JP4644825B2 - 固体撮像装置及びその駆動方法 - Google Patents
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Description
又、信号を多数回読み出して外部で信号の積算を行うことでダイナミックレンジ拡大を行う方法が提案されている(特許文献2参照。)。
本発明の第1の実施の形態に係る固体撮像装置(2次元イメージセンサ)は、図1に示すように、画素アレイ部(X11〜X1m;X21〜X2m;……;Xn1〜Xnm)と周辺回路部(104,105,106,NC1〜NCm)とを同一の半導体チップ上に集積化している。画素アレイ部には、2次元マトリクス状に多数の画素Xij(i=1〜m;j=1〜n:m,nはそれぞれ整数である。)が配列されており、方形状の撮像領域を構成している。そして、この画素アレイ部の下辺部には、画素行X11〜X1m;X21〜X2m;……;Xn1〜Xnm方向に沿って水平シフトレジスタ106が設けられ、画素アレイ部の左辺部には画素列X11〜Xn1;X12〜Xn2;……;X1j〜Xnj;……;X1m〜Xnm方向に沿って垂直シフトレジスタ(垂直ドライバ回路)105が設けられている。垂直シフトレジスタ(垂直ドライバ回路)105及び水平シフトレジスタ106には、タイミング発生回路104が接続されている。
Iph,max=QM/t1 …(1)
或いは、図4においてt1=t2−t1=ΔT,t3−t2=ΔT,…とすると、
Iph,max=(QM−QT)/t1 …(2)
となる。これらが同じになるようにt1 を定めると、
ΔT=t1 (1−α) …(3)
ここで、α=QT/QMである。部分転送をしない場合に、1フレームの期間蓄積しても、信号が飽和しない最大の光電流は、Tfをフレーム周期として、
Iph,max=QM/tf …(4)
となる。部分転送をn回行う場合、
tf =t1 +(n−1)ΔT=t1{1+(n−1)(1−α)}…(5)
なので、部分転送をn回行うことによるダイナミックレンジの拡大率は、1+(n−1)(1−α)倍となる。例えば、n=8で、α=0.5とすると4.5倍拡大される。
J=−qADn(dnp/dx) …(6)
このとき、Dnは拡散係数と呼ばれる。又、Aは流路の面積を表していて、
A=Wd …(7)
となる。又、アインシュタインの関係式は次のようになり、この式は、半導体中のキャリアのドリフトと拡散を特徴付ける重要な定数である移動度と拡散係数の関係を示す。
又、式(6)のdnp/dxは、
−dnp/dx=(np(0)−np(L))/L …(9)
と表せ、電荷が転送され始めるときの表面埋込領域22の電子から見たポテンシャル障壁の高さをφBとして
np(0)=np0 exp(φbi−φB)/VT …(10)
np(L)≒0 …(11)
である。式(6)〜(11)を解くと、次の式、
J=μn(W/L)kTdnp0 exp(φbi−φB)/VT …(12)
が導かれる。ここで、簡単のために次のように置き換える。
次に、表面埋込領域22から転送電荷蓄積領域23、リセットまでの等価回路より、
J=Cs(dφB/dt) …(14)
となり、式(13)と式(14)を解くと、
J=J0/(1+(J(0)/CSVT)t)
=J(0)/(1+t/τ) …(15)
となる。(ここで、τ=CSVT/J0である。)又、読み出し時間tRでの電荷排出量Qtを求めると、
Qt=∫0 tR Jdt=J(0)τlog(1+tR/τ) …(16)
となる。ここで、1≫tR/τのとき、式(16)は、
Q=J(0)τ(tR/τ)=J(0)tR …(17)
となる。もし、J(0)=J(φbi−φB=0)であるならば、このときのJ(0)をJ(0)0とすると、
J(0)0=μn(W/L)kTdnp0 …(18)
となる。
J(0)0=6.24×10-23[A/cm2] …(19)
となる。ここで、tR=0.5[μs]としたときの電荷の転送数は、
NT=(J(0)・tR)/q …(20)
となり、NT=1を満たすJ(0)をJ(0)1とすると、
J(0)1=qNT/tR=1.6×10-19/5×10-7
=3.2×10-13 …(21)
となる。式(19)、(21)より、
J(0)1/J(0)0=exp(φbi−φB)/VT
