JP4620706B2 - 不均一サンプル分布に起因したフィットエラーの低減 - Google Patents
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- 238000009826 distribution Methods 0.000 title description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 48
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 31
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 18
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 46
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 28
- 230000006870 function Effects 0.000 description 21
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 16
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 15
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 13
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 12
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 101100072620 Streptomyces griseus ind2 gene Proteins 0.000 description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 6
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 6
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 4
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
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Description
・ 放射(たとえば、UV(紫外線)またはEUV(極端紫外線)放射)の投影ビームPBをもたらす照明システムIL。この特定の場合において、放射システムは放射ソースSOも含む。
・ アイテムPLに対してパターニングデバイスを正確に位置決めする第1のポジショナ(図示せず)に接続され、パターニングデバイスMA(たとえば、マスク)を支持する第1のサポート構造MT(たとえば、マスクテーブル)。
・ アイテムPLに対して基板を正確に位置決めする第2のポジショナPWに接続され、基板W(たとえば、レジストコートシリコンウェーハ)を保持する第2のサポート構造WT(たとえば、ウェーハテーブル)。
・ パターニングデバイスMAにより投影ビームPBに付与されたパターンを基板Wのターゲット部分C(たとえば、1つ以上のダイを備えるもの)上に結像させる投影システムPL(たとえば、反射投影レンズ)。
表I
% generate sampling positions(サンプル位置生成)
% prepare local dense/sparse sampling(ローカル密/疎サンプル準備)
dx = 0.05 * sin(pi*(x1*fi(i)+pj(j)));
x2 = x1 + dx;
% Calculate function sinc^2(関数sinc^2計算)
f1 = sinc( x1 ).^2;
f2 = sinc( x2 ).^2;
% perform thresholding for quadratic fit(二次フィット用閾値化実行)
ind1 = find( f1 > 0.5 );
ind2 = find( f1 > 0.5 );
% Set up fit matrices (quadratic)(フィットマトリックスセットアップ(二次))
A1 = [ones(1,length(ind1)); x1(ind1)'; x1(ind1)'.^2];
A2 = [ones(1,length(ind1)); x2(ind2)'; x2(ind2)'.^2];
% Perform fit(フィット実行)
C1 = f1(ind1)'/A1;
C2 = f2(ind2)'/A2;
% Calculate "aligned position"(「アラインド位置」計算)
ax1(i,j) = -C1(2) / (2*C1(3));
ax2(i,j) = -C2(2) / (2*C2(3));
% Perform weighted fit, (重み付けフィット実行)
% step 1, sort original x values;(ステップ1,オリジナルx値ソート)
[x, ind] = sort(x2);
% step 2, determine weight factor for each sample(ステップ2,各サンプルの重み係数決定)
xx = abs(x * ones(1, length(x)) - ones(length(x),1) * x');
for cnt=1:length(x);
tmp = sort(xx(cnt,:));
tmp(1) = [];
if (tmp(1) == 0)
w(ind(cnt)) = 0;
else
% distance to nearest neighbours(最近隣サンプルまでの距離)
w(ind(cnt)) = mean( tmp(1:2) );
end
end;
w = sqrt(0.2 + (w - min(w))/(max(w)-min(w)) );
% step 3, select only those samples according to threshold & perform fit (ステップ3,閾値に従うサンプルのみの選択及びフィット実行)
f = f2(ind2);
w = w(ind2);
A2w = (ones(3,1)*w) .* A2;
C2w = (w.*f') / A2w;
% Calculate "aligned position" after weighted fit(重み付けフィット後「アラインド位置」計算)
ax2w(i,j) = -C2w(2) / (2*C2w(3));
end
Claims (19)
- リソグラフィ装置のためのアライメント方法であって、
ウェーハテーブルとともに移動するオブジェクトと関連付けられ、位置および該位置と関連付けられた放射強度を含む複数のデータポイントを測定することと、
