KR100974948B1 - 잉크젯 헤드 제조방법 - Google Patents

잉크젯 헤드 제조방법 Download PDF

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Abstract

잉크젯 헤드 제조방법이 개시된다. 잉크를 토출하는 잉크젯 헤드를 제조하는 방법으로서, 잉크젯 헤드를 충전제의 용융온도 이상으로 가열하는 단계, 잉크젯 헤드의 내부의 틈이 충전되도록, 잉크젯 헤드에 충전제를 충전하는 단계 및 잉크젯 헤드의 틈에 충전제가 잔존하도록 잉크젯 헤드의 외부로 충전제를 배출하는 단계를 포함하는 잉크젯 헤드 제조방법은, 잉크젯 헤드를 구성하는 층간 구조 사이에 발생할 수 있는 틈을 제거하고, 이로 인한 잉크젯 헤드 내부의 기포 발생을 방지하여, 보다 개선된 성능의 잉크젯 헤드를 제조할 수 있을 뿐만 아니라 그 제조 수율을 향상시킬 수 있다.
잉크젯 헤드, 충전제, 틈, 제조

Description

잉크젯 헤드 제조방법{Method for Manufacturing Ink-jet Head}
본 발명은 잉크젯 헤드 제조방법에 관한 것이다.
잉크젯 헤드는 내부에 형성되어 있는 챔버에 구동력을 인가하여 잉크 액적이 노즐을 통해 분사되도록 함으로써 인쇄를 수행할 수 있는 장치이다. 잉크젯 헤드는 잉크를 수용하는 리저버, 리저버로부터 잉크를 공급받는 챔버, 리저버와 챔버 간에 잉크의 유동을 제어하는 리스트릭터, 챔버에 압력을 제공하는 엑츄에이터, 챔버와 엑츄에이터 사이에 개재되어 엑츄에이터의 압력을 챔버에 전달하는 멤브레인 및 챔버에 결합되는 노즐을 포함하여 이루어 진다.
이러한 잉크젯 헤드를 제조하기 위해, 각각의 구성이 형성된 플레이트를 제작하고, 이들을 접합한다. 각각의 플레이트의 접합은 고분자 접합제를 이용하여 이루어지고 있다.
그러나, 고분자 접합제는 접합과정에서 그 크기가 변화되거나 각각의 플레이트 간에 접합이 치밀하지 못하여, 각각의 플레이트 간에 틈이 발생할 수 있다. 또 한, 각각의 플레이트를 정렬하는 과정에서 정렬오차로 인해 각각의 플레이트 간에 틈이 발생할 수 있다.
잉크젯 헤드의 내부에 틈이 발생하면, 잉크젯 헤드에 잉크를 충전하는 과정에서 기포가 발생할 수 있다. 잉크젯 헤드 내의 기포는 잉크젯 헤드의 성능을 저해시키고, 제조 상의 불량의 원인으로 그 제조 수율을 저해시키는 문제가 있었다.
본 발명은 잉크젯 헤드의 성능을 개선하고, 제조 수율을 향상시킬 수 있는 잉크젯 헤드 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 잉크를 토출하는 잉크젯 헤드를 제조하는 방법으로서, 잉크젯 헤드를 충전제의 용융온도 이상으로 가열하는 단계, 잉크젯 헤드의 내부의 틈이 충전되도록, 잉크젯 헤드에 충전제를 충전하는 단계 및 잉크젯 헤드의 틈에 충전제가 잔존하도록 잉크젯 헤드의 외부로 충전제를 배출하는 단계를 포함하는 잉크젯 헤드 제조방법이 제공된다.
이 때, 충전제를 배출하는 단계는 잉크젯 헤드에 압축공기를 주입하여 수행될 수 있다. 또한, 충전제는 잉크에 대하여 불활성일 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따르면, 잉크젯 헤드를 구성하는 층간 구조 사이에 발생할 수 있는 틈을 제거하고, 이로 인한 잉크젯 헤드 내부의 기포 발생을 방지하여, 보다 개선된 성능의 잉크젯 헤드를 제조할 수 있을 뿐만 아니라 그 제조 수율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 특징, 이점이 이하의 도면과 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
이하, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 제조방법의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드(200) 제조방법을 나타낸 순서도이며, 도 2 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드(200) 제조방법을 나타낸 단면도이다.
본 발명의 일 실시예를 설명하기에 앞서, 도 2를 참고하여 잉크젯 헤드(200)의 구조를 살펴보면 이하와 같다.
리저버(reservoir, 204)는 잉크(500)를 수용하며, 이하에서 설명할 리스트릭터(restrictor, 206)를 통해 챔버(chamber, 208)에 잉크(500)를 제공한다. 리저버(204)는 유입구(218)를 통해 외부로부터 잉크(500)를 공급받을 수 있다.
