JP4616021B2 - 角度検出センサ - Google Patents
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Description
前記固定部の表面に、固定磁性層の磁化の向きが互いに逆である前記磁気抵抗効果素子が対を成して設けられているとともに、対を成す前記磁気抵抗効果素子は、その抵抗値の差が出力されるように接続されて、前記回転部から前記磁気抵抗効果素子に与えられる前記固定部の表面に平行な磁場成分が検出される角度検出センサにおいて、
前記磁気抵抗効果素子の前記固定磁性層の一方向性交換バイアス磁界Hex*が200kA/m以上であり、かつ、前記角度検出センサの検出誤差の最大値である波形歪みが7度以下であることを特徴とするものである。
前記磁場は24kA/m以上56kA/m以下であることが好ましい。
また本発明では、前記固定磁性層は、第1固定磁性層と、第2固定磁性層と、前記第1固定磁性層と前記第2固定磁性層の間に介在する非磁性層との人工フェリ磁性構造であり、前記第2固定磁性層は前記非磁性材料層に接して形成されており、
前記第2固定磁性層の磁気的膜厚から前記第1固定磁性層の磁気的膜厚を引いた値で示される前記固定磁性層の正味の磁気的膜厚(netMs・t)は、0.031(memu/cm 2 )以下であることが好ましい。
上記において、前記第1固定磁性層の膜厚は、12Å〜18Åの範囲内であることが好ましい。
また上記において、前記第1固定磁性層及び前記第2固定磁性層はCoFe合金で形成されることが好ましい。
図4は2組のブリッジ回路から出力される信号の関係を示す波形図である。
シード層(NiFeCr(60Å))/反強磁性層(PtMn(200Å))/第1の固定磁性層(Co90Fe10)/非磁性中間層(Ru(8.7Å))/第2の固定磁性層(Co90Fe10)/非磁性材料層(Cu(21Å))/フリー磁性層(Co90Fe10(10Å)/Ni81.5Fe18.5(20Å)/保護層(Ta(50Å))である。なお括弧の中の数値は膜厚を表している。
シード層(NiFeCr(60Å))/反強磁性層(PtMn(200Å))/第1の固定磁性層(Co90Fe10(14Å))/非磁性中間層(Ru(8.7Å))/第2の固定磁性層(Co90Fe10(12Å))/非磁性材料層(Cu(21Å))/フリー磁性層(Co90Fe10/Ni81.5Fe18.5)/保護層(Ta(50Å))である。なお括弧の中の数値は膜厚を表している。
例えば、図3に示したようなGMR素子において、フリー磁性層4の拡散防止層4aをCo90Fe10合金で形成し、軟磁性層4bをNi81.5Fe18.5合金で形成する。
2 ホイール
3 パッケージ
10 信号処理部
11 制御手段
12A 第1信号変換手段
12B 第2信号変換手段
13 信号調整手段
14 第1の関数演算手段
e 固定層の磁化方向(磁化の向き)
G1〜G8 GMR素子
H 外部磁界
K1,K2,K3,K4 チップ基板
M1,M2 磁石
WB1 第1のブリッジ回路
WB2 第2のブリッジ回路
Claims (8)
- 磁化の向きが固定された固定磁性層と、非磁性材料層と、前記非磁性材料層を挟んで前記固定磁性層と対向するフリー磁性層とを有する積層体および前記積層体の両端に接続された電極層を備えた磁気抵抗効果素子が設けられた固定部、および磁場を形成して前記固定部に対面して回転する回転部とを有し、
前記固定部の表面に、固定磁性層の磁化の向きが互いに逆である前記磁気抵抗効果素子が対を成して設けられているとともに、対を成す前記磁気抵抗効果素子は、その抵抗値の差が出力されるように接続されて、前記回転部から前記磁気抵抗効果素子に与えられる前記固定部の表面に平行な磁場成分が検出される角度検出センサにおいて、
前記磁気抵抗効果素子の前記固定磁性層の一方向性交換バイアス磁界Hex*が200kA/m以上であり、かつ、前記角度検出センサの検出誤差の最大値である波形歪みが7度以下であることを特徴とする角度検出センサ。 - 前記磁気抵抗効果素子の前記固定磁性層の一方向性交換バイアス磁界Hex*が320kA/m以上であり、かつ前記波形歪みが4度以下である請求項1に記載の角度検出センサ。
- 前記フリー磁性層はCoFe合金とNiFe合金の積層構造を有しており、磁歪定数λsの絶対値が1.3ppm以下である請求項1または2に記載の角度検出センサ。
- 前記フリー磁性層はCo90Fe10合金とNi81.5Fe18.5合金の積層構造を有しており、前記Co90Fe10合金の膜厚は9Å以上16Å以下、前記Ni81.5Fe18.5合金の膜厚は10Å以上50Å以下である請求項3に記載の角度検出センサ。
- 前記磁場が24kA/m以上56kA/m以下である請求項1ないし4のいずれかに記載の角度検出センサ。
- 前記固定磁性層は、第1固定磁性層と、第2固定磁性層と、前記第1固定磁性層と前記第2固定磁性層の間に介在する非磁性層との人工フェリ磁性構造であり、前記第2固定磁性層は前記非磁性材料層に接して形成されており、
