JP4596990B2 - 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、微細な吐出口から記録液の液滴を吐出して記録媒体に記録を行なう液体噴射記録ヘッドとその製造方法に関する。

液体噴射記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置であり、高速で様々な記録媒体に対して記録することが可能であり、記録時における騒音がほとんど生じないという特徴を有している。このようなことから、液体噴射記録装置は、プリンタ、ワードプロセッサ、ファクシミリ、複写機などの記録機能を担う装置として広く採用されている。

この種の液体噴射記録装置で用いられる液体噴射記録方式の代表的な例としては、吐出エネルギー発生素子として電気熱変換素子を用いる方式がある。この方式は、熱エネルギーを利用して微小な吐出口から記録液の液滴を吐出して記録媒体に記録を行なうものであり、一般に、液滴を形成するための吐出ノズルを持つ液体噴射記録ヘッドと、この液体噴射記録ヘッドに対して記録液を供給する記録液供給システムとが用いられる。この液体噴射記録ヘッドは加圧室内に電気熱変換素子を有しており、記録信号である電気パルスを電気熱変換素子に印加して発熱させることによって、周囲の記録液に熱エネルギーを与え、その時の記録液の相変化により生じる記録液の発泡時（沸騰時）の気泡圧力を利用して、記録液滴を吐出するものである。

さらに、電気熱変換素子を有する液体噴射記録ヘッドには、電気熱変換素子が配列された基板に対して平行に記録液を吐出する方式（エッジシューター方式）のものと、電気熱変換素子が配列された基板に対して垂直に記録液を吐出する方式（サイドシューター方式）のものとがある。

図１３は、一般的な電気熱変換素子が配列され記録液を吐出する機能を有する基板（以下、「記録素子基板１０１」という。）を示す図であり、図１３（ａ）はその平面図、図１３（ｂ）は底面図、図１３（ｃ）は側面図である。また、図１４は、図１３に示す記録素子基板１０１がフレキシブル配線ケーブル１１１に接続されて構成された記録素子ユニット１２０を示す図である。

図１３に示すように、記録素子基板１０１の基板１０２には、その裏面から記録液を供給するための貫通穴（記録液供給口）１０３が形成され、基板１０２の表面には、記録液に吐出エネルギーを付与するための記録素子（電気熱変換素子）１０４（図１５（ｂ）参照）が、貫通穴１０３の両側にそれぞれ複数配列されている。また、基板１０２上には吐出プレート１０５が接合されており、この吐出プレート１０５には、複数の電気熱変換素子１０４にそれぞれ対向するように複数の吐出口１０６が形成されている。そして、基板１０２の表面の両端部には複数の電気熱変換素子にそれぞれ電気的に接続された複数の電極パッド１０７が配置されている。

また、図１４に示すように、記録素子基板１０１に設けられた複数の電極パッド１０７と、フレキシブル配線ケーブル１１１に設けられた複数の電極リード１１３とが、例えばＴＡＢ（Tape Automated Bonding）技術等を利用して接続されて、記録素子ユニット１２０が構成されている。この電極パッド１０７と電極リード１１３の接続部は、記録液による腐食やワイピングなどの外部から作用する力による断線から保護されるように、全体が第２の封止樹脂１１９によって被覆されて保護されている。

図１５は、図１４に示す記録素子ユニット１２０が組み込まれた従来の液体噴射記録ヘッドの一例を示す図であり、図１５（ａ）はその外観斜視図、図１５（ｂ）は図１５（ａ）のＨ−Ｈ線に沿う断面の部分拡大図である。

図１５に示すように、支持部材１０８の上面に記録素子基板１０１と支持板１０９が、支持板１０９の上面にフレキシブル配線ケーブル１１１が、接着剤１２３によりそれぞれ接着されて固定されている。また、支持部材１０８の一側面には、記録装置本体側から液体噴射記録ヘッドへ記録情報などの電気信号を与えるための外部入力パッド１１５が設けられている第２の配線基板１１６が固定されて保持されている。第２の配線基板１１６と各記録素子基板１０１とは、フレキシブル配線ケーブル１１１を介して電気接続されている。

そして、図１５（ｂ）に示すように、支持板１０９と記録素子基板１０１との間の隙間１１７に、記録液による腐食および記録液を介してのショートを防止するために、第１の封止樹脂１１８が充填されている。

