JP4644174B2 - 超伝導フィルタ及びフィルタ特性調整方法 - Google Patents
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Description
誘電体からなるベース基板と、
前記ベース基板の第1の表面上に超伝導材料で形成された共振器パターンと、
前記第1の表面に対向するように、該第1の表面からある間隔を隔てて配置された誘電体からなる調整用基板と、
前記第1の表面と、前記調整用基板の、前記ベース基板に対向する面とのなす角度が変化可能なように、前記調整用基板を支持する支持機構と
を有する超伝導フィルタが提供される。
誘電体からなるベース基板と、
前記ベース基板の第1の表面上に超伝導材料で形成された共振器パターンと、
前記第1の表面に対向するように、該第1の表面からある間隔を隔てて配置された誘電体からなる調整用基板とを有する超伝導フィルタのフィルタ特性調整方法であって、
前記ベース基板の第1の表面に対する前記調整用基板の姿勢を変化させる工程を含むフィルタ特性調整方法が提供される。
誘電体からなるベース基板と、
前記ベース基板の第1の表面上に超伝導材料で形成された共振器パターンと、
前記第1の表面に対向するように、該第1の表面からある間隔を隔てて配置された誘電体からなる調整用基板と、
前記第1の表面と、前記調整用基板の、前記ベース基板に対向する面とのなす角度が変化可能なように、前記調整用基板を支持する支持機構と
を有する超伝導フィルタ。
前記支持機構は、前記第1の表面と前記調整用基板との間隔が変化するように、該調整用基板を並進移動させることができる付記1に記載の超伝導フィルタ。
さらに、前記ベース基板及び調整用基板を収容するパッケージを有し、
前記支持機構は、前記調整用基板よりも誘電率の低い誘電体で形成された支軸を含み、該支軸は、前記調整用基板の、前記ベース基板に対向する面とは反対側の面に固定され、該支軸の少なくとも一端が、前記パッケージの壁に設けられた貫通孔を通って外部まで導出されている付記1または2に記載の超伝導フィルタ。
前記貫通孔の内周面が、前記第1の表面に垂直な方向に延在するガイド面を含み、前記支軸が前記ガイド面に案内されて、前記第1の表面に垂直な方向に移動する付記3に記載の超伝導フィルタ。
前記支持機構が、前記調整用基板を、相互に異なる位置で支える少なくとも2つのアクチュエータを含む付記1または2に記載の超伝導フィルタ。
前記アクチュエータが圧電膜を含む積層構造を有し、該積層構造の撓みの程度を変化させることにより、前記調整用基板の姿勢を変化させる付記5に記載の超伝導フィルタ。
さらに、前記共振器パターンからの出力信号が入力され、該出力信号のスペクトル波形が、目標とする波形に近づくように、前記アクチュエータを制御する付記5または6に記載の超伝導フィルタ。
前記調整用基板が、相互に平行な第1及び第2の辺と、該第1の辺と直交する第3及び第4の辺とを含む平面形状を有し、前記アクチュエータのうち2つのアクチュエータが、該第1の辺及び第2の辺に対応する位置において前記調整用基板を支えている付記5乃至7のいずれか1つに記載の超伝導フィルタ。
前記アクチュエータのうち他の2つのアクチュエータが、前記第3の辺及び第4の辺に対応する位置において前記調整用基板を支えている付記8に記載の超伝導フィルタ。
前記調整用基板の平面形状が正方形または長方形であり、前記アクチュエータが少なくとも4個配置され、該調整用基板の四隅において該調整用基板を支えている付記5乃至7のいずれか1つに記載の超伝導フィルタ。
誘電体からなるベース基板と、
前記ベース基板の第1の表面上に超伝導材料で形成された共振器パターンと、
前記第1の表面に対向するように、該第1の表面からある間隔を隔てて配置された誘電体からなる調整用基板とを有する超伝導フィルタのフィルタ特性調整方法であって、
前記ベース基板の第1の表面に対する前記調整用基板の姿勢を変化させる工程を含むフィルタ特性調整方法。