=6.24×10-23 …(25)
となる。これより、
φbi−φB=VTln6.24×10-23=0.581[V] …(26)
となる。ここで、
φbi=VTln(NDNA/ni 2)=0.897[V] …(27)
であるため、転送時間を0.5[μs]としたとき、電荷が転送され始めるときの表面埋込領域22の電子から見たポテンシャル障壁の高さφBは、
φB=0.897−0.581=0.316[V] …(28)
となる。この結果より、理論的にも表面埋込領域22の電子のエネルギーレベルがポテンシャル障壁の高さより0.316[V]高くなるまで電荷が転送され続けることがわかる。又、拡散電流は、ポテンシャル障壁の高さφBを変数とし、底がネイピア数eである指数関数で流れるので、その影響により、非線形性が現れることがわかる。
本発明の第1の実施の形態の変形例に係る固体撮像装置の画素構造を図14に示す。この画素回路は、表面埋込領域(受光カソード領域)22を構成する表面埋込領域22の転送側(右側)の幅Dが狭くなっていることと、表面埋込領域22が長方形ではなく、その角をとった形になっているという特徴を持つ。
本発明の第2の実施の形態に係る固体撮像装置は、第1の実施の形態に係る固体撮像装置の場合に比して更に強い光が照射される状況に好適な固体撮像装置の駆動方法を提供する。この第2の実施の形態に係る固体撮像装置(2次元イメージセンサ)の全体構成は、図1にした第1の実施の形態に係る固体撮像装置ブロック図と同一であるため、重複した説明を省略する。又、第2の実施の形態に係る固体撮像装置の画素の構成も図2及び図3に示した第1の実施の形態に係る固体撮像装置の構造と同一であるため、重複した説明を省略する。
Iph,max=(QM−QT)/ΔT …(29)
となる。したがって第2の実施の形態に係る固体撮像装置の電荷部分転送方法によるダイナミックレンジの拡大率は、
Iph,max=(tf /ΔT)(1−α) …(30)
となる。この場合には、ΔTを任意に小さく選ぶことができるので、Iph,maxを所望の大きな値に設定できる。したがって、第2の実施の形態に係る固体撮像装置の電荷部分転送によれば、第1の実施の形態に係る固体撮像装置に比し、大幅にダイナミックレンジを拡大することが可能である。
本発明の第2の実施の形態に係る固体撮像装置の画素構造を用いたときのポテンシャル図は、基本的には、図6及び図7に類似している。しかし、第2の実施の形態では、2回連続した部分転送の内の1回目の電荷は、リセットトランジスタのリセットゲート電極13に対し、ハイ(H)レベルの制御信号を与えて、排除しているのでその電荷の排除時のポテンシャル図が異なる。
f(i)=(ΔT/(iT0−ΔT))VT …(31)
となる。第1の演算回路(ALU)66で式(31)のf(i)を計算し、第1の演算回路(ALU)66の出力と、i回目の読み出しにおける信号V(i)とを第1の比較器65で比較し、V(i)が大きければ、第1の比較器65の出力Niを1にし、小さければ出力Niを0にする。その結果を用いて、i回目の読み出しにおける信号V(i)を使用するかどうかを第1のマルチプレクサ69でコントロールする。つまり、第1のマルチプレクサ69は、第1の比較器65の出力Niが1ならば、V(i)(或いは、i=Nのときには、V(i)−VT)をメモリ70と加算器92からなる積算器7に加える。
B(N)=ΣNi …(32)
で割って、平均値を求める(出力B(N)はNiのi=1〜Nまでの総和である。)
図19に示すように、第2の実施の形態に係る固体撮像装置の画像合成回路は、更に、N回目の読み出しにおける信号V(N)を一方の入力端子に入力する第2の比較器73と、この第2の比較器73の他方の入力端子に出力を接続した第3の演算回路(ALU)74と、第2の比較器73の出力を入力する第3のマルチプレクサ75とを備える。第2の実施の形態に係る固体撮像装置の画像合成回路においては、全体のまずリニアな信号とするため、短時間蓄積信号に、蓄積時間比である:
ξ=NT0/ΔT …(33)
を掛けて使用する。合成の演算式は、NiV(i)のi=1〜(N−1)までの総和を、
η(N−1)=ΣNiV(i) …(34)
と表し、更に、
g(N)=(NT0/(NT0−ΔT))VT …(35)