図１６は、従来の他の液体噴射記録ヘッドの断面図である。

図１６に示す液体噴射記録ヘッドでは、図１３〜１５に示す構成と同様に、基板１０２に、貫通穴（記録液供給口）１０３と、吐出エネルギーを発生する複数の記録素子（例えば電気熱変換素子など）１０４と、複数の電極パッド（不図示）が設けられ、基板１０２上には、複数の吐出口１０６が形成されている吐出プレート１０５が接合されている。そして、支持部材１０８の上面には支持板１０９と記録素子基板１０１が接着されて固定され、支持板１０９の上面には、フレキシブル配線ケーブル１１１のベースフィルム１２４がレジスト１２５を介して接着されて固定されている。記録素子基板１０１の電極パッド（不図示）とフレキシブル配線ケーブル１１１の電極リード（不図示）は接続されている。

支持板１０９と記録素子基板１０１との間の隙間１１７には、記録液による腐食および記録液を介してのショートを防止するために、第１の封止樹脂１１８が充填されている。さらに、図示しないが、記録素子基板１０１の電極パッドとフレキシブル配線ケーブル１１１の電極リードとの接続部は、第２の封止樹脂により被覆保護されている。また、支持板１０９上に接着固定されたフレキシブル配線ケーブル１１１の外周部は、記録液による腐食を防止するために第３の封止樹脂１２７により被覆されて保護されている。

このような第１の封止樹脂１１８と第２の封止樹脂を使用した樹脂封止構造は特許文献１にも開示されている。

特許文献１に記載されている構成では、図１７に示すように、支持板１０９の開口部１０９ａの内周縁部と記録素子基板１０１の外周縁部との間の隙間に、硬化後に弾性を有する第１の封止樹脂１１８が充填されている。そして、記録素子基板１０１の電極パッド１０７とフレキシブル配線ケーブル１１１の電極リード１１３の接続部が、硬化後に強固な接着力を持ち、かつ硬く、塗布形状を保ち、接続部を十分に覆うことができる第２の封止樹脂１１９で被覆されている。

このように構成された液体噴射記録ヘッドによれば、第１の封止樹脂１１８は硬化後に弾性を有するものであるため、記録素子基板１０１の周囲の隙間を埋めるように十分な量の第１の封止樹脂１１８を充填しても、その硬化収縮による記録素子基板１０１の破壊、例えばクラック等の発生のおそれがない。さらに、記録素子基板１０１の電極パッド１０７とフレキシブル配線ケーブル１１１の電極リード１１３との接続部が、強固な第２の封止樹脂１１９で十分に被覆されるため、この接続部は、記録素子基板１０１の前面（吐出口１０６の形成面）をワイパで拭き取るワイピング等による外力から保護される。

第１の封止樹脂１１８としては、フレキシブル配線ケーブル１１１の開口部１１１ａおよび支持板１０９の開口部１０９ａと記録素子基板１０１の周囲との間の隙間に充填されて、電極リード１１３の裏側などの狭い空間にも回り込むように、流動性のよい樹脂、一般的にはシリコーン変性のエポキシ樹脂が好適に使用される。一方、第２の封止樹脂１１９としては、接続部をワイピング時などの外力から保護しつつワイパの破損も防ぐために、凹凸のある接続部を覆って平滑にすることができる、例えば熱硬化性のエポキシ樹脂、その中でも、硬化後に強固な状態になり、塗布後に硬化しても塗布形状を維持できる樹脂剤であるダム剤が最適である。

なお、このような樹脂封止は以下の手順で行なわれる。すなわち、まず、支持部材１０８上の支持板１０９の開口部１０９ａ内に記録素子基板１０１を配置する。そして、支持板１０９上にフレキシブル配線ケーブル１１１を配置し、電極パッド１０７と電極リード１１３を接続（ボンディング）する。

それから、第１の封止樹脂１１８を、支持板１０９の開口部１０９ａの内周縁部と記録素子基板１０１の外周縁部との間の隙間に充填する。次に、第１の封止樹脂１１８を仮硬化させる。これは、第１の封止樹脂１１８のガス抜きのためと、後述する第２の封止樹脂１１９の塗布時に、両封止樹脂の境界部において互いに溶け合うのを防ぐためである。

