JP4624530B2 - 不揮発性強誘電体メモリのセルブロック構造 - Google Patents
不揮発性強誘電体メモリのセルブロック構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4624530B2 JP4624530B2 JP2000271161A JP2000271161A JP4624530B2 JP 4624530 B2 JP4624530 B2 JP 4624530B2 JP 2000271161 A JP2000271161 A JP 2000271161A JP 2000271161 A JP2000271161 A JP 2000271161A JP 4624530 B2 JP4624530 B2 JP 4624530B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cell
- block
- region
- cell array
- sense amplifier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/22—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Dram (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は不揮発性強誘電体メモリ装置に係るもので、特に、ビットラインの負荷を減少させることができ、かつセンスアンプブロックを容易に配置できるようにした不揮発性強誘電体メモリのセルブロック構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、不揮発性強誘電体メモリ、つまりFRAM(Ferroelectric Random Access Memory)はDRAM程度のデータ処理速度を有し、電源のオフ時にもデータが保存される特性のため次世代記憶素子として注目を浴びている。
FRAMはDRAMとほぼ同一構造を有する記憶素子であって、キャパシタの材料として強誘電体を使用して強誘電体の特性である高い残留分極を利用したものである。このような残留分極の特性のため電界を除去してもデータは保存される。
【0003】
以下、従来技術に係る不揮発性強誘電体メモリ装置を添付の図面に基づいて説明する。
図1は従来不揮発性強誘電体メモリ装置の単位セル構成図である。
図1に示すように、一方向に形成されるビットラインB/Lと、そのビットラインと交差する方向に形成されるワードラインW/Lと、ワードラインに一定の間隔を置いてワードラインと同一の方向に形成されるプレートラインP/Lと、ゲートがワードラインに連結され、ソースは前記ビットラインに連結されるトランジスタT1と、二端子のうち第1端子はトランジスタT1のドレインに連結され、第2端子は前記プレートラインP/Lに連結される強誘電体キャパシタFC1とで構成されている。
【0004】
以下、このような単位セルの構成を有する従来の強誘電体メモリ装置の全体アレイ構成を概略説明する。
図2は従来強誘電体メモリ装置の構成ブロック図であり、図3は図2の一部のみを取り出して示した概略の回路構成図である。
従来技術の強誘電体メモリのセルアレイを中心としたブロック構成は次の通りである。
従来の強誘電体メモリ装置は、単位セルを多数配置してアレイとしたメインセルアレイ部41をほぼ矩形の領域に区画し、その図面上下側の一部を参照セルアレイ部42に割り当てている。そして、メインセルアレイ部41の矩形領域の一辺に沿ってメインセルアレイ部41及び参照セルアレイ部42に駆動信号を印加するワードライン駆動部43を配置し、参照セルアレイ部42を割り当てた箇所に沿った位置にセンスアンプ部44を配置していた。ワードライン駆動部43はメインセルアレイ部41のメインワードライン及び参照セルアレイ部42の参照ワードラインに駆動信号を印加する。センスアンプ部44は複数のセンスアンプより構成され、ビットライン及びビットバーラインの信号を増幅する。
【0005】
このような構成を有する従来技術の強誘電体メモリの概略の回路構成を以下に説明する。
図3に示すように、メインセルアレイ41はDRAMのように折り返しビットライン構造を有する。そして、参照セルアレイ部42もまた折り返しビットライン構造を有し、参照セルワードラインと参照セルプレートラインとを対として構成している。この参照セルワードライン及び参照セルプレートラインをそれぞれRWL_N−1、RPL_N−1とRWL_N,RPL_Nとする。
【0006】
メインセルワードラインMWL_N−1とメインセルプレートラインMPL_N−1が活性化されるとき、同時に参照セルワードラインRWL_N−1と参照セルプレートラインRPL_N−1も活性化される。従って、ビットラインB/Lにはメインセルのデータが載せられ、ビットバーラインBB/Lには参照セルのデータが載せられる。
【0007】
また、メインセルワードラインMWL_NとメインセルプレートラインMPL_Nが活性化されるとき、同時に参照セルワードラインRWL_Nと参照セルプレートラインRPL_Nもまた活性化される。従って、ビットバーラインBB/Lにはメインセルのデータが載せられ、ビットラインB/Lには参照セルのデータが載せられる。
参照セルによる参照レベルはメインセルによるビットラインレベルのB_H(High)とB_H(Low)との間に存在する。
【0008】
参照電圧REFをビットラインレベルのB_HとB_Hとの間に存在するようにするためには、参照セルの動作方法に従って二つの方法が考えられる。
【0009】
第一は、参照セルのキャパシタにロジック「1」を格納する方法で、参照セルのキャパシタのサイズをメインセルのキャパシタのサイズに比べて小さくすればよい。
第二は、参照セルのキャパシタにロジック「0」を格納する方法で、参照セルのキャパシタのサイズをメインセルのキャパシタのサイズに比べて大きくすればよい。
従来技術に係る不揮発性強誘電体メモリ装置は二つの方法を用いることでセンスアンプ部44にて必要とされる参照電圧を作り出すことができる。
【0010】
以下、このように構成された従来技術の強誘電体メモリのセンスアンプの構成を説明する。
図4は従来技術の強誘電体メモリのセンスアンプの回路構成図であり、図5はラッチ形センスアンプを有する強誘電体メモリのセルブロック構成図である。
従来技術のセンスアンプは二つのPMOSトランジスタと二つのNMOSトランジスタとで構成され、トランジスタはラッチ形のインバータ構造を成している。
【0011】
第1PMOSトランジスタMP1と第2PMOSトランジスタMP2とが向き合って形成され、第1PMOSトランジスタMP1の出力端は第2PMOSトランジスタMP2のゲートに連結され、第2PMOSトランジスタMP2の出力端は第1PMOSトランジスタMP1のゲートに連結されている。そして、第1、第2PMOSトランジスタMP1、MP2の入力端には共通にSAP信号が印加される。SAP信号は第1、第2PMOSトランジスタMP1、MP2を活性化させるための活性化信号である。
【0012】
第1PMOSトランジスタMP1の出力端には第1NMOSトランジスタMN1が直列に連結され、第2PMOSトランジスタMP2の出力端には第2NMOSトランジスタMN2が直列に連結される。この際、第2NMOSトランジスタMN2の出力端は第1NMOSトランジスタMN1のゲートに連結され、第1NMOSトランジスタMN1の出力端は第2NMOSトランジスタMN2のゲートに連結される。そして、第1、第2NMOSトランジスタMN1、MN2の入力端は共通にSAN信号が印加される。SAN信号は第1、第2NMOSトランジスタMN1、MN2を活性化させるための活性化信号である。
【0013】
