JP4604408B2 - Ld励起レーザ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は従来のランプ励起に代わり、高出力半導体レーザ(以下LDと省略)を用いて励起する、高効率・高出力の端面励起型LD励起レーザ装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図5に従来の端面励起型LD励起レーザを示す。
【0003】
従来、空気中で高出力なレーザ装置を得ようとすると、YAGロッド36の発熱を押さえるため、例えば、LDレーザ照射器41を2つ設け、ミラー39を介して端面励起し、出力ミラー38とリアミラー37を用いて発振させていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、端面励起型LD励起レーザでは、熱によるレーザ媒体のクラック発生や、コート膜ダメージにより、平均出力が50Wを超えるレーザの実現は困難であった。また、50W級になると、レーザ媒体もLDビーム照射部がかなりの高温となるため、熱レンズ効果により、出力安定性の低下やビームモードの劣化を防止することも困難であった。そして、LDスタックからのLDビームは縞状の長方形であるため、そのままレーザ媒体に端面照射すると、縞状の長方形のLD励起光となり、ビームモードも縞状となるため、丸い均質なLD励起ビームにすることが必要な場合もあった。さらに、一般のレーザ溶接では、50Wを超えるレーザをLD励起で実現しようとすると、かなり大きな構造体になり、微小ワーク溶接をするためには光ファイバと出射鏡筒を使用しなければならず、この光ファイバとレーザのカプリングや、光ファイバの扱いに専門ツールや専門技術・技能が必要なため、万一のトラブル時は専門家が対応せねばならないという問題点もあった。
【0005】
また、高出力を得るためにレーザ媒体を高速ジェット水流で冷却しようとすると、従来のレーザ媒体の保持方法では、ジェット水流の振動により、出力が変動するという問題点もあった。そして、小型にしようとすると、共振器長を短くせざるを得ないが、共振器長を短くすると、ビーム拡がり角が大きくなるため、集光性が落ち、小さなナゲットを得るのが困難になるという問題点もあった。
【0006】
本発明は、上記従来のような問題点を解決し、高出力・高安定な小型出射鏡筒型LD励起レーザを提供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために本発明は、複数のLDアレイバーと前記LDアレイバーの発散角が大きい出射光を同一光軸方向にラインコリメートするFAST方向用コリメートレンズとを積層して構成されたLDスタックと、前記LDスタックを出射した光を絞って平行光にするダウンコリメータと、前記平行光を入射させ前記LDアレイバーの配列方向と垂直な方向に凸形状を有するシリンドリカルレンズと、前記シリンドリカルレンズを通過した光を端面から入射させ、前記端面がレーザ発振波長の全反射コートされたレーザ媒体と、前記レーザ媒体の端面を含む部分を透明な流体で冷却する冷却手段と、中心に前記レーザ媒体の端部を配置しシリンドリカルレンズ側に開いた形状をしたコーン状ミラーと、前記透明な流体を前記コーン状ミラーの内壁から前記レーザ媒体供給する水路部と、で構成し、前記シリンドリカルレンズの出射光を前記コーン状ミラーに反射させ前記レーザ媒体の側面に照射するものである。
【0008】
これにより、熱の影響を回避することができ、高出力・高安定な小型出射鏡筒型LD励起レーザが得られる。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明の、LD励起レーザ装置について、以下幾つかの実施例を示しながら具体的に説明する。
【0010】
図1は、本発明の実施の形態に係るLD励起レーザ装置の上面図と側面図である。
【0011】
LDスタック1は、波長808nm、定格50W、1cm×1μmの発光面を有する複数のLDアレイバー2と、この出射光を同一光軸方向にラインコリメートするFAST方向用コリメートレンズ3を積層して構成されている。LDスタック1から出射される複数のラインコリメート光4を、平凸レンズ30と両凹レンズ31から構成されるダウンコリメータ5により、ビームサイズを小さくしている。そして、前記LDアレイバー2の配列方向と垂直な方向に凸形状をしたシリンドリカルレンズ6、透明ウインドウ8を介して、長方形LD光7を得て、YAGロッド9端面に照射する。