리스트릭터(206)는 리저버(204)와 이하에서 설명할 챔버(208)를 서로 연통하게 하며, 리저버(204)로부터 챔버(208)에 잉크(500)를 공급하는 채널로서의 기능을 수행할 수 있다. 리스트릭터(206)는 리저버(204) 보다 작은 단면적을 갖도록 형성되어, 엑츄에이터에 의해 챔버(208)에 압력이 제공되는 경우 리저버(204)로부터 챔버(208)에 공급되는 잉크(500)의 흐름을 제어할 수도 있다.
챔버(208)는 리스트릭터(206)와 연결되어 리저버(204)와 연통된다. 챔버(208)는 복수 개일 수 있으며, 복수 개의 챔버(208)는 나란히 배치될 수 있다. 또한, 리스트릭터(206)와 연결된 측 외의 타측을 통해 노즐(216)과 연결된다. 이러한 구조를 통해, 잉크젯 헤드(200)는 리저버(204)로부터 잉크(500)를 공급받아 수용하고, 이를 다시 노즐(216)에 공급함으로써, 인쇄를 수행할 수 있다.
챔버(208)는 일면에 멤브레인(210)에 의해 커버되고, 챔버(208)의 위치에 상응하는 멤브레인(210)의 상면에는 엑츄에이터가 결합될 수 있다. 이러한 엑츄에이터로는 예를 들어 압전체(212)가 이용할 수 있다.
압전체(212)는 챔버(208)의 위치에 상응하는 멤브레인(210)의 상면에 결합되어, 전원에 의해 진동을 발생할 수 있다. 압전체(212)는 압전체(212)에 공급되는 전압에 따라 진동을 발생시켜, 멤브레인(210)을 통해 챔버(208)에 압력을 공급할 수 있다.
노즐(216)은 챔버(208)와 연결되어, 챔버(208)로부터 잉크(500)를 공급받아 잉크(500)를 토출하는 기능을 수행할 수 있다. 압전체(212)에 의해 발생한 진동이 챔버(208)에 제공되면, 챔버(208)에는 압력이 가해지고, 이 압력에 의해 잉크(500) 는 노즐(216)을 통해 토출될 수 있게 된다.
상술한 잉크젯 헤드(200)를 이루는 구성들은 잉크젯 헤드(200)의 몸체를 이루는 바디(202)에 형성될 수 있다. 바디(202)는 복수의 플레이트(202a, 202b, 202c)를 적층하여 형성할 수 있다. 예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이, 챔버(208), 리스트릭터(206) 및 유입구(218)에 상응하는 형상이 가공되는 제1 플레이트(202a)와, 리저버(204), 노즐(216)과 챔버(208)를 연결하는 통로(214)에 상응하는 형상이 가공되는 제2 플레이트(202b) 및 노즐(216)에 상응하는 형상이 가공되는 제3 플레이트(202c)를 적층하여 바디(202)를 형성할 수 있다.
각각의 플레이트(202a, 202b, 202c)는 실리콘 웨이퍼와 같은 재질로 이루어질 수 있으며, 잉크젯 헤드(200)를 이루는 구성에 상응하는 형상은 기계적 또는 물리적인 가공을 통해 각각의 플레이트(202a, 202b, 202c)에 형성할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 각각의 플레이트(202a, 202b, 202c)를 적층하는 과정에서, 각각의 플레이트(202a, 202b, 202c) 간에 상술한 바와 같은 제조 공정 상의 문제로 인해 틈(240, 242, 244)이 발생할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드(200) 제조방법은, 잉크젯 헤드(200)를 충전제(300)의 용융온도 이상으로 가열하는 단계(S100), 잉크젯 헤드(200)의 내부의 틈(240, 242, 244)이 충전되도록, 잉크젯 헤드(200)에 충전제(300)를 충전하는 단계(S200) 및 잉크젯 헤드(200)의 틈(240, 242, 244)에 충전제(300)가 잔존하도록 잉크젯 헤드(200)의 외부로 충전제(300)를 배출하는 단계(S300)를 포함함으로써, 잉크젯 헤드(200)를 구성하는 층간 구조 사이에 발생할 수 있는 틈(240, 242, 244)을 제거하고, 이로 인한 잉크젯 헤드(200) 내부의 기포 발생을 방지하여, 보다 개선된 성능의 잉크젯 헤드(200)를 제조할 수 있을 뿐만 아니라 그 제조 수율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드(200)를 제조하기 위해, 먼저 잉크젯 헤드(200)를 충전제(300)의 용융온도 이상으로 가열할 수 있다. (S100) 충전제(300)는 잉크젯 헤드(200) 내부의 틈(240, 242, 244)에 충전되어, 제조 공정 상에 발생할 수 있는 틈(240, 242, 244)을 제거할 수 있는 일종의 내부접합제일 수 있다. 충전제(300)는 상온에서 점도가 높은 액체이거나 고체 상태일 수 있다. 또한, 충전제(300)는 접착성을 가질 수도 있다.