次に、第２の封止樹脂１１９を、電極パッド１０７と電極リード１１３の接続部を覆うように塗布して硬化させる。このとき、第２の封止樹脂１１９は、その両端部がフレキシブル配線ケーブル１１１の開口部の角隅部にある樹脂支持用突出部１３９上にそれぞれ位置するように塗布される。
特開２００２−１９１２０号公報

しかしながら、前述した従来の液体噴射記録ヘッドによると、図１８に示すように、第２の封止樹脂１１９とフレキシブル配線ケーブル１１１の間に剥離が生じる問題が生じる。図１８（ａ）は、第２の封止樹脂１１９の剥離が生じた状態の、電極リード１１３に平行な断面を示す図であり、図１８（ｂ）は、第２の封止樹脂１１９の剥離が生じる前の、電極リード１１３に垂直な断面を示す図であり、図１８（ｃ）は図１８（ｂ）の状態から第２の封止樹脂１１９の剥離が生じた状態を示す図である。

従来の液体噴射記録ヘッドにおいては、図１７，１８（ｂ）に示すように、第１の封止樹脂１１８の上でフレキシブル配線ケーブル１１１と第２の封止樹脂１１９が互いに密着するように配置されている。そして、第１の封止樹脂１１８の硬化収縮や実装工程中の加熱または冷却に伴う応力が、図１８（ａ），（ｃ）の矢印方向に作用すると、フレキシブル配線ケーブル１１１がこの応力を受けて引っ張られ、硬化済みの第２の封止樹脂１１９から剥離する。この剥離部分１１０が図１８（ａ），（ｃ）に示されている。このようにして、フレキシブル配線ケーブル１１１と第２の封止樹脂１１９との間に発生した剥離は、電極パッド１０７や電極リード１１３の接続部の位置まで伝播し、剥離部分１１０からインクが浸入することによって、短絡また接続遮断などの電気的な接続不良が発生する。

これに対し、図１７に示すように、フレキシブル配線ケーブル１１１の開口部１１１ａの角隅部（四隅部）に、第２の封止樹脂１１９の端部を置くための樹脂支持用突出部１３９を設けるのに加えて、図１９に示すように、支持板１０９の開口部１０９ａの角隅部（四隅部）に、樹脂支持用突出部１３９と重なるケーブル支持用突出部１４０を設ける構成が考えられる。この構成によると、図２０（ａ）に示すように、フレキシブル配線ケーブル１１１の樹脂支持用突出部１３９の大部分を支持板１０９のケーブル支持用突出部１４０にて支持し、第１の封止樹脂１１８にて支持する部分が小さくなる。その結果、第１の封止樹脂１１８からフレキシブル配線ケーブル１１９に加わる応力が小さくなり、第２の封止樹脂１１９から剥離しにくくなる。

しかし、組立公差や部品公差の影響もあって、フレキシブル配線ケーブル１１１の樹脂支持用突出部１３９の全域を支持板１０９のケーブル支持用突出部１４０にて支持することは困難であり、通常は樹脂支持用突出部１３９の一部がケーブル支持用突出部１４０からさらに突出した状態（図２０（ａ）参照）になる。特に、この樹脂支持用突出部１３９のケーブル支持用突出部１４０から突出した部分上に第２の封止樹脂１１９の端部が位置すると、ケーブル支持用突出部１４０のその部分に、第１の封止樹脂１１８の硬化収縮等による応力が直接加わり、第２の封止樹脂１１９の端部との間で剥離を生じ易くなる。そして、この剥離が電極パッド１０７と電極リード１１３の接続部の位置まで伝播して電気的な接続不良を生じる可能性が高くなる。

そこで本発明の目的は、第２の封止樹脂とフレキシブル配線ケーブルの間の剥離が広がるのを抑え、電気的な接続不良を生じにくくした液体噴射記録ヘッドとその製造方法を提供することにある。

本発明の特徴は、開口部と開口部の内周縁部に設けられた電極端子とを有するフレキシブル配線ケーブルと、フレキシブル配線ケーブルの開口部と少なくとも部分的に重なっている開口部を有し、フレキシブル配線ケーブルを支持している支持板と、両開口部の内部に配置されており、フレキシブル配線ケーブルの電極端子に接続された電極端子を外周縁部に有し、記録液を吐出するための複数の記録素子が設けられた記録素子基板と、支持板の開口部の内周縁部と記録素子基板の外周縁部との間の隙間に充填されている第１の樹脂剤と、フレキシブル配線ケーブルの電極端子と記録素子基板の電極端子との接続部を被覆している第２の樹脂剤とを含む液体噴射記録ヘッドであって、フレキシブル配線ケーブルの開口部の角隅部に第２の樹脂剤の一部を支持する樹脂支持用突出部が設けられ、樹脂支持用突出部と電極端子が設けられている部分との間に、スリット部が設けられているところにある。

