JP4636934B2 - 基板角度位置補正装置 - Google Patents
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Description
5 エンコーダ
6 昇降モータ
10 基板角度位置補正装置
11,12,13 フィンガ(基板把持部材)
31,32,33 センサ(ノッチ検出器)
100 基板
101 ノッチ
200 制御部
Claims (2)
- 円形薄型基板の中心軸周りに一定角度間隔で配置され、前記円形薄型基板の端縁を選択的に把持する複数の基板把持部材と、
前記複数の基板把持部材を前記中心軸回りに一体的に回転させる回転機構と、
前記中心軸周りに前記一定角度間隔で配置され、前記円形薄型基板の端縁に予め形成されたノッチ、及び、前記複数の基板把持部材のそれぞれを検出する複数のノッチ検出器と、
前記円形薄型基板が搬入された後において前記複数の基板把持部材が前記円形薄型基板の端縁を把持する前に、前記複数のノッチ検出器の全てが前記ノッチ及び前記複数の基板把持部材のそれぞれを検出していない場合に、前記複数の基板把持部材の全てが前記複数のノッチ検出器によって検出される回転位置まで前記回転機構を動作させる処理、前記円形薄型基板を前記複数の基板把持部材に把持させる処理、前記複数のノッチ検出器の何れかが前記ノッチを検出するまで前記回転機構を動作させる処理、及び、前記複数のノッチ検出器による前記ノッチの検出結果に基づいて前記円形薄型基板の角度位置を補正する処理をこの順に実行する制御部と、を備えたことを特徴とする基板角度位置補正装置。 - 前記円形薄型基板が搬入された後において前記複数の基板把持部材が前記円形薄型基板の端縁を把持する前に、前記複数のノッチ検出器の何れかが前記ノッチを検出している場合に、前記円形薄型基板を前記複数の基板把持部材に把持させる処理、前記複数の基板把持部材を回転させて前記複数のノッチ検出器にノッチを検出させる処理、及び、前記複数のノッチ検出器による前記ノッチの検出結果に基づいて前記円形薄型基板の角度位置を補正する処理を順に実行することを特徴とする請求項1に記載の基板角度位置補正装置。
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Citations (4)
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- 2005-05-09 JP JP2005136648A patent/JP4636934B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
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