충전제(300)는 잉크젯 헤드(200)에 사용되는 잉크(500)에 대하여 불활성일 수 있다. 충전제(300)는 잉크젯 헤드(200)의 제조가 완료되면 그 내부에 잔존하게 된다. 이 때, 충전제(300)는 잉크(500)와 계속적으로 접촉할 수 있는 환경에 노출되어 잉크(500)와 반응하지 않는 재료가 사용될 수 있다.
충전제(300)는 유동성을 확보할 수 있는 용융온도를 가질 수 있다. 잉크젯 헤드(200)의 가열온도는 충전제(300)가 잉크젯 헤드(200)의 내부를 유동하며 틈(240, 242, 244)을 메울 수 있을 정도의 유동성을 확보할 수 있는 온도일 수 있으며, 예를 들어 충전제(300)의 용융온도 이상일 수 있다. 상온에서 고체 상태인 충전제(300)의 경우 유동성을 확보할 수 있는 용융온도까지 잉크젯 헤드(200)를 가열할 수 있다.
또한, 점도가 높은 액체 상태의 충전제(300)의 경우, 잉크젯 헤드(200)에 충 전이 용이하도록 그 유동성을 증가시킬 수 있는 온도까지 잉크젯 헤드(200)를 가열할 수 있으며, 이러한 경우 가열온도는 상온 이상일 수 있다.
충전제(300)는 예를 들어, 왁스(wax) 또는 불활성 폴리머 등이 사용될 수 있으며, 이 때, 가열온도는 섭씨 40도씨 내지 200도씨 내의 범위일 수 있다. 또한, 가열온도 범위 내에서 충전제(300)는 4cps 내지 50cps 범위의 점도를 가질 수 있다. 잉크젯 헤드(200)는 히터 등을 이용하여 직접 또는 간접적으로 가열할 수 있다.
다음으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 잉크젯 헤드(200)의 내부의 틈(240, 242, 244)이 충전되도록 잉크젯 헤드(200)에 충전제(300)를 충전제(300)를 충전할 수 있다. (S200) 충전제(300)는 유입구(218)를 통해 내부에 빈 공간이 존재하지 않도록 충전될 수 있다. 이 때, 충전제(300)는 잉크젯 헤드(200)의 내부의 틈(240, 242, 244)이 충전될 수 있도록 충분한 유동성을 가지는 상태일 수 있으며, 예를 들어 용융온도 이상으로 가열된 상태일 수 있다.
한편, 잉크젯 헤드(200)에 충전제(300)를 충전한 이후에, 충전제(300)이 압력을 가하여 충전제(300)가 잉크젯 헤드(200)의 내부에 보다 충실히 충전되도록 할 수 있다.
다음으로, 도 4에 도시된 바와 같이, 잉크젯 헤드(200)의 틈(240, 242, 244)에 충전제(300)가 잔존하도록 잉크젯 헤드(200)에 압축공기를 주입하여 잉크젯 헤드(200)의 외부로 충전제(300)를 배출할 수 있다. (S300)
잉크젯 헤드(200)의 유입구(218)를 통하여 압축공기를 주입하면, 잉크젯 헤 드(200)의 내부에 충전되어 있던 충전제(300)가 노즐(216)을 통해 외부로 배출될 수 있다. 이 때, 틈(240, 242, 244)에 충전되어 있던 충전제(300)는 노즐(216)을 통해 배출되지 않을 수 있으며, 잉크젯 헤드(200)의 틈(240, 242, 244)에 잔존할 수 있다.
다음으로, 도 5에 도시된 바와 같이, 잉크젯 헤드(200)이 내부에 잉크젯 헤드(200)를 충전하여 사용할 수 있다. 충전제(300)는 잉크(500)에 대하여 불활성으로 잉크(500)에 용해되지 않고 잉크젯 헤드(200)의 내부에 잔존할 수 있다.
따라서, 잉크젯 헤드(200) 내부의 불필요한 공백은 제거될 수 있다. 결국, 잉크젯 헤드(200) 내부의 틈(240, 242, 244)으로 인한 기포 발생이 방지될 수 있어, 잉크젯 헤드(200)의 성능을 개선할 수 있다. 또한, 잉크젯 헤드(200) 내부의 기포 발생으로 인한 불량을 줄일 수 있어, 제조 수율을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드 제조방법을 나타낸 순서도.
도 2 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드 제조방법을 나타낸 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
200: 잉크젯 헤드 202: 바디
204: 리저버 206: 리스트릭터
208: 챔버 216: 노즐
204, 242, 244: 틈

