JP5971530B2 - モザイク画像からカラー画像を形成する方法、前記方法を実行するカメラプロセッサ、およびコンピュータの不揮発性のデータ記憶媒体 - Google Patents

モザイク画像からカラー画像を形成する方法、前記方法を実行するカメラプロセッサ、およびコンピュータの不揮発性のデータ記憶媒体 Download PDF

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Description

(関連出願との関係)
本願は、2010年9月26日に出願された米国仮特許出願番号61/386533、2010年10月12日に出願された米国仮特許出願番号61/392069、及び2011年9月24日に出願された米国特許出願番号13/244336の優先権を主張する。
ここに開示された主題は、概して固体状態イメージセンサでカラー画像をサンプリングしてそのカラー画像を再現するための構造及び方法に関する。
デジタルカメラやデジタルビデオのような撮影機器は、静止又はビデオ画像に処理するために光を取り込む電子イメージセンサーを有する。電子イメージセンサーは、一般にフォトダイオードのような光を取り込む素子を数百万含んでいる。
図1Aおよび図1Bは、原色のベイヤーパターンに応じて、従来技術のカラーフィルター配列を示す説明図である。
図2Aおよび図2Bは、緑とマゼンタだけの色を採用する従来技術のカラーフィルター配列を示す説明図である。
第1の面によれば、本発明は、第1の導電型の基板によってサポートされているイメージセンサに関し、そのイメージセンサは、隣接ピクセルの2×2配列の2次元配列を含み、その2×2の配列は、1つの対角線に沿って配置されている一対の緑色のピクセルと他の対角線に沿ってされている赤色のピクセル及びマゼンタピクセルの一対とを含み、各緑のピクセルは、緑色のカラーフィルタとその緑色のカラーフィルタからの光を受光する光検出器とを含み、その赤色のピクセルは、赤色のカラーフィルタとその赤色のカラーフィルタからの光を受光する光検出器とがあり、そのマゼンタピクセルは、(a)マゼンタ色のフィルタと、(b)垂直に積層された第2の導電型の第2の領域のグループと、(c)その浅い第2の領域から電荷を転送するように結合されている第1の転送スイッチと、(d)その深い第2の領域から電荷を転送するように結合されている第2の転送スイッチと、含む。そのグループは、(i)浅い第2の領域と、(ii)深い第2の領域と、(iii)その浅い第2の領域とその深い第2の領域との間に位置された中二階第2の領域とを含む。
前記第1の面で、第1の導電型はp型、第2導電型はn型であってもよい。
前記第1の面で、前記マゼンタ色のフィルターでは、その透過率の極小が520nmと570nmとの間にある空気中の光の波長であることがさらに望ましい。
前記第1の面で、前記マゼンタ色のフィルターは、その透過率の極大が空気中の光の波長の420nmと480nmとの間であることが望ましい。前記マゼンタカラーフィルタは、650nmの空気中の光の波長での50%を超える透過率があることをまださらに望ましい。代わりに、前記マゼンタカラーフィルタは、550nmの光の波長での透過率の少なくとも4倍である650nmの空気中の光の波長透過率があることがさらに望ましい。
前記第1の面で、前記赤の画素は、1つの光検出器があることがさらに望ましい。前記1つの光検出器は、少なくとも1.5μmの深さまで延びている1つ以上の電気的に接続された第2の領域を含むことがまたさらに望ましい。あるいは、前記1つの光検出器は、1つの型のキャリアがリセットの間に完全に空乏化されている別の第2の領域と積層されていない第2の領域があり、電気的に接続されていないことがまたさらに望ましい。
前記第1の面で、前記マゼンタ画素は、前記浅い第2の領域と前記中二階第2の領域との間にある浅い第1の領域をさらに備えていることがさらに望ましい。これは、ピクセルアレイが前記深い第2の領域と前記中二階第2の領域との間にある深い第1の領域をさらに含むことさらに望ましい。前記浅い(または深さ)第1の領域は、前記深い第2の領域と前記浅い第2の領域とのどちらかまたは両方の電荷蓄積期間に自身を横切って水平方向に連続中性領域を維持することをまたさらに望ましい。前記中性領域は、前記中二階第2の領域から延びる第1の空乏領域と前記中性領域の向こう側にある深いか浅い第2の領域から延びる第2の空乏領域とに挟まれていることがまたさらに望ましい。
前記第1の面では、前記中二階第2の領域は、前記浅い第2の領域から成長した第1の空乏領域と前記深い2の領域から成長した第2の空乏領域との間に挟まれている中性領域を維持して、そしてそれによって前記浅い第2の領域と前記深い第2の領域の間の容量結合が減衰されることがさらに望ましい。前記中性領域は、電荷蓄積期間が前記浅い第2の領域または前記深い第2の領域に始まるときに所定の電圧レベルに保持され、そして、前記電荷蓄積期間が終了するときに所定の電圧レベルに保持されていることがまたさらに望ましい。あるいは、前記中性領域は、電荷蓄積期間が前記浅い第2の領域または前記深い第2の領域に始まるとき、第1の電圧レベルに保持され、そして、前記電荷蓄積期間が終了するとき、前記第1の電圧レベルに保持されていることがまた更に望ましい。
第2の面によれば、本発明は、画像画素の2×2配列の2次元アレイを含むモザイク画像からカラー画像を形成するための方法に関し、その2×2配列の各々は、1つの対角線に沿って配置された一対の緑色の画像画素と他の対角線に沿って配置された赤の画像画素及びマゼンタ画像画素の一対とを含み、その赤の画像画素は、基本的に赤のスペクトル応答がある第1の信号を含み、そのマゼンタ画像画素は、本質的に赤いスペクトル応答がある第2の信号を含み、その方法は、第3の信号を形成して、少なくともその第1の信号及び第2の信号の関数としてのマゼンタの画像画素の赤の色を表現することを含む。前記第2の信号に対する前記第3の信号の導関数が有する大きさは、極小があることが望ましい。前記第2の信号の範囲内の極小の位置は、前記第1の信号に応じて変化しることがさらに望ましい。前記大きさは、前記極小と前記大きさが最大であるところとの間に少なくとも2倍だけ変化することがさらに望ましい。あるいは、第1の信号に対する第3の信号の導関数は、第2の信号が極小を達成するところが、第2の信号が異なる状態になっている場所よりも大きいことがさらに望ましい。あるいは、前記マゼンタ画像画素に隣接する別の赤の画像画素が含む別の赤の画素信号が前記第1の信号と同一である場合、前記大きさに対する極小値は、前記第1の信号と前記モザイク画像の赤の画素信号値の範囲の4分の1だけ異なる場合よりも小さいことがさらに望ましい。
前記第2の面で、前記マゼンタの画像画素は、さらにマゼンタスペクトル応答を有する第4の信号を含むことができる。この方法は、さらに、前記第4の信号の第2の倍数から前記第2の信号の第1の倍数を差し引くことによって、前記マゼンタの画像画素に対する青色を表現する第5の信号を形成することを含んでもよい。代わりに、この方法は、前記第4の信号の第2の倍数から前記第3信号の第1の倍数を差し引くことによって、マゼンタ画像画素に対する青色を表現する第5の信号を形成することを含んでもよい。
第3の面によれば、本発明は、第2の面に関連して上記で説明したようのモザイク画像を受け取り、マゼンタ画像画素に対する第3の信号を出力するデモザイク部(または手段)に関する。前記第3信号は、本質的に赤色であるスペクトル応答があり、SN比が前記第2の信号より良い、少なくとも前記第1及び第2の信号の関数がである。前記第2の信号に対する前記第3信号の導関数が有する大きさは、極小があることが望ましい。前記第2の信号の範囲内で前記極小の値の位置は、前記第1の信号に従って変化することがさらに望ましい。前記大きさは、前記極小と前記大きさが最大であるところとの間、少なくとも2倍だけ変化することがさらに望ましい。代わりに、前記第2の信号が前記極小を達成した場合、前記第1の信号に対する前記第3の信号の導関数は、前記第2の信号が異なる状態になっている場合よりも大きいことがまたさらに望ましい。
第4の面によれば、本発明は、コンピュータ実行可能命令を載す不揮発性のコンピュータのデータ記憶媒体に関する。それらの命令は、前記デモザイク部によって実行されるとき、コンピュータ実行可能命令を実行するは、デモザイク部が前記方法の1以上の面をする。
本発明の第5の面によれば、マゼンタカラーフィルタが浅いフォトダイオードと深いフォトダイオードとに光を透過する。この浅いフォトダイオードは、第1の転送スイッチに接続されている。この深いフォトダイオードは、第2の転送スイッチに接続されている。この第2の転送スイッチは、深いフォトダイオードから発生する光の応答出力信号が第1および第2の転送スイッチと浅いおよび深いフォトダイオードと含まれているピクセルアレイ外のサンプリング・コンデンサにサンプリングされるときに、三極管領域にあるのに対し、前記浅いフォトダイオード上に集積した電荷が検出ノードに転送された後、第1の転送スイッチは、対応する出力信号がそのピクセルアレイ外のサンプリング・コンデンサにサンプリングされるときに、非導通状態にある。