本発明のもう１つの特徴は、開口部と開口部の内周縁部に設けられた電極端子とを有するフレキシブル配線ケーブルと、フレキシブル配線ケーブルの開口部と少なくとも部分的に重なる開口部を有する支持板と、フレキシブル配線ケーブルの電極端子に接続される電極端子を外周縁部に有し、記録液を吐出するための複数の記録素子が設けられた記録素子基板とを含む液体噴射記録ヘッドの製造方法であって、支持板の開口部の内部に記録素子基板を配置する工程と、フレキシブル配線ケーブルを支持板上に、開口部同士が少なくとも部分的に重なり、記録素子基板が両開口部の内部に位置するように配置する工程と、フレキシブル配線ケーブルの電極端子と、記録素子基板の電極端子とを接続する工程と、支持板の開口部の内周縁部と記録素子基板の外周縁部との間の隙間に第１の樹脂剤を充填する工程と、フレキシブル配線ケーブルの電極端子と記録素子基板の電極端子との接続部を被覆するとともに、フレキシブル配線ケーブルの開口部の角隅部に設けられた樹脂支持用突出部を少なくとも部分的に覆い、かつ樹脂支持用突出部と電極端子が設けられている部分との間に設けられたスリット部を覆うように、第２の樹脂剤を塗布する工程とを含むところにある。

本発明によると、第１の樹脂剤の硬化収縮等のために加わる応力によってフレキシブル配線ケーブルと第２の樹脂剤との間に発生する剥離の伝播を抑え、特に、フレキシブル配線ケーブルと記録素子基板との電気接続部に至らないようにすることができる。それによって、電気的な接続不良を防ぎ、信頼性を向上させることができる。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に述べる。

まず、本実施形態の液体噴射記録ヘッドの構成について、図１〜３を参照して説明する。図１はこの液体噴射記録ヘッドの要部の平面図であり、図２はその一部拡大図、図３は図２のＡ−Ａ線断面図である。

この液体噴射記録ヘッドは、支持部材８上に、記録素子基板１とその記録素子基板に電気接続されたフレキシブル配線ケーブル１１とからなる記録素子ユニットと、記録素子ユニットを支持する支持板９が固定されており、第１の封止樹脂（第１の樹脂剤）１８と第２の封止樹脂（第２の樹脂剤）１９によって、記録素子ユニットと支持板９との接続部分が保護されている。

図２に示すように、支持部材８上に固定されている支持板９には開口部９ａが設けられており、その開口部９ａの角隅部（本実施形態では四角形の開口部９ａが設けられているため四隅部）にケーブル支持用突出部４０が設けられ、さらに、フレキシブル配線ケーブル１１が取り付けられた時に電極リード（電極端子）１３に対向する位置に、段差部４１が設けられている。段差部４１は、フレキシブル配線ケーブル１１を固定するための接着剤２３がはみ出した際に、それを溜めておくことができる構造になっている。

支持板９の開口部９ａ内に配置されている記録素子基板１は、詳述しないが、図１３に示す従来の構成と同様に、貫通穴（記録液供給口）と電気熱変換素子と電極パッド（電極端子）７等が設けられた基板上に、吐出口６が設けられた吐出プレートが接合された構成である。そして、図３に示すように、支持板９の開口部９ａの内周縁部と、記録素子基板１の外周縁部との間の隙間に、第１の封止樹脂１８が充填されている。第１の封止樹脂１８は段差部４１にまで回り込んでいる。なお、便宜上、図２には第１の封止樹脂１８は図示されておらず、第２の封止樹脂１９は想像線（２点鎖線）で図示されている。

フレキシブル配線ケーブル１１は、支持板９の開口部９ａとほぼ重なる開口部１１ａを有し、その開口部１１ａの角隅部に「耳部」とも称される樹脂支持用突出部３９が設けられている。この樹脂支持用突出部３９にはスリット部４３が設けられている。またフレキシブル配線ケーブル１１には、支持板９の電極パッド７と接続される電極リード１３が設けられ、開口部１１ａ内に突出している。