第1PMOSトランジスタMP1と第1NMOSトランジスタMN1の出力端はビットラインB/Lに共通に連結され、第2PMOSトランジスタMP2と第2NMOSトランジスタMN2の出力端はビットバーラインBB/Lに連結される。このようなセンスアンプはその出力がそれぞれビットラインB/L、ビットバーラインBB/Lに連結され、メインセル及び参照セルへの入出力が可能とする。従って、普通のセンスアンプ不活性化時のプリチャージの間はSAP、SAN、B/L、BB/Lの信号は全て1/2Vcc状態を維持する。一方、活性化時にはSAPが「ハイ」レベルにプルアップされ、SANは接地レベルにプルダウンされる。
【0014】
このようなセンスアンプはセルアレイで次のようなレイアウト構成を有する。即ち、オープンビットライン形態にセルブロックを構成する場合(図5参照)は、センスアンプ44を二つのセルアレイブロック1、2の間に配置し、センスアンプの二つの入力はそれぞれセルアレイブロック1とセルアレイブロック2のビットラインとビットバーラインに連結される。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
上記した従来不揮発性強誘電体メモリ装置は次のような問題点があった。
第一、互いに異なるデータバス(ビットライン、ビットバーライン)を用いてデータの読み出し及び書き込みが行われるので、複数のデータバスが必要となり、レイアウトを効率よく設計することができない。
第二、読み出し及び書き込みに伴う増幅の安定性が期待できない。
第三、セルアレイブロックに対応してセンスアンプアレイを構成するので、ビットラインの負荷のため素子のデータ入出力動作の高速化に限界があり、全体アレイ構成時にチップレイアウト面積を縮小し難い。
従って、セルアレイ及びセンスアンプアレイの効率的配置が難しくなり、メモリの設計から量産に適用するまで長期間が所要となるので、製品競争力が低下する。
【0016】
本発明は以上の従来技術の強誘電体メモリ装置の問題点を解決するためのもので、ビットラインの負荷を減少させることができ、かつセンスアンプブロックを容易に配置できるようにした不揮発性強誘電体メモリのセルブロック構造を提供することにその目的がある。
【0017】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明に係る不揮発性強誘電体メモリのセルブロック構造は、SWLドライバブロックにスプリット構造のワードラインが連結され、そのワードラインから駆動制御を受けるセルアレイブロックを含む強誘電体メモリ装置において、SWLドライバブロックに対応する一つのセルアレイブロックを第1領域と第2領域とに分けて構成し、その間に第1領域と第2領域とを選択するセルブロック選択スイッチング部を配置し、第1領域のデータを第1センスアンプで、第2領域のデータを第2センスアンプでセンシングするようにしたことを特徴とするものである。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて本発明実施形態に係る不揮発性強誘電体メモリ装置を詳細に説明する。
まず、本不揮発性強誘電体メモリ装置のアレイを構成する単位セル構成について説明する。
図6は本発明に係るSWL強誘電体メモリの概略の回路構成図であり、図7はSWL強誘電体メモリの動作タイミング図である。
本不揮発性強誘電体メモリ装置の単位セルは行方向に形成され、互いに一定の間隔を有する第1スプリットワードラインSWL1及び第2スプリットワードラインSWL2と、第1、第2スプリットワードラインSWL1、SWL2を横切る方向に形成された第1ビットラインB/L1及び第2ビットラインB/L2と、ゲートが第1スプリットワードラインSWL1に連結され、ドレインが第1ビットラインB/L1に連結される第1トランジスタT1と、第1トランジスタT1のソースと第2スプリットワードラインSWL2との間に連結される第1強誘電体キャパシタFC1と、ゲートが第2スプリットワードラインSWL2に連結され、ドレインが第2ビットラインB2に連結される第2トランジスタT2と、第2トランジスタT2のソースと第1スプリットワードラインSWL1との間に連結される第2強誘電体キャパシタFC2とで構成されている。
【0019】
そして、ビットラインとビットラインとの間には双方のビットラインを介して伝達されたデータをセンシングして、データラインDL又はデータバーライン/DLへ伝達するセンスアンプSAが形成されている。さらに、センスアンプSAをイネーブルさせるためのイネーブル信号SENを出力するセンスアンプイネーブル部がさらに備えられ、ビットラインとデータラインを選択的にスイッチングする選択スイッチング部CSが備えられる。
【0020】
本実施形態では、このような2T/2C構造を単位セルを複数形成してセルアレイ部が構成されていると説明しているがるが、これは構造上の問題であって、データの格納単位として見ると、一対のスプリットワードラインと一つのビットライン、一つのトランジスタ1Tと一つの強誘電体キャパシタ1Cが単位セルであることには変わりない。
【0021】
以下、本発明に係る不揮発性強誘電体メモリ装置のデータ入出力動作を説明する。
図7のT0区間は第1、第2スプリットワードラインSWL1、SWL2が「ハイ」に活性化される前の区間であって、全てのビットラインをNMOSトランジスタのしきい電圧レベルにプリチャージさせる。T1区間は第1、第2スプリットワードラインSWL1、SWL2が双方とも「ハイ」となる区間であって、メインセルの強誘電体キャパシタのデータがメインビットラインへ伝達され、ビットラインのレベルが変化する。このとき、ロジック「ハイ」に格納されていた強誘電体キャパシタの充電極性に対してビットラインとスプリットワードラインとに互いに反対極性の電界が加えられるので、強誘電体の極性が破壊されつつ多量の電流が流れ、ビットラインに高い電圧が誘起される。
【0022】
一方、ロジック「ロー」に格納されていた強誘電体キャパシタはビットラインとスプリットワードラインとに同一極性の電界が加えられるので、強誘電体の極性が破壊されず、少量の電流が流れるので、ビットラインに多少低い電圧が誘起される。ビットラインにセルデータが十分に載せられると、センスアンプを活性化させるために、センスアンプイネーブル信号SENを「ハイ」に遷移させ、ビットラインのレベルを増幅する。
【0023】
一方、破壊されたセルのロジック「ハイ」データは第1、第2スプリットワードラインSWL1、SWL2が「ハイ」の状態では復せないので、次のT2,T3区間で再格納されるようにする。T2区間は、第1スプリットワードラインSWL1は「ロー」に遷移され、第2スプリットワードラインSWL2は「ハイ」を維持し続ける区間であって、第2トランジスタT2はオンの状態となる。そのとき、ビットラインが「ハイ」の状態であれば、「ハイ」データが第2強誘電体キャパシタFC2の一方の電極へ伝達され、ロジック「1」の状態に復す。
【0024】
T3区間は第1スプリットワードラインSWL1が再び「ハイ」に遷移され、第2スプリットワードラインSWL2は「ロー」に遷移される区間であって、第1トランジスタT1はオンの状態となる。そのとき、ビットラインが「ハイ」の状態であれば、「ハイ」データが第1強誘電体キャパシタFC1の一方の電極へ伝達され、ロジック「1」の状態に復す。
【0025】
以下、本発明の不揮発性強誘電体メモリ装置の動作原理をより詳細に説明する。
図8は参照セルを含む1T、1C強誘電体メモリの回路構成図である。
本実施形態に係る1T、1C強誘電体メモリ装置のアレイ構成は参照セル領域とメインセル領域とを有するが、従来構成と異なり、メインセルのワードラインが選択されたときに、その同じワードラインで参照セルが活性化させるように参照セル領域が配置されている。
【0026】
