JP4618342B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
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Description
単板式のカラーセンサでは、画素ごとに異なった色のカラーフィルタを搭載しているが、カラーフィルタにより減衰させている分、量子効率は低下している。光源、フォトダイオードおよびカラーフィルタの分光特性によって決定されるが、緑色画素で1/2〜1/3の減衰がある。
高感度化を目的として、R,G,Bの各色のカラーフィルタを有する画素の他に、カラーフィルタを有さない白色画素(以降ホワイト(W)画素とも称する)を有するイメージセンサが開発されている。
R,G,B,Wの各色の画素における出力特性は、それぞれ同じ傾きの直線となり、信号電化数が一定の値で飽和する。
上記のホワイト画素を有するイメージセンサにおいて、輝度情報のダイナミックレンジDRは、ホワイト画素のフロアノイズレベルFNから飽和レベルまでとなり、図34の場合は80dBである。
さらに好適には、前記白色画素又は前記黄色画素の付加容量素子が、前記赤色画素、緑色画素及び青色画素の付加容量素子よりも大きい。
さらに好適には、前記白色画素又は前記黄色画素と、前記赤色画素、緑色画素又は青色画素との間で、前記フローティングディフュージョンが共有されている。
あるいは好適には、前記白色画素又は前記黄色画素の総数が、前記赤色画素、緑色画素または青色画素の総数以上である。
また、あるいは好適には、前記受光面が中央部と周辺部に区分されており、前記周辺部における全画素に対する前記白色画素又は前記黄色画素の割合が、前記中央部における全画素に対する前記白色画素又は前記黄色画素の割合よりも高い。
本実施形態に係る固体撮像装置はCMOSイメージセンサであり、半導体基板の受光面に、カラーフィルタを有さないホワイト画素(白色画素)と、赤色、緑色及び青色のカラーフィルタを有する赤色画素、緑色画素及び青色画素とがアレイ状に集積されている。
各画素は、光を受光して光電荷を生成及び蓄積するフォトダイオードPD、フォトダイオードPDからの光電荷を転送する転送トランジスタT、転送トランジスタTを通じて光電荷が転送されるフローティングディフュージョンFD、付加容量素子CS、フローティングディフュージョンFDの容量と付加容量素子CSの容量とを結合または分割する容量結合トランジスタS、フローティングディフュージョンFDに容量結合トランジスタSを介して接続して形成され、負荷容量素子Cs及びフローティングディフュージョンFD内の光電荷を排出するためのリセットトランジスタRS、ゲート電極がフローティングディフュージョンFDに接続して形成され、フローティングディフュージョンFD内の光電荷を電圧信号に増幅変換する増幅トランジスタ(ソースフォロワ)SF、及び、増幅トランジスタに直列に接続して形成され、画素を選択するための選択トランジスタXを有して構成されており、いわゆる5トランジスタ型のCMOSイメージセンサである。例えば、上記の5つのトランジスタはいずれもnチャネルMOSトランジスタである。
選択トランジスタX、駆動ラインφXについては、画素の選択、非選択動作ができるように、フローティングディフュージョンFDの電圧を適宜な値に固定できればよいから、それらを省略することも可能である。また、選択トランジスタXについては、増幅トランジスタSFと出力ラインVoutとの間に配置することも可能である。
フォトダイオードPD、付加容量素子CS及び5つのトランジスタ(転送トランジスタT、容量結合トランジスタS、リセットトランジスタRS、増幅トランジスタ(ソースフォロワ)SF、選択トランジスタX)を図のように配置し、さらに転送トランジスタTと容量結合トランジスタSの間のフローティングディフュージョンFDと増幅トランジスタ(ソースフォロワ)SFのゲートを配線W1で接続し、付加容量素子CSを構成する領域を配線W2で接続し、さらにリセットトランジスタRSと選択トランジスタXの一方の拡散層にそれぞれ所定の電源電圧VRの配線に接続して、図1に示す本実施形態の等価回路図に相当する回路を実現することができる。図2のレイアウトを繰り返して配置することで、隣り合う画素間において、一方の画素のリセットトランジスタRSと他方の画素の選択トランジスタXの間の拡散層に電源電圧VRが接続される構成となる。