フレキシブル配線ケーブル１１は接着剤２３によって支持板９上に固定されており、電極リード１３が電極パッド７に接続されている。この電極リード１３と電極パッド７の接続部が、第２の封止樹脂１９によって被覆されて保護されている。第２の封止樹脂１９の端部は、フレキシブル配線ケーブル１１の樹脂支持用突出部３９上に載り、スリット部４３を覆った状態で硬化されている。樹脂支持用突出部３９によって、第２の封止樹脂１９の下方への垂れ込みが防止されている。

仮に、第１の封止樹脂１８の硬化収縮時の応力を受けてフレキシブル配線ケーブル１１が第２の封止樹脂１９から部分的に剥離しても、スリット部４３によって剥離の伝播が阻止され、それにより、電極パッド７と電極リード１３の接続部の近傍における剥離は防止できる。従って、第２の封止樹脂１９とフレキシブル配線ケーブル１１の間から接続部への記録液（インク）の浸入を抑制することができ、電気接続の信頼性を高めることができる。

次に、本実施形態の液体噴射記録ヘッドの製造方法について、図１〜１０を参照して説明する。

本実施形態の液体噴射記録ヘッドの組立に際して、まず、図４に示すように、支持部材８上の所定の位置に支持板９を固定する。次に、図５に示すように、開口部９ａ内に記録素子基板１を配置し、支持部材８上の所定の位置に固定する。支持板９および記録素子基板１の固定は、支持部材８の位置決め基準に対して位置合わせした状態で、接着剤２３（図３参照）等を用いて行なわれる。記録素子基板１は、予め設けられたアライメントマークの画像を読み取って位置合わせしてもよい。

次に、図６に示すように、フレキシブル配線ケーブル１１を、記録素子基板１に対して位置合わせして固定する。このとき、フレキシブル配線ケーブル１１を記録素子基板１に対して、電極リード１３と電極パッド７とが重なり合うように位置合わせし、接着剤２３（図３参照）を用いて、フレキシブル配線ケーブル１１を支持板９上に接合する。接着剤２３は支持板９上に転写または塗布によって予め形成されており、フレキシブル配線ケーブル１１の位置決め後に加圧および加熱されて硬化する。この時、接着剤２３は、フレキシブル配線ケーブル１１、記録素子基板１の間から多少はみ出すことがあるが、図３に示すように、はみ出した接着剤２３は支持板９の段差部４１に溜まるため、記録素子基板１の外周縁部と開口部９ａの内周縁部の間の隙間が小さくても、接着剤２３が電極リ−ド１３まで伝わってボンディング不良の原因になることは防げる。

それから、電極リード１３を記録素子基板１の電極パッド７にボンディングして結合させる。

次に、図１，３に示すように、支持板９の開口部９ａの内周縁部と記録素子基板１の外周縁部の間の隙間に、第１の封止樹脂１８を塗布する。具体的には、図７に示すように、第１の封止樹脂１８となる第１の樹脂剤を収容した図示しないシリンジの先端のニードルを、開口部９ａ，１１ａの内部の塗布開始位置Ｂに位置させる。そして、ニードルから第１の封止樹脂１８を吐出させながら塗布終了位置Ｂ’までニードルを移動させる。同様に、ニードルを塗布開始位置Ｃに位置させ、第１の封止樹脂１８を吐出させながら塗布終了位置Ｃ’まで移動させる。第１の封止樹脂１８として流動性の良好な樹脂材料を用いているため、第１の封止樹脂１８は、開口部９ａ，１１ａの内周縁部と記録素子基板１の外周縁部の間の隙間において電極リード１３の下側に流れ込む。こうして第１の封止樹脂１８が充填された状態が、図８に示されている。図８（ａ）は第１の封止樹脂１８が充填された状態を図７のＤ−Ｄ線に沿って断面した図であり、図８（ｂ）は図７のＥ−Ｅ線に沿って断面した図である。このように、第１の封止樹脂１８が、記録素子基板１と支持板９の間の隙間に充填されている。この充填時に、これらの部品全体を加熱しておくと、第１の封止樹脂１８の流動性がさらによくなって良好な回り込みおよび充填が可能になる。その後、第１の封止樹脂１８を仮硬化させる。

