JP4604331B2 - 薄膜付き基材の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基材が巻き状物として供給され、薄膜形成領域と、基材供給および/または基材回収領域を含む2以上の圧力領域を用いて基材に薄膜を形成する薄膜付き基材の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
プラスチックフィルムなどシート状基材に薄膜を形成する方法として真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、CVD法などが一般的に利用されている。これらの方法は真空雰囲気内に膜材料を拡散させ堆積させるプロセスを採るため、真空チャンバーを用いて、薄膜形成条件で決まる圧力以下に減圧して薄膜形成するプロセスとなる。
【0003】
例えば、図4に一般的な巻き状物基材用の真空蒸着プロセスの概要を示す。真空チャンバは基材供給および基材回収領域2と蒸着領域1で構成され、各領域は隔壁11により隔てられている。基材6は原反ロール5から巻き出され、クーリングドラム7上に巻き付けられながら蒸着領域1に入り、基材6上に薄膜が形成される。その後基材供給/回収領域2に入り、ロール状に巻き取られる。
【0004】
しかし、これら真空チャンバ内の圧力が低い場合、例えば1Pa以下の圧力雰囲気に、数kV以上の電位差がある2物体が近接している場合、その2物体間においてスパーク状の放電が起こることがある。特に基材が巻き状物の場合、基材のロールから基材が巻き出されるとき、あるいは基材がロールに巻き取られるときに、基材あるいは薄膜の帯電により、その巻き出し部(巻き出し時に基材がロールから剥離する部位のロールと基材の間の空間)または巻き取り部(巻き取り時に基材がロールに接触する部位のロールと基材の間の空間)でスパーク状の放電が発生しやすい。このようなスパーク状の放電が基材や薄膜上で発生した場合、基材が局所的に強く帯電してその部分で薄膜未形成となる膜抜け欠点が生じたり、薄膜自体が放電の物理的ダメージを受け、局所的な膜質劣化を起こす問題がある。また例えばフィルムなどの薄い基材の場合、帯電によりしわが発生し、製品上の形状欠陥を引き起こしたり、このしわの影となる部分に薄膜が形成されない欠点を引き起こす問題もある。またスパーク状の放電発生により電磁波ノイズが発生し、周囲の測定・制御機器を誤動作させる恐れもある。
【0005】
これらの問題の対策の一つとして、スパーク放電で発生した基材上の帯電を除去する方法が挙げられる。例えば特公昭60−046181号公報に、非薄膜形成面をグロー放電雰囲気に曝す蒸着方法が、また特開平11−238595号公報では放電しやすい気体雰囲気条件下での自己放電式の除電方法が示されている。但しこれらの方法では、帯電により発生する膜抜けやしわは抑制できるが、放電のダメージとして起こる膜質劣化や機器の誤動作は防ぐことができない。
【0006】
また放電の原因となる基材や薄膜の帯電をあらかじめ除去する対策として、特開平6−128745号公報では薄膜形成直後に正イオンを供給し、薄膜部の帯電を除電し、冷却ドラム剥離部での放電を抑制する方法が示されている。しかし、この方法にはイオン供給装置の設置が必要であり、設置できるスペースが制限されてしまう、設備コストやメンテナンスが必要となる、などの欠点がある。
【0007】
さらに特開平10−72532号公報では、薄膜形成直後において冷却ドラムと基材との剥離点に向けて整流板によりガスを流し、プラズマを形成することで基材の帯電を除去し、基材と冷却ドラムのはり付きを減らす方法が示されている。但しこの方法では、本発明の課題である巻き状物基材の巻き出し部や巻き取り部での放電抑制はできない。またこの方法を上記巻き出し部や巻き取り部に適用しようとしても、薄膜形成が進むにつれてロール径が変わるため、整流板の可動装置が必要となり、設置や制御のためのコストがかかる問題がある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、これら従来技術の欠点を補い、既に発生したスパーク状の放電により生じた帯電を除去するのではなく、スパーク状の放電自体を起こりにくくする、あるいは無害な放電状態にするために雰囲気を制御することにより、膜質や品質を損なわず、かつ設備トラブルを起こしにくい薄膜付き基材の製造方法を提供することを目的とする。