このレイアウトにおいて、転送トランジスタTのチャネルの幅は、フォトダイオードPD側で広く、フローティングディフュージョンFD側で狭くなるように形成されている。このため、フォトダイオードからフローティングディフュージョンへの光電荷の転送を滞りなく行うことができる。一方、フローティングディフュージョンFD側で狭くすることで、フローティングディフュージョンFDの容量を小さくとることができ、フローティングディフュージョンFD中に蓄積した電荷に対する電位の変動幅を大きくとることができる。
p型ウェル11中にn型半導体領域14が形成され、その表層にp+型半導体領域15が形成され、このpn接合により電荷転送埋め込み型のフォトダイオードPDが構成されている。
また、不図示の領域においてn+型半導体領域17に達する開口部が形成されており、後述のような構成の付加容量素子CSに接続する配線が形成されている。
また、転送トランジスタTのゲート電極19には駆動ラインφTが接続して設けられており、また、容量結合トランジスタSのゲート電極20には駆動ラインφSが接続して設けられている。
例えば、上記の付加容量素子CSを被覆して、上記の絶縁膜21が形成されており、上記のn+型半導体領域17に接続する配線が、コンタクトなどを介して第1電極30又は第2電極32に接続されている。
本実施形態においては、ホワイト画素Wの総数が、赤色画素R、緑色画素G及び青色画素Bの総数より小さい構成であり、具体的には、ホワイト画素:赤色画素R、緑色画素G及び青色画素Bの総数=1:3である。
即ち、ホワイト画素(白色画素)W、赤色画素R、緑色画素G及び青色画素Bの4つの画素(PX1〜PX4)を1組として、実際の受光面においては、図4(A)の構成の画素の組が行方向及び列方向に繰り返されて構成されている。
上記のレイアウトにおいては、ホワイト画素Wと緑色画素Gが対角に配置され、赤色画素Rと青色画素Bが対角に配置されている。
図4(B)は、図4(A)の変形例であり、図4(A)のレイアウトに対してホワイト画素Wと緑色画素Gが入れ替えられた構成としてもよい。
4つの画素(PX1〜PX4)のそれぞれにおいて、フォトダイオードPD、付加容量素子CS、転送トランジスタT、容量結合トランジスタS、リセットトランジスタRS、増幅トランジスタ(ソースフォロワ)SF、選択トランジスタXがそれぞれ配置されている。行方向に隣接する画素間でリセットトランジスタRSと選択トランジスタXに接続する電源電圧VRのコンタクトが共有されている。
図6は本実施形態のCMOSイメージセンサの全体の回路構成を示す等価回路図である。
受光面において複数個の画素がアレイ状に配置されている。図面上は代表して図4(A)及び図5に示す4個の画素(PX1〜PX4)の組を示しており、この構成の画素の組が行方向及び列方向に繰り返されて構成されている。
各画素PXには行シフトレジスタSRVで制御された駆動ライン(φT,φS,φRS,φX)と、電源電圧VR及びグラウンドGNDなどが接続されている。
各画素は列シフトレジスタSRH及び駆動ライン(φS1+N1,φN1,φS1'+S2'+N2,φN2)で制御されて、後述のようにして、各画素から、駆動ラインφXCLRによってメモリをクリア可能に構成されたアナログメモリAMを経て、飽和前電荷信号(S1)+CFDノイズ(N1)、CFDノイズ(N1)、変調された飽和前電荷信号(S1’)+変調された過飽和電荷信号(S2’)+CFD+CSノイズ(N2)及びCFD+CSノイズ(N2)の各信号がそれぞれのタイミングで各出力ラインに出力される。
フォトダイオードPDは相対的に浅いポテンシャルの容量CPDを構成し、フローティングディフュージョンFD及び付加容量素子CSは相対的に深いポテンシャルの容量(CFD、CS)を構成する。
例えば、転送トランジスタTのoff電位としては、フォトダイオードPDからフローティングディフュージョンFDへのオーバーフローを考慮して、半導体基板に印加される電圧に対して所定の電圧α1を印加する。また、例えば、容量結合トランジスタSのoff電位としては、所定の電圧α2(=0V)を印加する。あるいは、α1とα2は同じ電圧を印加して同じ高さのポテンシャルとしてもよい。
図8は、駆動ライン(φX,φT,φS,φR,φXCLR)に印加する電圧を、on/offの2準位、φTについてはさらに(+α)で示す準位を加えた3準位で示したタイミングチャートである。