本実施形態に係わるメインセル領域のアレイはスプリットワードライン構造を有し、前述のようにその一対のワードライン(図8ではSWL1_N−1、SWL2_N−1)にメインセルの単位セルが図6に示すように配置されるが、同時に一対の参照セルも同じワードラインに接続されている。すなわち、図8では、SWLドライバユニット81に最も近い位置に示された構造上の単位セル(一対の記憶単位セル)が参照セルを構成している。要するに、本実施形態では参照セルがメインセル領域のSWLドライバユニット81に沿ってカラム状に配置されているといえる。したがって、SWLドライバブロック81によって一対のスプリットワードラインが活性化されると、メインセル領域及び参照セル領域のセルが同時に活性化される。
【0027】
したがって、メインセルのデータはメインビットラインBL1、BL2へ伝達されセンスアンプ83a、83bへ伝達され、参照セルのデータは参照ビットラインRBL1、RBL2へ伝達される。参照ビットラインの信号はセンスアンプに直接用いられず、レベルシフトトレーサ82a、82bによる増幅過程を経て、その出力がセンスアンプの入力として用いられる。
【0028】
本実施形態における参照ビットラインの信号はメインビットラインのロジック「0」の状態と同じに設定されている。こうすることにより、メインセルと参照セルとの大きさを同一に構成し、参照セルにロジック「0」を格納させておくことができる。従って、レベルシフトトレーサ82a、82bは、参照ビットラインのレベルを感知して、△V値を追加し、そのΔVのレベルの信号を出力として送り出す。出力レベルΔVはメインセルによるメインビットラインのレベル「ハイ」とレベル「ロー」との間の値である。
【0029】
このような本実施形態による強誘電体メモリ装置は、参照セルがメインセルのスプリットワードラインの信号を受けるので安定に動作し、かつ、読み出し時にデータが破壊されることがないのでセルの劣化現象が抑えられる。
しかし、強誘電体メモリ装置を図8に示すように構成する場合は、一つのSWLドライバブロックにより制御されるセルで構成されたセルアレイブロックに対応してセンスアンプアレイが構成されるので、ビットラインの負荷のため装置のデータ入出力動作の高速化に限界があり、全体のアレイを構成する時チップレイアウト面積を縮小し難い。従って、セルアレイ及びセンスアンプアレイの効率的な配置が難しくなり、メモリ設計から量産に適用するまで長期間が所要となるので、製品競争力が低下する。従って、本発明ではデータセンシング動作においてビットラインの負荷による影響を減らして、センスアンプアレイを容易に配置させるための新たなセルアレイ構造を提案する。
【0030】
図9は本発明実施形態に係るセルアレイブロックの基本構造図である。
本実施形態は基本的に一つのSWLドライバブロック91の駆動制御を受けるセルアレイブロックを上、下の二つ、第1領域、第2領域に分離して、センシング動作時に発生するビットライン負荷を減少させるようにしたものである。その具体的構成は、SWLドライバブロック91の駆動制御を受けるセルアレイブロックをセルアレイブロック11(94)とセルアレイブロック21(96)、そして、セルアレイブロック12(95)とセルアレイブロック22(97)とに分けたことを特徴とするものである。そして、セルアレイブロック11(94)とセルアレイブロック21(96)との間、及び、セルアレイブロック12(95)とセルアレイブロック22(97)との間にそれぞれセルブロック選択スイッチング部92、93を配置した。
【0031】
セルアレイを構成している多数のビットラインの奇数列ビットラインのデータを第1センスアンプアレイ98a、98bで、偶数列ビットラインのデータを第2センスアンプアレイ99a、99bでセンスするように構成させている。
このような本実施形態に係る強誘電体メモリのセルブロック構造において、各セルアレイブロックを構成する単位メモリセルの構造は図6と同様である。
【0032】
セルアレイブロックの詳細構成を以下に説明する。
図10aと図10bは本発明に係るセルブロック選択スイッチング部の基本連結関係を示す構成図である。
図10aはセルブロック選択スイッチング部93の基本連結関係を示すもので、それぞれのセルブロック選択スイッチ93c、93d、93e、93fがセルアレイブロック95と97の間に構成され、それぞれのセルアレイブロックのビットラインに連結され、各セルブロック選択スイッチで選択したブロックのビットラインをそれぞれ上、下のセンスアンプ101a、101b、102a、102bに接続するように形成されている。
即ち、偶数列のビットラインの選択されたブロックのラインが上側のセンスアンプ101a、101bの入力に連結され、奇数列のビットラインは下側のセンスアンプ102a、102bの入力に連結される。
【0033】
また、参照レベル発生部100における連結関係は次の通りである。
カラムに配置された参照セルでは図面上上側のブロックのビットラインと下側のブロックのビットラインとがセルブロック選択スイッチ93a、93bに接続され、選択されたブロックの参照セルアレイのビットラインの出力信号を対応するベルシフトトレーサ100a、100bの入力に接続するように配置されている。即ち、偶数列のセルブロック選択スイッチ93bはいずれかのブロックの参照セルのビットラインを上側のレベルシフトトレーサ100aの入力に連結し、奇数列のセルブロック選択スイッチ93aは下側のレベルシフトトレーサ100bへビットラインを連結する。
【0034】
以下、セルブロック選択スイッチング部93の基本連結関係における参照セル領域の連結関係を説明する。
図10bに示すように、奇数列のセルブロック選択スイッチ93aは上、下のブロックの参照ビットライン103a、103bと連結され、かつ下側LT入力線104bに連結される。そして、偶数列のセルブロック選択スイッチ93bは上、下のブロックの参照ビットライン103a、103bと連結され、かつ上側LT入力線104aに連結される。
ここで、参照セルアレイを構成するビットライン、つまり、上側参照ビットライン103aと下側参照ビットライン103bはメインセルアレイのビットラインと同一層に形成され、下側LT入力線104bと上側LT入力線104aはセルアレイブロックのビットラインと異なる層(主にビットラインの上側)に形成される。
【0035】
このようなセルブロック選択スイッチング部を構成するそれぞれのセルブロック選択スイッチの詳細構成は以下の通りである。
図11はセルブロック選択スイッチング部の本実施形態によるスイッチング素子の構成図である。
スイッチング素子は基本的に二つのNMOSトランジスタT1、T2が直列に連結される構造を有する。そして、NMOSトランジスタT1、T2のそれぞれのゲートには、上下に分けられたセルアレイブロック1とセルアレイブロック2をそれぞれ選択するブロック1選択信号とブロック2選択信号が入力される。
例えば、ブロック1選択信号が「ハイ」に活性化されると、上側のブロックのセルアレイのビットライン信号がSW出力線へ伝達される。そして、ブロック2選択信号が「ハイ」に活性化されると、下側のセルアレイのビットライン信号がSW出力線へ伝達される。
【0036】
以下、本実施形態に係るセルブロック選択スイッチング部とセンスアンプブロックとの連結関係を説明する。
図12はセルブロック選択スイッチング部及びセンスアンプブロックの詳細連結関係を示す構成図である。直列連結された二つのNMOSトランジスタにより構成されたスイッチング素子121a、121bがそれぞれブロック1のセルアレイ1とブロック2のセルアレイ2のビットラインに連結される。そして、奇数列のセルブロック選択スイッチング素子121aのSW出力線は下側センスアンプ120bに連結され、偶数列のセルブロック選択スイッチング素子121bのSW出力線は上側センスアンプ120aへ連結される。上側センスアンプ120aの一方には上側のレベルシフトトレーサLTの出力信号(top REF)が入力され、他方には偶数列のセルブロック選択スイッチング素子121bのSW出力線を通った信号が入力される。そして、下側センスアンプ120bの一方には下側のレベルシフトトレーサLTの出力信号(bot REF)が入力され、他方には奇数列のセルブロック選択スイッチング素子121aのSW出力線を通った信号が入力される。
