JP4617549B2 - 超音波塗布ヘッド及びそれを用いた塗布装置 - Google Patents
超音波塗布ヘッド及びそれを用いた塗布装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4617549B2 JP4617549B2 JP2000268171A JP2000268171A JP4617549B2 JP 4617549 B2 JP4617549 B2 JP 4617549B2 JP 2000268171 A JP2000268171 A JP 2000268171A JP 2000268171 A JP2000268171 A JP 2000268171A JP 4617549 B2 JP4617549 B2 JP 4617549B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- coating
- nozzle
- head
- tip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Nozzles (AREA)
- Spray Control Apparatus (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体を吐出するノズル有する塗布ヘッドとそれを用いた塗布装置に関するもので、特に、超音波流動発生素子を用いてノズル先端の液体境界を制御する塗布ヘッド及び塗布装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
レジスト等の塗布液を被塗布基材上に塗布する方法として、ダイコーターあるいはスピンコーターと呼ばれる塗布装置が多く使用されている。
ダイコーターは、平面基板或いは帯状の被塗布基材上にスリット状のノズルから塗布液を吐出しながら被塗布基材とノズルを相対的に移動させることで被塗布基材上に所定厚の塗膜を形成する方法である。
スピンコーターは、パイプ状のノズル先端から被塗布基材上にレジスト等の塗布液を滴下した後に、被塗布基材を高速で回転させ、その遠心力によって均一に且つ薄く塗膜を形成する方法である。
【0003】
これらダイコーター及びスピンコーターにて微粒子を拡散した塗布液や乾燥し易い溶剤を含んだ塗布液を塗布する場合に、ノズル先端で該塗布液が乾燥したり、拡散していた固形分などが凝集し、異物化して塗布膜に混入する現象がしばしば発生する。これらの現象を防止するために、塗布液がノズル先端表面で弾かれるようにノズル先端にテフロン皮膜を形成する等の手段を講じたり、あるいは、生成された固形分が流出しないように定期的にノズルを清掃するなどの対策がなされいる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のような方策を講じても、ノズル先端の吐出部において、固形化あるいはゲル状のものが被塗布基材の上で異物化する現象を完全に防止することはできないという問題を有している。
本発明は、上記問題点に鑑み考案されたもので、ノズル先端において固形物やゲルの発生を防止できる塗布ヘッド及び被塗布基材上の塗膜に異物の発生を防止できる塗布装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明において上記課題を達成するために、まず請求項1においては、液体を吐出するノズルを有する塗布ヘッドであって、前記ノズルの先端部の外表面に超音波流動発生素子を設けたことを特徴とする超音波塗布ヘッドとしたものである。
【0006】
また、請求項2においては、前記塗布ノズルの先端の曲率半径が、前記超音波流動発生素子の発生する弾性進行波の波長の5倍以上であることを請求項1記載の超音波塗布ヘッドとしたものである。
【0007】
また、請求項3においては、請求項1または2記載の超音波塗布ヘッド10と、塗布液供給装置40と、超音波流動発生素子駆動用電気信号発生器50と、被塗布基材搬送機構60と、搬送駆動装置70と、コーター制御装置80とを備えていることを特徴とする塗布装置としたものである。
【0008】
また、請求項4においては、請求項1または2記載の超音波塗布ヘッド20と、塗布液供給装置40と、超音波流動発生素子駆動用電気信号発生器50と、被塗布基材回転機構90と、回転制御装置110と、コーター制御装置80とを備えていることを特徴とする塗布装置としたものである。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態につき説明する。