駆動ラインφTに印加する電圧はon/(+α)の2準位でもよいが、本例の如く3準位とした方がフローティングディフュージョンFDにおける最大信号電圧を大きく取ることができる。φTを2準位で駆動する場合、図7中のoff準位を(+α)準位とすればよい。
このとき、図9(A)に示すように、φSがonとなっているのでCFDとCSが結合した状態となっており、リセット直後にはリセット動作に伴ういわゆるkTCノイズがCFD+CSに発生する。ここで、φN2をonとして、このCFD+CSのリセットレベルの信号をノイズN2として読み出す。
電荷の蓄積が開始すると、光電荷はまずCPDに蓄積していき、光電子がCPDを飽和させる量以上である場合には、図9(B)に示すように、φTを(+α)準位としてわずかに下げられた障壁を乗り越えて光電荷がCPDから溢れ、この画素のCFD+CSに選択的に蓄積されていく。
このようにして、光電子がフォトダイオードPDを飽和させる量以下である場合にはCPDのみに光電荷が蓄積し、光電子がフォトダイオードPDを飽和させる量以上である場合にはCPDに加えてCFDとCSにも光電荷が蓄積する。
図9(B)は、CPDが飽和しており、CPDに飽和前電荷QBが蓄積し、CFDとCSに過飽和電荷QAが蓄積している状態を示す。
ここで、CPDのポテンシャルがCFDよりも浅く、転送トランジスタの準位がCPDより深くなっているので、CPD中にあった飽和前電荷QBを全てCFDに転送する完全電荷転送を実現できる。
次に、時刻T3においてφTをoffに戻し、φS1+N1をonとして、CFDに転送された飽和前電荷QBから飽和前電荷信号S1を読み出す。但し、CFDには飽和前電荷QBと過飽和電荷の一部QA1の和の電荷が存在しており、実際に読みだされるのはS1+N1となる。図10(D)は、φTをoffに戻す前の状態を示している。
ここで、時刻T4においてφTをoffに戻し、φS1’+S2’+N2をonとして、CFD+CSに広がる飽和前電荷QB+過飽和電荷QAから飽和前電荷信号S1と過飽和電荷信号S2の和の信号を読み出す。但し、ここではCFD+CSノイズが乗っており、さらにCFD+CSに広がった電荷から読み取っていることから、実際に読みだされるのはS1’+S2’+N2(S1’とS2’はそれぞれCFDとCSの容量比率によって縮小変調されたS1とS2の値)となる。図10(E)は、φTをoffに戻す前の状態を示している。
一方、変調された飽和前電荷信号(S1’)+変調された過飽和電荷信号(S2’)+CFD+CSノイズ(N2)とCFD+CSノイズ(N2)を差動アンプなどに入力し、差分を取ってCFD+CSノイズ(N2)をキャンセルし、さらにアンプなどによりCFDとCSの容量比率によって復元し、飽和前電荷信号(S1)と同じゲインに調整することで、飽和前電荷信号と過飽和電荷信号の和(S1+S2)を得る。
S1’、S2’、α(CFDからCFD+CSへの電荷分配比)は以下の数式により表される。
S1’=S1×α (1)
S2’=S2×α (2)
α=CFD/(CFD+CS) (3)
ここでは、例えば、第1信号(飽和前電荷信号S1)が、フローティングディフュージョンCFDの飽和信号以下である場合には、この第1信号を当該画素の出力とし、また、第1信号(飽和前電荷信号S1)が、フローティングディフュージョンCFDの飽和信号を超えた場合には第2信号(飽和前電荷信号S1+過飽和電荷信号S2)を前記画素の出力とする。
上記のような第1信号(飽和前電荷信号S1)と第2信号(飽和前電荷信号S1+過飽和電荷信号S2)の選択は、例えば基準電位を設定したコンパレータなどにS1を入力し、その比較結果によってセレクタなどでS1とS1+S2のいずれかを選択して出力する。
例えば、電子一個を検出できるようにCFDを0.4fFと設定し、CFD:CSを1:7と設定することで、CPDが3〜4fF程度の領域まで照度領域で高感度な信号を得ることができる。
R,G,B,Wの各色の画素における出力特性は、それぞれ同じ傾きの直線となり、信号電化数が一定の値で飽和する。
上記のCMOSイメージセンサにおいて、輝度情報のダイナミックレンジDRは、ホワイト画素のフロアノイズレベルFNから飽和レベルまでとなり、図11の場合は100dB程度となり、従来の80dBよりもダイナミックレンジが拡大されている。