さらに電極や電源を必要とせず、また設置位置の制限を受けない簡便かつ安価に上記方法を実現することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明によれば、プラスチックフィルムである基材を薄膜形成領域と基材供給および/または基材回収領域とを含む2以上の圧力領域内にて搬送しつつ前記基材に薄膜を形成する薄膜付き基材の製造方法であって、前記基材供給領域における前記基材がロール状態から巻き出されるときの巻き出し部近傍および/または前記基材回収領域における前記基材がロールとして巻き取られる巻き取り部近傍にガスを供給することにより、ガス供給を受けた部位近傍の圧力(P)を1≦P≦10,000Paとすることを特徴とする薄膜付き基材の製造方法が提供される。
【0010】
また、本発明の別の形態によれば、プラスチックフィルムである基材を薄膜形成領域と基材供給および/または基材回収領域とを含む2以上の圧力領域内にて搬送しつつ前記基材に薄膜を形成する薄膜付き基材の製造方法であって、前記基材供給領域における前記基材がロール状態から巻き出されるときの巻き出し部近傍および/または前記基材回収領域における前記基材がロールとして巻き取られる巻き取り部近傍にガスを供給し、ガス供給を受けた部位近傍でのスパーク状の放電がなくなるようにガス供給量をコントロールすることを特徴とする薄膜付き基材の製造方法が提供される。
【0012】
また、本発明の好ましい形態によれば、ガスを供給する部位は、ガスを供給しない場合における圧力が1Pa以下であることを特徴とする薄膜付き基材の製造方法が提供される。
【0013】
また、本発明の好ましい形態によれば、薄膜形成手段が真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法のいずれかであることを特徴とする薄膜付き基材の製造方法が提供される。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の原理とともに望ましい実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本発明はこれに限定されるものではない。
【0016】
放電の形態として、スパーク状放電、グロー状放電、コロナ放電等がある。なお、本発明で言うスパーク状放電は火花放電とも呼ばれるもので、雷状の閃光を伴う断続的な放電のことを指す。またグロー放電は、雷状の閃光は伴わない連続的な発光領域を伴う放電である。これらの形態は雰囲気の圧力条件により変化する。例えば1〜10,000Pa程度の減圧下では特に放電が起こりやすい圧力範囲であることが知られている。特に1〜1,000Paの圧力範囲では、電子の平均自由工程が長くなるとともに、電離によりイオン源となる残留気体分子が充分存在しており、低い電圧でも放電を起こしやすく、グロー状の放電を形成する。
【0017】
これより圧力が低くなる、つまり1Pa以下の低圧力雰囲気の場合、残留気体分子の減少により放電開始電圧が上昇し、また電子の平均自由工程も長くなることで、スパーク状の放電が起こりやすくなる。
【0018】
また10,000Pa以上の大気圧付近の圧力になると、電子の平均自由工程が短く、高い電圧でなければ放電しなくなり、断続的なコロナ放電を形成しやすいが、巻き出される基材と基材ロールとの間に数kV以上の大きな電位差がある場合、スパーク状の放電を起こすことがある。
【0019】
従って、スパーク状の放電は前述の通り帯電や傷などの影響を残すため、圧力雰囲気は1〜10,000Paの圧力に制御することが好ましい。しかし、薄膜形成プロセスにおいては、薄膜形成条件に影響があり、特に薄膜形成領域の圧力は、薄膜形成方法や薄膜材料によって異なるが、真空蒸着法の場合0.001〜0.01Pa程度の範囲において高精度に制御されているため、簡単に圧力条件を変えることはできない。
【0020】
たとえ薄膜形成領域と、基材供給または基材回収領域というように2以上の圧力領域に真空室が分けられ、ポンプなどの排気系が独立している場合において、薄膜形成領域以外の領域の圧力を変える場合においても、1桁以上の圧力変更を試みようとすれば、薄膜形成領域の圧力にも影響が出てしまい、簡単に圧力を変更することはままならない。
【0021】
そこで本発明では、スパーク状の放電が起こりやすい箇所に局所的にガスを供給することで、圧力を局所的に1〜10,000Paの範囲に制御することにより、スパーク状の放電発生を抑制しようとするものである。但し、薄膜形成領域については本技術を適用する場合、薄膜形成部分での圧力変化があるため好ましくなく、薄膜形成領域以外の真空領域で適用するのが好ましい。