Claims (3)

  1. 잉크를 토출하는 잉크젯 헤드를 제조하는 방법으로서,
    상기 잉크젯 헤드를 충전제의 용융온도 이상으로 가열하는 단계;
    상기 잉크젯 헤드의 내부의 틈이 충전되도록, 상기 잉크젯 헤드에 상기 충전제를 충전하는 단계; 및
    상기 잉크젯 헤드의 틈에 상기 충전제가 잔존하도록, 상기 잉크젯 헤드의 외부로 상기 충전제를 배출하는 단계를 포함하는 잉크젯 헤드 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 충전제를 배출하는 단계는
    상기 잉크젯 헤드에 압축공기를 주입하여 수행되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 제조방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 충전제는 상기 잉크에 대하여 불활성인 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 제조방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP5854693B2 (ja) * 2010-09-01 2016-02-09 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドの製造方法
JP5921186B2 (ja) * 2011-12-26 2016-05-24 キヤノン株式会社 インクジェットヘッド基板の加工方法
JP2013244654A (ja) * 2012-05-25 2013-12-09 Canon Inc インクジェットヘッド基板の加工方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05338185A (ja) * 1992-06-10 1993-12-21 Seiko Epson Corp インクジェットヘッド製造方法
JP2004230744A (ja) 2003-01-31 2004-08-19 Hitachi Printing Solutions Ltd インクジェットヘッド
KR20080013626A (ko) * 2006-08-09 2008-02-13 엘지전자 주식회사 잉크젯 프린터 헤드 및 그 제조방법
JP2009039911A (ja) 2007-08-07 2009-02-26 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッドの製造方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5210549A (en) * 1988-06-17 1993-05-11 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording head having resistor formed by oxidization
US7152958B2 (en) * 2002-11-23 2006-12-26 Silverbrook Research Pty Ltd Thermal ink jet with chemical vapor deposited nozzle plate
JP4654640B2 (ja) * 2004-09-13 2011-03-23 富士ゼロックス株式会社 インクジェット記録ヘッド、及び、インクジェット記録ヘッド製造方法
JP4596990B2 (ja) * 2005-06-09 2010-12-15 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法
US7464465B2 (en) * 2005-10-11 2008-12-16 Silverbrook Research Pty Ltd Method of forming low-stiction nozzle plate for an inkjet printhead
KR100723415B1 (ko) * 2005-12-08 2007-05-30 삼성전자주식회사 잉크젯 프린트헤드의 제조방법
KR20080060003A (ko) * 2006-12-26 2008-07-01 삼성전자주식회사 잉크젯 프린트 헤드의 제조방법
JP4937061B2 (ja) * 2007-09-20 2012-05-23 富士フイルム株式会社 液体吐出ヘッドの流路基板の製造方法
US7862734B2 (en) * 2008-11-26 2011-01-04 Silverbrook Research Pty Ltd Method of fabricating nozzle assembly having moving roof structure and sealing bridge

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05338185A (ja) * 1992-06-10 1993-12-21 Seiko Epson Corp インクジェットヘッド製造方法
JP2004230744A (ja) 2003-01-31 2004-08-19 Hitachi Printing Solutions Ltd インクジェットヘッド
KR20080013626A (ko) * 2006-08-09 2008-02-13 엘지전자 주식회사 잉크젯 프린터 헤드 및 그 제조방법
JP2009039911A (ja) 2007-08-07 2009-02-26 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッドの製造方法

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