まず、第1ステップST1において、上述の構成の白色画素W、赤色画素R、緑色画素G及び青色画素Bの各画素において光を受光して各画素の画素信号を得る。
次に、第2ステップST2として、各画素信号の色補間を行い、暫定輝度信号(W)と暫定カラー信号(R,G,B)を得る。
次に、第3ステップST3として、上記のWRGB信号をYCbCr信号に変換する。具体的には、暫定輝度信号Wを輝度信号Yに変換し、暫定カラー信号RGBをカラー信号CbCrに変換する。
次に、第4ステップST4として、輝度信号Yのエッジ強調などのデータ処理を行う。
一方、第5ステップST5として、カラー信号CbCrの色調整などのデータ処理を行う。
上記のようにして、輝度信号Yとカラー信号CbCrからなる画像データが得られる。
次に、第7ステップST7として、得られたRGBデータを再生装置に入力し、カラー画像を得ることができる。
本実施形態に係る固体撮像装置はCMOSイメージセンサであり、半導体基板の受光面に、カラーフィルタを有さないホワイト画素(白色画素)と、赤色、緑色及び青色のカラーフィルタを有する赤色画素、緑色画素及び青色画素とがアレイ状に集積されている。
本実施形態においては、ホワイト画素を構成する付加容量素子が、赤色画素、緑色画素及び青色画素を構成する付加容量素子よりも大きい構成となっている。
上記以外は、実質的に第1実施形態と同様である。
図13は、ホワイト画素W、赤色画素R、緑色画素G及び青色画素Bの4つの画素(PX1〜PX4)の組が2行×2列に配置されているときのレイアウト図であり、実際の受光面においては、この4つの画素(PX1〜PX4)の組が行方向及び列方向に繰り返されて構成されている。
但し、ホワイト画素W(PX3)においては、付加容量素子CSaは、他の画素(PX1,PX2,PX4)の付加容量素子CSより大きい構成である。
例えば、p型ウェル(p−well)11に形成されたn型半導体領域14とp+型半導体領域15を有するフォトダイオードPDと、隣接画素におけるn型半導体領域14とp+型半導体領域15を有するフォトダイオードPDの間の領域が素子分離領域となっており、p+型分離領域12及びSTI型の素子分離絶縁膜13が形成されている。
例えば、上記の付加容量素子CSを被覆して、上記の絶縁膜21が形成されており、上記のn+型半導体領域17に接続する配線が、コンタクトなどを介して第1電極30または第2電極32に接続されている。
例えば、p型ウェル(p−well)11に形成されたn型半導体領域14とp+型半導体領域15を有するフォトダイオードPDと、隣接画素におけるn型半導体領域14とp+型半導体領域15を有するフォトダイオードPDの間の領域が素子分離領域となっており、p+型分離領域12が形成されている。
例えば、上記の構成の付加容量素子CSaを被覆して、上記の絶縁膜21が形成されており、上記のn+型半導体領域17に接続する配線が、コンタクトなどを介して第1電極30に接続されている。
図15は、ホワイト画素W、赤色画素R、緑色画素G及び青色画素Bの4つの画素(PX1〜PX4)の組が2行×2列に配置されているときのレイアウト図であり、実際の受光面においては、この4つの画素(PX1〜PX4)の組が行方向及び列方向に繰り返されて構成されている。
但し、ホワイト画素W(PX3)においては、付加容量素子CSaは、他の画素(PX1,PX2,PX4)の付加容量素子CSより大きい構成である。
図15においては、上記のフォトダイオードPDの付加容量素子CSaと反対側の端部にp型ウェルコンタクトCTPWを設けて、画素内の面積の有効利用を図っている。
例えば、p型ウェル(p−well)11に形成されたn型半導体領域14とp+型半導体領域15を有するフォトダイオードPDと、隣接画素におけるn型半導体領域14とp+型半導体領域15を有するフォトダイオードPDの間の領域が素子分離領域となっており、p+型分離領域12及びSTI型の素子分離絶縁膜13が形成されている。
例えば、上記の付加容量素子CSを被覆して、上記の絶縁膜21が形成されており、上記のn+型半導体領域17に接続する配線が、コンタクトなどを介して第1電極30または第2電極32に接続されている。
R,G,B,Wの各色の画素における出力特性は、それぞれ同じ傾きの直線となり、信号電化数が一定の値で飽和する。