【0037】
上、下側センスアンプ120a、120bの詳細構成は以下の通りである。
図13はセンスアンプブロックの詳細構成図であり、これはセンスアンプアレイを構成する複数のセンスアンプのうち任意の一つを示すものである。
まず、ソースに印加されるメインビットラインの信号をスイッチングする第1トランジスタT1と、ソースに印加されるレベルシフトトレーサLTからの参照信号をスイッチングする第2トランジスタT2と、ゲートが第2トランジスタT2のソースと連結され、ドレインは第1トランジスタT1のドレインと連結される第3トランジスタT3と、ゲートが第1トランジスタT1の入力端と連結され、ドレインは第2トランジスタT2のドレインと連結される第4トランジスタT4と、ソースが接地端に連結され、ドレインは第3、第4トランジスタ両方に連結される第5トランジスタT5と、ゲートが第2トランジスタT2のドレインに連結され、ソースは電源電圧端Vccに連結され、ドレインは第1トランジスタT1のドレインと連結される第6トランジスタT6と、ゲートが第1トランジスタT1のドレインに連結され、ソースは電源電圧端に連結され、ドレインは第2トランジスタT2のドレインと連結される第7トランジスタT7と、第6トランジスタT6のドレインと第7トランジスタT7のドレインを等電位化させる第8トランジスタT8と、ソースが第3トランジスタT3のドレインに連結され、増幅したメインビットラインの信号をデータバス(DB1)にスイッチングする第9トランジスタT9と、ソースが第4トランジスタT4のドレインに連結され、増幅したメインビットライン信号の逆位相信号をデータバーバス(DBB1)にスイッチングする第10トランジスタT10とで構成されている。
【0038】
メインビットラインの信号を第1トランジスタT1のソースにスイッチングする第11トランジスタT11がさらに配置されており、参照信号を第2トランジスタT2のソースにスイッチングする第12トランジスタT12がさらに構成されている。第11トランジスタT11はメインビットラインコントロール信号(BLC)により制御され、第12トランジスタT12は参照ビットラインコントロール信号(RLC)により制御される。
【0039】
第1トランジスタT1は増幅した信号を第4トランジスタT4のゲートにフィードバックさせる機能をさらに含み、第2トランジスタT2は増幅した信号を第3トランジスタT3のゲートにフィードバックさせる機能をさらに含む。また、第1、第2トランジスタT1、T2はデータの書き込み時オンの状態を維持し、データの読み出し時はオフの状態を維持する。第9、第10トランジスタT9、T10はカラム選択信号CSにより制御される。第6、第7トランジスタT6、T7及び第8トランジスタT8はPMOSトランジスタで構成され、その他はNMOSトランジスタで構成される。第5トランジスタT5はセンスアンプ活性化信号SENにより動作し、第8トランジスタT8はセンスアンプ等電位化信号SEQにより動作する。そして、第1、第2トランジスタT1、T2のゲートにはラッチイネーブルコントロール信号LECが印加される。
【0040】
以上の内容は本実施形態に係る基本的なセルアレイブロックの構造を示すものであり、SWLドライバが一つ以上である時のセルアレイブロックの構造を説明する。
図14は本実施形態に係るセルアレイブロックの構成図である。
図14は二つのSWLドライバブロックにより駆動制御されるセルアレイを本願発明に従って配置した場合のレイアウト構成を示すものである。
SWLドライバブロック140の駆動制御を受けるセルアレイブロックを上、下の二つに分離し、他のSWLドライバブロック141の駆動制御を受ける他のセルアレイブロックを上、下の二つに分離する。そして、その分離領域にデータセンシング動作におけるセル選択手段であるスイッチング素子を構成して、センシング動作から発生するビットラインの負荷を減少させている。
【0041】
ここで、SWLドライバブロック140の駆動制御を受ける下側セルアレイブロック142b、142dとSWLドライバブロック141の駆動制御を受ける上側セルアレイブロック143a、143cの奇数列または偶数列の何れか一列のスイッチング素子に連結されるビットラインのセルは第2センスアンプアレイ145a、145bを共有する。このようにセンスアンプアレイを共有することで全体的にレイアウト設計が容易となる。
【0042】
SWLドライバブロック140の駆動制御を受けるセルアレイブロックをセルアレイブロック11(142a)、セルアレイブロック21(142b)、セルアレイブロック12(142c)、セルアレイブロック22(142d)とに分ける。そのセルアレイブロック11(142a)とセルアレイブロック21(142b)の間、そして、セルアレイブロック12(142c)とセルアレイブロック22(142d)の間にそれぞれセルブロック選択スイッチング部147a、147bを配置する。
【0043】
同様に、SWLドライバブロック141の駆動制御を受けるセルアレイブロックを、セルアレイブロック31(143a)、セルアレイブロック41(143b)、セルアレイブロック32(143c)、セルアレイブロック42(143d)とに分け、セルアレイブロック31(143a)とセルアレイブロック41(143d)の間、そして、セルアレイブロック32(143c)とセルアレイブロック42(143d)の間にそれぞれセルブロック選択スイッチング部148a、148bを配置する。
【0044】
セルブロック選択スイッチング部147a、147b、148a、148bの各スイッチング素子の出力線はそれぞれ上側のセンスアンプアレイと下側のセンスアンプアレイとに交替に連結される。従って、奇数列または偶数列の何れか一つのビットラインに連結されるセルは、それぞれ上側に構成されるセンスアンプアレイを介してデータの入出力が行われ、他の一つのビットラインに連結されるセルは、下側に構成されるセンスアンプアレイを介してデータの入出力が行われる。そして、互い異なるSWLドライバブロックの駆動制御を受ける各セルアレイブロックは、そのブロックの間に構成されるセンスアンプアレイを共有する。
【0045】
図14に示すように、SWLドライバブロック140の駆動制御を受ける下側のセルアレイブロック21、22(142b)(142d)とSWLドライバブロック141の駆動制御を受ける上側のセルアレイブロック31、32(143a)(143c)との間に構成される第2センスアンプアレイ145a、145bは上下のものに共有されるブロックである。そして、セルアレイブロック11、12(142a)(142c)の上側には第1センスアンプアレイ144a、144bが、セルアレイブロック41、42(143b)(143d)の下側には第3センスアンプアレイ146a、146bが配置されている。
【0046】
セルアレイブロックの詳細構成は以下の通りである。
図15はセルアレイブロック間のスイッチング素子の連結関係を示す構成図である。それぞれのセルブロック選択スイッチ147b−1、147b−2、147b−3、147b−4、147b−5、147−6がセルアレイブロック142c、142dの間に構成され、各セルアレイブロックのビットラインに連結される。そして、各セルブロック選択スイッチの出力信号はそれぞれ上、下のセンスアンプ144b−1、144b−2、145b−1、145b−2の入力に用いられる。即ち、偶数列は上側のセンスアンプ144b−1、144b−2の入力に連結され、奇数列は下側のセンスアンプ145b−1、145b−2の入力に連結される。
【0047】