とすれば、以下のようにまとめられる:
Ni=1 if V(i) ≧ f(i) …(36a)
Ni=0 if V(i) < f(i) …(36b)
VH=((η(N−1)−NNVT ))/B(N))ξ …(37)
V0=VH if V(N) > g(N) …(38a)
V0=V(N) if V(N) ≦ g(N) …(38b)
即ち、第3の演算回路(ALU)74で式(35)のg(N)を計算し、第3の演算回路(ALU)74の出力と、N回目の読み出しにおける信号V(N)とを第2の比較器73で比較し、V(N)が大きければ、第2の比較器73の出力V0をVHにし、小さければ出力V0をV(N)にする。第3のマルチプレクサ75は、第2の比較器73の出力V0がV(N)ならば、V(N)を出力する。
本発明の第1及び第2の実施の形態に係る固体撮像装置においては、転送ゲート電極16に転送ゲート電圧VTX=VTLをかけ、静電誘導による部分転送を行うことで、表面埋込領域(受光カソード領域)22に蓄積された電荷の一部が転送電荷蓄積領域23に転送される。この際、転送電荷蓄積領域23に静電誘導で転送される電荷量は、転送ゲート電極16のゲート閾値電圧Vthのバラツキに依存するので、それぞれの画素によって、転送される電荷量が異なる可能性があり、固定パターンノイズ等の原因になる。本発明の第3の実施の形態に係る固体撮像装置は、このような転送される電荷量の画素毎のバラツキを抑制する方法を提供する。
上記のように、本発明は第1〜第3の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
7…積算器
11a…受光カソード領域(受光用表面埋込領域)
12a…電荷蓄積領域
13…リセットゲート電極
16…転送ゲート電極
16a…第2転送ゲート電極
16b…第1転送ゲート電極
18…半導体基板(シリコン基板)
19…半導体基板(シリコン基板)
20…半導体層(シリコンエピタキシャル成長層)
21…p+型ピニング層
22…表面埋込領域
22a…第2表面埋込領域
22b…第1表面埋込領域
23…転送電荷蓄積領域
23a…第2転送電荷蓄積領域
23b…第1転送電荷蓄積領域
24…リセットドレイン領域
25…半導体領域(pウェル)
32…ゲート絶縁膜
41…遮光膜
42…遮光膜開口部
51…第1の遅延フリップフロップ
52…第2の遅延フリップフロップ
53…NOR回路
54…第1のAND回路
55…第2のAND回路
56…第3のAND回路
57…第4のAND回路
61〜64,95…インバータ
65…第1の比較器
67…第1のカウンタ
68…第2のマルチプレクサ
69…第1のマルチプレクサ
70…メモリ
71…第2のカウンタ
73…第2の比較器
75…第3のマルチプレクサ
76…諧調圧縮器
82…電圧読み出し用バッファアンプ
91…加算器
92…加算器
104…タイミング発生回路
105…垂直シフトレジスタ(垂直ドライバ回路)
106…水平シフトレジスタ
107…差動アンプ
Claims (11)
- 第1導電型の半導体領域と、
前記半導体領域の上部の一部に埋め込まれ、前記半導体領域とフォトダイオードをなす第2導電型表面埋込領域と、
前記半導体領域の上部の一部に埋め込まれ、前記表面埋込領域から転送された前記フォトダイオードが生成した信号電荷を一時蓄積する第2導電型の転送電荷蓄積領域と、
該転送電荷蓄積領域から該転送電荷蓄積領域に蓄積された前記信号電荷の電荷量に対応する電圧を、外部に信号として読み出す読み出し用バッファアンプ
とを備える画素を複数配列した固体撮像装置の駆動方法であって、