【0012】
YAGロッド9のLD励起部は水没しており、配管コネクタ10よりジェット水流11をYAGロッド9のLD励起部に当てることにより、高効率の水冷を実現している。そして、YAGロッド9のLD励起部端面には、レーザ発振波長1064nmのワイドレンジ全反射コートと808nmのワイドレンジARコートが、イオンアシスト法により複合コートされており、緻密かつ堅固で、水による波長シフトや、コート膜の劣化を極めて小さくしている。
【0013】
またYAGロッド9の側面には研磨を施して乱反射を防止し、端面から入射したLD光を、側面の研磨面の全反射作用を利用して閉じ込めることにより、LD励起効率をあげている。そして、YAGロッド9には、外周が45度テーパ、内周がYAGロッド9の外周と同曲率な形状で、硬質材料のアルミからなる2つ割した台形円錐体12を回転リングねじ13で締め付けている。これにより、ジェット水流をLD照射部にあててもふらつかず、時間変動の小さい安定したレーザ発振を実現している。
【0014】
なお、YAGロッド9はステンレスの円筒14内に配置され、円筒14の端面15は垂直に研磨されており、光軸センタ16を中心に2分配された位置の研磨面にタップ穴17が設けられている。そして、出力ミラー20の保持体18は、光軸センタ16を中心に4分配された位置で、各々対象にボールプランジャ19と、六角穴付ボルト22を配置し、出力ミラー20とYAGロッド9の全反射コート面23を平行にアライメントした後、レーザ出力パワーが最大になるように六角穴付ボルト22とボールプランジャ19の締め付け力を調整する。その後、レーザ出力変動が1%、望ましくは0.2%以下になるまで調整し、クリープによる出力低下の影響を軽減している。
【0015】
なお、出力ミラー20の出力コート面は、曲率が1mから5m程度の凹面の方がレーザ発振効率もあがり、またアライメント機構のクリープによる影響を受けにくく好適である。さらに、出力ミラー保持体18の光軸センタ上にアクロマティック集光レンズ21を配置して、レーザ溶接用に一般的に用いられる出射鏡筒形状にした後、LDスタック1も搭載することにより、ファイバレスな高集光溶接器を実現することも可能である。
【0016】
本発明によれば、300WのLDレーザポンプ時にデューティ比1/3のパルス駆動をさせた時に、平均50W、ピークパワー150Wと溶接や薄板金属の切断に十分なレーザパワーを得た。このときのLD光−励起レーザ光変換効率は、約50%であった。さらに、側面研磨したYAGロッドでLD光を封じ込めることにより、効率はさらに2〜3%UPした。
【0017】
これらにより、長方形から正方形、丸型のビームが手ごろに得られ、従来のLD励起レーザより遥かに小さく、安く、扱いやすく、長期、短期ともに従来の一般のパワーメータでは測定困難な程度(推定±0.1%)の高安定な小型高出力出射鏡筒型レーザを、提供することができた。
【0018】
本発明のさらに優れている点は、水没したYAGロッド端面に照射した形状通りのLD励起レーザビームが得られるので、LD照光7がライン状になるように平凸レンズ30と両凹レンズ31間の距離を調整することにより、高ピークのラインビームが得られる。そして、アクロマティック集光レンズ21で集光することにより、数十μm×0.2mm程度のナイフ状集光ビームが得られるため、0.2mm程度のタングステンワイヤを3800度という高融点にもかかわらず、瞬時に切断することができる。
【0019】
また、グリッド状のマルチビームをあてることにより、グリッド状ビームが得られるため、マルチ集光レンズで集光することにより、同時多点のグリッド状マイクロスポットが得られる。この同時多点のグリッド状マイクロスポットは数十ミクロンオーダの金属箔を接合に好適である。
【0020】
図2に、図1のLD励起レーザ装置において、丸型のLD励起レーザビームを得て、しかもビーム密度と品質を向上させたLD励起部の構成図を示す。
【0021】