図1(a)に、本発明の超音波塗布ヘッドの一実施例を示す超音波塗布ヘッド10の斜視構成図を、図1(b)に、本発明の超音波塗布ヘッド10をA−A線で切断した断面構成図を、図4(a)に、本発明の超音波塗布ヘッドの他の実施例を示す超音波塗布ヘッド20の斜視構成図を、図4(b)に、本発明の超音波塗布ヘッド20をA−A線で切断した断面構成図を、図6に、本発明の超音波塗布ヘッド10を用いた塗布装置の一実施例を示す構成概略図を、図7に、本発明の超音波塗布ヘッド20を用いた塗布装置の他の実施例を示す構成概略図をそれぞれ示す。
【0010】
本発明の超音波塗布ヘッド10は図1(a)及び(b)に示すように、スリットノズル2及び塗布液供給管3からなる塗布ヘッド1のスリットノズル2の外表面先端部に超音波流動発生素子11を設けたものである。超音波流動発生素子11は塗布ヘッド1のスリットノズル2の横方向に対し複数個設ける。複数にする利点は、スリットノズル各部で、塗布液のスリットノズル先端での濡れ状況の違いに対応してその電圧や駆動時間を変えることで、スリットノズル先端部の液体制御の均一化が図れる。
【0011】
スリットノズル先端部の液体の状態を模式的に示した断面図を図2に示す。スリットノズル先端部の液体の状態は超音波流動発生素子11が無い場合は液体の表面張力で先端部は液体で塗れた状態になり、固形化あるいはゲル化したものが塗膜上に形成され、異物化すると考えられる。
一方、塗布ヘッド1のスリットノズル2の外表面先端部に超音波流動発生素子11を設けた場合のスリットノズル2先端部の液体の状態は図2に示すように、超音波流動発生素子11から発生された弾性進行波13によりスリットノズル2先端部の液体中に超音波流動を発生させ、スリットノズル2先端部の液体の液体流動に対し超音波流動で押し戻す力が働き、バランスしたところでスリットノズル2先端部の液体形状16を設定でき、超音波流動の大小によりスリットノズル2先端部の液体境界を制御できる。
弾性進行波とは定在波とは異なり、ある方向に弾性エネルギーを伝搬する超音波振動であり、板波、弾性表面波を含む。
【0012】
図5(a)及び(b)は、超音波流動の発生・作用メカニズムを模式的に示した説明図である。超音波流動発生素子11の櫛形電極12で発生された弾性進行波13はPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)等の圧電材31表面に沿って伝搬し、且つ液体中にエネルギーを放出しながら減衰していく過程で液体中では超音波流動18を発生させ、超音波流動18が液体15の液体流動17に対して大きければ液体はその場所で液の流動を停止し、それ以上液体15は広がらなくなり、図2に示すようなノズル先端部の液体形状16になる。
【0013】
さらに、塗布ヘッド1のスリットノズルの先端部の曲率半径Rは、弾性進行波の進行を妨げない形状として、超音波流動発生素子11で発生する弾性進行波の波長λの5倍以上であることが望ましい。具体的には、超音波流動発生素子11から30MHzでPZTからなる圧電材上に弾性進行波発生する場合、特にその弾性進行波はレーリー波と呼ばれるものになる。レーリー波の波長速度は2600mm/sであるため、30MHzでの波長λは約87μmになることから、スリットノズルの先端部の曲率半径Rは、87×5=435μm以上が必要になる。
【0014】
超音波流動発生素子を塗布ヘッドに取り付ける方法として、各種の方法が考えられるが、図3(a)及び(b)にその取り付け事例を示した。
図3(a)は、PZT等の圧電材31上に櫛形電極を形成した超音波流動発生素子11を塗布ヘッド1の先端部に埋め込んで、超音波塗布ヘッドを形成したものである。
図3(b)は、塗布ヘッド1自体をPZT等の圧電材31にて形成し、塗布ヘッド先端部に櫛形電極を形成した超音波流動発生素子11を作製して、超音波塗布ヘッドを形成したものである。
いずれの場合も弾性進行波を伝搬する基材をPZT等の圧電材にすることにより、弾性進行波の反射を小さくすることができ、ノズル先端部の液体に効率よく超音波流動を発生させることができる。
【0015】
本発明の超音波塗布ヘッド20は図4(a)及び(b)に示すように、パイプ状のノズル23の外表面先端部にリング状の電極22からなる櫛形電極を有する超音波流動発生素子21を設けたものである。ノズル23の先端部の液体の状態は上記超音波塗布ヘッド10のところで詳細に述べたように超音波流動発生素子21の櫛形電極22より発生された弾性進行波が先端部の液体に超音波流動を起こし、この超音波流動の大きさによりノズル23の先端部の液体の状態を制御するもので、ノズル23先端部の液体の固形化或いはゲル化を防止できる。特に固形分を形成しやすい液体、例えばレジスト、特に顔料入りレジストなどの塗布用ノズルとして有用である。
【0016】
