JP4639755B2 - フォトマスク配送管理システム及びフォトマスク配送管理方法 - Google Patents

Description

本発明は、梱包箱内のＲＦＩＤタグを検出して、梱包を解くことなく製品を管理し、誤配送を防ぐことが可能な配送管理システム及び配送管理方法に係り、特に電波吸収物質を用いるフォトマスクにおける配送管理システム及び配送管理方法に関する。

従来、製品を配送管理する際には、作業者が目視により、製品、検査表、他の帳票類等を互いに照合し、一致を確認した上で梱包箱に梱包し、客先に配送している。

一方、近年、ＲＦＩＤタグを物品に貼り付けて物品を管理する方法が普及している。ＲＦＩＤタグは、無線により非接触で検出できるため、離れた場所からＲＦＩＤタグが貼り付けられた物品の属性情報を調べることができる。そのため、製品を配送管理する等の際に、人手による照合作業がある場合に比べ、配送効率を向上させることへの応用が期待されている。具体的には、目視による照合作業をしないことから、誤配送を防止可能な配送管理システムへの応用が期待されている。

このような配送管理システムの応用例として、梱包を解くことなく梱包箱内のＲＦＩＤタグの検出により、得られた梱包箱内の製品の数を検証することができる配送管理システムなどがある（例えば、特許文献１参照。）。
特開２００４−９１０８８号公報

しかしながら、以上のような配送管理システムにおいては、ＲＦＩＤタグにより管理することが困難な製品がある。例えば、フォトマスクのように電波吸収物質（ペリクルフレーム）を用いた製品は、ＲＦＩＤタグを貼り付けると、電波が微弱になって検出できなくなる。そのため、フォトマスクの配送管理は、ＲＦＩＤタグを使用できず、従来と同様に、製品、検査表、他の帳票類等の照合作業を目視にて行ってから段ボール箱等に梱包している。よって、フォトマスクの配送管理は、配送効率が低く、誤配送の可能性も残っている。

本発明は、上記実情に鑑みてなされたもので、電波吸収物質を用いたフォトマスクでもＲＦＩＤタグにより配送管理でき、配送効率を向上させ、誤配送を防止し得るフォトマスク配送管理システム及びフォトマスク配送管理方法を提供することを目的とする。

請求項１に対応する発明は、電波吸収物質からなるペリクルフレームを有するフォトマスクの配送を管理するフォトマスク配送管理システムであって、前記フォトマスクの製品管理データが記憶されるデータ記憶手段と、前記データ記憶手段内の製品管理データを、前記ペリクルフレームに貼り付けられた第１ＲＦＩＤタグに書き込む書込手段と、前記データ記憶手段内の製品管理データが書き込まれた第２ＲＦＩＤタグを発行する第２ＲＦＩＤタグ発行手段と、前記第１ＲＦＩＤタグ内の製品管理データと、前記フォトマスクを収納した製品容器に貼り付けられた前記第２ＲＦＩＤタグ内の製品管理データとを照合する製品照合手段と、前記照合の結果、両者が一致しないとき、前記製品容器の外側から前記第１ＲＦＩＤタグ内の製品管理データを読み出し、得られた製品管理データを前記第２ＲＦＩＤタグに書き込む読出／書込手段と、前記照合の結果、両者が一致したとき、前記データ記憶手段内の製品管理データが書き込まれた第３ＲＦＩＤタグを発行する第３ＲＦＩＤタグ発行手段と、前記製品容器に貼り付けられた第２ＲＦＩＤタグ内の製品管理データと前記製品容器を梱包する梱包箱に貼り付けられた第３ＲＦＩＤタグ内の製品管理データとを照合する梱包照合手段と、この照合の結果、両者が不一致のとき、エラー信号を出力するエラー出力手段とを備え、前記製品照合手段としては、前記読出／書込手段による書き込みの後、再度、前記第１ＲＦＩＤタグ内の製品管理データと、前記第２ＲＦＩＤタグ内の製品管理データとの照合を実行するフォトマスク配送管理システムである。

請求項２に対応する発明は、請求項１に対応するフォトマスク配送管理システムにおいて、前記梱包照合手段による照合と並行して、前記第３ＲＦＩＤタグ内の製品管理データと前記データ記憶手段に記憶されている最新の製品管理データとを照合する最新データ照合手段を更に具備するフォトマスク配送管理システムである。

請求項３に対応する発明は、請求項１又は請求項２に対応するフォトマスク配送管理システムにおいて、前記梱包照合手段による照合結果を記録する照合結果記録手段を更に具備するフォトマスク配送管理システムである。

請求項４に対応する発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか1項に対応するフォトマスク配送管理システムにおいて、前記第１ＲＦＩＤタグ、前記第２ＲＦＩＤタグ及び前記第３ＲＦＩＤタグは、１３．５６ＭＨｚ帯の電波を送受信するフォトマスク配送管理システムである。

請求項５に対応する発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に対応するフォトマスク配送管理システムにおいて、前記梱包照合手段は、無線により前記第２及び第３ＲＦＩＤタグから個別に製品管理データを読み出す機能と、読み出した各製品管理データを互いに照合する機能とを有し、略１ｍの間隔で互いに対向して配置された一対のゲートアンテナ装置であるフォトマスク配送管理システムである。