フレーム期間を、初期部分転送期間t 1 と該初期部分転送期間t 1 に続く同一蓄積時間ΔTで複数回繰り返す周期的な部分転送期間とに分割し、前記表面埋込領域から前記転送電荷蓄積領域へ転送され、更に外部に前記信号として読み出された前記信号電荷の電荷量に相当する信号量を、1フレーム内で転送される電荷量に相当する信号量が部分転送閾値電荷に相当する信号量を上回る場合、前記1フレーム内において、前記初期部分転送期間t 1 と前記同一蓄積時間ΔTで繰り返される複数回の周期的な部分転送期間における部分転送による電荷の総和に相当する信号量と、前記複数回の部分転送の最後の部分転送期間で全転送された電荷に相当する信号量の和とし、前記転送される電荷量に相当する信号量が前記部分転送閾値電荷に相当する信号量を上回らない場合、前記全転送のみによる電荷に相当する信号量とすることを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。 - 前記複数回の部分転送において、前記部分転送を行う毎に蓄積された前記信号電荷に相当する信号量を外部に読み出し、画像合成用のデータとして用いることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置の駆動方法。
- 第1導電型の半導体領域と、
前記半導体領域の上部の一部に埋め込まれ、前記半導体領域とフォトダイオードをなす第2導電型表面埋込領域と、
前記半導体領域の上部の一部に埋め込まれ、前記表面埋込領域から転送された前記フォトダイオードが生成した信号電荷を一時蓄積する第2導電型の転送電荷蓄積領域と、
該転送電荷蓄積領域から前記信号電荷を読み出す読み出し用バッファアンプ
とを備える画素を複数配列した固体撮像装置の駆動方法であって、
前記表面埋込領域から前記転送電荷蓄積領域への電荷の転送が、1フレーム内において繰り返される複数回の部分転送と、前記複数回の部分転送の後の全転送からなり、前記複数回の部分転送において、連続する2回の部分転送の内、1回目の電荷は捨て、2回目の電荷による信号を読み出し、画像合成用のデータとして用いることを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。 - 第1導電型の半導体領域、前記半導体領域の上部の一部に埋め込まれ、前記半導体領域とフォトダイオードをなす第2導電型表面埋込領域、前記半導体領域の上部の一部に埋め込まれ、前記表面埋込領域から転送された前記フォトダイオードが生成した信号電荷を一時蓄積する第2導電型の転送電荷蓄積領域、該転送電荷蓄積領域から該転送電荷蓄積領域に蓄積された前記信号電荷の電荷量に対応する電圧を、外部に信号として読み出す読み出し用バッファアンプとを備える画素を複数配列した画素アレイ部と、
フレーム期間を、初期部分転送期間t 1 と該初期部分転送期間t 1 に続く同一蓄積時間ΔTで複数回繰り返す周期的な部分転送期間とに分割し、前記表面埋込領域から前記転送電荷蓄積領域へ転送され、更に外部に前記信号として読み出された前記信号電荷の電荷量に相当する信号量を、1フレーム内で転送される電荷量に相当する信号量が部分転送閾値電荷に相当する信号量を上回る場合、前記1フレーム内において、前記初期部分転送期間t 1 と前記同一蓄積時間ΔTで繰り返される複数回の周期的な部分転送期間における部分転送による電荷の総和に相当する信号量と、前記複数回の部分転送の後の全転送された電荷に相当する信号量の和とし、前記転送される電荷量に相当する信号量が前記部分転送閾値電荷に相当する信号量を上回らない場合、前記全転送のみによる電荷に相当する信号量とするように前記画素を駆動する周辺回路部
とを備えることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記表面埋込領域と前記転送電荷蓄積領域との間のポテンシャル障壁の高さを変えて前記部分転送と、前記全転送を制御することを特徴とする請求項4に記載の固体撮像装置。
- 前記ポテンシャル障壁の高さを静電誘導で制御することを特徴とする請求項5に記載の固体撮像装置。
- 第1導電型の半導体領域、前記半導体領域の上部の一部に埋め込まれ前記半導体領域とフォトダイオードをなす第2導電型の第1及び第2表面埋込領域、前記半導体領域の上部の一部に埋め込まれ前記第1表面埋込領域から転送された前記フォトダイオードが生成した信号電荷を一時蓄積する第2導電型の第1の転送電荷蓄積領域、前記半導体領域の上部の一部に埋め込まれ前記第2表面埋込領域から転送された前記フォトダイオードが生成した信号電荷を一時蓄積する第2導電型の第2の転送電荷蓄積領域、前記第1の転送電荷蓄積領域から前記信号電荷を読み出す第1の読み出し用バッファアンプ、前記第2の転送電荷蓄積領域から前記信号電荷を読み出す第2の読み出し用バッファアンプとを備える画素を複数配列した画素アレイ部と、