ノズル23のノズル先端部の曲率半径Rは、弾性進行波の進行を妨げない形状として、超音波流動発生素子21で発生する弾性進行波の波長λの5倍以上であることが望ましい。具体的には、超音波流動発生素子21から30MHzでPZTからなる圧電材上をノズル先端に向けて伝搬する場合、発生するレーリー波の波長λは約87μmになることから、ノズルの先端部の曲率半径Rは、87×5=435μm以上が必要になる。
【0017】
超音波流動発生素子をノズル先端に取り付ける方法として、各種の方法が考えられるが、パイプ状のPZT等の圧電材上に櫛形電極を形成した超音波流動発生素子21をノズル23の先端部の外周に貼り付けることで超音波塗布ヘッドを形成したり、または、ノズル23自体をPZT等の圧電材にて形成し、ノズル23先端部に櫛形電極を形成した超音波流動発生素子21を作製して、超音波塗布ヘッドを形成することができる。
【0018】
図6に本発明の超音波塗布ヘッド10を用いて作製した本発明の塗布装置100の構成概略図を示す。
本発明の塗布装置100は、液体を吐出するスリットノズル先端部に超音波流動発生素子11を設けた超音波塗布ヘッド10と、塗布液を超音波塗布ヘッド10に供給する塗布液供給装置40と、超音波塗布ヘッド10の超音波流動発生素子11に所定周波数の電気信号を供給するための超音波流動発生素子駆動用電気信号発生器50と、被塗布基材を搬送、制御する被塗布基材搬送機構60及び搬送駆動装置70と、塗布装置全体の制御を司るコーター制御装置80とから構成されている。
【0019】
図7に本発明の超音波塗布ヘッド20を用いて作製した本発明の塗布装置200の構成概略図を示す。
本発明の塗布装置200は、液体を吐出するパイプ状のノズル先端部に超音波流動発生素子21を設けた超音波塗布ヘッド20と、液体を超音波塗布ヘッド20に供給する塗布液供給装置40と、塗布ヘッド20の超音波流動発生素子21に所定周波数の電気信号を供給するための超音波流動発生素子駆動用電気信号発生器50と、被塗布基材を回転、制御する被塗布基材回転機構90及び回転制御装置110と、塗布装置全体の制御を司るコーター制御装置80とから構成されている。
【0020】
【実施例】
以下実施例により本発明を詳細に説明する。
<実施例1>
図1に示す超音波ヘッド10を用いて図6に示す構成の塗布装置100を使用して塗布液として顔料入りのカラーフィルター用レジストを用いて被塗布基材(ガラス基板)上に塗膜を形成した。
塗布ヘッド1の先端部に駆動周波数20MHzの厚さ3mmのPZTを用いた圧電材上に櫛形電極からなる超音波流動発生素子を2枚対向させて埋め込み、超音波ヘッド10を作製した。塗布ヘッド1のスリットノズル2はスリット幅0.3mmで、ノズル先端部の曲率半径Rは0.5mmとした。なお、スリットノズル2の先端から3mmの範囲をテフロンコーティングを施している。
【0021】
超音波流動発生素子駆動用電気信号発生器50から発振された20MHz、20Vの超音波信号は、超音波ヘッド10の超音波流動発生素子11に供給され、塗布液(カラーレジスト)は塗布液供給装置40より供給され、被塗布基材(ガラス基板)を搬送駆動装置70にて搬送しながら、スリットノズル2より被塗布基材(ガラス基板)上に吐出して、被塗布基材(ガラス基板)上に30cmの幅で0.15mm厚のレジスト膜を形成する塗布工程を500回繰り返し行い、さらに、比較サンプルとして、超音波ヘッド1の超音波流動発生素子11に超音波信号を供給しないで被塗布基材(ガラス基板)上に塗布する比較サンプルを同時に500枚作製した。
【0022】
次に、上記の超音波ヘッドの超音波流動発生素子11に超音波信号を供給しながら被塗布基材(ガラス基板)上に塗布した500枚のレジスト膜塗布サンプル及び超音波ヘッドの超音波流動発生素子11に超音波信号を供給しないで被塗布基材(ガラス基板)上に塗布した500枚のレジスト膜塗布比較サンプルについて、10μm以上の異物数を計測した。測定結果を表1に示す。
【0023】
【表1】
【0024】
表1の結果から分かるように、超音波ヘッドの超音波流動発生素子11に超音波信号を供給しながら被塗布基材(ガラス基板)上に塗布した500枚のレジスト膜塗布サンプルについては10μm以上の異物は観察されず、超音波ヘッドの効果を確認することができた。
【0025】
<実施例2>
図4に示す超音波ヘッド20を用いて図7に示す構成の塗布装置200を使用して塗布液として顔料入りのカラーフィルター用レジストを用いて被塗布基材(ガラス基板)上に塗膜を形成した。
まず、直径5mmの円筒形のステンレスパイプ状のノズル23を使用し、ノズル23の先端部に内径4mm、外形6mm及び長さ10mmのPZTのパイプ状のノズルを接続し、 PZTのパイプ状のノズルの外表面に櫛形電極22からなる超音波流動発生素子21を形成して、超音波ヘッド20を作製した。PZTノズル先端の曲率半径は0.5mmの半円状とし、PZTノズル先端内面はテフロンコーティングを施すことで、内部での液体の凝集を防ぐ構造としている。