請求項６に対応する発明は、電波吸収物質からなるペリクルフレームを有するフォトマスクの配送を管理するフォトマスク配送管理システムが実行するフォトマスク配送管理方法であって、前記フォトマスク配送管理システムのデータ記憶手段に前記フォトマスクの製品管理データを記憶させる記憶ステップと、前記データ記憶手段内の製品管理データを、前記ペリクルフレームに貼り付けられた第１ＲＦＩＤタグに書き込む書込ステップと、前記データ記憶手段内の製品管理データが書き込まれた第２ＲＦＩＤタグを発行する第２ＲＦＩＤタグ発行ステップと、前記第２ＲＦＩＤタグが製品容器に貼り付けられ、該製品容器に前記フォトマスクが収納されると、前記第１ＲＦＩＤタグ内の製品管理データと前記第２ＲＦＩＤタグ内の製品管理データとを照合する製品照合ステップと、前記照合の結果、両者が一致しないとき、前記製品容器の外側から前記第１ＲＦＩＤタグ内の製品管理データを読み出し、得られた製品管理データを前記第２ＲＦＩＤタグに書き込む読出／書込ステップと、前記読出／書込ステップの後、再度、前記第１ＲＦＩＤタグ内の製品管理データと、前記第２ＲＦＩＤタグ内の製品管理データとの照合を実行するステップと、前記照合の結果、両者が一致したとき、前記データ記憶手段内の製品管理データが書き込まれた第３ＲＦＩＤタグを発行する第３ＲＦＩＤタグ発行ステップと、前記第３ＲＦＩＤタグが梱包箱に貼り付けられ、該梱包箱に前記製品容器が収納されると、前記第２ＲＦＩＤタグ内の製品管理データと前記第３ＲＦＩＤタグ内の製品管理データとを照合する梱包照合ステップと、この照合の結果、両者が不一致のとき、エラー信号を出力するエラー出力ステップとを備えたフォトマスク配送管理方法である。

請求項７に対応する発明は、請求項６に対応するフォトマスク配送管理方法において、前記梱包照合ステップによる照合と並行して、前記第３ＲＦＩＤタグ内の製品管理データと前記データ記憶手段に記憶されている最新の製品管理データとを照合する最新データ照合ステップを更に具備するフォトマスク配送管理方法である。

請求項８に対応する発明は、請求項７に対応するフォトマスク配送管理方法において、前記梱包照合ステップにより照合結果が正常と確認された際に、前記データ記憶手段に梱包が正常である旨を記録する梱包照合記録ステップを更に具備するフォトマスク配送管理方法である。

請求項９に対応する発明は、請求項６乃至請求項８に対応するフォトマスク配送管理方法において、前記製品照合ステップと前記第３ＲＦＩＤタグ発行ステップとの間に、前記フォトマスクの売上先を記録する売上処理を行う売上処理ステップを更に具備するフォトマスク配送管理方法である。

＜作用＞
従って、請求項１に対応する発明は、フォトマスクのペリクルフレームに貼り付けられた第１ＲＦＩＤタグ内の製品管理データとフォトマスクを収納した製品容器に貼り付けられた第２ＲＦＩＤタグ内の製品管理データを照合する製品照合手段と、製品容器に貼り付けられた第２ＲＦＩＤタグ内の製品管理データと製品容器を梱包する梱包箱に貼り付けられた第３ＲＦＩＤタグ内の製品管理データとを照合する梱包照合手段とを備えた構成により、フォトマスクと製品容器とを照合した後、製品容器と梱包箱とを照合する。

このため、フォトマスクの電波吸収物質により第１ＲＦＩＤタグの電波が梱包箱の外側から受信できない程度に微弱になる場合でも、予め第１ＲＦＩＤタグと照合済みの第２ＲＦＩＤタグと、梱包箱外側の第３ＲＦＩＤタグとを照合することができる。

従って、電波吸収物質を用いたフォトマスクにおいても、ＲＦＩＤタグにより、梱包を解くことなく配送管理することが可能である。また、製品、検査表、他の帳票類等の照合作業を目視にて行ってから段ボール箱等に梱包する必要がなくなるので、配送効率を向上させ、誤配送を防止できるフォトマスク配送管理システムを提供できる。

請求項２に対応する発明は、最新データ照合手段が、梱包照合手段による照合に並行して、第３ＲＦＩＤタグ内の製品管理データとデータ記憶手段に記憶されている最新の製品管理データを照合するので、請求項1に対応する作用に加え、製品容器を梱包した梱包箱の配送直前に、第３ＲＦＩＤタグに記録された製品管理データが最新のものであるか否かを照合でき、誤配送の防止がより可能なフォトマスク配送管理システムを提供できる。

請求項３に対応する発明は、梱包照合記録手段が、梱包照合手段による照合結果を記録するので、請求項1，２に対応する作用に加え、配送記録を定期的に確認でき、誤配送を防止することが可能なフォトマスク配送管理システムを提供できる。また、必要に応じて、配送先の事業者に、サーバに接続させて当該配送記録を入手させることが可能であるので、配送状況を確認させることが可能となる。

請求項４に対応する発明は、第１ＲＦＩＤタグ、第２ＲＦＩＤタグ及び第３ＲＦＩＤタグが１３．５６ＭＨｚ帯の電波を送受信するので、アンテナの指向性が広いことから、ＲＦＩＤタグ用リーダライタの使用領域が広い。すなわち、照合を容易に行うことができ信頼性が向上するので、請求項1〜３に対応する作用に加え、誤配送の可能性を低下させることができる。

請求項５に対応する発明は、梱包照合手段が、略１ｍの間隔で配置されるゲートアンテナ装置であるので、ＲＦＩＤタグ用リーダライタによる照合を確実に行うことができる。すなわち、信頼性が向上するので、請求項1〜４に対応する作用に加え、誤配送の可能性を低下させることができる。