第１の封止樹脂１８の仮硬化は、第１の封止樹脂１８のガス抜きのためと、後述する第２の封止樹脂１９の塗布時に両封止樹脂１８，１９の境界部において互いに溶け合うのを防ぐためである。すなわち、完全な未硬化状態にて第１および第２の封止樹脂１８，１９が接して、硬化阻害によって相溶部（互いに溶け合う部分）が生じ、シール性が保てなくなって信頼性が低下することを防ぐためである。

なお、支持板９の角隅部にケーブル支持用突出部４０が設けられていることによって、支持板９と記録素子基板１の隙間が狭くなって、ニードルから第１の封止樹脂１８を塗布し易く、かつ少量で隙間を充填し易い構成になっている。

第１の封止樹脂１８の材料である第１の樹脂剤としては、例えば日本レック株式会社製の熱硬化型シリコーン変性エポキシ樹脂（ＮＲ２００Ｃ）のような、硬化後にも弾性を有し、かつ塗布時に電極リード１３の下方にも万遍なく充填し易いように流動性の良好な熱硬化型樹脂が好ましい。

次に、電極リード１３と電極パッド７を上方から覆うように、第２の封止樹脂１９を塗布する。具体的には、第２の封止樹脂１９となる第２の樹脂剤を収容したシリンジの先端のニードル２８（図９参照）を塗布開始位置Ｆ（図１０参照）に位置させ、ニードル２８から第２の封止樹脂１９を吐出させながら塗布終了位置Ｆ’までニードル２８を移動させる。同様に、ニードル２８を塗布開始位置Ｇに位置させ、第２の封止樹脂１９を吐出させながら塗布終了位置Ｇ’まで移動させる。この時、第２の封止樹脂１９の塗布開始位置Ｆ，Ｇと塗布終了位置Ｆ’，Ｇ’は、フレキシブル配線ケーブル１１の樹脂支持用突出部（耳部）３９上またはその外側に位置している。したがって、第２の封止樹脂１９の両端部近傍はいずれも、少なくとも部分的にフレキシブル配線ケーブル１１の突出部３９上に載った状態になる。それによって、第２の封止樹脂１９、特にその両端部が下方に垂れ落ちることが防げる。また、図２に示すように、第２の封止樹脂１９はスリット部４３を覆うように塗布されている。

第２の封止樹脂１９の塗布時に、これらの部品全体をヒータブロック上に置くなどして加熱しておくと、第２の封止樹脂１９の粘度が低下して、電気接続部の隅々まで、エアーなどのガスを封入することなく良好な塗布が行なえ、十分な封止状態が達成できる。その後、第２の封止樹脂１９を硬化させる。

フレキシブル配線ケーブル１１の、第２の封止樹脂１９（特にその両端部）が塗布された部分は、支持板９のケーブル支持用突出部４０上および段差部４１の上方に位置しているので、第１の封止樹脂１８の硬化収縮時に受ける応力が小さい。すなわち、フレキシブル配線ケーブル１１は、ケーブル支持用突出部４０上に位置している部分では第１の封止樹脂１８と直接接触していないため応力を受けることがなく、段差部４１の上方に位置している部分では、段差部４１上の狭い部分に回り込んだ少量の第１の封止樹脂１８のみに直接接触しているので、第１の封止樹脂１８から受ける応力は小さい。従って、これらの部分においてフレキシブル配線ケーブル１１は変形しにくく、第２の封止樹脂１９との間で剥離を生じる可能性が小さい。また、支持板９に段差部４１が設けられていることによって、開口部９ａの内周縁部と記録素子基板１の外周縁部の間の隙間も小さくなっているため、第２の封止樹脂１９が第１の封止樹脂１８から受ける応力が小さく、フレキシブル配線ケーブル１１との間の剥離が生じにくい。

さらに、仮に第２の封止樹脂１９とフレキシブル配線ケーブル１１の間の剥離が生じたとしても、スリット部４３の位置で剥離の伝播が遮断される。従って、第２の封止樹脂１９とフレキシブル配線ケーブル１１とが広い範囲に亘って剥離することが防げる。剥離は、第２の封止樹脂１９の両端部において特に生じ易いと考えられるが、両端部にて生じた剥離はスリット部４３によって伝播が阻止されて、電極リード１３と電極パッド７の接続部には到達しない。従って、電気的な接続不良が生じるおそれが小さい。