図1A、図1Bは、原色のベイヤーパターンに従って、従来技術のカラーフィルタの配列を示す説明図である。 図1A、図1Bは、原色のベイヤーパターンに従って、従来技術のカラーフィルタの配列を示す説明図である。 図2A、図2Bは、緑とマゼンタの色を採用した従来技術のカラーフィルタの配列を示す説明図である。 図2A、図2Bは、緑とマゼンタの色を採用した従来技術のカラーフィルタの配列を示す説明図である。 イメージセンサの一実施例を示す概略図である。 画像キャプチャシステムの実施例を示す概略図である。 図5A、図5Bは、カラーフィルターの配列を示す説明図である。 図5A、図5Bは、カラーフィルターの配列を示す説明図である。 カラーフィルターとピクセルアレイの実施例での隣接するピクセルの2×2のグループの4つのピクセルの各々の対応する光検出器とを示す概略図である。 図7A、図7B、図7Cは、ピクセルアレイ内の光検出器および関連する回路を示す概略図である。 図7A、図7B、図7Cは、ピクセルアレイ内の光検出器および関連する回路を示す概略図である。 図7A、図7B、図7Cは、ピクセルアレイ内の光検出器および関連する回路を示す概略図である。 積層されたフォトダイオードを含むマゼンタピクセルの実施例の垂直断面を示す説明図である。 YY’垂直単一点鎖線に沿って図8に示すマゼンタピクセルの積層フォトダイオードを通じる純ドーピング濃度の鉛直分布を示すグラフを示す説明図である。 図10A、図10B、図10Cは、フォトダイオードのスタック内の中二階フォトダイオードに接続する端子Vsinkを駆動させるための3つの代替構成を示す説明図である。 貫通の深さの関数として、光子がシリコンを貫通する確率を示すグラフを示す説明図である。 空気中の光の波長の関数として、浅いフォトダイオードと深いフォトダイオードとによる光子の吸収の効率を示すグラフを示す説明図である。 空気中の光の波長の関数として、第1のマゼンタカラーフィルタの光透過率を示すグラフを示す説明図である。 第1マゼンタフィルターと一緒に深いと浅いフォトダイオードのスペクトル応答と、それらの間の加重の差である複合応答とを示すグラフを示す説明図である。 空気中の光の波長の関数として、第2のマゼンタカラーフィルタの光透過率を示すグラフを示す説明図である。 第2のマゼンタフィルターと一緒に深いと浅いフォトダイオードのスペクトル応答と、それらの間の加重の差である複合応答とを示すグラフを示す説明図である。 マゼンタピクセルの第2の実施例の縦断面を示す説明図である。 YY’垂直単一点鎖線に沿ってマゼンタ画素の第2の実施例の図17に示すマゼンタピクセルの積層フォトダイオードを通じる純ドーピング濃度の鉛直分布を示すグラフを示す説明図である。 中二階第2の領域を横断して水平に延びる中性領域を挟む浅い第2の領域からの空乏領域と深い第2の領域からの空乏領域とを示す説明図である。 マゼンタピクセルの第3の実施例の垂直断面を示す説明図である。 マゼンタピクセルの第3の実施例の図20の垂直単一点鎖線Y−Y’に沿っての純ドーピング濃度の鉛直分布を示す説明図である。 空気中の光の波長の関数として、第3の実施例の浅いと深いフォトダイオードによって光子を吸収する効率を示すグラフを示す説明図である。 第1のマゼンタフィルターと一緒に第3の実施例の深いと浅いフォトダイオードのスペクトル応答と、それらの間の加重の差である複合応答とを示すグラフを示す説明図である。 赤色のピクセルの一実施例の垂直断面を示す説明図である。 赤色のピクセルの別の実施例の垂直断面を示す説明図である。 空気中の光の波長の関数として第1の赤色のカラーフィルタの光の透過率を示すグラフを示す説明図である。 空気中の光の波長の関数として第2の赤色のカラーフィルタの光の透過率を示すグラフを示す説明図である。 betaの関数として、深いフォトダイオードから発生する信号Dのための重量wの変化を示すグラフを示す説明図である。betaは、Dのノイズの標準偏差の倍数に信号DとDに関しない補間された信号Yとの間の差の比率を測定する。 マゼンタピクセルために深いフォトダイオード信号Dと生成された赤色の画素信号Rとの間の関係を示し、セクションを有するグラフを示す説明図である。 深いフォトダイオード信号Dに対する図29の赤の画素信号Rの導関数を示すグラフを示す説明図である。 深いフォトダイオード信号Dと第1の赤の画素信号RYと第2の赤色画素信号RZとの関係を示すグラフを示す説明図である。 2つの異なる平坦なセクションがあり、深いフォトダイオード信号Dと生成された赤の画素信号Rとの関係を示すグラフを示す説明図である。 深いフォトダイオード信号Dに対する図28の赤の画素信号の導関数を示すグラフを示す説明図である。 カメラプロセッサのブロック図を示す説明図である。
ここは、基板によって支持されたピクセルアレイ上の赤、緑、マゼンタのカラーフィルタアレイを含むイメージセンサが開示される。
図3と図4は、それぞれ、本発明によるイメージセンサ10と本発明による撮像システム202とを記述する。
さらに具体的に参照番号で図面を参照すると、図3は、ピクセルアレイ12、ロウデコーダ20、光リーダ16、およびADC24を備えるイメージセンサ10の実施例を示す。前記ピクセルアレイは、ピクセルの2×2のグループ15の2次元配列を含み、各ピクセルは、1つ以上の光検出器とこの光検出器に達する前に光をフィルタリングするカラーフィルタとを備える。バス18は、カラムに従ってピクセルを接続するカラム出力信号線を含む。光リーダ16は、米国特許番号7233350に記載され、または、米国特許出願番号12/639941で説明されている。それは、バス18の各カラム出力信号をサンプリングするための1つ以上のコンデンサがある。光リーダ16からのアナログ出力信号26は、バス66上に出力されるデジタル画像データに変換するために、ADC 24に供給される。ロウデコーダ20は、行に従ってピクセルがリセットと選択と電荷の転送とを行ごとにするために、バス22にロウ信号を提供する。カラーフィルタアレイ13は、ピクセルアレイ12のフォトディテクタをオーバーレイするカラーフィルタの2次元配列です。
図4は、イメージセンサ10は、フォーカスレンズ204と、駆動モータや回路218と、プロセッサ212と、入力装置206と、ディスプレイ214と、記憶装置216とを含む撮像システム202の実施例を示す。
ピクセルアレイ
図5A−7Cは、ピクセルアレイ12を記述する。
図5Aおよび5Bは、本発明のカラーフィルタアレイを示す説明図である;
図5Aは、本発明に係るカラーフィルタアレイ13を示す。ピクセルアレイ12から出力する画像は、“垂直走査”を矢印の方向に、下部から始まってトップへ進行する。カラーフィルタアレイ13は、緑(G)と、赤(R)と、マゼンタ(M)との色のカラーフィルタの2次元配列のように編成された。さらに具体的には、カラーフィルタアレイ13は、1つの対角線に沿って配置された1対の緑(G)のカラーフィルタと他の対角線に沿って配置された赤(R)のカラーフィルタとマゼンタ(M)のカラーフィルタとの1対とで構成された2×2単位13aで構成された2次元配列のように編成された。
図5Bは、本発明に係るカラーフィルタアレイの代替実施例として、カラーフィルタアレイ13’を示す。このカラーフィルタアレイ13’は、垂直走査方向に対して45度だけ回転している。さらに具体的に、カラーフィルタアレイ13’は、垂直走査方向に対して45度だけ回転されている2×2単位13a’で構成された二次元配列のように構成されている。
図6は、その2×2のピクセル群15にある4つのピクセルの概略図である。この概略図は、その4つのピクセルのそれぞれに対して、カラーフィルターとそれに対応する光検出器(複数可)とを示す。1対の緑色のカラーフィルタ114Gと、1つの赤色のカラーフィルタ114Rと、1つのマゼンタカラーフィルター114Mとは、図5Aに示す2×2単位13aのような順序に配置されている。右上で、緑色のピクセル14aは、フォトダイオード100のために光をフィルタリングする緑色のカラーフィルタ114Gがある。右下で、マゼンタのピクセル14bは、フォトダイオード114eとフォトダイオード100bとのために光をフィルタリングするマゼンタカラーフィルタ114Mがある。左下で、緑色のピクセル14cは、フォトダイオード100cために光をフィルタリングする緑色のカラーフィルタ114Gがある。左上で、赤色のピクセル14dは、フォトダイオード100dために光をフィルタリングする赤色のカラーフィルタ114Rがある。