請求項６に対応する発明は、第１ＲＦＩＤタグの製品管理データとフォトマスクを収納した製品容器に貼り付けられた前記第２ＲＦＩＤタグの製品管理データを照合する製品照合ステップと、製品容器に貼り付けられた第２ＲＦＩＤタグと製品容器を梱包する梱包箱に貼り付けられた第３ＲＦＩＤタグとを照合する梱包照合ステップとを備えていることにより、請求項１に対応する作用と同様の作用により、電波吸収物質を用いたフォトマスクでもＲＦＩＤタグにより配送管理でき、配送効率を向上させ、誤配送を防止できるフォトマスク配送管理方法を提供できる。

請求項７に対応する発明は、最新データ照合ステップにより、梱包照合ステップの照合に並行して、第３ＲＦＩＤタグ内の製品管理データとデータ記憶手段に記憶されている最新の製品管理データとを照合するので、請求項６に対応する作用に加え、製品容器を梱包した梱包箱の配送直前に、第３ＲＦＩＤタグに記録された製品管理データが最新のものであるか否かを照合でき、誤配送の防止がより可能なフォトマスク配送管理方法を提供できる。

請求項８に対応する発明は、梱包照合記録ステップにより、梱包照合ステップで照合結果が確認された際に、データ記憶手段に梱包が正常である旨又は異常である旨を記録するので、請求項６，７に対応する作用に加え、配送記録を定期的に確認でき、誤配送を防止することが可能なフォトマスク配送管理方法を提供できる。また、必要に応じて、配送先の事業者に、サーバに接続させて当該配送記録を入手させることが可能であるので、配送状況を確認させることが可能となる。

請求項９に対応する発明は、製品照合ステップと第３ＲＦＩＤタグ発行ステップとの間に、売上処理を行う売上処理ステップを更に備えた構成により、請求項６〜８に対応する作用に加え、売上処理を容易にしている。

以上説明したように本発明によれば、電波吸収物質を用いたフォトマスクでもＲＦＩＤタグにより配送管理でき、配送効率を向上させ、誤配送を防止できるフォトマスク配送管理システム及びフォトマスク配送管理方法を提供できる。

以下、本発明の各実施形態について図面を参照しながら説明する。
（第１の実施形態）
図１は本発明の第１の実施形態に係るフォトマスク配送管理システムの構成を示す模式図である。

このフォトマスク配送管理システムは、フォトマスク１０の製品管理データを記録しているサーバ２０と、第１ＲＦＩＤタグ用リーダライタ３０と、第２ＲＦＩＤタグ発行機４０と、製品照合機５０と、第３ＲＦＩＤタグ発行機６０と、梱包照合機７０を備えている。

ここで、フォトマスク１０は、ＬＳＩや超ＬＳＩ等の半導体素子あるいは液晶表示装置の製造において使用される製品である。このフォトマスク１０は、パターン形成面に付着したゴミにより露光時にパターン欠陥が発生するのを防止するために、パターン形成面がペリクル１１により保護されている。

ペリクル１１は、露光光を透過する材料からなるペリクル膜１２をペリクルフレーム１３に接着して構成される。また、ペリクルフレーム１３には第１ＲＦＩＤタグ１５が貼り付けられている。

ペリクルフレーム１３は、アルミニウム、チタン、シリコン、ニッケル合金を始めとする各種金属等の電波吸収物質が主に使用される。そのため、ペリクルフレーム１３は、貼り付けられた第1ＲＦＩＤタグ１５に対するＲＦＩＤタグ用リーダライタ３０からの電波を吸収し、交信感度を低下させる性質を持つ。

第１ＲＦＩＤタグ１５は、ペリクルフレーム１３に貼り付けられ、第１ＲＦＩＤタグ用リーダライタ３０により製品管理データが書き込まれるものである。ここでは、１３．５６ＭＨｚ帯の周波数で交信するＲＦＩＤタグが使用される。ＲＦＩＤタグとしては、１３．５６ＭＨｚ帯、ＵＨＦ帯、２．４５ＧＨｚ帯のＲＦＩＤタグが一般的に普及している。ＲＦＩＤタグでは、図２に概念を示すように、リーダライタからの交信周波数が低い（例えば１３．５６ＭＨｚ帯）と、伝達距離は短くなるが、使用領域は広くなる（図２（ａ））。一方、交信周波数が高い（例えば２．４５ＧＨｚ帯）と、伝達距離は長くなるが、使用領域は狭くなってしまう（図２（ｂ））。仮に、製品の配送管理システムにおいて、２．４５ＧＨｚ帯等のＲＦＩＤタグを使用すると、製品照合機５０に使用されるＲＦＩＤタグ用リーダライタの使用領域が狭くなり、照合が困難となって実用に適さなくなる。例えば、図２においては、第１ＲＦＩＤタグ１５ａ，１５ｂ，１５ｃのうち、１５ｂしか照合できなくなる。そのため、製品の配送管理システムにおいては、使用領域を広くする観点から、１３．５６ＭＨｚ帯の周波数で交信するＲＦＩＤタグを使用している。

サーバ２０は、製品管理データをメモリ（図示せず）に記録している製品管理用のサーバであり、前述した各機器３０，４０，５０，６０，７０からアクセス可能に接続されている。製品管理データは、管理番号、配送先法人名、配送先個人名、フォトマスクＩＤ、フォトマスク名称、注文番号、フォトマスクの版、フォトマスクの材質、フォトマスクのサイズ、備考等のデータである。

また、サーバ２０は、第３ＲＦＩＤタグ６５に書き込まれた製品データが梱包照合機７０から送信された場合、最新の製品管理データと一致しているか否かを照合する機能を有している。製品管理データが一致していると照合した場合、梱包が正常である旨を記録し、製品データが一致していないと照合した場合には梱包が異常である旨を記録する。