なお、第２の封止樹脂１９の材料である第２の樹脂剤としては、記録素子基板１の前面（吐出口６の形成面）をワイパで拭き取るワイピング等による外力から接続部を保護しつつワイパの破損も防ぐために、凹凸のある電気接続部を覆って平滑にすることができる、例えば熱硬化性のエポキシ樹脂、その中でも、硬化後に強固な状態になり、塗布後に硬化しても塗布形状を維持できる樹脂剤であるダム剤が最適である。

図１１，１２には、本発明の液体噴射記録ヘッドの他の実施形態が示されている。これらの実施形態では、フレキシブル配線ケーブル１１の樹脂支持用突出部３９に設けられたスリット部４３の形状が異なっている。スリット部４３は、剥離が比較的発生し易い個所、具体的には第２の封止樹脂１９の両端部近傍を、電気接続部を構成する電極リード１３が設けられている個所から分離する位置に設けられればよく、それによって、剥離が電気接続部まで伝播するのを阻止し、接続不良を防ぐことができる。すなわち、スリット部４３は、図２に示すように樹脂支持用突出部３９内に、または、図１１，１２に示すように、樹脂支持用突出部３９と、電極リード１３が設けられている部分との間に設けられるのが好ましく、図２，１１，１２に示されている構成以外にも図示しないが様々な変更例が可能である。

本発明の一実施形態の液体噴射記録ヘッドの概略平面図である。 図１に示す液体噴射記録ヘッドの要部拡大平面図である。 図２のＡ−Ａ線断面図である。 図１に示す液体噴射記録ヘッドの製造方法の一工程を説明する平面図である。 図１に示す液体噴射記録ヘッドの製造方法の、図４に続く工程を説明する平面図である。 図１に示す液体噴射記録ヘッドの製造方法の、図５に続く工程を説明する平面図である。 図１に示す液体噴射記録ヘッドの製造方法における第１の樹脂剤塗布工程を説明する平面図である。 （ａ）は図１に示す液体噴射記録ヘッドの製造方法において第１の樹脂剤を塗布した状態を示す、図７のＤ−Ｄ線断面図、（ｂ）はそのＥ−Ｅ線断面図である。 図１に示す液体噴射記録ヘッドの製造方法における第２の樹脂剤塗布工程を説明する断面図である。 図１に示す液体噴射記録ヘッドの製造方法における第２の樹脂剤塗布工程を説明する平面図である。 本発明の他の実施形態の液体噴射記録ヘッドの要部拡大平面図である。 本発明の他の実施形態の液体噴射記録ヘッドの要部拡大平面図である。 （ａ）は従来の液体噴射記録ヘッドの記録素子基板の平面図、（ｂ）はその底面図、（ｃ）はその側面図である。 図１３に示す記録素子基板を組み込んだ記録素子ユニットの平面図である。 （ａ）は図１４に示す記録素子ユニットを組み込んだ従来の液体噴射記録ヘッドの斜視図、（ｂ）はそのＨ−Ｈ線断面図である。 従来の他の液体噴射記録ヘッドの断面図である。 （ａ）は従来のさらに他の液体噴射記録ヘッドの断面図、（ｂ）はその平面図である。 （ａ）は図１７に示す液体噴射記録ヘッドの第２の封止樹脂とフレキシブル配線ケーブルとの間の剥離状態を示す、電極リードに平行な断面図、（ｂ）はその剥離前の状態を示す、電極リードに垂直な断面図、（ｃ）はその剥離状態を示す、電極リードに垂直な断面図である。 従来の液体噴射記録ヘッドの支持板の一例を示す平面図である。 （ａ）は図１９に示す支持板を組み込んだ液体噴射記録ヘッドの電極リードに垂直な断面図、（ｂ）はその電極リードに平行な断面図である。

符号の説明

１ 記録素子基板
６ 吐出口
７ 電極パッド（電極端子）
８ 支持部材
９ 支持板
９ａ 開口部
１１ フレキシブル配線ケーブル
１１ａ 開口部
１３ 電極リード（電極端子）
１８ 第１の封止樹脂（第１の樹脂剤）
１９ 第２の封止樹脂（第２の樹脂剤）
３９ 樹脂支持用突出部
４０ ケーブル支持用突出部
４１ 段差部
４３ スリット部