そして、隣接する他のSWLドライバブロックの駆動制御を受けるセルアレイブロック143c、143dの間には、セルブロック選択スイッチ148b−1、148b−2、148b−3、148b−4、148b−5、148b−6が構成され、各セルアレイブロックのビットラインに連結される。そして、各セルブロック選択スイッチの出力信号は、それぞれ上、下のセンスアンプ145b−1、145b−2、146b−1、146b−2の入力に用いられる。即ち、偶数列は上側のセンスアンプ145b−1、145b−2の入力に連結され、奇数列は下側のセンスアンプ146b−1、146b−2の入力に連結される。
【0048】
互い異なるSWLドライバブロックの駆動制御を受けるセルアレイの間に構成される第2センスアンプアレイ145bのセンスアンプ145b−1、145b−2はセルアレイブロック12、22(142c)(142d)の奇数列ビットラインに連結されたスイッチング素子147b−3、147b−5とセルアレイブロック32、42(143c)(143d)の奇数列ビットラインに連結されたスイッチング素子148b−3、148b−5とに共通に連結され共有される。そして、セルアレイブロックの偶数列ビットラインに連結されたスイッチング素子は、図面に示しない他のSWLドライバブロックの駆動制御を受けるセルアレイブロックの偶数列ビットラインに連結されたスイッチング素子に共通に連結され、各センスアンプを共有する。
【0049】
次は、参照レベル発生部150における連結関係を説明する。
カラム参照セルでセルブロック選択スイッチ147b−1、147b−2には参照セルアレイ142c、142dのビットライン信号が入力され、その出力信号はそれぞれ上、下のレベルシフトトレーサ150a、150bの入力に用いられる。即ち、偶数列のセルブロック選択スイッチ147b−2の出力は上側のレベルシフトトレーサ150aの入力に連結され、奇数列のセルブロック選択スイッチ147b−1の出力は下側のレベルシフトトレーサ150bの入力に連結される。
【0050】
そして、セルブロック選択スイッチ148b−1、148b−2には参照セルアレイ143c、143dのビットライン信号が入力され、その出力信号はそれぞれ上、下のレベルシフトトレーサ150b、150cの入力に用いられる。
すなわち、偶数列のセルブロック選択スイッチ148b−2の出力は上側のレベルシフトトレーサ150bの入力に連結され、奇数列のセルブロック選択スイッチ148b−1の出力は下側のレベルシフトトレーサ150cの入力に連結される。
このように配置させることにより、センスアンプアレイ及びレベルシフトトレーサの数を減らすことができる。
【0051】
次は、スイッチング素子及びセンスアンプブロックの連結を説明する。
図16はセルアレイブロック間のスイッチング素子及びセンスアンプブロックの連結関係を示す構成図である。ここで、セルアレイ1、2は何れか一つのSWLドライバブロックの駆動制御を受けるセルアレイブロックであり、セルアレイ3、4はSWLドライバブロックに隣接する他のSWLドライバブロックの駆動制御を受けるセルアレイブロックである。
【0052】
直列連結される二つのNMOSトランジスタで構成されたスイッチング素子161a、161bがそれぞれセルアレイ1とセルアレイ2のビットラインに連結される。そして、直列連結される二つのNMOSトランジスタで構成されたスイッチング素子162a、162bがそれぞれセルアレイ3とセルアレイ4のビットラインに連結される。そして、奇数列のセルブロック選択スイッチング素子161aのSW出力線は下側センスアンプ160bに連結され、偶数列のセルブロック選択スイッチング素子161bのSW出力線は上側センスアンプ160aに連結される。ここで、上側センスアンプ160aの一方には上側のレベルシフトトレーサLTの出力信号(top REF)が入力され、他方には偶数列のセルブロック選択スイッチング素子161bのSW出力線を通った信号が入力される。
そして、下側センスアンプ160bの一方には下側のレベルシフトトレーサLTの出力信号(bot REF)が入力され、他方には奇数列のセルブロック選択スイッチング素子161aのSW出力線を通った信号が入力される。ここで、下側センスアンプ160bはセルアレイ3、4の奇数番目ビットラインに連結されたセルのデータ入出力に共通に用いられるので、セルブロック選択スイッチング素子162aのSW出力線を通った信号が共通に入力される。
【0053】
センスアンプ160bの詳細構成は以下の通りである。
図17は図16のセンスアンプブロックの詳細構成図であって、その基本構成は図13のセンスアンプと同様であるが、上、下のセルアレイブロックに共有するセンスアンプであるので、第11、12トランジスタT11、T12のゲートにそれぞれ入力されるBLC−topとBLC−bot信号によって、何れか一方のセルアレイが選択され、選択されたメインアレイの入力に用いられるようになっていることが異なる。
【0054】
全体構成はソースに印加されるメインビットラインの信号をスイッチングする第1トランジスタT1と、ソースに印加される参照信号をスイッチングする第2トランジスタT2と、ゲートが第2トランジスタT2のソースと連結され、ドレインは第1トランジスタT1のドレインと連結される第3トランジスタT3と、ゲートが第1トランジスタT1の入力端と連結され、ドレインは第2トランジスタT2のドレインと連結される第4トランジスタT4と、ソースが接地端に連結され、ドレインは第3、第4トランジスタ両方に連結される第5トランジスタT5と、ゲートが第2トランジスタT2のドレインに連結され、ソースは電源電圧端Vccに連結され、ドレインは第1トランジスタT1のドレインと連結される第6トランジスタT6と、ゲートが第1トランジスタT1のドレインに連結され、ソースは電源電圧端に連結され、ドレインは第2トランジスタT2のドレインと連結される第7トランジスタT7と、第6トランジスタT6のドレインと第7トランジスタT7のドレインを等電位化させる第8トランジスタT8と、ソースが第3トランジスタT3のドレインに連結され、増幅したメインビットラインの信号をデータバス(DBus)にスイッチングする第9トランジスタT9と、ソースが第4トランジスタT4のドレインに連結され、増幅したメインビットラインの信号の逆位相信号をデータバーバス(DBBus)にスイッチングする第10トランジスタT10とで構成されている。
【0055】
上側メインビットラインの信号を第1トランジスタT1のソースにスイッチングする第11トランジスタT11がさらに配置され、参照信号を第2トランジスタT2のソースにスイッチングする第12トランジスタT12、そして、下側メインビットラインの信号を第1トランジスタT1のソースにスイッチングする第13トランジスタT13がさらに配置されている。
第11トランジスタT11のゲートに入力される信号は上側メインビットラインコントロール信号(BLC−top)であり、第12トランジスタT12のゲートに入力される信号は参照ビットラインコントロール信号(RLC)であり、第13トランジスタT13のゲートに入力される信号は下側メインビットラインコントロール信号(BLC−Bot)である。
【0056】
第1トランジスタT1は増幅した信号を第4トランジスタT4のゲートにフィードバックさせる機能をさらに含み、第2トランジスタT2は増幅した信号を第3トランジスタT3のゲートにフィードバックさせる機能をさらに含む。また、第1、第2トランジスタT1、T2はデータの書き込み時オンの状態を維持し、データの読み出し時はオフの状態を維持する。第9、第10トランジスタT9、T10はカラム選択信号CSにより制御される。第6、第7トランジスタT6、T7及び第8トランジスタT8はPMOSトランジスタで構成され、その他はNMOSトランジスタで構成される。第5トランジスタT5はセンスアンプ活性化信号SENにより動作し、第8トランジスタT8はセンスアンプ等電位化信号SEQにより動作する。そして、第1、第2トランジスタT1、T2のゲートにはラッチイネーブルコントロール信号LECが印加される。