前記第2固定磁性層の磁気的膜厚から前記第1固定磁性層の磁気的膜厚を引いた値で示される前記固定磁性層の正味の磁気的膜厚(netMs・t)は、0.031(memu/cm2)以下である請求項1ないし5のいずれかに記載の角度検出センサ。 - 前記第1固定磁性層の膜厚は、12Å〜18Åの範囲内である請求項6記載の角度検出センサ。
- 前記第1固定磁性層及び前記第2固定磁性層はCoFe合金で形成される請求項6又は7に記載の角度検出センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005022442A JP4616021B2 (ja) | 2005-01-31 | 2005-01-31 | 角度検出センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005022442A JP4616021B2 (ja) | 2005-01-31 | 2005-01-31 | 角度検出センサ |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006208255A JP2006208255A (ja) | 2006-08-10 |
JP2006208255A5 JP2006208255A5 (ja) | 2008-12-18 |
JP4616021B2 true JP4616021B2 (ja) | 2011-01-19 |
Family
ID=36965276
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005022442A Active JP4616021B2 (ja) | 2005-01-31 | 2005-01-31 | 角度検出センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4616021B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8115479B2 (en) | 2006-11-21 | 2012-02-14 | Hitachi Metals, Ltd. | Rotation-angle-detecting apparatus, rotating machine, and rotation-angle-detecting method |
JP5015966B2 (ja) | 2007-02-02 | 2012-09-05 | アルプス電気株式会社 | 磁気検出装置及びその製造方法 |
JP5734657B2 (ja) * | 2008-09-12 | 2015-06-17 | 日立金属株式会社 | セルフピン型スピンバルブ磁気抵抗効果膜とそれを用いた磁気センサおよび回転角度検出装置 |
JP6370412B2 (ja) * | 2016-07-15 | 2018-08-08 | Tdk株式会社 | センサユニット |
US10634734B2 (en) | 2016-07-15 | 2020-04-28 | Tdk Corporation | Sensor unit |
CN107621272B (zh) * | 2016-07-15 | 2021-06-04 | Tdk株式会社 | 传感器单元 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07254118A (ja) * | 1994-03-14 | 1995-10-03 | Hitachi Ltd | 磁気抵抗効果型ヘッドおよび磁気記録再生装置 |
JP2000035471A (ja) * | 1998-07-17 | 2000-02-02 | Alps Electric Co Ltd | 巨大磁気抵抗効果素子を備えたポテンショメータ |
JP2000303536A (ja) * | 1999-04-23 | 2000-10-31 | Matsushita Electric Works Ltd | 洗浄水用温水器や暖房便座の通電制御装置 |
-
2005
- 2005-01-31 JP JP2005022442A patent/JP4616021B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07254118A (ja) * | 1994-03-14 | 1995-10-03 | Hitachi Ltd | 磁気抵抗効果型ヘッドおよび磁気記録再生装置 |
JP2000035471A (ja) * | 1998-07-17 | 2000-02-02 | Alps Electric Co Ltd | 巨大磁気抵抗効果素子を備えたポテンショメータ |
JP2000303536A (ja) * | 1999-04-23 | 2000-10-31 | Matsushita Electric Works Ltd | 洗浄水用温水器や暖房便座の通電制御装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006208255A (ja) | 2006-08-10 |
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