図7A、7Bおよび7Cは、光検出器100A−100Eと模範的なピクセル群15内の回路との概略図である。
図7Aは、それぞれ2個の緑色のピクセル14a、14cの光検出器100a、100cを示す。それらは、それぞれ転送スイッチ117a、117cによって検出ノード111に接続されている。バス22のロウ信号TF(n+1)121a(またはTF(n)121b)の高いパルスは、オンに転送スイッチ117a(または117c)をして検出ノード111にフォトダイオード100(または100c)から電荷を転送する。出力トランジスタ116は、ロウデコーダ20によってバス22に出力されたロウ信号SEL(n)122によってオンにされる選択スイッチ114を介して、コラムの出力信号線OUT(m)124に、検出ノード111がある検出ノードの電圧信号をバッファする。
1つのモードでは、転送スイッチ117a、117cは、それぞれ信号TF(n)と信号TF(n+1)との電荷転送パルスをオーバーラップすることなく、オンに別々にされず可能性がある。他のモードでは、転送スイッチ117a、117cは、同時に導通状態になってフォトダイオード110a、100cからの電荷を加算する可能性がある。
コラム出力信号線OUT(m)124上に出力信号は、バス18の一部であり、光リーダ16によってサンプリングされてもよい。米国特許出願番号12/639941は、このような回路のスイッチを操作してカラム出力信号をサンプリングする順序の様々な方法を示し、様々な方法は、参照により本明細書に組み込まれている。代わりに、固定されたフォトダイオード(”pinned photodiode”)のための従来の相関二重サンプリング(”correlated double sampling”)に従って、それらのスイッチが操作されてカラム出力信号がサンプリングされる可能性がある。
フォトダイオード100a(または100c)と、転送スイッチ117a(または117c)と、リセットスイッチ112と選択スイッチ114とは、米国特許出願番号12/639941に示されている任意の方法に従って操作することができる。特に、リセットスイッチ112と転送スイッチ117A(または117C)との両方が三極管領域であるとき、光リーダは、出力トランジスタ116によってコラム信号線OUT(m)124に送信された出力信号をサンプリングして、光検出器100a(または100a)の電荷の蓄積が開始する。そして、転送スイッチ117a(または117c)が三極管領域に在留している間リセットスイッチ112がオフになって出力信号が再びサンプリングされる。出力信号は、転送スイッチ117a(または117c)がオフになった後、最終的に再びサンプリングされる。その後、これらの3つのサンプル信号の間の記号された加重和は、形成されてノイズ信号を提供する。転送スイッチが非導電性であり、リセットスイッチ112が三極管領域である間、電荷蓄積を終了するためには、出力トランジスタ116からの出力信号がコラム信号線OUT(m)124にサンプリングされる。その後、リセットスイッチ112はオフになり、コラム信号線OUT(m)124での出力信号はサンプリングされる。転送スイッチ117a(または117c)が三極管領域に切り替えられるときに、信号線OUT(m)124での出力信号は、再度サンプリングされる。そして、これらの3つのサンプリングされた信号の間の記号された加重和が形成されて、光の応答信号を提供する。ノイズ信号が光の応答信号から減算されて、雑音除去された光応答出力信号を提供する。この減算は、イメージセンサ10またはプロセッサ212で行ってもよい。
別の方法として、フォトダイオード100a(または100c)と、転送スイッチ117aは(または117c)と、リセットスイッチ112と、選択スイッチ114とは、固定されたフォトダイオード(”pinned photodiode”)のピクセルの相関二重サンプリング(”correlated double sampling”)方法に従って動作することができる。電荷蓄積を開始するには:(i)転送スイッチ117a(または117c)とリセットスイッチ112とをオンにして完全にフォトダイオード100a(または100C)を枯渇させる。(ii)転送スイッチ117a(または117c)とリセットスイッチ112とを切る。電荷蓄積を終了するには:(A)ロウ信号RST(n)118が正のパルスがあるので、リセットスイッチ112がオンになり、そしてオフになる。センシングノード111をリセットする。(B)ロウ信号SEL(n)122は、選択スイッチ114を選択して、バッファリングされ、レベルシフトされたリセット出力信号が出力トランジスタ116から光リーダ16に送信される。(C)光リーダは、出力信号をサンプリングする。(D)転送スイッチ117a(または117c)がオンになって、電荷がフォトダイオード100a(または100c)から検出ノード111に転送される。(E)光リーダは、出力トランジスタ116からの出力信号をサンプリングする。(F)それらの2つのサンプリングされた出力信号の間の差は取る。
図7Bは、それぞれマゼンタピクセル14bの光検出器100bと赤色ピクセル14dの光検出器100dとをサポートする回路の概略図を示す。図7Cは、マゼンタピクセル14bの光検出器100eをサポートする回路の概略図を示す。図7Aに示すように、光検出器100bと100dと100eとの各々は、その最初のリセットと最終のセンシングとは、米国特許出願番号12/639941の方法または前記相関二重サンプリング方法のいずれかに従って動作することができる。
フォトダイオードおよびロウ制御信号RST(n)とTF(n)とTF(n−1)との間及びフォトダイオードおよびコラム制御信号OUT(m)とOUT(m+1)とOUT2(m)の間の配置と相互接続とは、図5Bに記載された45度だけ回転されたカラーフィルタアレイに適応させるためのように、当業者がすることができるようなさまざまな方法で再配置することができる。
さらに、光検出器のいずれかの関連回路は、上記のように米国特許出願番号12/639941の方法に従って操作されることができるのに対し、別の光検出器は、相関二重サンプリングの方法に従うことができる。例えば、光検出部110eは、それに関連するリセットスイッチ112”と転送スイッチ117eとが従来の固定されたフォトダイオード(”pinned photodiode”)の相関サンプリング方法に応じて操作されることができるが、一方では、同じマゼンタのピクセル114bの光検出器100bは、その転送スイッチ117dが米国特許出願番号12/639941の方法に従って操作されることができる。それは、フォトダイオード100bからの光反応出力信号が光リーダ16によってサンプリングされるときには、フォトダイオード100bのための転送スイッチ117dが三極管領域であるが、一方では、フォトダイオード115eのための転送スイッチ117eは、フォトダイオード100eに蓄積された電荷が検出ノード111に転送された後、OUT2(m)信号線での対応する出力信号がサンプリング・コンデンサにサンプリングされたとき、非導通状態にあることに注意されている。そうすることで、次のような利点がある。まず、完全に深いフォトダイオードから電子を枯渇させることが困難であるために、それが従来の固定されたフォトダイオード(”pinned photodiode”)の相関二重サンプリングによって完全にリセットすることが困難であるが、米国特許出願番号12/639941の方法は、リセットノイズをキャンセルするために、フォトダイオードの電子を枯渇させることが必要ない。第二に、浅いフォトダイオードは、米国特許出願番号12/639941の方法よりも簡単の回路がある従来の固定されたフォトダイオード(”pinned photodiode”)相関二重サンプリング(”correlated double sampling”)に従ってうまく機能することができる。さらに、相関二重サンプリング法に基づいて動作するような光検出器は、バス22のロウ制御信号RST2(n)および/またはTF2(n)の別個のセットを備えていてもよい。それらのロウ制御信号は、上記の相関二重サンプリング制御シーケンス(i)〜(ii)及び(A〜−(E)に従ってパルスをする。
マゼンタピクセル
図8から図23までは、マゼンタピクセル14bを説明する。
マゼンタ画素の第1の実施例