第１ＲＦＩＤタグ用リーダライタ３０は、サーバ２０と接続してサーバ２０から製品管理データを読み出し、第１ＲＦＩＤタグ１５に製品管理データを書き込むものである。また、第１ＲＦＩＤタグ１５から製品管理データを読み出し、サーバ２０内の製品管理データを更新する機能も有している。更に、サーバ２０に接続しなくても、第１ＲＦＩＤタグ１５に記録された製品管理データを読み出し、そのまま他のＲＦＩＤタグに第１ＲＦＩＤタグの製品管理データを書き込む機能も有している。

第２ＲＦＩＤタグ発行機４０は、サーバ２０と接続してサーバ２０から製品管理データを読み出し、製品管理データが書き込まれた第２ＲＦＩＤタグ４５を発行するものである。第２ＲＦＩＤタグ４５を発行する際には、製品ラベル４１の形態で発行する。また、第２ＲＦＩＤタグ発行機４０は、第２ＲＦＩＤタグ４５に製品管理データを書き込む際に、製品ラベル４１に製品情報等を印字する機能も有している。これにより、製品ラベル４１に印字されたデータを目視で確認することもできる。

第２ＲＦＩＤタグ４５は、第２ＲＦＩＤタグ発行機４０により発行されるＲＦＩＤタグである。ここでは、１３．５６ＭＨｚ帯の周波数で通信するＲＦＩＤタグを使用している。第２ＲＦＩＤタグ４５は、例えば図３に概念を示すように、ＩＣチップ４５’とアンテナ４５”が製品ラベル４１に内蔵された形態で発行される。この製品ラベル４１は、フォトマスク１０が収納された製品容器４２に貼り付けられる。

製品照合機５０は、第１ＲＦＩＤタグ１５と第２ＲＦＩＤ４５との記録内容を照合するＲＦＩＤタグ用リーダライタ等である。製品照合機５０では、フォトマスク１０が収納された製品容器４２の外側から、第１ＲＦＩＤタグ１５内の製品管理データと第２ＲＦＩＤタグ４５内の製品管理データが一致しているか否かを照合する。ただし、第１ＲＦＩＤタグ１５はペリクルフレーム１３に貼り付けられているので、製品照合機５０からの電波を受信することが困難になる。具体的には、製品照合機５０と第１ＲＦＩＤタグが２０ｃｍ以上離れると電波はほとんど受信できなくなる。そのため、複数の製品を一度に照合しても、照合の精度は極めて悪くなる。そこで、第１ＲＦＩＤタグ１５と第２ＲＦＩＤタグ４５は一対一に照合する必要がある。

また、例えば、図４に概念を示すように、自動化された電動ライン５１を用いることで、第２ＲＦＩＤタグ４５を自動でラベリングして、製品照合を容易に行うことができる。

第３ＲＦＩＤタグ発行機６０は、サーバ２０と接続してサーバ２０から製品管理データを読み出し、製品管理データが書き込まれた第３ＲＦＩＤタグ６５を発行するものである。第３ＲＦＩＤタグ６５を発行する際には、配送先ラベル６１の形態で発行する。また、第３ＲＦＩＤタグ発行機６０は、第３ＲＦＩＤタグ６５に製品管理データを書き込む際に、配送先ラベル６１に配送先情報等を印字する機能も有している。これにより、配送先ラベル６１に印字されたデータを目視で確認することもできる。

第３ＲＦＩＤタグ６５は、第３ＲＦＩＤタグ発行機６０により発行されるＲＦＩＤタグである。ここでは、１３．５６ＭＨｚ帯の周波数で交信するＲＦＩＤタグを使用している。第３ＲＦＩＤタグ６５は、例えば図３と同様に、配送先ラベル６１に内蔵された形態で発行される。この配送先ラベル６１は、製品容器４２が梱包された梱包箱６２に貼り付けられる。

梱包照合機７０は、第２ＲＦＩＤタグ４５と第３ＲＦＩＤ６５を照合するＲＦＩＤタグ用ゲートアンテナ等である。梱包照合機７０では、製品容器４２が梱包された梱包箱６２の外側から、第２ＲＦＩＤタグ４５内の製品管理データと第３ＲＦＩＤタグ６５内の製品管理データが一致しているか否かを照合する。

２アンテナ構成の一対のゲートアンテナを略１ｍ間隔に互いに対向配置して使用することで、ＲＦＩＤタグの検出感度を高めており、複数の製品容器の梱包照合を一度に行うことができる。

また、梱包照合機７０は、第３ＲＦＩＤタグ６５と交信する際に、サーバ２０に接続して、第３ＲＦＩＤタグ６５内の製品管理データをサーバ２０に送信する。

次に、以上のように構成されたフォトマスク配送管理システムの動作を図５のフローチャートを用いて説明する。

始めに、第１ＲＦＩＤタグ用リーダライタ３０は、フォトマスクのペリクルフレーム１３に貼り付けられた第１ＲＦＩＤタグ１５に、製品管理データを書き込む（Ｓ１）。このとき、第１ＲＦＩＤタグ用リーダライタ３０は、サーバ２０から製品管理データを読み出して第１ＲＦＩＤタグ１５に書き込む。

続いて、第２ＲＦＩＤタグ発行機４０は、サーバ２０と接続して製品管理データを読み出し、製品管理データが書き込まれた第２ＲＦＩＤタグ４５を発行する（Ｓ２）。この第２ＲＦＩＤタグ４５は、製品情報等が印字された製品ラベル４１の形態で発行され、無線により確認可能な製品管理データに加え、製品ラベル４１に印字されたデータを目視で確認可能としている。