【0026】
超音波流動発生素子駆動用電気信号発生器50から発振された20MHz、20Vの超音波信号は、超音波ヘッド20の超音波流動発生素子21に供給され、塗布液(カラーレジスト)は塗布液供給装置40より供給され、ノズル23より被塗布基材(ガラス基板)上に所定量滴下した後被塗布基材(ガラス基板)を被塗布基材回転機構90及び回転制御装置110にて回転することにより、被塗布基材(ガラス基板)上に所定厚のレジスト膜を形成した。塗布装置全体の制御はコーター制御装置80にて、運用制御される。
【0027】
上記塗布装置200を用いて被塗布基材(ガラス基板)上に塗布液(カラーレジスト)を塗布した塗布サンプルについて、10μm以上の異物数を計測した結果発生異物は確認できなかった。このことから、超音波塗布ヘッド20を用いて塗膜を形成してやれば、塗膜形成時の異物の発生を防止できることが確認できる。
【0028】
【発明の効果】
本発明の超音波塗布ヘッド及びそれを用いた塗布装置は上記の構成であるから、下記に示す効果がある。
即ち、液体を吐出するノズルを有する塗布ヘッドの先端部外表面に超音波流動発生素子を設けることにより、ノズル先端部の液体境界を制御し、ノズル先端において固形物やゲルの発生を防止でき、結果的に被塗布基材上の塗膜に異物の発生を防止できる。
従って本発明は、被塗布基材(ガラス基板)上にレジスト膜等を形成する塗膜形成基板において、塗布工程の収率や品質向上をもたらし、優れた実用上の効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は、本発明の超音波塗布ヘッドの一実施例を示す超音波塗布ヘッド10の斜視図である。
(b)は、超音波塗布ヘッド10をA−A線で切断した断面構成図である。
【図2】本発明の超音波塗布ヘッド10の部分構成断面図である。
【図3】(a)は、本発明の超音波塗布ヘッド10に超音波流動発生素子を取り付ける一実施例を示す部分構成断面図である。
(b)は、本発明の超音波塗布ヘッド10に超音波流動発生素子を取り付ける他の実施例を示す部分構成断面図である。
【図4】(a)は、本発明の超音波塗布ヘッドの他の実施例を示す超音波塗布ヘッド20の斜視図である。
(b)は、超音波塗布ヘッド20をA−A線で切断した断面構成図である。
【図5】(a)は、本発明の超音波塗布ヘッドに設けられている超音波流動発生素子の一実施例を斜視構成図である。
(b)は、超音波流動の発生メカニズムを模式的に示した説明図である。
【図6】本発明の超音波塗布ヘッド10を用いた本発明の塗布装置100の構成概略図である。
【図7】本発明の超音波塗布ヘッド20を用いた本発明の塗布装置200の構成概略図である。
【符号の説明】
1……塗布ヘッド
2……スリットノズル
3……塗布液供給配管
10、20……超音波ヘッド
11、21……超音波流動発生素子
12、22……櫛形電極
13……弾性進行波
15……液体
16……ノズル先端部の液体形状
17……液体流動
18……超音波流動
23……ノズル
31……圧電材
40……塗布液供給装置
50……超音波流動発生素子駆動用電気信号発生器
60……被塗布基材搬送機構
70……搬送駆動装置
80……コーター制御装置
90……被塗布回転機構
100、200……超音波塗布装置
110……回転制御装置
λ……波長
R……曲率半径
Claims (4)
- 液体を吐出するノズルを有する塗布ヘッドであって、
前記ノズルの先端部の外表面に超音波流動発生素子を設けて構成され、
この超音波流動発生素子が、前記ノズルの外表面に沿ってノズル先端部の前記液体に向かって伝搬する弾性進行波を発生するものである、
ことを特徴とする超音波塗布ヘッド。 - 前記ノズルの先端の曲率半径が、前記超音波流動発生素子の発生する弾性進行波の波長の5倍以上であることを特徴とする請求項1記載の超音波塗布ヘッド。
- 請求項1または2記載の超音波塗布ヘッド(10)と、塗布液供給装置(40)と、超音波流動発生素子駆動用電気信号発生器(50)と、被塗布基材搬送機構(60)と、搬送駆動装置(70)と、コーター制御装置(80)とを備えていることを特徴とする塗布装置。
- 請求項1または2記載の超音波塗布ヘッド(20)と、塗布液供給装置(40)と、超音波流動発生素子駆動用電気信号発生器(50)と、被塗布基材回転機構(90)と、回転制御装置(110)と、コーター制御装置(80)とを備えていることを特徴とする塗布装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000268171A JP4617549B2 (ja) | 2000-09-05 | 2000-09-05 | 超音波塗布ヘッド及びそれを用いた塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000268171A JP4617549B2 (ja) | 2000-09-05 | 2000-09-05 | 超音波塗布ヘッド及びそれを用いた塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002079162A JP2002079162A (ja) | 2002-03-19 |