図8は、本発明に従う積み重ねられたフォトダイオード100eと100fと100bとを含むマゼンタピクセル14bの第1の実施例の縦断面を示す。深いフォトダイオード100bと浅いフォトダイオード100eは、第1の導電型、好ましくはp型の低濃度にドープされた半導体基板56に形成されたおり、さらに好ましくは5e14/cmと5e15/cmとの間のドーピング濃度がある。基板56は、1e19/cmを超えるドーピング濃度を有する高濃度にドープされたp−基板の上に軽くドープされたp−エピ層であってもよい。ダイオード100bは、基板56に最も深いであり、第2の導電型、好ましくは、n型の深い第2の領域54cを備えている。浅いフォトダイオード100eは、基板56に浅いであり、深い第2の領域54cの上に積層されており、表面の第1の領域63下にある第2の導電型の浅い第2の領域54aを備えている。その表面の第1の領域63は、浅い第2の領域54aから成長する空乏領域を、基板56の上面インターフェイスに到達するのから、防ぐ。浅い第1の領域65aと浅い第1の領域65a下の深い第1の領域65bとは、両方が第1の導電型に属し、フォトダイオード100bと100eとを分離した。さらに、浅い第1の領域65aと深い第1の領域65bは、第2の導電型の中二階第2の領域54bを備えている中二階フォトダイオード100fを挟まる。一緒に、浅い100eと中二階100fと深い100bフォトダイオードは、マゼンタピクセル14bの積み重ねられたフォトダイオードを構成する。
浅い第2の領域54aは、好ましくは04umと1.2umとの間の深さに達する。深い第2の領域54cは、好ましくは、1.7umと2.5umとの間の深さから始まる。中二階第2の領域54bは、好ましくは、1umと2umとの間、さらに好ましくは、1.2umと1.8umの間の深度を占めている。
この実施例では、マゼンタ画素14bの上からの入射光は、まず、マゼンタカラーフィルタ114Mによってフィルタリングされ、その後、カスケード接続された光導波路130、116のペアを介して積層されたフォトダイオードに送信される。
第1の導電型のバリア領域64は、深い第2の領域54cの横に基板56内に配置されており、隣接する緑色のピクセル114a、114cまたは赤色のピクセル114dのいずれかから生えている空乏領域から深い第2の領域54cを分離する。バリア領域64の純ドーピング濃度は、好ましくは1e16/cm と7e17/cmとの間にピークに達し、基板56の背景ドーピング濃度よりも高い。バリア領域64は、隣接した緑と赤のピクセルのいずれかから生えている空乏領域から、深い第2の領域54cから生えている空乏領域を分離する中性領域を自体に維持して、基板56を横切っての容量結合を介して起こるピクセル間のクロストークを低減する。
深い第2の領域54cは、第2の導電型に属する第2の領域57bと55bとにより、転送スイッチ117bを接続されている。転送スイッチ117bは、ゲート58bおよび検出ノード111である(第2導電型の、基板56の上部界面で)ドレイン拡散を含む。検出ノード111は、さらに、(単に記号で示されている)出力トランジスタ116およびリセットスイッチ112に接続されている。
浅い第2の領域54aは、第2の導電型の第2の領域55eによって転送スイッチ117eに接続されている。転送スイッチ117eは、ゲート58eと検出ノード111”である(第2の導電型の)ドレイン拡散とを含む。検出ノード111”は、(単に記号で示されている)リセットスイッチ112”および出力トランジスタ116”にさらに接続されている。
中二階第2の領域54bは、の第2の領域55fの連鎖によって図8の拡散ノードVsinkに電気的に接続されているが、その拡散は、以下に説明する図10Cに概略的に示すように、第2の領域55e及び表面第1の領域66aと同様である構成と、転送スイッチ117eと同様のスイッチと、に置き換えることができる。
追加の第1の領域66aと66bは、マージとは異なるフォトダイオード100bと100eと100fとから成長された空乏領域を、接合することから防ぐ。
図9は、図8に示すマゼンタピクセルの積層されたフォトダイオードを通じて純ドーピング濃度の鉛直分布を示すグラフである。”A”は、浅い第2の領域54Aの純ドーピング濃度を標す。”B”は浅い第1の領域65aのことである。”C”は中二階第2の領域54bのことである。”D”は深い第1の領域65Bのです。”E”は深い第2の領域54cです。”E”は基板56のことである。
図10Aと図10Bと図10Cとは、フォトダイオードのスタック内の中二階フォトダイオード100fに接続された端子Vsinkを駆動するための3つの代わりの構成を示す。図10Aは、Vsinkがグランドに接続されたことを示す。図10Bは、グランドと調整可能な電圧レベルを提供することができる電圧源との間に切り替えるバッファにより駆動された端子Vsinkを示す。図10Cは、可変電圧源をバッファするバッファによりスイッチを介して駆動されている端子Vsinkを示す。
sink端子は、浅いフォトダイオード100eまたは深いフォトダイオード100bに、電荷蓄積期間が始まるときに所定の電圧レベルに保持されており、電荷蓄積期間が終了するときに所定の電圧レベルに保持することができる。より好ましくは、電荷蓄積期間が浅い第2の領域100eまたは深い第2の領域100bに始まるときに、Vsink端子が第1の電圧レベルで保持され、この電荷蓄積期間が終了するときに、それが前記第1の電圧レベルに保持されることができる。さらに好ましくは、前記Vsink端子が前記電荷蓄積期間を通じて一定の電圧に保持される。中性領域では、中二階第2の領域54bからVsink端子に続けている。この中性領域はVsink端子の電圧があり、中二階第2の領域54b内の電子を一掃するように作用する。浅い第2の領域54aに吸収されなく、中二階第二領域54bに吸収された約500±20nmの波長の光子は、中二階第2の領域54b内に自由電子を生成する。これらの自由電子は、基板から一掃されて、深いフォトダイオード100bによってキャプチャされることを防ぐ。さもなければ、そのキャプチャは、深いフォトダイオードが500±20nmの波長の範囲のスペクトル応答を持たせることが引き起こす。
同様に、中二階第2の領域は、転送スイッチ117e(または117b)が浅い第2の領域54aと深い第2の領域54cとのどちらか一方からフローティング状態にある検出ノード111”(または111)に電荷を転送するために導電性の状態にある時、電位に電気的に維持することができる。
図11は、貫通の深さの関数として、光子がシリコンを貫通する確率を示すグラフです。特に、それはあることを示している:(A)450nmの波長(青)の光子は、約90%がシリコンの最初の450μm以内に吸収されると、(B)650nmの波長(赤)の光子は、40%が2μmを超えて生き残り、50%が3μmを超え生き残ると、(C)1μmと2μmの間には、シリコンは650nmの波長の光子の20%と550nmの波長の光子(緑)光子の30%と450nmの波長(青)の光子の10%とを吸収する。
図12は、空気中の光の波長の関数として、それぞれ浅いフォトダイオード100eと深いフォトダイオード100bとによって光子を吸収する効率を示すグラフである。この吸収効率は、(空気中の)特定の波長の光子によって生成されたキャリアがフォトダイオードによって捕捉される確率である。中二階フォトダイオード100fによってキャプチャされたキャリアは、Vsink端子を介して削除される。図12に示すように、浅いフォトダイオード100eの吸収効率は、紫の範囲(波長<450nm)で最高であり、波長が450nmを超えて増加するにつれて赤の範囲(波長>600nm)内で約0.2に着実に低下する。深いフォトダイオード100bとは、他方、吸収効率は、赤の範囲で最も高く、約0.25であり、波長が500nmに減少するにつれて0.05の下に着実に落ちる。
マゼンタカラーフィルタ114Mは、500nmと600nmとの間の波長の緑色の光の透過率が低い、10%以下の最小値に達する必要がある。400nmと500nmとの間の波長の青色光に対して高い透過率があり、それは、450nm±20nmでピークして緑色の最小値の少なくとも4倍であるピーク透過率を達する必要がある。また、それは、600nmより大きい波長の赤色光に対して高い透過率があり、650nm±30nmでの最大の透過率の10%以内に達するべきである。
図13は、空気中の光波長の関数として第1のマゼンタカラーフィルタの光の透過率を示したグラフである。前記透過率は、2つのピークの範囲がおり、それらの中心がそれぞれ450nm(”青い山”)と650nm(”赤い山”)との周りの波長におり、谷が500nmおよび600nmの間の波長におり、410nmの下の波長に対して青色ピークの最大透過率の10%未満に減少する。
それは、ピクセルアレイ12で採用されたマゼンタ色のカラーフィルタおよび/または赤色のカラーフィルタの透過率が赤の範囲(600nmから700nmまで)内に650±20nmの上で低下することの代わりに肩を図13に示すように示す場合、赤外線フィルタは、650±20nmを超えてのマゼンタ/赤色のカラーフィルタと赤外線フィルターとの複合透過率が赤の範囲のピークの透過率よりかなり小さいように低下し、好ましくは700nmの波長で10%未満ように、ピクセルアレイ12の前の光の経路に配布されることができること留意すべきである。