図1のシリンドリカルレンズ6通過後のLD光が正方形になるように、平凸レンズと両凹レンズ間の距離を調整する。そして、図2に示すように、メガホン状カライド32に、正方形LD光の対角線と同じ直径で入射し、この正方形LD光の一辺と同じ直径で出射させることで、カライド効果により均質な丸型ビームLDビーム33を得ている。この出射光を隣接したYAGロッド9の端面23に照射すると、端面励起のLD励起レーザは、端面23から数mm間のLDレーザ吸収部で吸収された通りのLD励起ビームが得られるので、LD励起ビームも均質な丸型ビームとなる。すなわち、メガホン状カライドを追加して四角を丸に変換することにより、レーザパワーは同等であるが、丸に変換した分、ビーム密度が高くでき、従来の丸型ビームが必要な出射鏡筒の置き換えを実現している。
【0022】
図3に、図1のLD励起レーザ装置において、ビーム密度と品質を向上させたLD励起部の構成図を示す。
【0023】
ダウンコリメータの通過光7を、透明ウインドウを介して、1064nmの全反射コートと808nmのARコート端面に一部あてると共に、残りのLD光を45度近傍の傾きを有するコーン状ミラー40で反射させて、端面と側面でLD励起させることにより、均質な丸型状の励起レーザビームを得ている。
【0024】
なお、この場合、配管コネクタよりジェット水流11をコーン状ミラー40の水路部を切り欠いて、YAGロッド9のLD励起部に照射し、高効率の水冷をしている。
【0025】
上記において、励起光学レンズは丸型が一般的なので、LDからのビームは、正方形が最も、丸型光学系に対しスペース効率が良いのは自明である。よって、LDスタック発光ピッチは0.9mmの時、LDアレイバー幅が1cmであると(6+5)×0.9=9.9mmとなり、6個のバーのとき、ほぼ1cm角の正方形となるので、好適である。
【0026】
図4に、図1のLD励起レーザ装置において、ビーム密度を数倍に向上させた、LD励起部の構成図を示す。
【0027】
LDスタック1からのラインコリメートLD光4を、808nm用の1/λ波長板34にて、FAST方向の偏向光を90度回転し、図4のように、波長808nm用偏向ビームスプリッタ(以下PBSと略)を2つ貼り合わせた構成で、光を加算するPBS加算器33により、SLOW方向を半分にして倍密ビーム35を生成する。
【0028】
これによって、SLOW方向はPBS加算なしの時には、1cmライン状発光体の集光限界である1cm×1/3=3.3mmのビームサイズであるが、PBS加算によってさらに半分の1/6に集光される。そして、倍密ビーム35をYAGロッド9内のLD励起部で、FAST方向に1/6になるようにダウンコリメータ5を調整することにより、上記の実施例の1/4のLD励起レーザビームサイズになるので、1/4の集光スポット、4倍密度で集光が可能となる。
【0029】
また、均質かつ倍密度の長方形状LD励起ビームを得るために、発光部が約50%のLDスタックを2台、半ピッチずらして設け、インターリーブ加算器で加算して、均質な長方形LD照射光をつくるのも好適である。
【0030】
このように、数十ミクロンから100ミクロン程度の小さな集光スポットを得るために、SLOW方向用PBS加算器をLD照射光に設けることにより、1/4以下にLD励起レーザビームを小さくさせることが可能となる。
【0031】
さらに、PBS加算器やインターリーブ加算器により、励起ビームサイズを小さくするでき、共振器内部の光密度がかなり高くなるので、KTPやLBOなどの非線形結晶を共振器内部に配置することのより、高い効率の倍波発振が可能となる。
【0032】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、長時間の水没による波長シフトの影響を極力減らしたコートしたレーザ媒体をジェット水流で、LD励起部を照射することにより、高出力かつ、熱レンズ効果のないLD励起レーザが得られるという有利な効果が得られる。
【0033】
また、メガホン状カライドをLD照射部に配置することや、コーン状ミラーにより、均質な丸型ビームのLD励起レーザ光が得られ、さらに、SLOW方向用PBS加算器とアクロマティック集光レンズにより、数十ミクロン程度の小さな集光スポットが得られるという効果も得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係るLD励起レーザ装置の上面図と側面図
