JP6574563B2 - 電子部材用フィルムの製造方法およびフィルム搬送方法 - Google Patents
電子部材用フィルムの製造方法およびフィルム搬送方法 Download PDFInfo
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Description
e 1 =(e−1)÷10−4 (1)
で表される値e 1 が5.1〜5.8である。この中でも、特に5.3〜5.6が好ましい。比誘電率が低すぎる場合には、電荷の拡散がスムーズに行われず、剥離放電が発生する可能性が高くなる。一方、比誘電率が高すぎる場合には、導入ガスの影響を受けてフィルム剥離箇所でグロー放電が起こりやすくなるため好ましくない。グロー放電は、クラックを引き起こすようなアーク放電ではないが、パッシェン則といわれる経験則より、グロー放電が起こっていることは、フィルム間の電位差が放電開始電圧以上になっている可能性を示すものであり、本発明における剥離放電の抑制を達成することが困難となる。
ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(厚み:50μm)の片面にポリアクリル樹脂からなるハードコート層を1μmの厚みで形成し、反対面にはインデックスマッチング層を形成した。インデックスマッチング層は、アクリル樹脂(商品名:ダイヤナールBR−102、三菱レイヨン製)をメチルセロソルブに溶解した。固形分濃度は30重量%とした。この樹脂溶液に、酸化チタン(商品名:チタニア粒子TECNAPOW−TIO2、エアブラウン製)を、アクリル樹脂に対して4重量%添加して十分に撹拌して得た樹脂溶液を1マイクロメートルの厚みに塗布し、125℃で15分間乾燥させることで、0.3マイクロメートル厚のインデックスマッチング層を形成した。
上記のロールを、ロールトゥロール設備の駆動軸にセットし、ガイドロールを通して通紙したのち、チャンバーの真空引きを実施した。電離真空計の圧力が5×10−4Paを下回ったところで、実施例1〜9、比較例1〜4および参考例1〜2のガスを合計50sccmの流量で流し、フィルム剥離箇所に向けて噴霧した。
101:剥離放電抑制ガス
200:フィルムロール
201:フィルム(矢印が搬送方向)
301:駆動軸
302:ガイドロール
Claims (8)
- ロール状フィルムの繰り出しから繰り出されたフィルムへの薄膜形成までの工程を減圧チャンバー内で連続的に行って電子部材用フィルムを製造する方法において、
前記ロール状フィルムから前記フィルムが剥離される近傍に、5.0×10−4〜2.0×10−1体積%の水、50体積%未満の酸素、および残部が窒素からなるガスを噴霧する電子部材用フィルムの製造方法。 - ロール状フィルムの繰り出しから繰り出されたフィルムへの薄膜形成までの工程を減圧チャンバー内で連続的に行って電子部材用フィルムを製造する方法において、
前記ロール状フィルムから前記フィルムが剥離される近傍に、5.0×10−3〜2.0×10−1体積%の水、30体積%未満の酸素、および残部がアルゴンからなるガスを噴霧する電子部材用フィルムの製造方法。 - 前記噴霧するガスが1〜25体積%の酸素を含む、請求項1または2に記載の電子部材用フィルムの製造方法。
- 前記フィルムの表裏面は、非対称組成および/または非対称構造であり、屈折率と膜厚の積である光学膜厚の制御を目的とする層が表裏の各面に1層以上形成されている請求項1〜3のいずれかに記載の電子部材用フィルムの製造方法。
- 前記ロール状フィルムから前記フィルムが剥離される近傍では、前記フィルムの幅方向に沿って略均等に前記ガスが噴霧される請求項1〜4のいずれかに記載の電子部材用フィルムの製造方法。
- 前記ロール状フィルムから前記フィルムが剥離される近傍では、前記フィルムの幅方向に沿って、両端部分に中央部分よりも多くの前記ガスが噴霧される請求項1〜4のいずれかに記載の電子部材用フィルムの製造方法。
- ロール状フィルムの繰り出しから繰り出されたフィルムへの薄膜形成までの工程を減圧チャンバー内で連続的に行うフィルム搬送方法において、
前記ロール状フィルムから前記フィルムが剥離される近傍に、5.0×10−4〜2.0×10−1体積%の水、50体積%未満の酸素、および残部が窒素からなるガスを噴霧する搬送方法。 - ロール状フィルムの繰り出しから繰り出されたフィルムへの薄膜形成までの工程を減圧チャンバー内で連続的に行うフィルム搬送方法において、
前記ロール状フィルムから前記フィルムが剥離される近傍に、5.0×10−3〜2.0×10−1体積%の水、30体積%未満の酸素、および残部がアルゴンからなるガスを噴霧する搬送方法。
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JP4604331B2 (ja) * | 2000-10-20 | 2011-01-05 | 東レ株式会社 | 薄膜付き基材の製造方法 |
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