ベストフィットカーブを生成するために前記複数のデータポイントの補間を行うことと、を含み、
前記補間を行うことが、間隔が密であるデータポイントに対して小さな重みを与え、間隔が疎であるデータポイントに対して大きな重みを与えるように、前記補間中に前記複数のデータポイントに割当てられた重み付けを調節することを含む、方法。 - 前記補間を行うことは、
放射強度の閾値を選択することと、
前記閾値を上回る放射強度に相当する複数のデータポイントを選択することと、
前記各データポイントの近くの複数の近隣データポイントを選択し、重み付けを調節するステップを実行することと、
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記オブジェクトの移動が、公称線速度に対する摂動により特徴付けられる、請求項1に記載の方法。
- 前記オブジェクトが、格子、ディテクタ、およびイメージセンサのうちの1つである、請求項1に記載の方法。
- 前記複数のデータポイントが、透過イメージセンサの透過イメージセンサマークを使用して測定される、請求項1に記載の方法。
- 最大アライメントの位置が、前記透過イメージセンサにより検出された最大強度に相当する、請求項5に記載の方法。
- 前記ベストフィットカーブのピーク位置を計算することと、
前記ピーク位置に基づいてアライメント位置を決定することと、
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記ベストフィットカーブの前記ピーク位置が、前記複数のデータポイントに割り当てられた前記重み付けを調節することを実行せずに構成されたフィットカーブのピーク位置よりも、最大アライメントに近似する、請求項7に記載の方法。
- 最高放射強度と関連付けられたデータポイントおよび2つの近隣データポイントを選択することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- リソグラフィ装置においてアライメントカーブを生成するデバイスであって、
マスクを支持するように構成されたマスクテーブルと、
ウェーハを支持するように構成されたウェーハテーブルと、
投影システムと、
(i)ウェーハスキャン中に生成された放射強度測定値から複数のデータポイントを生成し、(ii)ベストフィットカーブを生成するために前記複数のデータポイントの補間を行い、(iii)間隔が密であるデータポイントに対して小さな重みを与え、間隔が疎であるデータポイントに対して大きな重みを与えるように、前記補間中に前記複数のデータポイントに割り当てられた重み付けを調節する、ように構成された制御システムと、
を備える、デバイス。 - 前記制御システムが、放射強度閾値に基づいて前記複数のデータポイントを選択するようにさらに構成されている、請求項10に記載のデバイス。
- リソグラフィ装置におけるオーバーレイを制御する方法であって、
ベストフォーカスの面内でイメージセンサを使用して一次元(1−D)スキャンを行うことと、
前記一次元スキャンに基づいてデータポイントのセットを生成することであって、各データポイントが測定された強度および位置を表す、該生成することと、
前記データポイントのセットに適用されている密度重み付けフィットに基づいてベストフィットカーブを生成することと、
前記ベストフィットカーブのピーク位置に基づいて最適アライメントに相当する最大強度の位置を決定することと、
を含む、方法。 - 前記一次元スキャンを行う前にベストフォーカスの面を決定することをさらに備える、請求項12に記載の方法。
- 前記ベストフィットカーブを生成することが、密なデータポイントよりも大きな重みを疎なデータポイントに与えることを含む、請求項12に記載の方法。
- リソグラフィ装置におけるオーバーレイを制御するシステムであって、
マスクを支持するように構成されたマスクテーブルと、
ウェーハを支持するように構成されたウェーハテーブルと、
前記ウェーハテーブルに合わせて移動し、検出された光強度のピークに基づいてアライメント位置を決定するように構成されたイメージセンサと、
投影システムと、
(i)前記イメージセンサを使用してウェーハスキャン中に生成される複数のデータポイントを生成し、(ii)ベストフィットカーブを生成するために前記複数のデータポイントの補間を行い、(iii)密なデータポイントに対して小さな重みを与え、疎なデータポイントに対して大きな重みを与えるように、前記補間中に前記複数のデータポイントに割り当てられた重みを調節する、ように構成された制御システムと、
を備える、システム。 - システムが、放射強度閾値に基づいて前記複数のデータポイントを選択するようにさらに構成されている、請求項15に記載のシステム。
- 前記イメージセンサが、垂直スキャンに基づいてベストフォーカスコンディションを検出するようにさらに構成されている、請求項15に記載のシステム。
- 前記複数のデータポイントが、サンプル間隔における摂動により特徴付けられ、該摂動は前記ウェーハスキャン中の公称速度からのウェーハテーブル速度の偏差に相当する相対度数を有する、請求項15に記載のシステム。
- 前記相対度数が約20よりも少なく、密なデータポイントに対する重みを少なくし、疎なデータポイントに対する重みを多くするために前記補間を使用したフィットエラーが、平均して、前記補間を行わないで決定されたフィットエラーよりも少ない、請求項18に記載のシステム。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/418,464 US7583359B2 (en) | 2006-05-05 | 2006-05-05 | Reduction of fit error due to non-uniform sample distribution |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007329462A JP2007329462A (ja) | 2007-12-20 |
JP4620706B2 true JP4620706B2 (ja) | 2011-01-26 |
Family
ID=38660888
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007120637A Active JP4620706B2 (ja) | 2006-05-05 | 2007-05-01 | 不均一サンプル分布に起因したフィットエラーの低減 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7583359B2 (ja) |
JP (1) | JP4620706B2 (ja) |
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US20070258074A1 (en) | 2007-11-08 |
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