JP4609669B2 - 静電チャックモジュール - Google Patents
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Description
11 トッププレート
12 ベース
12a ネジ穴
12b 凹部
12c 貫通穴
13 石英プレート
13a 穴
14a ヒータエレメント
14b 静電吸着用エレメント
15 チャックプレート(静電チャック)
15a 突出縁部
15b 貫通穴
16 静電チャック用電極
17 ヒータ用電極
18,19 給電線
20 固定ネジ
21 ワッシャーリング
22,22’ プラテンリング
23 側面部
23’ 側面部材
23a 下端凹部
23b 上端凹部
24 上面部
24’ 上面部材
24a 凸部
25 高さ調節ネジ
26 ロックナット
27 ワッシャーリング
30 センターシャフト
Claims (8)
- 少なくともベースと該ベース上に積層される静電チャックとを備えた静電チャックモジュールであって、ウェハプロセス中に薄膜材料が静電チャックの側面に回り込んで静電チャック側面または裏面あるいはウェハ裏面などの意図しない部分に薄膜が生成されることを防止するためのマスク手段としてのプラテンリングが用いられ、該プラテンリングは側面部と上面部とを有し、該側面部がベースの外周端上に支持されることによって静電チャックを包囲するように設けられ、さらに、ベースの外周端部分を上下に貫通する貫通穴に下から通した高さ調節ネジの先端に該プラテンリングの側面部の下端を支持することによって該プラテンリングの上面部を静電チャックに対して高さ調節可能としたことを特徴とする静電チャックモジュール。
- プラテンリングが側面部と上面部とを有する一体成形品であることを特徴とする、請求項1記載の静電チャックモジュール。
- 側面部と上面部とが各々別部材として成形され、これらを組み合わせてプラテンリングが形成されることを特徴とする、請求項1記載の静電チャックモジュール。
- 静電チャックの外周端上面側が切除されて突出縁部が形成され、この突出縁部において静電チャックがベースにネジ固着されることを特徴とする、請求項1ないし3のいずれか記載の静電チャックモジュール。
- ベース外周端の貫通穴の下方開口部に隣接して、高さ調節ネジを螺通するロックナットが固着されたことを特徴とする、請求項1ないし4のいずれか記載の静電チャックモジュール。
- 高さ調節ネジの先端が、プラテンリング側面部の下端に形成された凹部に嵌入されることを特徴とする、請求項1ないし5のいずれか記載の静電チャックモジュール。
- 120度間隔で3ヶ所に高さ調節ネジが用いられることを特徴とする、請求項1ないし6のいずれか記載の静電チャックモジュール。
- 高さ調節ネジにより、静電チャック上に支持されるウェハとプラテンリングとの間の上下隙間を0.2〜0.4mmまたはそれ以下に調節可能であることを特徴とする、請求項1ないし7のいずれか記載の静電チャックモジュール。
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