前記調整用基板の姿勢を変化させる工程において、前記調整用基板の、前記ベース基板に対向する面と、前記第1の表面とのなす角度を変化させる付記11に記載のフィルタ特性調整方法。
10 ベース基板
11、12 信号入出力線(フィーダ)
13、14 共振器パターン
15 グランド膜
16、19 位置合せマーク
17 付加基板
18 付加パターン
20 調整用基板
21 支軸
30 パッケージ
32 回転軸ガイド(スリット)
35 入力コネクタ
36 出力コネクタ
37 貫通孔
38 押さえばね
40 コイルばね
42 調整ネジ
45 穴
50 真空断熱容器
52 真空ポンプ
53 コールドプレート
54 冷凍機コールドヘッド
55 高さ調整用ドライバ
56 姿勢調整用ドライバ
57 連結管
58、59 コネクタ
60 同軸ケーブル
65 ネットワークアナライザ
70、75、80 ベース基板
71 ヘアピン型フィルタパターン
72、73、76、77、82、83 フィーダ
78、81 共振器パターン
79 切り込み
84 付加基板
85 付加パターン
90 圧電薄膜アクチュエータ
91 リード線
95 基板
96 下部電極
97 圧電膜
98 上部電極
99 はんだ
100 制御装置
101 ネットワークアナライザ
102 演算回路
103 ドライバ
Claims (9)
- 誘電体からなるベース基板と、
前記ベース基板の第1の表面上に超伝導材料で形成された共振器パターンと、
前記第1の表面に対向するように、該第1の表面からある間隔を隔てて配置された誘電体からなる調整用基板と、
前記第1の表面と、前記調整用基板の、前記ベース基板に対向する面とのなす角度が変化可能なように、前記調整用基板を支持する支持機構と
を有する超伝導フィルタ。 - 前記支持機構は、前記第1の表面と前記調整用基板との間隔が変化するように、該調整用基板を並進移動させることができる請求項1に記載の超伝導フィルタ。
- さらに、前記ベース基板及び調整用基板を収容するパッケージを有し、
前記支持機構は、前記調整用基板よりも誘電率の低い誘電体で形成された支軸を含み、該支軸は、前記調整用基板の、前記ベース基板に対向する面とは反対側の面に固定され、該支軸の少なくとも一端が、前記パッケージの壁に設けられた貫通孔を通って外部まで導出されている請求項1または2に記載の超伝導フィルタ。 - 前記貫通孔の内周面が、前記第1の表面に垂直な方向に延在するガイド面を含み、前記支軸が前記ガイド面に案内されて、前記第1の表面に垂直な方向に移動する請求項3に記載の超伝導フィルタ。
- 前記支持機構が、前記調整用基板を、相互に異なる位置で支える少なくとも2つのアクチュエータを含む請求項1または2に記載の超伝導フィルタ。
- 前記アクチュエータが圧電膜を含む積層構造を有し、該積層構造の撓みの程度を変化させることにより、前記調整用基板の姿勢を変化させる請求項5に記載の超伝導フィルタ。
- さらに、前記共振器パターンからの出力信号が入力され、該出力信号のスペクトル波形が、目標とする波形に近づくように、前記アクチュエータを制御する請求項5または6に記載の超伝導フィルタ。
- 前記調整用基板が、相互に平行な第1及び第2の辺と、該第1の辺と直交する第3及び第4の辺とを含む平面形状を有し、前記アクチュエータのうち2つのアクチュエータが、該第1の辺及び第2の辺に対応する位置において前記調整用基板を支えている請求項5乃至7のいずれか1項に記載の超伝導フィルタ。
- 誘電体からなるベース基板と、
前記ベース基板の第1の表面上に超伝導材料で形成された共振器パターンと、
前記第1の表面に対向するように、該第1の表面からある間隔を隔てて配置された誘電体からなる調整用基板とを有する超伝導フィルタのフィルタ特性調整方法であって、
前記ベース基板の第1の表面に対する前記調整用基板の、前記ベース基板に対向する面と、前記第1の表面とのなす角度を変化させる工程を含むフィルタ特性調整方法。
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