Claims (9)

1. 開口部と該開口部の内周縁部に設けられた電極端子とを有するフレキシブル配線ケーブルと、
   前記フレキシブル配線ケーブルの前記開口部と少なくとも部分的に重なっている開口部を有し、前記フレキシブル配線ケーブルを支持している支持板と、
   前記両開口部の内部に配置されており、前記フレキシブル配線ケーブルの前記電極端子に接続された電極端子を外周縁部に有し、記録液を吐出するための複数の記録素子が設けられた記録素子基板と、
   前記支持板の前記開口部の内周縁部と前記記録素子基板の前記外周縁部との間の隙間に充填されている第１の樹脂剤と、
   前記フレキシブル配線ケーブルの前記電極端子と前記記録素子基板の前記電極端子との接続部を被覆している第２の樹脂剤とを含む液体噴射記録ヘッドであって、
   前記フレキシブル配線ケーブルの前記開口部の角隅部に前記第２の樹脂剤の一部を支持する樹脂支持用突出部が設けられ、該樹脂支持用突出部と前記電極端子が設けられている部分との間に、スリット部が設けられていることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
2. 前記第２の樹脂剤は、前記フレキシブル配線ケーブルの前記スリット部を覆っている、請求項１に記載の液体噴射記録ヘッド。
3. 前記第２の樹脂剤は、端部が前記樹脂支持用突出部上に位置している、請求項１または２に記載の液体噴射記録ヘッド。
4. 前記支持板の前記開口部の角隅部に、前記フレキシブル配線ケーブルの前記樹脂支持用突出部を少なくとも部分的に支持するケーブル支持用突出部が形成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体噴射記録ヘッド。
5. 前記支持板の前記開口部の前記内周縁部には、前記フレキシブル配線ケーブルの前記開口部の前記内周縁部よりも内側に延び、前記電極端子の下方に間隔をおいて位置する段差部が設けられており、前記第１の樹脂剤の一部が前記段差部上に支持されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体噴射記録ヘッド。
6. 複数の前記記録素子基板を有し、前記フレキシブル配線ケーブルおよび前記支持板には、前記記録素子基板と同数の前記開口部が設けられている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体噴射記録ヘッド。
7. 開口部と該開口部の内周縁部に設けられた電極端子とを有するフレキシブル配線ケーブルと、
   前記フレキシブル配線ケーブルの前記開口部と少なくとも部分的に重なる開口部を有する支持板と、
   前記フレキシブル配線ケーブルの前記電極端子に接続される電極端子を外周縁部に有し、記録液を吐出するための複数の記録素子が設けられた記録素子基板とを含む液体噴射記録ヘッドの製造方法であって、
   前記支持板の前記開口部の内部に前記記録素子基板を配置する工程と、
   前記フレキシブル配線ケーブルを前記支持板上に、前記開口部同士が少なくとも部分的に重なり、前記記録素子基板が前記両開口部の内部に位置するように配置する工程と、
   前記フレキシブル配線ケーブルの前記電極端子と、前記記録素子基板の前記電極端子とを接続する工程と、
   前記支持板の前記開口部の前記内周縁部と前記記録素子基板の前記外周縁部との間の隙間に第１の樹脂剤を充填する工程と、
   前記フレキシブル配線ケーブルの前記電極端子と前記記録素子基板の前記電極端子との接続部を被覆するとともに、前記フレキシブル配線ケーブルの前記開口部の角隅部に設けられた樹脂支持用突出部を少なくとも部分的に覆い、かつ該樹脂支持用突出部と前記電極端子が設けられている部分との間に設けられたスリット部を覆うように、第２の樹脂剤を塗布する工程とを含む、液体噴射記録ヘッドの製造方法。
8. 前記支持板の前記開口部の角隅部にケーブル支持用突出部が形成されており、前記フレキシブル配線ケーブルを配置する工程で、前記樹脂支持用突出部の少なくとも一部を前記ケーブル支持用突出部上に配置する、請求項７に記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
9. 前記支持板の前記開口部の前記内周縁部には、前記フレキシブル配線ケーブルの前記開口部の前記内周縁部よりも内側に延び、前記電極リードの下方に間隔をおいて位置する段差部が設けられており、前記第１の樹脂剤を充填する工程で、該第１の樹脂剤の一部を前記段差部上に進入させる、請求項７または８に記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。

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