図14は、第1のマゼンタフィルター組み合わせて、深いフォトダイオード100bと浅いフォトダイオード100eのスペクトル応答と、それらの間の加重の差とのグラフを示している。Shallow1というラベルを付いた浅いフォトダイオード100eからのスペクトル応答は、430nmと470nmの中央にピークがある青の範囲(400nmから500nmまで)内の釣鐘状を有しており、550nmの付近で極小がある。Shallow1は、赤の範囲内の肩がおり、その高さが青色領域のピークの高さの約4分の1である。
他方、Deep1のラベルが付いた深いフォトダイオード100bからのスペクトル応答は、Shallow1のように赤の範囲の肩があるが、青色領域では無視できる。
Shallow1とDeep1の両方は、第1のマゼンタカラーフィルタの透過率の極小値が波長のこの範囲にあることによって、550nm±20nmの周りでスペクトル応答の極小がある。
図14は、Shallow1とDeep1間の加重の差、すなわちShallow1−K・Deep1である複合スペクトル応答を示している。重量Kは、この例では1ですが、実際には1を上回ることも下回ることもある。複合スペクトル応答は、青色領域でShallow1の応答に従っているが、赤色の範囲内にはるかに減衰され、本質的には青色光だけに応答する複合スペクトル応答を結果として、すなわち、青色スペクトル応答になる。
これは、前述のように、赤外線フィルタがピクセルアレイ12の前の光の経路に配置されたとき、第1のマゼンタカラーフィルタと前述の赤外線フィルタを組み合わせた透過率は、650nm±20nmと700nmの間に衰退することに留意すべきである。したがって、前述の赤外線フィルターを考慮して、スペクトル応答Shallow1は、650nm±20nmを中心とするピークを示す。それは、本質的に赤いスペクトル応答であるが、0.2だけのピーク応答を有し非常に減衰したいスペクトル応答である。
図15は、空気中の光の波長の関数として第2のマゼンタカラーフィルタの光の透過率を示したグラフである。第1のマゼンタカラーフィルタに対しての図13と同様に、第2のマゼンタカラーフィルタの透過率は、2つのピークの範囲がおり、それらの中心がそれぞれ450nm(”青い山”)と650nm(”赤い山”)との周りの波長におり、谷が500nmおよび600nmの間の波長におり、410nmの下の波長に対して青色ピークの最大透過率の10%未満に減少する。
図16は、第2マゼンタフィルターと一緒に深いフォトダイオード100bと浅い100eフォトダイオードとのスペクトル応答、およびそれらの間の加重の差を示すグラフである。Shallow2のラベルが付いた浅いフォトダイオード100Eからのスペクトル応答は、青の範囲でベル形状を有し、これが430nmと470nmとの中央にピークを有し、極小が550nmの周りの波長にある。Shallow2は、Shallow1異なり、第2の赤色カラーフィルタの透過率のビルトインされた赤外線カットによって、赤範囲内の肩の代わりにピークを有する。Shallow2の青い範囲内のピークレベルは、その赤色の範囲内のピークの約2倍です。
Deep2のラベルが付いた深いフォトダイオード100bからのスペクトル応答は、赤の範囲にShallow2と同様のピークがあるが、青の範囲の応答が無視できる。
Shallow2とDeep2と両方は、第2のマゼンタカラーフィルタの透過率の極小がこの波長範囲にあることに起因して、550nm±20nmの付近であるスペクトル応答の極小がある。
図16も、Shallow2とDeep2と間の加重の差、すなわちShallow2−K・Deep2である複合スペクトル応答を示している。重量Kは、この例では1ですが、実際には1を上回ることも下回ることもある。複合スペクトル応答は、青の範囲でShallow2に従っているが、赤の範囲内に、本質的に青色光だけに敏感な応答スペクトルを結果としてあまり減衰され、すなわち、青色スペクトル応答です。
Kは、複合応答の赤色光の応答が青色光に比べて無視でき、1対7以下の割合によるように、赤い範囲内のShallow2とDeep2(または同様に上記のShallow1とDeep1、または下記のShallow3とDeep3)のスペクトル応答の高さに応じて選択されるべきであることに注意する。上記の例では、Kは1ですが、実践には、Kは1よりも大きいか、または1未満か、別の数値であってもよい。さらに、上記のそれらの例は、浅いフォトダイオードからの信号のゲイン係数を示していないが、実際には、両方の信号が(浅いフォトダイオード及び深いフォトダイオードから)それぞれのゲインを受けることができる。共通のゲイン係数は、イラストの簡略化だけのために、浅いフォトダイオード信号のゲインが1であるように、上記の例で削除されている。言い換えれば、上記の例では、Kファクタが浅いフォトダイオード信号のゲイン係数に対して深いフォトダイオード信号のゲイン係数の比として考えることができる。
マゼンタ画素の第2の実施例
図17は、本発明のマゼンタ画素の実施例14b’の垂直断面を示している。浅い第1の実施例の第1の領域65aと深い第1の領域65bとはない。
図18に、マゼンタ画素の第2の実施例14b’のドーピング濃度の垂直分布を示している。
図19は、浅い第2の領域54aから延びている(中二階第2の領域54bにある上位の点線より上)空乏領域と、深い第2の領域54cから延びている(中二階第2の領域54bにある下位の点線と深い第2の領域54cにある上位の点線との間)空乏領域とが中二階第2の領域54bを横切って水平に延び(”YYYYY”のマークが付けられ、中二階第2の領域54b内の上部の点線と下部の点線とで囲まれた)中性領域を挟まることを示している。前記中性領域は、浅いフォトダイオード100e’と深いフォトダイオード100b’のいずれかまたは両方の電荷蓄積期間の全部に維持されることができる。前記の中性領域は、近くの空乏領域と自身の中の光子の吸収とのいずれかから入る電子のいずれかをVsink端子に離れて掃引する。また、前記中性領域は、中二階第2の領域54bと図17の右側にあるバリア領域64との間の(”xxxxx”はマークされている)狭い通路(あるなら)にそれぞれ第2の領域54a、54cから伸びる空乏領域の間の接続を収縮することによって、浅いフォトダイオード100e’と深いフォトダイオード100b’と間の容量結合を減衰する。
マゼンタの画素の第3の実施例
図20は、本発明のマゼンタの画素の実施例14b”の垂直断面を示している。
マゼンタ画素14b”は、中二階第2の領域100fと深い第1の領域65bが存在しないので、マゼンタ画素14bと異なる。したがって、深いフォトダイオード100b”の深い第2の領域54dは、浅く、例えば1.7μmから始まることができ、基板56に下方に延びる。図20は、第1の領域65aが終わるところから深い第2の領域54dが始まることを示しているが、空乏領域が浅い第1の領域65aから前記のギャップを越えて深い第2の領域54dに延びるので、ギャップは、これらの2つの領域の間にがあり、基板56のドーピング濃度と導電型が有することができる。この空乏領域は、深い第2の領域54dに電子を掃引するように電界を確立するために、十分である。
第1の領域65aは、基板56よりも高い純ドーピング濃度を有し、浅い第2の領域54aと深い第2の領域54dとの間に挟まれている。第1の領域65aは、浅い第2の領域54dと深い第2の領域54dとのどちらか一方から浮遊状態にある検出ノード111”(または111)に転送スイッチ117e(または117b)が電荷を転送するために導電性の状態にある間の一度に、それぞれ浅い第2領域54aと深い第2の領域54dとから伸びるそれらの空乏領域の分離を維持する。第1の領域65aは、浅い第2領域54aと深い第2の領域54dとのいずれかまたは両方の電荷が蓄積する間の一度に、それぞれ浅い第2領域54aと深い第2の領域54dとから伸びるそれらの空乏領域の分離を維持する。54dは深い第2の領域は、第1の領域65aは、それぞれ、浅い第2領域54aと深い二領域54dとから伸びる空乏領域の分離を維持、浅い第2領域54aと深い二領域54d統合されている間、一度に。
図21は、第3の実施例のマゼンタの画素14b”の垂直ドーピングプロファイルを示している。”A”は、浅い第2の領域54aに亘る濃度を標識する。”B”は、浅い第1の領域65aのためのものです。”E”は、深い第2の領域54dのためのものです。”E”を超えるところは、基板56のためのものです。
図22は、フィルタリングされていない光の波長の関数として、第3の実施例の浅いフォトダイオード100eと深いフォトダイオード100b”とによる光子の吸収に対する効率を個別に示すグラフである。