【0057】
【発明の効果】
以上の本発明に係る不揮発性強誘電体メモリのセルブロック構造によれば、次のような効果がある。
本発明は、一つのSWLドライバブロックの駆動制御を受けるセルアレイブロックを分割し、その中間にセル選択スイッチを配置したので、全体のビットラインの長さを短くし、素子動作中に発生するビットラインの負荷を減少させることができる。
【0058】
又、本発明はセルアレイをブロックに分けてブロックごとにSWLドライバブロックから駆動するようにして、ブロックの上下に配置したセンスアンプでセンシングするようにし、その際、隣接する二つのSWLドライバブロックで駆動されるセルアレイブロックのセンスアンプを共用するようにしたので、駆動制御を受けるそれぞれのセルアレイブロックの間に構成されるセンスアンプアレイブロックの数を減らすことができ、したがって、チップレイアウトの面積を減らすことができるので、チップ設計を効率よく行うことができる。
【0059】
また、セルアレイを構成するビットラインとセルブロック選択スイッチの出力線とを互い異なる層に形成すると工程の容易性が確保できる。
【0060】
さらに、スイッチング素子をNMOSを用いると、セルブロック選択スイッチング部が簡単な構成となり、セルアレイ選択信号が選択的に活性化されることによって、センシングされるセル領域を選択することができる。
【0061】
さらに、スイッチング素子の出力線を交互に第1、2センスアンプアレイに連結すると、センスアンプの共有効果を維持しながら、ビットライン負荷を効果的に減らすことができる。
【0062】
さらに、スイッチング素子の出力線を交互にレベルシフトトレーサに連結すると、参照信号を出力するための参照セル領域のセルのデータを読み出す動作においてビットラインの負荷を減らすことができる。
【0063】
さらに、レベルシフトトレーサを共用するとその数を減らして、レイアウト設計の容易性を確保できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来技術の強誘電体メモリ装置の単位セル構成図。
【図2】 従来技術の強誘電体メモリ装置の構成ブロック図。
【図3】 図2の概略的な回路構成図。
【図4】 従来技術の強誘電体メモリのセンスアンプの回路構成図。
【図5】 ラッチ形センスアンプを有する強誘電体メモリのセルブロック構成図。
【図6】 本発明に係るSWL強誘電体メモリの概略的な回路構成図。
【図7】 SWL強誘電体メモリの動作タイミング図。
【図8】 参照セルを含む1T1C強誘電体メモリの回路構成図。
【図9】 本発明に係るセルアレイブロックの基本構成図。
【図10a】 本発明に係るセルブロック選択スイッチング部の基本連結関係を示す構成図。
【図10b】 本発明に係るセルブロック選択スイッチング部の基本連結関係を示す構成図。
【図11】 セルブロック選択スイッチング部のスイッチング素子構成図。
【図12】 セルブロック選択スイッチング部及びセンスアンプブロックの詳細連結関係を示す構成図。
【図13】 センスアンプブロックの詳細構成図。
【図14】 本発明に係るセルアレイブロックの構成図。
【図15】 セルアレイブロック間のスイッチング素子の連結関係を示す構成図。
【図16】 セルアレイブロック間のスイッチング素子及びセンスアンプブロックの詳細連結関係を示す構成図。
【図17】 図16のセンスアンプブロックの詳細構成図。
【符号の説明】
91:SWLドライバブロック
92、93:セルブロック選択スイッチング部
94、95、96、97:セルアレイブロック
98a、98b:第1センスアンプアレイ
99a、99b:第2センスアンプアレイ
Claims (7)
- スプリット構造のワードライン及び当該ワードラインを横切る方向に形成されたビットラインを含むメインセル領域とカラム参照セル領域とを含むセルアレイブロック、
前記セルアレイブロックを第1、2領域に分離し、双方の領域の間に配置され、一方の電極には第1領域のビットラインが、他方の電極には第2領域のビットラインが連結されるスイッチング素子からなるセルブロック選択スイッチング部、
前記セルアレイブロックの第1領域の上側に構成され、偶数番目スイッチング素子の出力線が入力端に連結されるセンスアンプからなる第1センスアンプアレイ、
前記セルアレイブロックの第2領域の下側に構成され、奇数番目スイッチング素子の出力端が入力端に連結されるセンスアンプからなる第2センスアンプアレイ、
前記カラム参照セル領域のビットラインに連結されるスイッチング素子の偶数番目のスイッチング素子の出力線が連結され、前記第1センスアンプアレイのセンスアンプの他方の入力端に参照信号を出力する第1レベルシフトトレーサ、
前記カラム参照セル領域のビットラインに連結されるスイッチング素子の奇数番目のスイッチング素子の出力線が連結され、前記第2センスアンプアレイのセンスアンプの他方の入力端に参照信号を出力する第2レベルシフトトレーサを含むことを特徴とする不揮発性強誘電体メモリのセルブロック構造。 - セルブロック選択スイッチの出力端はセルアレイブロックのビットラインと異なる層に形成される電導性ラインにより、センスアンプ入力端またはレベルシフトトレーサに連結されることを特徴とする請求項1記載の不揮発性強誘電体メモリのセルブロック構造。
- セルブロック選択スイッチング部のスイッチング素子は第1、2NMOSが直列連結され、第1NMOSトランジスタのゲートには第1領域のセルアレイ選択信号が入力され、第2NMOSトランジスタのゲートには第2領域のセルアレイ選択信号が入力され、それぞれのセルアレイ選択信号が活性化されることにより選択的にオンとなることを特徴とする請求項1記載の不揮発性強誘電体メモリのセルブロック構造。
- 第1NMOSトランジスタの一方の電極には第1領域のビットラインが連結され、第2NMOSトランジスタの一方の電極には第2領域のビットラインが連結され、第1、2NMOSトランジスタの他方の電極はスイッチング素子の出力端に共通に連結されることを特徴とする請求項3記載の不揮発性強誘電体メモリのセルブロック構造。
- スプリット構造を有する複数のワードライン及び当該ワードラインを横切る方向に形成されたビットラインを含むセルアレイブロック、
前記セルアレイブロックの間に配置され、スプリットワードラインを介してセルアレイブロック一方側と他方側の単位セルを駆動制御するSWLドライバブロック、
前記セルアレイブロックをそれぞれ第1領域と第2領域とに分離し、一方の電極には第1領域のビットラインが、他方の電極には第2領域のビットラインが連結されるスイッチング素子からなるセルブロック選択スイッチング部、
前記それぞれのセルアレイブロックの上、下に配置され、前記セル選択スイッチング部により選択された第1領域または第2領域のセルアレイのデータをセンシングする第1、2センスアンプアレイを含み、
SWLドライバブロックの駆動制御を受けるセルアレイブロックとそのSWLドライバブロックに隣接した他のSWLドライバブロックの駆動制御を受けるセルアレイブロックとの間に構成されることになるセンスアンプアレイは前記二つのセルアレイブロックに共有され、
前記セルブロック選択スイッチング部は、前記第1領域または前記第2領域の奇数番目ビットラインを前記第1センスアンプアレイに連結し、前記第1領域または前記第2領域の偶数番目ビットラインを前記第2センスアンプアレイに連結し、
セルアレイブロックはカラム参照セル領域を含み、カラム参照セル領域に対応するセルブロック選択スイッチの一方の電極は第1領域のビットラインに、他方の電極は第2領域のビットラインに、そして、出力端は参照レベル信号を出力するレベルシフトトレーサに連結され、
レベルシフトトレーサはそれぞれ第1、2センスアンプアレイに対応して構成され、カラム参照セル領域に対応するセルブロック選択スイッチの出力端は交互にそれぞれのレベルシフトトレーサに連結される