次に、この製品ラベル４１が、フォトマスク１０が収納された製品容器４２に貼り付けられる（Ｓ３）。

続いて、製品照合機５０が、この製品容器４２の外側から、第１ＲＦＩＤタグ１５内の製品管理データと第２ＲＦＩＤタグ４５内の製品管理データとが一致しているか否かの製品照合をする（Ｓ４）。

製品照合の結果、両者が一致しない場合（Ｓ４−Ｎｏ）、第１ＲＦＩＤタグ用リーダライタ３０が、製品容器４２の外側から第１ＲＦＩＤタグ１５内のデータを読み出し、得られた製品管理データをそのまま第２ＲＦＩＤタグ４５に書き込む（Ｔ１）。そして、再度、製品照合機５０による製品照合を実行し、第１ＲＦＩＤタグ１５の製品管理データと第２ＲＦＩＤタグ４５の製品管理データとを一致させる。

一方、ステップＳ４の製品照合の結果、両者が一致する場合（Ｓ４−Ｙｅｓ）、第３ＲＦＩＤタグ発行機６０が、サーバ２０と接続して製品管理データを読み出し、この製品管理データが書き込まれた第３ＲＦＩＤタグ６５を発行する（Ｓ５）。この第３ＲＦＩＤタグ６５は、配送先情報等を印字された配送先ラベル６１の形態で発行され、配送先ラベル６１に印字されたデータを目視で確認可能となっている。

続いて、この配送先ラベル６１が、梱包箱６２に貼り付けられる（Ｓ６）。

次に、製品容器４２が梱包箱６２に梱包される（Ｓ７）。梱包時には、ＲＦＩＤタグ用リーダライタを用いて、必要に応じて、第２ＲＦＩＤタグ４５内の製品管理データを第３ＲＦＩＤタグ６５に書き込むことができる。

続いて、梱包照合機７０により、製品容器４２が梱包された梱包箱６２の外側から、第２ＲＦＩＤタグ４５内の製品管理データと第３ＲＦＩＤタグ６５内の製品管理データが一致しているか否かを梱包照合する（Ｓ８）。

梱包照合の結果、両者が一致しない場合（Ｓ８−Ｎｏ）、作業者により梱包を解いて製品容器４２を確認し、配送する製品のみを梱包し直す。そして、再度、梱包照合機７０による梱包照合を実行し、第２ＲＦＩＤタグ４５の製品管理データと第３ＲＦＩＤタグ６５の製品管理データが一致するまで、この作業を繰り返す。

一方、ステップＳ８の梱包照合の結果、両者が一致する場合（Ｓ８−Ｙｅｓ）、梱包照合機７０は、サーバ２０に接続して、第３ＲＦＩＤタグ６５内の製品管理データをサーバ２０に送信する。

サーバ２０は、この製品管理データを受信したとき、当該製品管理データと、最新の製品管理データとが一致するか否かを照合する（Ｓ９）。

製品管理データが一致していないと照合された場合（Ｓ９−Ｎｏ）、サーバ２０は梱包が異常である旨を記録すると共に、梱包を解かせるためのエラー信号を図示しない警報ブザー等に出力する。

梱包が異常である際には、作業者により梱包箱６２の梱包を解いた後、第１ＲＦＩＤタグ用リーダライタ３０がサーバ２０と接続して製品管理データを読み出し、第１ＲＦＩＤタグ１５内の製品管理データを書き換える（Ｖ１）。

次に、第１ＲＦＩＤタグ用リーダライタ３０が、製品容器４２の外側から第１ＲＦＩＤタグ１５内のデータを読み出し、得られた製品管理データをそのまま第２ＲＦＩＤタグ４５に書き込む（Ｖ２）。そして、再度、ステップＳ４の製品照合を実行する。

一方、サーバ２０により、製品管理データが一致していると照合された場合（Ｓ９−Ｙｅｓ）、サーバ２０は梱包が正常である旨を記録する。

そして、サーバ２０に梱包が正常である旨が記録されると、製品の出荷準備が完了する。

上述したように本実施形態によれば、フォトマスク１０のペリクルフレーム１３に貼り付けられた第１ＲＦＩＤタグ１５内の製品管理データとフォトマスク１０を収納した製品容器４２に貼り付けられた第２ＲＦＩＤタグ４５内の製品管理データを照合する製品照合機５０と、製品容器４２に貼り付けられた第２ＲＦＩＤタグ４５内の製品管理データと製品容器４２を梱包する梱包箱６２に貼り付けられた第３ＲＦＩＤタグ６５内の製品管理データとを照合する梱包照合機７０とを備えた構成により、フォトマスク１０と製品容器４２とを照合した後、製品容器４２と梱包箱６２とを照合する。このため、フォトマスク１０の電波吸収物質（ペリクルフレーム１３）により第１ＲＦＩＤタグ１５の電波が梱包箱６２の外側から受信できない程度に微弱になる場合でも、予め第１ＲＦＩＤタグ１５と照合済みの第２ＲＦＩＤタグ４５と、梱包箱６２外側の第３ＲＦＩＤタグ６５とを照合することができる。

従って、電波吸収物質を用いたフォトマスク１０においても、ＲＦＩＤタグにより、梱包を解くことなく管理することが可能である。また、製品、検査表、他の帳票類等の照合作業を目視にて行ってから段ボール箱等に梱包する必要がなくなるので、配送効率を向上させ、誤配送を防止することができる。