吸収効率は、(空気中の)特定の波長の光子によって生成されたキャリアがフォトダイオードによって捕捉される確率です。図2に示すように、浅いフォトダイオード100eの吸収効率は、紫色の範囲(波長<450nm)が最高です。450nmを超えて、赤範囲(波長>600nm)で、それは着実に約0.2に低下する。深いフォトダイオード100b”については、他方、赤の範囲で、550nmと650nmとの間の波長に対して、その吸収効率が最も高い、0.5の付近ある。その吸収効率は、波長が450nmに減少すると、0.05の下に着実に低下する。
図23は、第3の実施例の深いフォトダイオード100b”と第1のマゼンタフィルターとの一緒のスペクトル応答と、第3の実施例の浅いフォトダイオード100eと第1のマゼンタフィルターとの一緒のスペクトル応答と、それらの間の加重差である複合のスペクトル応答とを示すグラフである。
標識Shallow3を付いた浅いフォトダイオード100eからのスペクトル応答は、青色の範囲内で、430nmと470nmとの中央のピークがあるベル形状を有しており、550nmの周りの波長で極小値がある。Shallow3は、Shallow1のように、第1の赤色のカラーフィルタの透過率のビルトインされた赤外線カットオフないために、赤の範囲内で肩がある。赤の範囲内のShallow3のピークレベルは、青色範囲でのピークレベルの約4分の1である。
Deep3として標識された深いフォトダイオード100b”からのスペクトル応答は、赤の範囲内での肩がある。これは、形状がShallow3に似て、2倍高い。青の範囲内では、スペクトル応答は、480nmの波長を中心とする小さなピークがある。そのピークは、その肩の半分と高い。
Shallow3とDeep3の両方は、550nm±20nmの付近で、この波長の範囲内である第1のマゼンタカラーフィルタの透過率の極小に起因して、スペクトル応答の極小がある。
図23は、また、Shallow3とDeep3と間の加重差、すなわちShallow3−K・Deep3である複合スペクトル応答を示している。その重量Kは0.5となるように選択される。その複合スペクトル応答は、青の範囲内で、Shallow3のスペクトル応答に接近するが、赤の範囲内で、Kの選択に対して、はるかに減衰される。これは、本質的に青色光だけに応答し、すなわち、青色スペクトル応答である。
赤色のピクセル
図24−27は、赤色のピクセル14dの実施例を説明する。
図24は、本発明の赤色のピクセル14dの実施例の縦断面を示している。フォトダイオード100dは、垂直に基板56に積層され、相互接続された複数の第2の領域54d、54e、54fを含む。第2の領域54d、54e、54fは、第2導電型である。電荷の蓄積のときに、すべての3つの第2の領域を越えてそれらを接続する連続中性領域がある。一番上の第2の領域54dは、表面第1の領域63の下がある。この第1の領域は、一番上の第2の領域54dから延ばす空乏領域が基板56の上面インターフェーに到達すること(これは、高漏れ電流が発生するだろう)を防ぐ。赤色の画素14dの上からの入射光は、赤色のカラーフィルタ114Rによってフィルタリングされ、光導波路130、116を介して継続し、第2の領域54d、54e、54fを入力する。
第2の領域54dと54eと54fとは、第2導電型の接続第2の領域55dによって、転送スイッチ117dに電気的に接続されている。転送スイッチ117dは、ゲート58dと検出ノード111’であるドレインの(第2導電型のとの界面での)拡散とを備える。検出ノード111’は、さらに、(シンボルだけで示されている)リセットスイッチ112’及び出力トランジスタ116’に接続されている。
3のスタックとして示されているが、それらの接続された第2の領域のスタックは、4またはそれ以上の接続された第2の領域を備えることができる。これは、電荷の蓄積のとき、一番下の第2の領域内から一番上の第2の領域54dに伸びる連続中性領域を介してそれらの間の電気的接続を維持する。上記の一番下の第2の領域は、好ましくは、1.5μmと3μmの間の深さに達する。
それらのバリア領域64は、各々第2の領域54e、54fの側があり、中性領域が各々自体にある。この中性領域は、赤色のピクセル14d中の中性領域から横方向に成長する空乏領域が隣接する緑色部14a、14cとマゼンタ画素14bのいずれかと合併することを防止する。
図25は、本発明の赤の画素の代替実施態様14d’の垂直断面を示している。第2の領域54dと54eと54fとのスタックには、ちょうど表面の第1の領域63下の第2の領域54d’が置き換えられる。第2の領域54d’は、結ぶ第2の領域55d’によって転送スイッチ117dに接続されている。この実施14d’は、ピンドフォトダイオード(pinned photodiode)のように構築し、動作させることができる。そのように、リセット時に、転送スイッチ117dとリセットスイッチ112’の両方がオンになっているとき、第2の領域54d’と結ぶ第2の領域55d’とは、その電子が完全に空乏している。第2の領域55d’は、フォトダイオードを越える3ボルト以下の逆バイアス下で完全空乏化を確実にするために、好ましくは、基板56の1μm未満の奥行さに達する。バリア領域64は、第2の領域54d下部中央領域に向かって横方向に電子を働き掛ける横電界を発生させ、画素間のクロストークが低減する。
図26は、光の波長の関数として第1の赤色のカラーフィルタの光の透過率を示したグラフである。
図27は、光の波長の関数として第2の赤色のカラーフィルタの光の透過率を示すグラフである。
マゼンタ画素の赤のピクセル値の生成
図34には、カメラプロセッサ212のブロック図である。プロセッサ212は、バスインターフェース240を介して、イメージセンサのピクセルアレイ12から生成するモザイク画像を受信する。バスインタフェース240は、イメージセンサ10から生成された画像データから一度に1つのデータ・ビットを受信するシリアルインターフェース、または同時にピクセルのすべてのデータ・ビットを受信するパラレルインタフェースであってもよいし。代わりには、ハイブリッドインターフェースがバス66から画素の2つ以上のビットを1つの瞬間に受け、その画素の他の1つ以上のビットを他の瞬間に受けす。モザイク画像データは、バッファ220に格納されている。プロセッサは、大量の画像データを格納するために、プロセッサ212外のメモリ(図示せず)を往復するモザイク画像データの転送を制御するDMAコントローラを備えることができる。上記のバッファは、デモザイク部222にモザイク画像データを出力する。デモザイク部222は、モザイク画像の欠落色を生成する。色補正部224は、デモザイク部222によって出力された色補間された画像に色補正を行いる。カメラプロセッサ212は、優れたホワイトバランスに画像を補正するホワイトバランス補正部(図示せず)が備えていてもよい。画像圧縮部226は、カラー画像を受信し、画像の圧縮を行いて画像データの縮小量がある圧縮された画像を生成する。圧縮された画像は、最終的に、出力インタフェース242でカメラプロセッサ212に接続されているデータバスを介して記憶装置216に格納さる。
ピクセルアレイ12から、図5Aまたは図5Bのいずれかに示されるように配置における複数の赤の画像画素と複数の緑色の画像画素と複数のマゼンタ色の画像画素とを備えているモザイク画像は生成される。このモザイク画像は、バッファ220にバス66及びバスインターフェース240を介してイメージセンサ10から図34に示すように、プロセッサ212によって受信され、続いて、フルカラー画像を再構成するためにデモザイク単位222によって処理されることができる。デモザイク部222は、バス246上にフルカラー画像を出力する。モザイク画像では、赤の画像画素のそれぞれは、赤の画素値があり、青の画素値と緑の画素値がない。緑色の画像画素のそれぞれは、緑の画素値があり、青の画素値と赤の画素値がない。マゼンタの画像画素のそれぞれは、対応する浅いフォトダイオード100Eから生成された浅いフォトダイオードの値と対応する深いフォトダイオード100bから生成された深いフォトダイオード値とがある。浅いフォトダイオードの値は、強い青色のスペクトル応答がある。深いフォトダイオードの値は、赤の画像画素値のスペクトル応答の強の半分未満である主に赤色のスペクトル応答がある。モザイク画像からフルカラー画像を再構成するために、色補間方法は、デモザイク部222において使用することができ、緑の画像画素に対して赤画像画素値と青の画像画素値とを生成し、赤の画像画素に対して青の画素画像値と緑の画素画像値とを生成する。