ことを特徴とする不揮発性強誘電体メモリのセルブロック構造。 - セルブロック選択スイッチング部を構成するスイッチング素子の出力端が配列順に従い第1、2センスアンプアレイの入力端に交互に連結されることを特徴とする請求項5記載の不揮発性強誘電体メモリのセルブロック構造。
- SWLドライバブロックの駆動制御を受けるセルアレイブロックと当該セルアレイブロックに隣接する他のSWLドライバブロックの駆動制御を受ける他のセルアレイブロックとの間に構成されるセンスアンプアレイに対応するレベルシフトトレーサには前記二つのセルアレイブロックのカラム参照セル領域に対応するセルブロック選択スイッチの出力端が共通に連結されることを特徴とする請求項5記載の不揮発性強誘電体メモリのセルブロック構造。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR37956/1999 | 1999-09-07 | ||
KR1019990037956A KR100339428B1 (ko) | 1999-09-07 | 1999-09-07 | 불휘발성 강유전체 메모리의 셀 블록 구조 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001110180A JP2001110180A (ja) | 2001-04-20 |
JP4624530B2 true JP4624530B2 (ja) | 2011-02-02 |
Family
ID=19610448
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000271161A Expired - Fee Related JP4624530B2 (ja) | 1999-09-07 | 2000-09-07 | 不揮発性強誘電体メモリのセルブロック構造 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6297985B1 (ja) |
JP (1) | JP4624530B2 (ja) |
KR (1) | KR100339428B1 (ja) |
DE (1) | DE10038228B4 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100451096B1 (ko) * | 2000-09-19 | 2004-10-02 | 엔이씨 일렉트로닉스 가부시키가이샤 | 자기메모리셀어레이를 갖는 비휘발성 반도체메모리장치 |
JP3866913B2 (ja) * | 2000-11-21 | 2007-01-10 | 富士通株式会社 | 半導体装置 |
JP2003092364A (ja) * | 2001-05-21 | 2003-03-28 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
KR100451762B1 (ko) * | 2001-11-05 | 2004-10-08 | 주식회사 하이닉스반도체 | 불휘발성 강유전체 메모리 장치 및 그 구동방법 |
KR100447227B1 (ko) * | 2001-11-05 | 2004-09-04 | 주식회사 하이닉스반도체 | 불휘발성 강유전체 메모리 장치 및 그 구동방법 |
KR100489357B1 (ko) * | 2002-08-08 | 2005-05-16 | 주식회사 하이닉스반도체 | 불휘발성 강유전체 메모리 장치의 셀 어레이와, 그의 구동장치 및 방법 |
KR100724334B1 (ko) | 2006-01-03 | 2007-06-04 | 삼성전자주식회사 | 데이터 전송에 이웃하는 비트라인을 이용하는 불휘발성반도체 메모리 장치 및 그의 구동방법 |
US8050127B2 (en) * | 2009-02-06 | 2011-11-01 | Hynix Semiconductor Inc. | Semiconductor memory device |
KR20100091640A (ko) * | 2009-02-11 | 2010-08-19 | 삼성전자주식회사 | 메모리 장치, 이를 포함하는 메모리 시스템, 및 이들의 데이터 처리 방법 |
JP5770068B2 (ja) | 2010-11-12 | 2015-08-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
KR20130026826A (ko) | 2011-09-06 | 2013-03-14 | 삼성전자주식회사 | 비휘발성 메모리 시스템 및 이를 구비하는 정보처리 시스템 |
US9368170B2 (en) * | 2014-03-14 | 2016-06-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Memory device with resistance-change type storage elements |
CN105741874B (zh) | 2014-12-08 | 2019-10-25 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 用于快闪存储器的双位线读出电路和读出方法 |
US10867653B2 (en) * | 2018-04-20 | 2020-12-15 | Micron Technology, Inc. | Access schemes for protecting stored data in a memory device |
US10622050B2 (en) | 2018-05-09 | 2020-04-14 | Micron Technology, Inc. | Ferroelectric memory plate power reduction |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0547177A (ja) * | 1991-01-25 | 1993-02-26 | Nec Ic Microcomput Syst Ltd | 半導体記憶装置 |
JPH06349267A (ja) * | 1993-04-13 | 1994-12-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JPH10208476A (ja) * | 1996-11-19 | 1998-08-07 | Matsushita Electron Corp | 半導体記憶装置 |
JPH11186511A (ja) * | 1997-12-12 | 1999-07-09 | Lg Semicon Co Ltd | 不揮発性強誘電体メモリ及びその製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4873644A (en) | 1987-09-16 | 1989-10-10 | Kubota, Ltd. | Guide system for a working machine having a product identifying system |
JPH07235648A (ja) * | 1994-02-24 | 1995-09-05 | Hitachi Ltd | 半導体記憶装置 |
JP3135795B2 (ja) * | 1994-09-22 | 2001-02-19 | 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 | ダイナミック型メモリ |