また、梱包照合機７０が、第２ＲＦＩＤタグ４５内の製品管理データと第３ＲＦＩＤタグ６５内の製品管理データを照合すると同時に、第３ＲＦＩＤタグ６５内の製品管理データと最新の製品管理データとをサーバ２０が照合するので、製品容器４２を梱包した梱包箱６２の配送直前に、第３ＲＦＩＤタグ６５に記録された製品管理データが最新のものであるか否かを照合でき、誤配送の防止がより可能なフォトマスク配送管理システムを提供できる。

さらに、梱包照合機７０により梱包が正常であるか異常であるかが確認された際に、梱包が正常である旨又は異常である旨をサーバ２０が記録するので、配送記録を定期的に確認することができ、誤配送を防止可能なフォトマスク配送管理システムを提供できる。また、必要に応じて、配送先の事業者に、サーバ２０に接続させて当該配送記録を入手させることが可能であるので、配送状況を確認させることが可能となる。

また、第１〜第３ＲＦＩＤタグ１５，４５，６５は、１３．５６ＭＨｚ帯の電波を受信することにより利用可能なＲＦＩＤタグであるので、ＲＦＩＤタグ用リーダライタの使用領域が広い。すなわち、照合を容易に行うことができ信頼性が向上するので、誤配送の可能性を低下させることができる。

さらに、梱包照合機７０は、略１ｍの間隔で配置されるゲートアンテナであるので、ＲＦＩＤタグ用リーダライタによる照合を確実に行うことができる。すなわち、信頼性が向上するので、誤配送の可能性を低下させることができる。

（第２の実施形態；利用例）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。本実施形態は、第１の実施形態の利用例であり、ここでは第１の実施形態に係るフォトマスク配送管理システムを利用したフォトマスク配送管理業務を詳細に説明する。

フォトマスク配送管理業務においては、図６に示すように、段階的な工程を経てフォトマスクを管理して配送する。

具体的には、フォトマスクにペリクルを貼り付ける「ペリクル貼付工程」を実施し（Ａ１）、「品質保証工程」を経て（Ａ２）、発送部門に送付する。そして、発送部門にて「受入工程」が完了したら（Ａ３）、「売上処理・発送伝票発行工程」を実施し（Ａ４）、「照合・梱包・出荷工程」を経て配送先に出荷する（Ａ５）。配送先では、必要に応じて「配送確認工程」により、配送確認を行う（Ａ６）。

次に、各工程について以下に詳述する。

「ペリクル貼付工程」では、図７，図８に示すように、第１ＲＦＩＤタグ１５に製品管理データを書き込む処理と、第２ＲＦＩＤタグ４５を発行する処理と、フォトマスク１０を製品容器４２に収納する処理を行う。このペリクル貼付工程は、フォトマスク１０に防塵性が要求されるので、クリーンルーム内で処理を行う。

始めに、バーコードリーダ１８は、ペリクルケース１６と管理票１７との各バーコードから管理番号を個別に読み出す（図７（Ａ）；Ｂ１，Ｂ２）。この管理番号は、予めフォトマスクの製品管理データに関連付けられてサーバ２０に記憶され、この製品管理データと共にデータベース化されている。

次に、第１ＲＦＩＤタグ用リーダライタ３０は、この管理番号に基づいてサーバ２０からフォトマスクの製品管理データを読み出し、この製品管理データをペリクルケース内１６の第１ＲＦＩＤタグ１５に書き込む（図７（Ａ）；Ｂ３）。

続いて、フォトマスク１０はペリクル１１が貼り付けられて、製品容器４２に収納される（図７（Ｂ）；Ｂ４，Ｂ５）。

次に、バーコードリーダ１８は、操作者の操作により、管理票１７のバーコードから管理番号を読み出し（図８（Ａ）；Ｃ１）、得られた管理番号を第２ＲＦＩＤタグ発行機４０に送出する。

続いて、第１ＲＦＩＤタグ用リーダライタ３０は、製品容器４２に収納された第１ＲＦＩＤタグ１５から製品管理データを読み出し（図８（Ａ）；Ｃ２）、得られた製品管理データを第２ＲＦＩＤタグ発行機４０に送出する。

第２ＲＦＩＤタグ発行機４０は、バーコードリーダ３０から受けた管理番号と、第１ＲＦＩＤタグ用リーダライタ３０から受けた製品管理データに含まれる管理番号とが一致するか否かを確認する。

一致している場合、第２ＲＦＩＤタグ発行機４０は、この製品管理データを製品ラベル４１の形態で発行する（図８（Ａ）；Ｃ３）。

続いて、製品ラベル４１は、図示しない作業者により、製品容器４２に貼り付けられる（図８（Ｂ））。

製品容器４２は、検査票４３とともにエアキャップ４４によって包まれる。フォトマスクが精密機器であるため、製品容器４２は、エアキャップにより何重にも包まれることになる。このような状態で、製品容器４２は、クリーンルーム外へと運び出される（図８（Ｃ））。

「品質保証工程」では、製品照合の処理を行う。必要に応じて、フォトマスク１０が収納された製品容器４２の外側から、第１ＲＦＩＤタグ１５内の製品管理データと第２ＲＦＩＤタグ４５内の製品管理データとが一致しているか否かを照合する。例えば、自動化された電動ライン５１を用いることで、第２ＲＦＩＤタグ４５を自動でラベリングして、製品照合を容易に行うことができる。

また、製品ラベル４１に印字された情報から目視で注文番号等を簡易的に確認する。

「受入工程」では、例えば発送部門に商品を集め、配送先個人名等のデータを確認するとともに、必要に応じて当該データを更新する。一般的に、配送先法人名は変更することは無いが、配送先個人名は頻繁に更新される。

「売上処理・発送伝票発行工程」では、売上処理と配送先ラベルの発行処理を行う。

始めに、注文番号等に応じて、サーバ２０に売上情報が記録されて売上処理が実行される。ここで、売上情報は、例えば得意先コード（フォトマスクの売上先）、受注番号、枚数などである。

次に、売上情報が入力された後、第３ＲＦＩＤタグ発行機６０は、サーバ２０と接続してサーバ２０から製品管理データを読み出し、当該製品管理データを書き込んだ第３ＲＦＩＤタグ６５を発行する。この第３ＲＦＩＤタグ６５は、配送先情報等が印字された配送先ラベル６１の形態で発行され、配送先ラベル６１に印字されたデータが目視で確認可能となっている（図９；Ｄ１）。

「照合・梱包・出荷工程」では、製品容器を梱包箱に梱包する処理と、製品容器と梱包箱との照合をする処理と、照合結果を記録する処理とを行い、製品を出荷する。

始めに、製品容器４２は、エアキャップ４４に包まれた状態で梱包箱６２に梱包される。梱包時には、ＲＦＩＤタグ用リーダライタ７１を用いて、必要に応じて、第２ＲＦＩＤタグ４５の製品管理データを第３ＲＦＩＤタグ６５に書き込んでいく（図１０（Ａ）；Ｅ１，Ｅ２）。

次に、第２ＲＦＩＤタグ４５は、梱包照合機であるゲートアンテナ７０ａ，７０ｂからの電波を受信すると、記憶している製品管理データを送信する（図１０（Ｂ）；Ｆ１）。同様に、第３ＲＦＩＤタグ６５は、ゲートアンテナ７０ａ，７０ｂからの電波を受信し、記憶している製品管理データを送信する（図１０（Ｂ）；Ｆ２）。

ゲートアンテナ７０ａ，７０ｂは、第２及び第３ＲＦＩＤタグ４５，６５から製品管理データを個別に受信する。このようにして、ゲートアンテナ７０ａ，７０ｂは、製品容器４２が梱包された梱包箱６２の外側から、第２ＲＦＩＤタグ４５に書き込まれた製品管理データと第３ＲＦＩＤタグ６５に書き込まれた製品管理データが一致しているか否かを照合する。

また、ゲートアンテナ７０ａ，７０ｂは、端末機器７２を介して、サーバ２０に接続して、第３ＲＦＩＤタグ６５から受信した製品管理データをサーバ２０に送信する。

サーバ２０は、この製品管理データが、最新の製品管理データと一致しているか否かを照合する。

サーバ２０は、この照合の結果、両製品管理データが一致しているとき、梱包が正常である旨を記録する。

この記録の後、必要に応じて配送記録メモ７３が印刷されるとともに、トラック７４等によりフォトマスク１０を梱包した梱包箱６２が配送される（図１０（Ｃ），（Ｄ））。

「配送確認工程」では、必要に応じて配送先で配送記録を確認する。

すなわち、梱包箱６２が配送された際に、必要に応じて、配送先ラベルに添付された第３ＲＦＩＤタグ６５を、ＲＦＩＤタグ用リーダライタ７１で読み込み、サーバ２０にアクセスして製品管理データの配送記録を確認する（図１１）。

上述したように、フォトマスク配送管理システムを用いることで、梱包を解くことなくフォトマスクを管理し、誤配送を防ぐことが可能なフォトマスク配送管理業務を提供することができる。

また、製品照合する処理と第３ＲＦＩＤタグを発行する処理ステップとの間に、売上処理を行っており、売上処理を容易にしている。

なお、本発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に構成要素を適宜組み合わせてもよい。

本発明の第１の実施形態に係るフォトマスク配送管理システムの構成を示す模式図である。 ＲＦＩＤタグの概念を示す図である。 製品ラベルの一例を示す図である。 電動ラインによる自動化の概念を示す図である。 フォトマスク配送管理システムの動作を示すフローチャートである。 本発明の第２の実施形態に係るフォトマスク配送管理業務の各工程を示す図である。 「ペリクル貼付工程」の処理を示す図である。 「品質保証工程」の処理を示す図である。 「売上処理・発送伝票発行工程」の処理を示す図である。 「照合・梱包・出荷工程」の処理を示す図である。 「配送確認工程」の処理を示す図である。

符号の説明

１０・・・フォトマスク、１１・・・ペリクル、１２・・・ペリクル膜、１３・・・ペリクルフレーム、１５・・・第１ＲＦＩＤタグ、１６・・・ペリクルケース、１７・・・管理票、１８・・・バーコードリーダ、２０・・・サーバ、３０・・・第１ＲＦＩＤタグ用リーダライタ、４０・・・第２ＲＦＩＤタグ発行機、４１・・・製品ラベル、４２・・・製品容器、４３・・・検査票、４４・・・エアキャップ、４５・・・第２ＲＦＩＤタグ、５０・・・製品照合機、５１・・・電動ライン、６０・・・第３ＲＦＩＤタグ発行機、６１・・・配送先ラベル 、６２・・・梱包箱、６５・・・第３ＲＦＩＤタグ、７０・・・梱包照合機、７１・・・ＲＦＩＤタグ用リーダライタ、７２・・・端末機器、７３・・・配送記録メモ、７４・・・トラック。

Claims (9)