マゼンタ画像の画素について、その青色の画像画素値は、上述の複合信号Shallow1−K・Deep1、Shallow2−K・Deep2とShallow3−K・Deep3の生成についてのように、浅いフォトダイオード信号と深いフォトダイオード信号と間の加重の差によってデモザイク部222によって生成することができる。ここで、複合信号の赤い応答が無視できるようにKが選択されている。別の方法として、上記複合信号は、主に青色の応答と無視できる赤色の応答とがあるように形成されており、浅いフォトダイオード信号の代わりに、イメージセンサ10内に形成されてプロセッサ212に提供されることができる。
深いフォトダイオード100bから生成された深いフォトダイオード信号Dのみからマゼンタの画像画素の赤の画像画素値を生成することは、他方、大きな欠点がある。そうすることで、得られたカラー画像は、赤チャンネルで画素間の不均一性に受ける。この不均一性は、赤画素のフォトダイオードの100dのスペクトル応答とマゼンタ画素の深いフォトダイオード100bのスペクトル応答との間の違いに起因する。また、赤色の範囲内に、深いフォトダイオード100bは赤色ピクセルのフォトダイオード100Dよりもはるかに弱いピークスペクトル応答があるので、深いフォトダイオード信号Dは、SNRがいっそう悪い。しかし、それは、深いフォトダイオード信号を考慮せずに、隣接する赤の画像画素(おそらく、隣接する緑の画素も)からの補間によって、マゼンタ画像画素に対して赤の画素値を生成することも適切ではない。
本発明の一態様は、上記の欠点がなく、深いフォトダイオード信号Dによってマゼンタの画素に対して赤の画素値Rを生成する方法を提供する。
図28から33は、赤の画素値がマゼンタの画素14B、14B’、14B”に対して生成することができる方法を説明する。
それは、モザイク画像での(マゼンタ画像画素の)隣接する画像画素からの色補間(すなわちデモザイク)が(ピクセルアレイ12内のマゼンタ画素14bに対応する)マゼンタ画像画素の補間された赤の画素値Yが深いフォトダイオード信号Dのみから生成された赤の画素値に十分に近いことを結果にする場合に、補間された赤の画素値Yを選択または優先するが適切であり、この理由は、結果としてのSNRと色の均一性とが優れてわい、その2つの赤の画素値の差がノイズによることであること観察される。そのノイズは、深いフォトダイオード100bからの伝播に沿って弱い深いフォトダイオード信号を増幅する必要に主に起因する。
また、2つ(またはそれ以上)のマゼンタ画像画素の補間された赤の画素値YとZが可能なことがある場合、深いフォトダイオード信号Dのみから生成される赤の画素値が補間された赤の画素値のいずれかに近い十分であると、違いが再びノイズに起因すること有り得るべきなので、最も近い補間された赤の画素値が選択(または優先)する必要があることが観察される。
さらに、他の一方で、1つでも補間された赤画素値が十分近くない場合は、深いフォトダイオード信号Dのみから生成された赤画素値が選択される(または優先される)べきであることが観察さされる。
上記の観察の全部では、補間された赤の画素値Y(またはZ)は、両者の違いが後者のノイズの標準偏差σの所定の複数の内にある場合、深いフォトダイオード信号Dのみから生成された赤の画素値に十分に近いと考えられている。たとえば、この複数は、2.5であてもよい、それから、補間された赤の画素値が深いフォトダイオード信号Dのσの2.5倍以内にあるとは、この補間された赤の画素値が選択または優先(例えば、マゼンタ画素の赤の画素値を生成するための加重平均で大きな重みを与えること)されてわり、その逆があれば、この補間された赤の画素値が選択されていないか低い優先順位与えている(例えば、加重平均で低い重みを与えていること)。上記のノイズ標準偏差σが深いフォトダイオード信号Dと深いフォトダイオード信号Dの信号経路に沿っての増幅利得との関数であってもよいことに注意する。
言い換えれば、マゼンタ画素の生成された赤の画素値Rは、深いフォトダイオード信号D補間された赤の画素値に十分近い赤の画素値示すとき深いフォトダイオード信号Dに対する依存性を下げるが、逆の場合は、深いフォトダイオード信号Dに対する依存性を上げるべきである
デモザイク部222の測定可能な入力/出力パラメータの観点において、本発明のこの態様の方法では、マゼンタ画素の生成された赤の画素値Rは生成されたマゼンタ画素の赤の画素値Rの深いフォトダイオード信号Dに対する導関数が少なくとも一つの極小を持っており、かつ、少なくとも上記深いフォトダイオード信号Dと隣接する赤色の画像画素の赤の画素値との関数である。マゼンタ画素の生成された赤の画素値Rの深いフォトダイオード信号Dに対する依存性は、この極小から遠い位置よりこの極小の近傍で小さい(つまり深いフォトダイオード信号Dにあまり依存しない)。導関数が極小を持つことによって、この極小の近くの生成された赤の画素値Rは、深いフォトダイオードからのノイズの寄与が小さくなる。さらに、この極小により、この極小の近くの生成された赤の画素値Rは、上記補間された赤の画素値Yに対する依存性が大きくなるしたがって、深いフォトダイオード100bのスペクトルの応答と隣接する赤ピクセルのフォトダイオード100dのスペクトルの応答との間の違いにはあまり影響されない導関数が極小となる深いフォトダイオード信号Dの値は、少なくとも一つのモザイク画像内の隣接する赤の画像画素からの赤の画素値の関数であるべきである(すなわち、赤の画素値に従って変わるべきである)。

本発明のこの態様では、別の方法でこれを見ると、深いフォトダイオード信号Dに対するマゼンタの画像画素の生成された赤画素値Rのプロットは、特定の範囲の生成された赤の画素値(例えば、図29、信号Rは、120および130のR値との間)に対して、比較的平坦なセクションを有する曲線を示す。そのように、比較的平坦なセクションは、全体の曲線より平坦なである。換言すれば、比較的平坦なセクションでは、生成された赤の画素値Rは、曲線の全体の平均勾配より小さい微分値を持つ必要がある。このセクションでは、生成された赤の画素値Rは深いフォトダイオード信号Dと変更する気にならない。また、赤の画素値の全体の可能範囲内では、この比較的平坦なセクションの位置は、少なくとも1つの隣接する(マゼンタ画像のピクセルへ)赤の画素の赤の画素値関数でなければならない。上記位置は、同様に、隣接する緑の画像画素の緑色画素値の関数であってもよい。
この方法は、以下の2つの例で示されている。説明の簡略化のために、前記深いフォトダイオード信号Dどけから生成された赤の画素値は、深いフォトダイオード信号D自体であり。Dは、その赤の範囲のピーク応答が赤の画素値のピーク応答と等しいまたはほぼ等しいように増幅されたと想定される。(したがって、後者に比べて数倍高いノイズを持っている。)それはまた、再び説明を簡単にするために、深いフォトダイオード信号Dともっぱら深いフォトダイオード信号Dから生成する赤の画素値との間の関係が線形であるように、前置歪み(例えばガンマディストーションなど)が深いフォトダイオード信号Dに対してされていると仮定される。
図28は、betaの関数として前記深いフォトダイオード信号Dに対する重みwは、その例の変化を示したグラフである。betaは、前記深いフォトダイオード信号Dと補間された信号Yとの差と前記深いフォトダイオード信号Dのノイズの標準偏差の倍数の比を測定する。(beta=1/a・|Y−D|/σD、a≧1)。この補間された信号Yは、深いフォトダイオード信号Dと独立している。
第一例として、図28に示す重みwは深いフォトダイオード信号Dに適用されるのに対し、(1−w)は補間された赤の画素値Yに適用される。すなわち、R=w・D+(1−w)・Y、Rはマゼンタ画像画素に対して生成された赤の画素値である。それは、隣接する画像画素の画素値が指定されている場合は、前記マゼンタ画像画素に対して単一だけの補間された赤の画素値が存在することを前提とする。図29は、前記深いフォトダイオード信号Dと前記マゼンタ画像画素の生成された赤の信号Rと間の関係を示す。前記補間された赤の画素値Yは125に固定されている。a・σは、20です。前記深いフォトダイオード信号Dは変化している。このグラフは、|Y−D|が15より小さい(従って、β=1/a・|Y−D|/σ<0.75)と、マゼンタ画像画素の生成されたRは、補間された値Y、すなわち125に向かって引っ張られるのに対し、それ以外の場合は、それは前記深いフォトダイオード信号Dと共に速く変化する。図28のグラフに表示されている重みwのように、これは次のように理解することができる。betaが0.75を下回ると、マゼンタ画像画素の生成された赤の画素値に向かって深いフォトダイオード信号Dがらの寄与度は0.3に向かって減少するのに対し、補間された画素値Yの寄与度は0.7に向けて増加する。