従って、輝度情報のダイナミックレンジDRは、第1実施形態よりさらに拡大し、図17の場合は106dB程度となる。
本実施形態に係る固体撮像装置はCMOSイメージセンサであり、半導体基板の受光面に、カラーフィルタを有さないホワイト画素(白色画素)と、赤色、緑色及び青色のカラーフィルタを有する赤色画素、緑色画素及び青色画素とがアレイ状に集積されている。
本実施形態においては、ホワイト画素Wの総数が、赤色画素R、緑色画素G及び青色画素Bの総数以上である。
上記以外は、実質的に第1実施形態と同様である。
ここでは、ホワイト画素の総数:赤色画素R、緑色画素G及び青色画素Bの総数=3:1である。
即ち、赤色画素Rである画素PX1aとホワイト画素Wである3画素(PX2a〜PX4a)の組、緑色画素Gである画素PX1bとホワイト画素Wである3画素(PX2b〜PX4b)の組、緑色画素Gである画素PX1cとホワイト画素Wである3画素(PX2c〜PX4c)の組、青色画素Bである画素PX1dとホワイト画素Wである3画素(PX2d〜PX4d)の組が行方向に2組、列方向に2組並べられ、4行×4列の16画素に配置されており、上記の4行×4列の16画素を1組として、実際の受光面においては、図18(A)の構成の画素の組が行方向及び列方向に繰り返されて構成されている。
ここでは、ホワイト画素の総数:赤色画素R、緑色画素G及び青色画素Bの総数=1:1である。
即ち、赤色画素Rである画素PX1aとホワイト画素Wである2画素(PX2a,PX3a)と緑色画素Gである画素PX4aの組、青色画素Bである画素PX1bとホワイト画素Wである2画素(PX2b,PX3b)と緑色画素Gである画素PX4bの組、青色画素Bである画素PX1cとホワイト画素Wである2画素(PX2c,PX3c)と緑色画素Gである画素PX4c、赤色画素Rである画素PX1dとホワイト画素Wである2画素(PX2d,PX3d)と緑色画素Gである画素PX4dの組が行方向に2組、列方向に2組並べられ、4行×4列の16画素に配置されており、上記の4行×4列の16画素を1組として、実際の受光面においては、図18(B)の構成の画素の組が行方向及び列方向に繰り返されて構成されている。
ここでは、ホワイト画素の総数:赤色画素R、緑色画素G及び青色画素Bの総数=1:1である。
即ち、赤色画素Rである画素PX1aとホワイト画素Wである2画素(PX2a,PX3a)と青色画素Bである画素PX4aの組、緑色画素Gである画素PX1bとホワイト画素Wである2画素(PX2b,PX3b)と赤色画素Rである画素PX4bの組、青色画素Bである画素PX1cとホワイト画素Wである2画素(PX2c,PX3c)と緑色画素Gである画素PX4cの組が行方向に3組並べられ、2行×6列の12画素に配置されており、上記の2行×6列の12画素を1組として、実際の受光面においては、図19(A)の構成の画素の組が行方向及び列方向に繰り返されて構成されている。
ここでは、ホワイト画素の総数:赤色画素R、緑色画素G及び青色画素Bの総数=3:1である。
即ち、赤色画素Rである画素PX1aとホワイト画素Wである3画素(PX2a〜PX4a)の組、緑色画素Gである画素PX1bとホワイト画素Wである3画素(PX2b〜PX4b)の組、青色画素Bである画素PX1cとホワイト画素Wである3画素(PX2c〜PX4c)の組、ホワイト画素Wである画素PX1dと青色画素Bである画素PX2dとホワイト画素Wである2画素(PX3d,PX4d)の組、ホワイト画素Wである画素PX1eと赤色画素Rである画素PX2eとホワイト画素Wである2画素(PX3e,PX4e)の組、ホワイト画素Wである画素PX1fと緑色画素Gである画素PX2fとホワイト画素Wである2画素(PX3f,PX4f)の組が行方向に2組、列方向に3組並べられ、4行×6列の24画素に配置されており、上記の4行×6列の24画素を1組として、実際の受光面においては、図19(B)の構成の画素の組が行方向及び列方向に繰り返されて構成されている。
本実施形態に係る固体撮像装置はCMOSイメージセンサであり、半導体基板の受光面に、カラーフィルタを有さないホワイト画素(白色画素)と、赤色、緑色及び青色のカラーフィルタを有する赤色画素、緑色画素及び青色画素とがアレイ状に集積されている。
本実施形態においては、ホワイト画素Wの総数が、赤色画素R、緑色画素G及び青色画素Bの総数以上であり、さらに、ホワイト画素を構成する付加容量素子が、赤色画素、緑色画素及び青色画素を構成する付加容量素子よりも大きい構成となっている。