【0022】
特に基材が巻き状物の場合、基材がロール状態から巻き出されるときの巻き出し部、あるいは基材がロール上に巻き取られるときの巻き取り部で放電が発生しやすく、その部分にガスを供給し、該部分の圧力を1〜10,000Paに制御することが放電抑制に有効である。特に1〜1,000Paがグロー放電になりやすいので好ましい。
【0023】
ガス導入手段は、例えば図1に示すように、ガス供給源13からガス配管15、ガス供給用バルブ14を介してガスノズル12より放電箇所に供給するという非常に簡単な構成で実現可能である。放電箇所の雰囲気を上記圧力範囲に制御するため、ガスを吹き付けている部分の圧力を圧力計で測定することが望ましいが、装置上の制限やコストアップを避けたい場合には、放電状態を目視やビデオカメラなどの撮影手段を通して確認しながら、放電がグロー状になるようガス供給用バルブ14でガス流量を調整することでも本発明は実現可能である。
【0024】
また、基材または薄膜の少なくとも一方が絶縁体である場合、該絶縁体部分での帯電が放電の要因となる可能性があるため、本発明の対象として好ましい。
【0025】
基材は、プラスチックフィルムである。プラスチックフィルムは絶縁性が高く帯電しやすい。さらに通常巻状物として加工されるため、積層時に帯電電荷も蓄積され、より大きな表面電位をなし、放電を起こしやすい。そのためプラスチックフィルムは本発明を適用するにあたり、最も効果を発揮する対象物である。具体的にはポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム、ポリイミドフィルム、アラミドフィルム、ポリエチレンフィルムなどが例示できるが、特に限定されるものではない。
【0026】
さらに供給するガスとしてはアルゴン、ヘリウム、窒素、二酸化炭素等の不活性ガスや酸素、空気等から適宜選択できる。また、これら2種類以上の混合ガスなども適用可能である。
【0027】
また、本発明は1Pa以下で起こりやすいスパーク状放電に対して特に効果的であるため、スパーク状放電が起こっている部分、あるいはその部分を含む真空チャンバ内の圧力が1Pa以下であれば、ガスを導入することによる効果を発揮する。
【0028】
ガス流量については、あまり大量のガスを流入させると、薄膜形成領域の真空状態が維持できないとともに、あまり少量であると圧力を変化するに至らないため、上記両要請を満足しうるよう適宜設定すればよい。
【0029】
薄膜形成方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、CVD法などが挙げられるが、一般的に1Pa以下の圧力条件で薄膜形成を行う真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法についてはスパーク状の放電が起こりやすい圧力条件であり、本発明を適用する対象として好ましい。
【0030】
なお、ガスを吹きつけている部分の圧力は市販の真空計、例えばダイアフラム式、容量マノメータ式、電離式、ピラニゲージ、熱電対ゲージ、あるいはそれらの組合せにより測定可能である。
【0031】
また、ガスを吹きつけている部分でグロー放電が発生している場合、この発光状態によりガス圧を推定できる。すなわちガイスラー管を用いて圧力を測定するように、ガス種に依存する発光色によりおおよその圧力値を推定できる。例えば空気を導入する場合、赤紫あるいは赤みを帯びた桃色であれば100〜10,000Pa、薄い桃色であれば1〜100Paのオーダであると推測できる。
【0032】
【実施例】
以下に本発明の望ましい実施例を図面を参照しながら説明する。
実施例1
図1は、本発明の一実施例にかかるプラスチックフィルムの真空蒸着装置を示している。図において1は薄膜形成領域、2は基材供給/巻き取り領域を示している。薄膜形成領域1内には蒸着材料3が収納されている蒸着材料蒸発源4が設けられている。蒸着材料蒸発源4は抵抗加熱により蒸着材料3を溶融し蒸発させるようになっている。
【0033】
基材供給/巻き取り領域2内のフィルム巻き出し原反ロール5からプラスチックフィルム6が巻き出されるようになっている。巻き出されたプラスチックフィルム6は、クーリングドラム7により冷却されつつ蒸着材料蒸発源4から蒸発された蒸着材料3が蒸着され、さらにプラスチックフィルム6はフィルム巻き取りロール8として巻き取られるようになっている。