JP4617549B2 true JP4617549B2 (ja) | 2011-01-26 |
Family
ID=18754979
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000268171A Expired - Fee Related JP4617549B2 (ja) | 2000-09-05 | 2000-09-05 | 超音波塗布ヘッド及びそれを用いた塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4617549B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4724561B2 (ja) * | 2005-01-18 | 2011-07-13 | 株式会社川上鉄工所 | 塗布装置 |
JP2011224417A (ja) * | 2010-04-15 | 2011-11-10 | Seiko Epson Corp | 塗布装置および表示シートの製造方法 |
CN106153723A (zh) * | 2016-07-28 | 2016-11-23 | 耐世特凌云驱动系统(芜湖)有限公司 | 轴杆的超声波检测装置 |
CN106824686B (zh) * | 2017-03-08 | 2023-04-25 | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 | 用于去除喷涂表面凸起处的装置及方法 |
KR102246199B1 (ko) * | 2019-03-29 | 2021-04-29 | 공주대학교 산학협력단 | 막힘 방지 기능을 갖는 액상물질 토출장치 |
KR102293040B1 (ko) * | 2019-03-29 | 2021-08-26 | 공주대학교 산학협력단 | 액상물질 토출장치 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0365267A (ja) * | 1989-08-03 | 1991-03-20 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | カーテンコータ |
JPH05220433A (ja) * | 1992-02-13 | 1993-08-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 接着剤塗布方法および塗布装置 |
JPH07230352A (ja) * | 1993-09-16 | 1995-08-29 | Hitachi Ltd | タッチ位置検出装置及びタッチ指示処理装置 |
JPH11104546A (ja) * | 1997-10-03 | 1999-04-20 | Dainippon Ink & Chem Inc | 塗布方法 |
JP2000079367A (ja) * | 1998-09-07 | 2000-03-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 処理液供給用ノズルおよび該ノズルを備えた基板処理装置、ならびに該ノズルを用いた塗布方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6459110A (en) * | 1987-08-31 | 1989-03-06 | Japan Radio Co Ltd | Angle of rotation measuring apparatus |
JP2000237664A (ja) * | 1999-02-24 | 2000-09-05 | Hirata Corp | 超音波式塗布ヘッドとこれを用いた超音波式塗布装置 |
-
2000
- 2000-09-05 JP JP2000268171A patent/JP4617549B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0365267A (ja) * | 1989-08-03 | 1991-03-20 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | カーテンコータ |