前記第2表面埋込領域から前記第2の転送電荷蓄積領域への電荷の転送を、1フレーム内において繰り返される複数回の部分転送でなし、前記第1表面埋込領域から前記第1の転送電荷蓄積領域への電荷の転送を、前記複数回の部分転送の後の全転送としてなすように前記画素を駆動する周辺回路部
とを備え、前記第1表面埋込領域のなす前記電荷に対するポテンシャル井戸の深さが、前記第2表面埋込領域のなすポテンシャル井戸の深さよりも深いことを特徴とする固体撮像装置。 - 第1導電型の半導体領域、前記半導体領域の上部の一部に埋め込まれ前記半導体領域とフォトダイオードをなす第2導電型の第1及び第2表面埋込領域、前記半導体領域の上部の一部に埋め込まれ前記第1及び第2表面埋込領域から転送された前記フォトダイオードが生成した信号電荷を一時蓄積する第2導電型の転送電荷蓄積領域、前記転送電荷蓄積領域から前記転送電荷蓄積領域に蓄積された前記信号電荷の電荷量に対応する電圧を、外部に信号として読み出す読み出し用バッファアンプとを備える画素を複数配列した画素アレイ部と、
フレーム期間を、初期部分転送期間t 1 と該初期部分転送期間t 1 に続く同一蓄積時間ΔTで複数回繰り返す周期的な部分転送期間とに分割し、前記第1及び第2表面埋込領域から前記転送電荷蓄積領域へ転送され、更に外部に前記信号として読み出された前記信号電荷の電荷量に相当する信号量を、1フレーム内で転送される電荷量に相当する信号量が部分転送閾値電荷に相当する信号量を上回る場合、前記1フレーム内において、前記初期部分転送期間t 1 と前記同一蓄積時間ΔTで繰り返される複数回の周期的な部分転送期間における部分転送により、前記第2表面埋込領域から転送された電荷の総和に相当する信号量と、前記複数回の部分転送の後に前記第1表面埋込領域から全転送された電荷に相当する信号量の和とし、前記転送される電荷量に相当する信号量が前記部分転送閾値電荷に相当する信号量を上回らない場合、前記全転送のみによる電荷に相当する信号量荷とするように前記画素を駆動する周辺回路部
とを備え、前記第1表面埋込領域のなす前記電荷に対するポテンシャル井戸の深さが、前記第2表面埋込領域のなすポテンシャル井戸の深さよりも深いことを特徴とする固体撮像装置。 - 第1導電型の半導体領域、前記半導体領域の上部の一部に埋め込まれ前記半導体領域とフォトダイオードをなす第2導電型の第1及び第2表面埋込領域、前記半導体領域の上部の一部に埋め込まれ前記第1表面埋込領域から転送された前記フォトダイオードが生成した信号電荷を一時蓄積する第2導電型の第1の転送電荷蓄積領域、前記半導体領域の上部の一部に埋め込まれ前記第2表面埋込領域から転送された前記フォトダイオードが生成した信号電荷を一時蓄積する第2導電型の第2の転送電荷蓄積領域、前記第1の転送電荷蓄積領域及び前記第2の転送電荷蓄積領域間を短絡する接続配線、該接続配線に接続され、前記第1及び第2の転送電荷蓄積領域から前記信号電荷を読み出す前記第1及び第2の転送電荷蓄積領域に共通の読み出し用バッファアンプとを備える画素を複数配列した画素アレイ部と、
前記第2表面埋込領域から前記第2の転送電荷蓄積領域への電荷の転送を、1フレーム内において繰り返される複数回の部分転送でなし、前記第1表面埋込領域から前記第1の転送電荷蓄積領域への電荷の転送を、前記複数回の部分転送の後の全転送としてなすように前記画素を駆動する周辺回路部
とを備え、前記第1表面埋込領域のなす前記電荷に対するポテンシャル井戸の深さが、前記第2表面埋込領域のなすポテンシャル井戸の深さよりも深いことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記第1表面埋込領域の不純物密度が前記第2表面埋込領域の不純物密度よりも高いことを特徴とする請求項7〜9のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記第1表面埋込領域の禁制帯幅が前記第2表面埋込領域の禁制帯幅よりも広いことを特徴とする請求項7〜9のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
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