1. 電波吸収物質からなるペリクルフレームを有するフォトマスクの配送を管理するフォトマスク配送管理システムであって、
   前記フォトマスクの製品管理データが記憶されるデータ記憶手段と、
   前記データ記憶手段内の製品管理データを、前記ペリクルフレームに貼り付けられた第１ＲＦＩＤタグに書き込む書込手段と、
   前記データ記憶手段内の製品管理データが書き込まれた第２ＲＦＩＤタグを発行する第２ＲＦＩＤタグ発行手段と、
   前記第１ＲＦＩＤタグ内の製品管理データと、前記フォトマスクを収納した製品容器に貼り付けられた前記第２ＲＦＩＤタグ内の製品管理データとを照合する製品照合手段と、
   前記照合の結果、両者が一致しないとき、前記製品容器の外側から前記第１ＲＦＩＤタグ内の製品管理データを読み出し、得られた製品管理データを前記第２ＲＦＩＤタグに書き込む読出／書込手段と、
   前記照合の結果、両者が一致したとき、前記データ記憶手段内の製品管理データが書き込まれた第３ＲＦＩＤタグを発行する第３ＲＦＩＤタグ発行手段と、
   前記製品容器に貼り付けられた第２ＲＦＩＤタグ内の製品管理データと前記製品容器を梱包する梱包箱に貼り付けられた第３ＲＦＩＤタグ内の製品管理データとを照合する梱包照合手段と、
   この照合の結果、両者が不一致のとき、エラー信号を出力するエラー出力手段と
   を備え、
   前記製品照合手段は、前記読出／書込手段による書き込みの後、再度、前記第１ＲＦＩＤタグ内の製品管理データと、前記第２ＲＦＩＤタグ内の製品管理データとの照合を実行することを特徴とするフォトマスク配送管理システム。
2. 請求項１に記載のフォトマスク配送管理システムにおいて、
   前記梱包照合手段による照合と並行して、前記第３ＲＦＩＤタグ内の製品管理データと前記データ記憶手段に記憶されている最新の製品管理データとを照合する最新データ照合手段を更に具備することを特徴とするフォトマスク配送管理システム。
3. 請求項１又は請求項２に記載のフォトマスク配送管理システムにおいて、
   前記梱包照合手段による照合結果を記録する照合結果記録手段を更に具備することを特徴とするフォトマスク配送管理システム。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれか1項に記載のフォトマスク配送管理システムにおいて、
   前記第１ＲＦＩＤタグ、前記第２ＲＦＩＤタグ及び前記第３ＲＦＩＤタグは、１３．５６ＭＨｚ帯の電波を送受信することを特徴とするフォトマスク配送管理システム。
5. 請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のフォトマスク配送管理システムにおいて、
   前記梱包照合手段は、無線により前記第２及び第３ＲＦＩＤタグから個別に製品管理データを読み出す機能と、読み出した各製品管理データを互いに照合する機能とを有し、略１ｍの間隔で互いに対向して配置された一対のゲートアンテナ装置であることを特徴とするフォトマスク配送管理システム。
6. 電波吸収物質からなるペリクルフレームを有するフォトマスクの配送を管理するフォトマスク配送管理システムが実行するフォトマスク配送管理方法であって、
   前記フォトマスク配送管理システムのデータ記憶手段に前記フォトマスクの製品管理データを記憶させる記憶ステップと、
   前記データ記憶手段内の製品管理データを、前記ペリクルフレームに貼り付けられた第１ＲＦＩＤタグに書き込む書込ステップと、
   前記データ記憶手段内の製品管理データが書き込まれた第２ＲＦＩＤタグを発行する第２ＲＦＩＤタグ発行ステップと、
   前記第２ＲＦＩＤタグが製品容器に貼り付けられ、該製品容器に前記フォトマスクが収納されると、前記第１ＲＦＩＤタグ内の製品管理データと前記第２ＲＦＩＤタグ内の製品管理データとを照合する製品照合ステップと、
   前記照合の結果、両者が一致しないとき、前記製品容器の外側から前記第１ＲＦＩＤタグ内の製品管理データを読み出し、得られた製品管理データを前記第２ＲＦＩＤタグに書き込む読出／書込ステップと、
   前記読出／書込ステップの後、再度、前記第１ＲＦＩＤタグ内の製品管理データと、前記第２ＲＦＩＤタグ内の製品管理データとの照合を実行するステップと、
   前記照合の結果、両者が一致したとき、前記データ記憶手段内の製品管理データが書き込まれた第３ＲＦＩＤタグを発行する第３ＲＦＩＤタグ発行ステップと、
   前記第３ＲＦＩＤタグが梱包箱に貼り付けられ、該梱包箱に前記製品容器が収納されると、前記第２ＲＦＩＤタグ内の製品管理データと前記第３ＲＦＩＤタグ内の製品管理データとを照合する梱包照合ステップと、
   この照合の結果、両者が不一致のとき、エラー信号を出力するエラー出力ステップと
   を備えたことを特徴とするフォトマスク配送管理方法。
7. 請求項６に記載のフォトマスク配送管理方法において、
   前記梱包照合ステップによる照合と並行して、前記第３ＲＦＩＤタグ内の製品管理データと前記データ記憶手段に記憶されている最新の製品管理データとを照合する最新データ照合ステップを更に具備することを特徴とするフォトマスク配送管理方法。
8. 請求項７に記載のフォトマスク配送管理方法において、
   前記梱包照合ステップにより照合結果が正常と確認された際に、前記データ記憶手段に梱包が正常である旨を記録する梱包照合記録ステップを更に具備することを特徴とするフォトマスク配送管理方法。
9. 請求項６乃至請求項８に記載のフォトマスク配送管理方法において、
   前記製品照合ステップと前記第３ＲＦＩＤタグ発行ステップとの間に、前記フォトマスクの売上先を記録する売上処理を行う売上処理ステップを更に具備することを特徴とするフォトマスク配送管理方法。

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