US6480407B1 (en) * | 1995-08-25 | 2002-11-12 | Micron Technology, Inc. | Reduced area sense amplifier isolation layout in a dynamic RAM architecture |
US5680344A (en) | 1995-09-11 | 1997-10-21 | Micron Technology, Inc. | Circuit and method of operating a ferrolectric memory in a DRAM mode |
JPH09288891A (ja) * | 1996-04-19 | 1997-11-04 | Matsushita Electron Corp | 半導体メモリ装置 |
KR100242998B1 (ko) * | 1996-12-30 | 2000-02-01 | 김영환 | 잡음특성을 개선한 셀 어레이 및 센스앰프의 구조 |
US5917744A (en) * | 1997-12-18 | 1999-06-29 | Siemens Aktiengesellschaft | Semiconductor memory having hierarchical bit line architecture with interleaved master bitlines |
KR100275336B1 (ko) * | 1997-12-24 | 2000-12-15 | 김영환 | 강유전체 메모리 장치의 기준전압발생기 |
-
1999
- 1999-09-07 KR KR1019990037956A patent/KR100339428B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2000
- 2000-08-04 DE DE10038228A patent/DE10038228B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2000-08-29 US US09/650,403 patent/US6297985B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-09-07 JP JP2000271161A patent/JP4624530B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0547177A (ja) * | 1991-01-25 | 1993-02-26 | Nec Ic Microcomput Syst Ltd | 半導体記憶装置 |
JPH06349267A (ja) * | 1993-04-13 | 1994-12-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JPH10208476A (ja) * | 1996-11-19 | 1998-08-07 | Matsushita Electron Corp | 半導体記憶装置 |
JPH11186511A (ja) * | 1997-12-12 | 1999-07-09 | Lg Semicon Co Ltd | 不揮発性強誘電体メモリ及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10038228A1 (de) | 2001-03-15 |
US6297985B1 (en) | 2001-10-02 |
JP2001110180A (ja) | 2001-04-20 |
KR20010026586A (ko) | 2001-04-06 |
KR100339428B1 (ko) | 2002-05-31 |
DE10038228B4 (de) | 2006-06-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5917746A (en) | Cell plate structure for a ferroelectric memory | |
JP4624530B2 (ja) | 不揮発性強誘電体メモリのセルブロック構造 | |
JP2006302466A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP3880839B2 (ja) | 複数のバンクを有するデータメモリ | |
JP5095712B2 (ja) | 不揮発性強誘電体メモリ装置のセンシングアンプ | |
JP3756714B2 (ja) | 不揮発性強誘電体メモリ装置 | |
JP4331804B2 (ja) | 不揮発性強誘電体メモリ装置の駆動回路 | |
JP4008766B2 (ja) | 強誘電体メモリ及びその駆動方法 | |
US6934177B2 (en) | Ferroelectric memory device and read control method thereof | |
JP4488653B2 (ja) | 不揮発性強誘電体メモリ装置の駆動方法 | |
JP4577967B2 (ja) | 不揮発性強誘電体メモリ装置並びにその駆動回路 | |
US6317380B1 (en) | Circuit for driving nonvolatile ferroelectric memory | |
KR100447222B1 (ko) | 강유전체 메모리 및 그의 구동방법 | |
JP4553453B2 (ja) | 不揮発性強誘電体メモリ装置 | |
US6487128B2 (en) | Integrated memory having memory cells and reference cells, and operating method for such a memory | |
KR100268876B1 (ko) | 비휘발성 강유전체 메모리소자의 구동회로 | |
US6324090B1 (en) | Nonvolatile ferroelectric memory device | |
JP2007149295A (ja) | 半導体記憶装置 | |
KR950010759B1 (ko) | 다이나믹형 반도체 기억장치 | |
JP2000215676A (ja) | 半導体記憶装置 | |
EP0543613A2 (en) | Dynamic semiconductor memory device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060629 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090825 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090908 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091207 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100406 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100806 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20100813 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101012 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101104 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131112 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |