JP4609334B2 - 窒化物系半導体基板の製造方法、窒化物系半導体基板、及び窒化物系半導体発光素子 - Google Patents
窒化物系半導体基板の製造方法、窒化物系半導体基板、及び窒化物系半導体発光素子 Download PDFInfo
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Description
図1に、本実施形態の製造方法で使用するHVPE反応炉の例を示す。
このHVPE反応炉10は、横長の石英反応管1の外側にヒータ2を設けて加熱するホットウォール式であり、石英反応管1の図面左側(上流側)には、V族原料となるNH3ガスを導入するNH3導入管3と、III族原料となるGaClを形成するためのHClガスを導入するHCl導入管4と、導電性制御のためのドーパントガスを導入するドーピング管5とを備えている。また、HCl導入管4は、途中が拡径されてメタルボード6が形成されており、Gaメタル7を収容できるようになっている。一方、石英反応管1内の図面右側(下流側)には、下地基板8を配置した基板ホルダ9が回転昇降自在に設けられている。
まず、基板ホルダ9に下地基板8として2インチφのサファイア基板を固定し、石英からなるメタルボード6にGaメタル7を配置した。次に、Gaメタル7のメタルボート6を900℃に、基板ホルダ9を510℃に加熱した。さらに、HCl導入管4から水素キャリアガスと共にHClガスを導入する一方、NH3導入管3から窒素キャリアガスと共にアンモニアガスを導入した。そして、HCl導入管4内でHClガスとGaを反応させてGaClを生成させ、このGaClとアンモニアガスとをサファイア基板上で反応させてGaNよりなるバッファ層を30nmの膜厚で成長させた。
図4は、実施例3で製造した窒化物系半導体発光素子を示す構造断面図である。
この窒化物系半導体発光素子20は、GaN自立基板11上に、順に、n−GaN層12、InGaN井戸層14とGaN障壁層15とを交互に形成した多重量子井戸構造13、p−AlGaNクラッド層16、p−GaNコンタクト層17を設け、GaN自立基板11側に負電極18、p−GaNコンタクト層17側に正電極19を形成したものである。
まず、周知の有機金属原料として、トリメチルガリウム(TMG),トリメチルアルミニウム(TMA),トリメチルインジウム(TMI),ビスシクロペンタジエニルマグネシウム(Cp2Mg)を用いた。ガス原料として、アンモニア(NH3),シラン(SiH4)を用いた。また、キャリアガスとして、水素及び窒素を用いた。
上記の原料及びキャリアガスを用いて、実施例1及び実施例2で得られたGaN自立基板11上に、1050℃にて、Siを1×1019cm−3ドープしたn型GaN層12を4μmの膜厚で成長させた。
次に、活性層として、厚さ3nmのアンドープIn0.1Ga0.9N井戸層14を3層、厚さ10nmのアンドープGaN障壁層15を4層交互に形成した多重量子井戸構造(MQW)13を有するアンドープInGaN系活性層を800℃で成長させた。
更に、その上に、p型Al0.1Ga0.9Nクラッド層16、p型GaNコンタクト層17を順に形成し、最後に、GaN自立基板11側に負電極18、p−GaNコンタクト層17側に正電極19を形成した。
これに対して、第1のGaN層の成長速度を600μm/時として作製したGaN自立基板(条件No.4)、及び、第1のGaN層の膜厚を5μmとして作製したGaN自立基板(条件No.5)を用いて製造した窒化物系半導体発光素子20の発光出力は約2mW程度となり、大幅に低下した。
また、窒化物系半導体発光素子20の発光出力はおよそGaN自立基板の転位密度と相関関係があり、転位密度が低いほど発光出力が上がっていることが分かる。
まず、基板ホルダ9に下地基板8として2インチφのサファイア基板を固定し、石英からなるメタルボード6にGaメタル7を配置した。次に、Gaメタル7のメタルボート6を900℃に、基板ホルダ9を510℃に加熱した。さらに、HCl導入管4から水素キャリアガスと共にHClガスを導入する一方、NH3導入管3から窒素キャリアガスと共にアンモニアガスを導入した。そして、HCl導入管4内でHClガスとGaを反応させてGaClを生成させ、このGaClとアンモニアガスとをサファイア基板上で反応させてGaNよりなるバッファ層を30nmの膜厚で成長させた。
成長後、作製したウェーハをHVPE反応炉10から取り出し、ウェーハを研磨装置に移送し、ダイヤモンド研磨剤を用いて、サファイア基板側をラッピングし、サファイア基板とバッファ層とを除去した。続いて、さらに細かいダイヤモンド研磨剤を用いてポリシングして、膜厚270μmのGaN自立基板を得た。
図6に、表面のピット数とクラックの発生頻度との関係を示す。
図6の結果より、表面のピット数を100個/cm2以下とすることにより、クラックの発生頻度が大幅に低下していることが分かった。
以上述べた実施例においてはアンドープGaN自立基板の例について説明したが、これには限定されず、Si等をドープしたn型GaN自立基板やMg等をドープしたp型GaN自立基板、更には、窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)や窒化ガリウムインジウム(InGaN)等の3元混晶の窒化物系単結晶自立基板についても同様に適用することができる。これらの窒化物半導体基板は、自立できハンドリングに不便がないようなものとするため、異種基板上に成長させる第1の窒化物系半導体層と第2の窒化物系半導体層との総膜厚は100μm以上とすることが好ましい。また、n型またはp型とする場合には、キャリア密度が1×1020cm−3以下の範囲であることが望ましい。
2 ヒータ
3 NH3導入管
4 HCl導入管
5 ドーピング管
6 メタルボード
7 Gaメタル
8 下地基板
9 基板ホルダ
10 HVPE反応炉
11 GaN自立基板
12 n−GaN層
13 多重量子井戸構造
14 InGaN井戸層
15 GaN障壁層
16 p−AlGaNクラッド層
17 p−GaNコンタクト層
18 負電極
19 正電極
20 窒化物系半導体発光素子
Claims (4)
- サファイア基板上にGaNからなり、30nm厚のバッファ層を成長させる工程と、前記バッファ層を有する前記サファイア基板の温度を1050℃に上昇させ、前記バッファ層上に、50μm/時以上500μm/時以下の成長速度、0.1時間以上3時間以下の成長時間で10μm以上の膜厚の第1のGaN層を成長させる工程と、前記第1のGaN層の成長温度と同一の成長温度で、前記第1のGaN層上に、600μm/時以上の成長速度で第2のGaN層を成長させる工程とを備える窒化物系半導体基板の製造方法。
- 前記第1のGaN層の成長速度が300μm/時以下である請求項1記載の窒化物系半導体基板の製造方法。
- 前記第1のGaN層を成長させる工程及び前記第2のGaN層を成長させる工程は、ハイドライド気相成長法により行われる請求項1記載の窒化物系半導体基板の製造方法。
- 前記第1のGaN層を膜厚が25μm以上になるように成長させる請求項1記載の窒化物系半導体基板の製造方法。
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