合素子を形成することができる。
また、書き換え用ワード線104に電流を供給して、その周囲に磁場を発生させれば、フリー層16の磁化方向を反転させることができる。これにより、「1」または「0」を書き換えることができるようになっている。
次に、トンネル接合膜をエッチングしてトンネル接合素子を形成する方法につき、図2および図3を用いて説明する。
次に、図2(b)に示すように、トンネル接合膜10aの表面に、SiO2等からなるマスク90を形成する。なおマスク90の形成方法は省略する。
次に、図2(c)に示すように、マスク90を介してトンネル接合膜10aを異方性ドライエッチングし、トンネルバリア層15を貫通する所定パターンの凹部20を形成する。このエッチングは、以下に説明するエッチング装置において行う。
この主プロセスにより、図2(c)に示すように、マスク90の開口部の下方に所定パターンの凹部20が形成される。その後、マスク90を除去する。
ここで形成された凹部20の側壁には、付着物22が存在している。この付着物22は、主プロセスによる副生成物であって、蒸気圧が低い磁性元素のハロゲン化合物等で構成されている。この化合物は導電性を有することから、電気絶縁性材料からなるトンネルバリア層のショートが発生し、トンネル接合素子が機能しなくなるおそれがある。
プラズマがONになると、図3(b)に示すように、反応ガスが励起されてラジカルやイオン等が生成される。基板にはバイアスが印加されているので、生成されたアルゴンイオン94が加速されて、直接的に凹部20の側壁に衝突する。また、凹部20の底面で反跳したアルゴンイオンや、底面への衝突で電荷を失って反跳した中性アルゴン原子が、間接的に凹部20の側壁に衝突する。これらの衝撃によって、凹部20の側壁に形成された遷移金属の塩化物が雰囲気中に離脱する。これにより、凹部20の側壁の付着物22が除去される。
上述した後処理プロセスの後、トンネル接合膜10aの表面に吸着している残留塩素を除去するための純水リンスなど、通常のエッチング後処理を行う。以上により、トンネル接合素子10が形成される。
なお、上述した主プロセスおよび後処理プロセスでは、反応ガスとしてCl2を用いたが、BCl3やSiCl4、BI3、BBr3、HBr、SiF4などのハロゲン系ガス若しくはこれらの混合ガス、またはこれらにO2を加えた混合ガスなどを用いてもよい。このようなハロゲン系ガスを採用すれば、主プロセスによる副生成物の蒸気圧が比較的高くなり、凹部側壁への付着量を低減することができる。
この構成によれば、プラズマ非発生時には、反応ガスの分子が凹部側壁に等方的に吸着して、揮発性化合物が形成される。またプラズマ発生時には、反応ガスのイオンを凹部側壁に衝突させて、揮発性化合物を離脱させることができる。このように、プラズマを間歇的に発生させることにより、凹部側壁への付着物を確実かつ効率的に除去することができる。その結果、トンネル接合素子におけるトンネルバリア層のショートを防止することができる。
次に、第2実施形態に係るエッチング方法につき、図2および図5を用いて説明する。第2実施形態に係るエッチング方法は、プラズマを連続的に発生させつつバイアスを間歇的に印加する点で、バイアスを連続的に印加しつつプラズマを間歇的に発生させる第1実施形態と相違している。なお、第1実施形態と同様の構成となる部分については、その詳細な説明を省略する。
バイアスがOFFの間は、図5(a)に示すように、励起された塩素ラジカル92bや塩素イオン92cおよび励起されなかった塩素ガスの分子92aが、凹部20の内面に等方的に吸着される。そして、吸着された塩素ガスの分子92a、ラジカル92b、およびイオン92cが、付着物22を構成する遷移金属等と反応して、遷移金属の塩化物が形成される。
バイアスがONになると、図5(b)に示すように、励起されたアルゴンイオン94が加速されて、直接的に凹部20の側壁に衝突する。また、凹部20の底面で反跳したアルゴンイオンや、底面への衝突で電荷を失って反跳した中性アルゴン原子が、間接的に凹部20の側壁に衝突する。これらの衝撃により、凹部20の側壁に形成された遷移金属の塩化物が雰囲気中に離脱する。これにより、凹部20の側壁の付着物22が除去される。
なお、上述した主プロセスおよび後処理プロセスでは、反応ガスとしてCl2を用いたが、BCl3やSiCl4、BI3、BBr3、HBr、SiF4などのハロゲン系ガス若しくはこれらの混合ガス、またはこれらにO2を加えた混合ガスなどを用いてもよい。
この構成によれば、バイアス非印加時には、反応ガスの分子やラジカル、イオン等が凹部側壁に等方的に吸着して、揮発性化合物が形成される。またバイアス印加時には、反応ガスのイオンを凹部側壁に衝突させて、揮発性化合物を離脱させることができる。このように、バイアスを間歇的に印加することにより、凹部側壁への付着物を確実かつ効率的に除去することができる。その結果、トンネル接合素子におけるトンネルバリア層のショートを防止することができる。
Claims (4)
- 第一磁性層(固定層)、トンネルバリア層、第二磁性層(フリー層)が順に積層されてなるトンネル接合膜を、基板上に設けてなるトンネル接合素子において、前記トンネル接合膜の厚み方向に貫通してなる凹部を、異方性ドライエッチングにより形成する工程と、
反応ガスを導入し、プラズマを間歇的に発生させてから、前記トンネル接合膜にバイアスを連続的に印加して、前記凹部の内側面に形成された付着物を、等方性ドライエッチングにより除去する工程と、
を有する、ことを特徴とするエッチング方法。 - 第一磁性層(固定層)、トンネルバリア層、第二磁性層(フリー層)が順に積層されてなるトンネル接合膜を、基板上に設けてなるトンネル接合素子において、前記トンネル接合膜の厚み方向に貫通してなる凹部を、異方性ドライエッチングにより形成する工程と、
反応ガスを導入し、プラズマを連続的に発生させてから、前記トンネル接合膜にバイアスを間歇的に印加して、前記凹部の内側面に形成された付着物を、等方性ドライエッチングにより除去する工程と、
を有する、ことを特徴とするエッチング方法。 - 前記付着物が導電性を有する、ことを特徴とする請求項1または2に記載のエッチング方法。
- 前記反応ガスとして、Arを含む混合ガスを用いる、ことを特徴とする請求項1から3のうち一項に記載のエッチング方法。
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