JP4631056B2 - フェライト膜成膜用水溶液、フェライト膜の製造方法及びフェライト膜 - Google Patents
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Description
化学と工業 第75巻 第8号、第342〜349頁 (2001年) ジャーナル・オブ・アプライド・フィジックス 第91巻 第10号、第7376〜7378頁 アイトリブルイー・トランスアクションズ・オン・マグネティックス、第38巻、第5号、第3156〜3158頁 ジャーナル・オブ・アプライド・フィジックス 第69(2)巻 第18号、第5911〜5914頁 東京工業大学 理工学研究科 学位論文 水溶液プロセスによるフェライト薄膜・微粒子の室温合成とその応用 西村一寛 (平成10年3月) 日本応用磁気学会誌 第20巻 第2号、第485〜487頁
図1に示した装置および水溶液を用いて、縦30mm、横40mmの基板1に、フェライト膜を作製した。
1−1)デキストラン濃度を0.2〜0.5g/Lとした水溶液は、酸化剤である亜硝酸ナトリウム(NaNO2)を溶解した直後から濃いオレンジ色水溶液中に沈殿物が確認され、その水溶液を用いて作製したフェライト膜は表面がかなり荒れたものであった。
1−2)デキストラン濃度を0.8〜1.0g/Lとした水溶液は、酸化剤である亜硝酸ナトリウム(NaNO2)を溶解した後でもオレンジ色の溶液中には沈殿物が生成されず、一昼夜大気中に放置しても溶液が変色したり沈殿物が確認されたりすることはなかった。この水溶液を用いて作製したフェライト膜の表面はほぼ鏡面となる光沢を示していた。
1−3)さらにデキストラン濃度を1.4g/Lと増加した水溶液では、一昼夜以上大気中に放置しても、溶液の変色や沈殿物の生成などは確認されなかったが、この溶液を用い
て作製された膜は色が薄く且つ基板表面がムラとなっていた。
また上記1−1)の膜についてフェライト膜について走査型電子顕微鏡を用いて膜の構造を観察した結果、大きな粒子が基板表面に付着した様子も観察され、全体的にかなり不均一であった。これに対し、上記1−2)で成膜したフェライト膜では、膜の断面に柱状に一様に成長した構造がみられ、膜の表面は平坦であった。また、上記1−3)で成膜したフェライト膜の膜厚は1−2)に比べて非常に薄く基板表面にまだ島状に成膜されている段階であった。
実施例1で用いた装置と同じ装置、同じガラス基板(縦30mm、横40mm)を用いてフェライト膜を成膜した。1.0g/Lの濃度でデキストランを溶解した3000mLの水に、塩化第一鉄(FeCl2・4H2O)を20.0〜160 mmol/L、酢酸カリウム(CH3COOK)を60 mmol/L、酸化剤の亜硝酸ナトリウム(NaNO2)を5.0 mmol/Lの濃度でそれぞれ溶解した水溶液1を作製し、これを送液ポンプ2によって毎分50mL/分の流量にて、ノズル3を経由して霧状とし、ホルダー4の内部に配置されヒーター5によって加熱されている基板6の表面に吹き付けた。この吹き付けられた余剰の溶液が基板6(ガラス基板)表面にそって流れ去るようにホルダー4は鉛直方向に対して斜めに配置した。
2−1)塩化第一鉄の濃度を20mmol/Lとした水溶液により堆積したフェライト膜は、ガラス基板表面の面積比にして70%程度を被覆していた。
2−2)塩化第一鉄の濃度を40mmol/Lとした水溶液により堆積したフェライト膜は、ガラス基板表面の面積比にして90%程度を被覆していた。
2−3)さらに塩化第一鉄の濃度を増加し、80〜160mmol/Lとした水溶液により堆積したフェライト膜は、ガラス基板表面のほぼ全体を被覆し且つ膜面も鏡面となっていた。
Claims (11)
- 2価の鉄イオンを必須成分としたスピネルフェライトを構成する金属イオンと、
キレート作用により金属イオンを安定化するキレート剤と、
2価鉄イオンの少なくとも一部を酸化する酸化剤と、
pH値の低下を抑制するpH調整剤と
を含むことを特徴とする一液性のフェライトめっき液。 - pHが5以上7未満であることを特徴とする請求項1記載の一液性のフェライトめっき液。
- 前記キレート剤は、一液性のフェライトめっき液の温度を高めることにより、金属イオンを安定化するキレート作用が基板上にフェライト膜を成膜可能なレベルにまで低下するキレート剤であることを特徴とする請求項1または2記載の一液性のフェライトめっき液。
- 前記キレート剤がデキストランであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の一液性のフェライトめっき液。
- 前記スピネルフェライトを構成する金属イオンとして、Ni,Zn,Co,Mn,およびZnからなる群より選ばれる少なくとも1種の2価金属イオンを含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の一液性のフェライトめっき液。
- 請求項1〜5のいずれか1項記載の一液性のフェライトめっき液を基板上に供給し、前記一液性のフェライトめっき液の温度を高めて前記キレート剤のキレート作用を低下させることにより、前記基板上にフェライト膜を成膜することを特徴とするフェライト膜の製造方法。
- 前記基板上に供給された前記一液性のフェライトめっき液の温度を、前記キレート剤のキレート作用が低下する温度まで高める手段として、前記基板の温度を上昇させることを特徴とする請求項6記載のフェライト膜の製造方法。
- 請求項6または7記載のフェライト膜の製造方法により成膜されてなることを特徴とするフェライト膜。
- 請求項8記載のフェライト膜を基板上に形成したことを特徴とする電磁ノイズ抑制体。
- 請求項8記載のフェライト膜を電子配線基板上に形成したことを特徴とする電磁ノイズ抑制体。
- 請求項8記載のフェライト膜を半導体集積ウエハー上に形成したことを特徴とする電磁ノイズ抑制体。
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JPH01122929A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-16 | Nippon Paint Co Ltd | フェライト膜およびその製法 |
JPH01246150A (ja) * | 1988-03-25 | 1989-10-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | フェライト膜の形成方法 |
JPH06251978A (ja) * | 1993-02-25 | 1994-09-09 | Tdk Corp | 軟磁性薄膜の製造方法および軟磁性薄膜 |
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