【0034】
本実施例では、前記巻き出し原反ロール5からプラスチックフィルム6が巻き出されるその巻き出し部に向けて、原反ロール側面近傍にノズル12を設置した。ガスボンベ13にはアルゴンガスを封入したものを用いた。ガス供給用バルブ14を閉じた状態から徐々に開いていき、ガスを導入した部分の圧力を測定するようその近傍に設置したピラニゲージ16の測定値が10Paとなるよう、ガス供給用バルブ14を調整した。巻き出し部では原反ロール5とプラスチックフィルム6の間では、バルブを閉じた状態では図3に示すようなスパーク状の放電21を観測したが、バルブを開き圧力が10Paとなったときには、図2に示すようなグロー放電領域22を観測した。蒸着後のプラスチックフィルムは均一に蒸着されていた。
比較例1
図1との構成で、ノズル12からガスを導入しないこと以外は、実施例1と同じ条件でプラスチックフィルムへの蒸着を実施した。基材供給/巻き取り領域の圧力は0.1Paであった。このとき、巻き出し部では原反ロール5とプラスチックフィルム6の間で、図3に示すようなスパーク状の放電21が発生した。蒸着後のプラスチックフィルムには、雷状の形をした蒸着未形成部分が存在した。
【0035】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明により、スパーク状の放電を起こりにくくする、あるいは無害な放電状態にするために雰囲気を制御することにより、膜質や品質を損なわず、かつ設備トラブルを起こしにくい薄膜付き基材の製造方法を提供することができる。さらに新たな電極や電源の追加を必要とせず、また設置位置の制限を受けないため、簡便かつ安価に上記方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係る巻き状物シートの真空蒸着装置の概略図である。
【図2】本発明の一実施例に係る、巻き状物シート巻き出し部での放電の様子を示した概略図である。
【図3】比較例に係る、巻き状物シート巻き出し部での放電の様子を示した概略図である。
【図4】従来の巻き状物シートの真空蒸着装置の概略図である。
【符号の説明】
1 :薄膜形成領域
2 :基材供給/巻き取り領域
3 :蒸着材料
4 :蒸着材料蒸発源
5 :原反ロール
6 :プラスチックフィルム
7 :クーリングドラム
8 :巻き取りロール
9 :真空ポンプ
10:バルブ
11:隔壁
12:ノズル
13:ガスボンベ
14:ガス供給用バルブ
15:管路
16:圧力計(ピラニゲージ)
21:スパーク状放電
22:グロー放電領域
Claims (4)
- プラスチックフィルムである基材を薄膜形成領域と基材供給および/または基材回収領域とを含む2以上の圧力領域内にて搬送しつつ前記基材に薄膜を形成する薄膜付き基材の製造方法であって、前記基材供給領域における前記基材がロール状態から巻き出されるときの巻き出し部近傍および/または前記基材回収領域における前記基材がロールとして巻き取られる巻き取り部近傍にガスを供給することにより、ガス供給を受けた部位近傍の圧力(P)を1≦P≦10,000Paとすることを特徴とする薄膜付き基材の製造方法。
- プラスチックフィルムである基材を薄膜形成領域と基材供給および/または基材回収領域とを含む2以上の圧力領域内にて搬送しつつ前記基材に薄膜を形成する薄膜付き基材の製造方法であって、前記基材供給領域における前記基材がロール状態から巻き出されるときの巻き出し部近傍および/または前記基材回収領域における前記基材がロールとして巻き取られる巻き取り部近傍にガスを供給し、ガス供給を受けた部位近傍でのスパーク状の放電がなくなるようにガス供給量をコントロールすることを特徴とする薄膜付き基材の製造方法。
- ガスを供給する部位は、ガスを供給しない場合における圧力が1Pa以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の薄膜付き基材の製造方法。
- 薄膜形成手段が真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法のいずれかであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の薄膜付き基材の製造方法。
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