上記以外は、実質的に第1実施形態と同様である。
第3実施形態に係る図18(A)に示すレイアウトにおいて、ホワイト画素を構成する付加容量素子が、赤色画素、緑色画素及び青色画素を構成する付加容量素子よりも大きい構成としたものに相当する。
ここで、ホワイト画素を構成する付加容量素子CSaは、付加容量素子CSより大きな面積で形成されており、これにより、付加容量素子CSより大きな容量を有する付加容量素子CSaを実現している。この場合、容量の占有する面積に比例して容量を拡大することが可能である。
ここで、赤色画素R、緑色画素G及び青色画素Bのいずれかとなる画素PX1においては、付加容量素子CSの面積が小さく形成されており、これにより画素PX1内にp型ウェルコンタクトCTPWを設けることが可能となっている。
本実施形態に係る固体撮像装置はCMOSイメージセンサであり、半導体基板の受光面に、カラーフィルタを有さないホワイト画素(白色画素)と、赤色、緑色及び青色のカラーフィルタを有する赤色画素、緑色画素及び青色画素とがアレイ状に集積されている。
本実施形態においては、カラーフィルタを有さないホワイト画素のみにフローティングディフュージョンと容量分割可能な付加容量素子が設けられて、ダイナミックレンジの拡大が図られており、赤色画素、緑色画素及び青色画素は付加容量素子が設けられていない構成である。
ホワイト画素W(PX3)のみにフローティングディフュージョンFDと容量分割可能な付加容量素子CSが設けられてダイナミックレンジの拡大が図られており、赤色画素Rである画素PX1、緑色画素Gである画素PX2及び青色画素Bである画素PX4は付加容量素子が設けられていない構成である。
これに伴い、画素PX1、画素PX2及び画素PX4においては、フローティングディフュージョンFDと付加容量素子CSを容量分割するための容量結合トランジスタSを省略してもよい。
一方、図22(B)は赤色画素Rである画素PX1、緑色画素Gである画素PX2及び青色画素Bである画素PX4の等価回路図である。図22(A)に対して、付加容量素子CSが省略されている。容量結合トランジスタSも省略された構成としてもよい。
ホワイト画素のフォトダイオードPD1が転送トランジスタT1を介して、赤色画素、緑色画素又は青色画素のフォトダイオードPD2が転送トランジスタT2を介して、共通のフローティングディフュージョンFDに接続されている。これにより、フォトダイオードPD1とフォトダイオードPD2のいずれから転送された信号電荷も共通の増幅トランジスタSF及び選択トランジスタXを用いて読み出すことが可能である。
例えば、破線PXSで示す領域内において、ホワイト画素Wと緑色画素Gとの間で、フローティングディフュージョンが共有された構成であり、ホワイト画素のフォトダイオードPD1が転送トランジスタT1を介して、緑色画素GのフォトダイオードPD2が転送トランジスタT2を介して、共通のフローティングディフュージョンFDに接続されている。
フォトダイオードPD1は横型オーバーフロードレインLO1を介して付加容量素子CSに接続されている。一方、フォトダイオードPD2は、横型オーバーフロードレインLO2を介して電源電圧VRの配線に接続されている。
フローティングディフュージョンFDからの増幅トランジスタSF及び選択トランジスタXを用いた読み出しと、フローティングディフュージョンFDと付加容量素子CSの容量結合トランジスタSによる容量結合は、第1実施形態と同様の構成である。
φT2を常にoff順位とすることで、実質的に第1実施形態の駆動方法と同様にして行うことができる。φLO1,φLO2には、常時所定の電圧を印加する。
φT1を常にoff順位とし、飽和前電荷信号(S1)+CFDノイズ(N1)及びCFDノイズ(N1)のみを読み出すことで、実質的に第1実施形態の駆動方法と同様にして行うことができる。φLO1,φLO2には、常時所定の電圧を印加する。
本実施形態に係る固体撮像装置はCMOSイメージセンサであり、半導体基板の受光面に、カラーフィルタを有さないホワイト画素(白色画素)と、赤色、緑色及び青色のカラーフィルタを有する赤色画素、緑色画素及び青色画素とがアレイ状に集積されている。
本実施形態においては、受光面が中央部と周辺部に区分されており、周辺部における全画素に対するホワイト画素の割合が、中央部における全画素に対するホワイト画素の割合よりも高い構成である。
上記以外は、実質的に第1実施形態と同様である。
受光面が中央部AR1と周辺部AR2に区分されており、中央部AR1においては図18(B)のレイアウトと同様に画素が配置されており、一方周辺部AR2においては図18(A)のレイアウトと同様に画素が配置されている。
これにより、周辺部における全画素に対するホワイト画素の割合が、中央部における全画素に対するホワイト画素の割合よりも高い構成となっている。
受光面が中央部AR1と周辺部AR2に区分されており、中央部AR1においては図19(A)のレイアウトと同様に画素が配置されており、一方周辺部AR2においては図19(B)のレイアウトと同様に画素が配置されている。
これにより、周辺部における全画素に対するホワイト画素の割合が、中央部における全画素に対するホワイト画素の割合よりも高い構成となっている。
この点において、付加容量素子を有するホワイト画素は杆体の役割を果たす可能性を示唆する。従って、人間の網膜に習って2つの感度・入射光領域の画素(ホワイト画素とRGBの各画素)を空間的な分布を変えて配置することにより、人間の網膜を模した個体撮像装置を提供できる可能性がある。
例えば、図26(A)及び(B)に示すような空間配置にして、カメラのレンズやセンサのオンチップマイクロレンズにより生じるシェーディング(イメージ領域での周辺部感度低下)を効果的に補正する方法が考えられる。
本実施形態に係る固体撮像装置はCMOSイメージセンサであり、半導体基板の受光面に、黄色フィルタを有する黄色画素と、赤色、緑色及び青色のカラーフィルタを有する赤色画素、緑色画素及び青色画素とがアレイ状に集積されている。
上記の各実施形態において、ホワイト画素を黄色フィルタを有する黄色画素に置き換えたCMOSイメージセンサである。
本実施形態においては、黄色画素Yeの総数が、赤色画素R、緑色画素G及び青色画素Bの総数より小さい構成であり、具体的には、黄色画素:赤色画素R、緑色画素G及び青色画素Bの総数=1:3である。
即ち、黄色画素Ye、赤色画素R、緑色画素G及び青色画素Bの4つの画素(PX1〜PX4)を1組として、実際の受光面においては、図27(A)の構成の画素の組が行方向及び列方向に繰り返されて構成されている。
上記のレイアウトにおいては、黄色画素Yeと緑色画素Gが対角に配置され、赤色画素Rと青色画素Bが対角に配置されている。
図27(B)は、図27(A)の変形例であり、図27(A)のレイアウトに対して黄色画素Yeと緑色画素Gが入れ替えられた構成としてもよい。
さらには、図27(A)において、緑色画素Gを黄色画素Yeに置き換え、緑色画素がない構成とすることも可能である。
ホワイト画素は輝度情報を作成するのに使用するため、人間の視感度特性と同じであると画像処理が容易になる。緑色画素Gの分光感度は、人間の視感度特性と比較して、短波長の感度が高い。このため、黄色もしくは薄い黄色のフィルタを透過させることで視感度特性により近い分光特性にすると、より人間の視感度特性に適合した輝度情報を作成することが可能となる。
図31は理想の赤色信号R、緑色信号G、青色信号Bの分光特性である。黄色画素のフィルタの分光特性を最適化することで、黄色画素Yeの信号から緑色画素Gの信号を引いた信号(Ye−G)を理想の赤色信号の分光特性に近づけることができる。
まず、第1ステップST1において、上述の構成の黄色画素Ye、赤色画素R、緑色画素G及び青色画素Bの各画素において光を受光して各画素の画素信号を得る。
次に、第2ステップST2として、各画素信号の色補間を行い、暫定輝度信号(Ye)と暫定カラー信号(R,G,B)を得る。
次に、第3ステップST3として、上記のYeRGB信号をYCbCr信号に変換する。具体的には、暫定輝度信号Yeを輝度信号Yに変換し、暫定カラー信号RGBをカラー信号CbCrに変換する。ここでは、暫定輝度信号Yeをそのまま輝度信号Yに用いることも可能である。
次に、第4ステップST4として、輝度信号Yのエッジ強調などのデータ処理を行う。
一方、第5ステップST5として、カラー信号CbCrの色調整などのデータ処理を行う。
上記のようにして、輝度信号Yとカラー信号CbCrからなる画像データが得られる。
次に、第7ステップST7として、得られたRGBデータを再生装置に入力し、カラー画像を得ることができる。