図30は、図29の赤色の画素信号Rの深いフォトダイオード信号Dに関する導関数を示すグラフである。この導関数は、D=125で0.4の極小値を有している。前記極小がらD>160またはD<100のように遠く離れて、前記導関数は、基本的に一定の、より高い値1を取る。生成された赤の画素値が予歪する必要があるのに対し、デモザイク部222によって受信された深いフォトダイオード信号Dが予歪されていない場合は、導関数が赤の画素値Yの範囲の上端で徐々に再び減少させる。デモザイク部222によって受信された深いフォトダイオード信号Dが赤の画素の赤の画素値に赤の範囲内のそのスペクトル応答と一致するように事前に増幅されていない場合、またはモザイク画像の画素値信号がデモザイク部222によって出力された再構成されたフルカラー画像とは異なる範囲を占めている場合、導関数が1とは異なる値を持つかもしれない。
としてデモザイク部222によって受信された深いフォトダイオード信号Dが赤のピクセルの番目の電子の赤の画素値に赤の範囲内でそのスペクトル応答と一致するように事前に増幅されない場合や誘導体が1とは異なる値を持つことができないことにさらに注意モザイク画像の画素値信号がデモザイク部222によって再構築されたフルカラー画像出力とは異なる範囲を占める。
第二例として、図31〜33は、マゼンタ画素について赤の画素値Rを生成するために、異なる二つの補間された値YおよびZを深いフォトダイオード信号Dと一緒に使用することができる方法を説明する。この例では、Yは165であり、Zは135であり、a・σは20である。
図31は、前記深いフォトダイオード信号Dと、第1の赤色の画素信号RYと、第2の赤色画素信号RZとの間の関係を示すグラフである。前記マゼンタの画像画素の近傍画素の画素値の集合が与えられると、前記第1の赤の画素信号RYは、前記マゼンタの画像画素に対して生成された赤の画素値が行動する方法を示している。このため、第ー図のように、1つだけの補間された画素値が考えられている。この補間画素値は、Yです。一方、前記第2の赤色画素信号RZは、Zのためのものです。このグラフは、RYとRZは、YとZのそれぞれの近くの変更は、”不本意”であることを示している。
しかし、本発明のこの面によれば、生成された赤色の画素は、2つの場所でこのような”不本意”(すなわち、比較的に平坦なセクション)を示すべきである。これは、以下の式に従って、赤のピクセル値Rを形成することによって達成することができる:
R=wDY・wDZ・D+(1−wDY・wDZ)*[(1−wDY)・Y+(1−wDZ)・Z]/(2−wDY−wDZ),
DYは、補間された信号がYであつて図28のwの関数である。wDZは、補間された信号がZであつて図28のwの関数である。
図32は、深いフォトダイオード信号Dと2つの比較的に平坦なセクションがある生成された赤のピクセル信号Rとの関係を示すグラフである。下部の比較的に平坦なセクションは、130と140との赤の値の間で見られる。上部の比較的に平坦なセクションは、160と170との赤の値の間で見られる。それは、これらの2つの比較的に平坦なセクション内に、深いフォトダイオード100bからのノイズは、その外よりも小さいことは明らかである。これの原因は、比較的に平坦なセクションの内に、生成された赤のピクセル値Rは、深いフォトダイオード信号Dを応じる変化がその外よりも小さいことである。
図33は、深いフォトダイオード信号Dに関する図28の赤色のピクセル信号Rの導関数を示すグラフである。その導関数は、それぞれ約135及び170の深いフォトダイオード信号Dの値で0.4の極小のレベルを達した。
マゼンタピクセルの青のピクセル値の生成
マゼンタ画素のための青のピクセル値を生成するための簡単な方法は、図14を参照して説明され、浅いフォトダイオード信号と深いフォトダイオード信号と間の加重の差を形成することを含む。
代替的な実施例では、青の画素値は、赤のピクセル信号Rに深いフォトダイオード信号を換えることによって形成することができる。
結び
図34は、デモザイク部222がプロセッサ212にあることを示しているが、代替の実施例においてのデモザイク部222は、撮像素子10の一部であり、ADC24の出力バス66を介してピクセルアレイ12から生成されてデジタル化された画像データを受信し、再構成されたフルカラー画像を別のバス上に出力することができる。
すべての緑、赤、マゼンタのピクセルに対してすべての不足しているす色を生成することの代わりに、デモザイク部222は、マゼンタピクセルに対してのみ赤のピクセル値Rを生成してもよい。異なるデモザイク回路は他の不足しているす色の一つ以上を生成するのに対し、それは、代わりに、バスにマゼンタピクセルの生成された赤のピクセル値を提供することができる。最終的に、すべての生成された不足しているす色は、モザイク画像の色と一緒に組み立てられて、フルカラー画像を形成する。
再現されたフルカラー画像は図34に色補正部224に送信されるように示されているが、当該分野で公知の他の修正は配置されてもよい。例えば、マゼンタピクセルのための生成された赤のピクセル値を記憶装置216に格納され、そして、ために、コンピューティングデバイスによって他の色(モザイク画像の不足している他の色を含む)と一緒に組み立て再現されたフルカラー画像を形成する。
図34に示す読み取り専用メモリ(ROM)228のような、カメラプロセッサ212の外部またはそれの内にあってもよい不揮発性メモリは、デモザイク部222が本開示に記載された方法のいずれかまたはすべてに従って実行させる命令を記憶することができる。
例示的実施例を記述し、添付の図面により示してきたが、これらの実施例は単に例示的であって、広範囲の本発明に対して限定するものではなく、また、当業者においては様々な変更がなされるものであるから、本発明が上述及び例示の特定の構造及び構成に限定されるものではないことが理解される。

Claims (7)

  1. モザイク画像からカラー画像を形成する方法であて、
    前記モザイク画像は、
    本質的に赤色ある第1のスペクトル応答を示す第1の信号を有する赤色の画像画素と、
    本質的に赤色ある第2のスペクトル応答を示す第2の信号、および本質的にマゼンタである第3のスペクトル応答を示す第3の信号を有するマゼンタの画像画素と、
    本質的に緑色である第4のスペクトル応答を示す第4の信号を有し、前記マゼンタの画像画素に隣接する緑色の画像画素と、を含み
    前記方法は、
    少なくとも前記第1及び第2の信号の関数として、第5の信号を生成して前記マゼンタの画像画素のための赤色信号とするステップを含み、
    前記第5の信号の前記第2の信号に対する導関数の大きさは極小値を有し、
    前記第5の信号の前記第2の信号に対する導関数の大きさが極小となる前記第2の信号の値は、前記第1の信号および前記第4の信号に従って変化することを特徴とする方法。
  2. 前記第5の信号の前記第2の信号に対する導関数大きさは、前記極小最大値の間少なくとも2倍変化することを特徴とする請求項に記載の方法。
  3. 前記第5の信号の前記第2の信号に対する導関数の大きさが極小となる前記第2の信号の値では前記第5の信号の前記第1の信号に対する導関数は、前記第2の信号が他の値である場合よりも大きくなる請求項に記載の方法。
  4. 前記方法は、
    前記第3の信号と第2の係数との積から前記第2の信号と第1の係数との積を減算して前記マゼンタの画像画素に対して本質的に青色である第5のスペクトル応答を示す第6の信号を形成するステップをさらに含むことを特徴とする請求項1〜のいずれか一項に記載の方法。
  5. 前記方法は、
    前記第3の信号と第2の係数との積から前記第5の信号と第1の係数との積を減算して前記マゼンタの画像画素に対して本質的に青色である第5のスペクトル応答を示す第6の信号を形成するステップをさらに含むことを特徴とする請求項1〜3いずれか一項に記載の方法。
  6. 請求項1からまでいずれかに記載の方法を前記モザイク画像に実行してカラー画像を生成するデモザイク部と、
    イメージセンサから前記モザイク画像の画像データを受信するように構成された入力インターフェースと、を備えるカメラプロセッサ。
  7. コンピュータ可読命令を搭載し、
    前記コンピュータ可読命令がコンピューティングデバイスによって実行されるとき、前記コンピューティングデバイスが請求項1〜のいずれか一項に記載の方法を実行する、コンピュータの不揮発性のデータ記憶媒体。
JP2013529759A 2010-09-26 2011-09-25 モザイク画像からカラー画像を形成する方法、前記方法を実行するカメラプロセッサ、およびコンピュータの不揮発性のデータ記憶媒体 Expired - Fee Related JP5971530B2 (ja)

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