【図2】本発明の実施の形態に係るLD励起レーザ装置における丸型のLD励起レーザビームを得るLD励起部の構成図
【図3】本発明の実施の形態に係るLD励起レーザ装置における丸型のLD励起レーザビームを得るLD励起部の構成図
【図4】本発明の実施の形態に係るLD励起レーザ装置におけるビーム密度を数倍に向上させたLD励起部の構成図
【図5】従来の端面励起型LD励起レーザの構成図
【符号の説明】
1 LDスタック
2 LDアレイバー
3 FAST方向用コリメートレンズ
5 ダウンコリメータ
6 シリンドリカルレンズ
9 YAGロッド
12 台形円錐体
13 回転リングネジ
19 ボールプランジャ
20 出力ミラー
32 メガホン状カライド
33 PBS加算器
40 コーン状ミラー
Claims (10)
- 複数のLDアレイバーと前記LDアレイバーの出射光を同一光軸方向でビームの発散角が大きい方向(以下FAST方向)にラインコリメートするFAST方向用コリメートレンズとを積層して構成されたLDスタックと、前記LDスタックを出射した光を絞って平行光にするダウンコリメータと、前記平行光が入射し前記LDアレイバーの配列方向と垂直な方向に凸形状を有するシリンドリカルレンズと、前記シリンドリカルレンズを通過した光が入射するレーザ媒体と、前記レーザ媒体の端面を含む部分を透明な流体で冷却する冷却手段とを有し、前記レーザ媒体の端面から光が入射し、前記レーザ媒体の端面にレーザ発振波長を反射する全反射コートと、中心に前記レーザ媒体の端部を配置しシリンドリカルレンズ側に開いた形状をしたコーン状ミラーと、前記透明な流体を前記コーン状ミラーの内壁から前記レーザ媒体に供給する水路部と、で構成し、前記シリンドリカルレンズの出射光を前記コーン状ミラーに反射させ前記レーザ媒体の側面に照射することを特徴とするLD励起レーザ装置。
- 前記透明な流体が水であることを特徴とする請求項1に記載のLD励起レーザ装置。
- 前記レーザ媒体の側面が研磨されていることを特徴とする請求項1、2のいずれかに記載のLD励起レーザ装置。
- 前記コーンの角度が前記レーザ媒体に対し45度であることを特徴とする請求項1〜3に記載のLD励起レーザ装置。
- 前記全反射コートは、前記透明な流体中で発振波長に対して全反射し、かつ、LD励起光に対して反射防止コートであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のLD励起レーザ装置。
- 前記全反射コートは、イオンアシストコート法により形成したことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のLD励起レーザ装置。
- 前記レーザ媒体と同軸上に配置した出力ミラーと、前記出力ミラーを保持する出力ミラー保持部と、前記出力ミラー保持部の中心に対し4分配された位置のそれぞれ対向する部分にプランジャとねじとを有したことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のLD励起レーザ装置。
- 前記出力ミラーからの出射光の光軸上に配置した集光レンズを有することを特徴とする請求項7に記載のLD励起レーザ装置。
- 前記レーザ媒体を保持し、内周が前記レーザ媒体の外周と同曲率で、外周がテーパ形状で2つ割りしたレーザ媒体保持部と、前記レーザ媒体保持部のテーパ部を押圧して固定するレーザ媒体固定部とを有することを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載のLD励起レーザ装置。
- 前記ビームの発散角が小さい方向(以下SLOW方向)の長さを1/2以下にするSLOW方向用偏向ビームスプリッタ加算器を前記LDアレイバーの照射光側に設け、前記ダウンコリメータでFAST方向長さもSLOW方向に合わせて集光して、元レーザビームサイズの1/4以下の集光スポットのLD励起ビームを得ることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載のLD励起レーザ装置。
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