高透過率のホワイト画素を追加することで+6〜9dB程度高量子効率になり、高感度になるが、従来の4トランジスタの画素を有するCMOSセンサでは、その分高照度領域が犠牲になるため、従来のRGBセンサと変わらないダイナミックレンジとなる。
本発明のCMOSセンサでは、高照度領域にダイナミックレンジが拡張されている付加容量素子を有するホワイト画素を追加することで、低照度及び高照度の両方の領域でダイナミックレンジが拡大できる。
本発明の高照度領域にダイナミックレンジが拡張されている付加容量素子を有するホワイト画素を追加することで、低照度側に+6dB拡大し、高照度側に+14dB拡大し、ダイナミックレンジは100dBに拡大可能である。
さらに、第2実施形態のように付加容量素子の容量を調整することで、ダイナミックレンジは106dBに拡大可能である。
例えば、フローティングディフュージョンと付加容量素子の容量比は、設計などに応じて適宜変更できる。また、付加容量素子は、絶縁膜を介して2つの電極を対向させてなる構成の素子を適用することも可能である。
ホワイト画素は、適宜黄色画素に置き換えることが可能である。
また、第7実施形態に示すように、赤色画素、緑色画素、青色画素は、必ずしも全て必要ではなく、演算して得られる信号に応じて適宜ホワイト画素や黄色画素に置き換えることが可能である。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことが可能である。
Claims (6)
- 半導体基板の受光面に、カラーフィルタを有さない白色画素又は黄色のカラーフィルタを有する黄色画素と、少なくとも赤色、緑色または青色のカラーフィルタを有する赤色画素、緑色画素及び青色画素とがアレイ状に集積されており、
前記白色画素又は前記黄色画素、前記赤色画素、緑色画素及び青色画素が、それぞれ、
光を受光して光電荷を生成及び蓄積するフォトダイオードと、
前記フォトダイオードから光電荷を転送する転送トランジスタと、
前記転送トランジスタを通じて前記光電荷が転送されるフローティングディフュージョンと、
前記フローティングディフュージョンを介して前記フォトダイオードに接続可能に設けられ、前記転送トランジスタを通じて前記フォトダイオードから転送される光電荷を蓄積する付加容量素子と、
前記フローティングディフュージョンと前記付加容量素子とを結合または分割する容量結合トランジスタと、
前記付加容量素子または前記フローティングディフュージョンに接続され、前記付加容量素子及び/または前記フローティングディフュージョン内の光電荷を排出するためのリセットトランジスタとを有し、
前記白色画素又は前記黄色画素の付加容量素子が、前記赤色画素、緑色画素及び青色画素の付加容量素子よりも大きく、
前記赤色画素、緑色画素及び青色画素の付加容量素子が、画素形成領域の第1の端部に配置されており、
前記白色画素又は黄色画素の付加容量素子が第1の容量素子と第2の容量素子とを含み、前記第1の容量素子が画素形成領域の第1の端部に配置され、前記第2の容量素子が画素形成領域の第2の端部に配置されている、
固体撮像装置。 - 前記白色画素又は前記黄色画素と、赤色画素、緑色画素及び青色画素とが半導体基板に4画素を単位としてアレイ状に集積されている、
請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記赤色画素、緑色画素及び青色画素の各素子のレイアウトと、前記白色画素又は黄色画素の第2の容量素子を除いた各素子のレイアウトとが同じである、
請求項1又は2に記載の固体撮像装置。 - 前記白色画素又は前記黄色画素の総数が、前記赤色画素、緑色画素または青色画素の総数より小さい、
請求項1〜3のいずれかに記載の固体撮像装置。 - 前記白色画素又は前記黄色画素の総数が、前記赤色画素、緑色画素または青色画素の総数以上である、
請求項1〜3のいずれかに記載の固体撮像装置。 - 前記受光面が中央部と周辺部に区分されており、前記周辺部における全画素に対する前記白色画素又は前記黄色画素の割合が、前記中央部における全画素に対する前記白色画素又は前記黄色画素の割合よりも高い、
請求項1〜3のいずれかに記載の固体撮像装置。
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