JPH05220433A (ja) * | 1992-02-13 | 1993-08-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 接着剤塗布方法および塗布装置 |
JPH07230352A (ja) * | 1993-09-16 | 1995-08-29 | Hitachi Ltd | タッチ位置検出装置及びタッチ指示処理装置 |
JPH11104546A (ja) * | 1997-10-03 | 1999-04-20 | Dainippon Ink & Chem Inc | 塗布方法 |
JP2000079367A (ja) * | 1998-09-07 | 2000-03-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 処理液供給用ノズルおよび該ノズルを備えた基板処理装置、ならびに該ノズルを用いた塗布方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002079162A (ja) | 2002-03-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0682988B1 (en) | Acoustic deposition of material layers | |
US3198170A (en) | Ultrasonic-wave painting machine | |
TWI517970B (zh) | 製造塑膠層的方法及裝置 | |
CA1210370A (en) | Method and apparatus for transporting and depositing viscous materials | |
JP2010179457A (ja) | 微細立体構造物 | |
JP2004517718A (ja) | 塗布装置および塗布方法 | |
JP4617549B2 (ja) | 超音波塗布ヘッド及びそれを用いた塗布装置 | |
US6237525B1 (en) | Apparatus for coating a paper or board web | |
JP2000197842A (ja) | 塗布装置、吐出手段及び塗布方法 | |
JPH1119554A (ja) | 塗液の塗布方法及び装置 | |
CN107210193A (zh) | 用于清洗和干燥集成电路基板的方法和装置 | |
JP4068449B2 (ja) | 塗膜形成装置及び塗膜形成方法 | |
JP4660521B2 (ja) | インクジェット記録装置 | |
US6336707B1 (en) | Recording element and recording device | |
JP3322163B2 (ja) | 超音波洗浄方法及び装置 | |
US4463040A (en) | Coating-bead stabilization apparatus | |
KR100215322B1 (ko) | 초음파 코팅장치 및 코팅방법 | |
JP2005238169A (ja) | 塗膜形成装置 | |
JPH04164659A (ja) | トナージェット記録装置 | |
TWI776884B (zh) | 清洗半導體矽片的裝置和方法 | |
JP5664340B2 (ja) | 基材の塗工方法及び塗工装置 | |
JPH09199464A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
JP2000117097A (ja) | 粒子薄膜形成方法 | |
US20230175774A1 (en) | Atomizing spray dryer | |
KR102666663B1 (ko) | 광폭 슬롯 다이 및 광폭 슬롯 다이 작동 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070824 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100119 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100215 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100928 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101011 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131105 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |