KR101113359B1 - 잉크젯 프린트 헤드, 잉크젯 헤드용 웨이퍼 레벨 패키지 및, 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법 - Google Patents

잉크젯 프린트 헤드, 잉크젯 헤드용 웨이퍼 레벨 패키지 및, 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 잉크젯 프린트 헤드는 일면에 장착되는 압전 엑츄에이터의 구동에 의해서 내부의 잉크를 외부로 토출하기 위한 잉크 헤드; 상기 잉크 헤드의 절단부가 노즐이 형성되는 면보다 낮은 높이로 형성되는 칩핑 방지부; 및 잉크 저장부와 상기 잉크 헤드의 사이에 개재되어 상기 잉크 저장부와 상기 잉크 헤드를 서로 연결시키는 아댑터부;를 포함할 수 있다.

Description

잉크젯 프린트 헤드, 잉크젯 헤드용 웨이퍼 레벨 패키지 및, 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법{Inkjet print head, wafer level package and method of manufacturing thereof}
본 발명은 잉크젯 프린트 헤드, 잉크젯 헤드용 웨이퍼 레벨 패키지 및 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 웨이퍼 단위의 헤드를 절단 시에 용이한 잉크젯 프린트 헤드, 그러한 웨이퍼 레벨 패키지 및, 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 잉크젯 프린트 헤드는 전기신호를 물리적인 힘으로 변환하여 작은 노즐을 통하여 잉크가 액적의 형태로 토출되도록 하는 구조체이다.
최근 압전 방식의 잉크젯 프린트 헤드는 산업용 잉크젯 프린트에서도 사용되고 있다. 예를 들어, 인쇄회로기판(PCB) 상에 금, 은 등의 금속을 녹여 만든 잉크를 분사해 회로 패턴을 직접 형성시키거나 산업 그래픽이나 액정 디스플레이(LCD), 유기발광다이오드(OLED)의 제조, 태양전지 등에 사용된다.
일반적으로 잉크젯 프린트 헤드는 카트리지에서 잉크를 유입 및 유출하기 위한 유입구와 유출구, 유입되는 잉크를 저장하는 리저버, 그리고 상기 리저버 내의 잉크를 노즐로 이동시키기 위해 엑츄에이터의 구동력을 전달하는 챔버 등의 구조로형성될 수 있다.
종래의 잉크젯 프린트 헤드는 여러 개의 칩으로 구분될 수 있는 웨이퍼 상태로 제조되며, 상기 웨이퍼를 여러 개의 헤드로 분리하기 위해서 별도의 다이싱 공정을 하게 된다.
그러나, 이러한 웨이퍼 상태에서 상기 다이싱 공정을 하는 경우에, 상기 웨이퍼에서 다이싱되는 면이 불필요하게 외측으로 돌출되는 부분이 생기는 칩핑(chipping)이 발생될 수 있다.
따라서, 분리된 잉크젯 프린트 헤드의 노즐면을 닦아내거나 아댑터에 장착하는 경우에는 상기 칩핑에 의해서 노즐부가 오염되거나 노즐부의 형상이 변형되는 심각한 문제가 발생될 수 있다. 이에 따라, 이러한 문제점을 해결할 기술들이 요구된다.
본 발명은 상술된 종래 기술의 문제를 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 웨이퍼에서 개별적으로 헤드를 다이싱하기가 용이한 잉크젯 프린트 헤드 및 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 잉크젯 프린트 헤드는 일면에 장착되는 압전 엑츄에이터의 구동에 의해서 내부의 잉크를 외부로 토출하기 위한 잉크 헤드; 상기 잉크 헤드의 절단부가 노즐이 형성되는 면보다 낮은 높이로 형성되는 칩핑 방지부; 및 잉크 저장부와 상기 잉크 헤드의 사이에 개재되어 상기 잉크 저장부와 상기 잉크 헤드를 서로 연결시키는 아댑터부;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 상기 칩핑 방지부는 상기 절단부가 상기 노즐이 형성된 면으로부터 테이퍼 진 형상으로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 프린트 헤드 상기 칩핑 방지부는 상기 노즐이 형성된 면과 상기 압전 엑츄에이터가 장착된 면에 각각 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 프린트 헤드는 상기 잉크 헤드에 잉크를 공급하기 위한 잉크 저장부;를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 상기 아댑터부는 상기 잉크 헤드의 일면과 장착되는 장착면 및 상기 장착면으로부터 절곡 형성되어 상기 절단부를 따라 형성되는 측면부를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 프린트 헤드는 상기 아댑터부와 상기 절단부의 사이에 장착되는 실링부를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법은 다수의 잉크 헤드가 일체로 형성되는 웨이퍼를 제공하는 단계; 개별적인 상기 잉크 헤드의 단위로 구분하기 위해서 상기 웨이퍼 상에 포토 레지스트층을 형성시키는 단계; 에칭 공정을 통해서 상기 웨이퍼를 식각하여 절단부를 형성시키는 단계; 상기 절단부를 따라 절단하여 상기 웨이퍼에서 개별적인 상기 잉크 헤드를 제조하는 단계; 및 잉크 저장부와 상기 잉크 헤드의 사이에 개재되어 상기 잉크 저장부와 상기 잉크 헤드를 서로 연결시키는 아댑터부를 형성시키는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법의 상기 절단부를 형성시키는 단계는 상기 웨이퍼의 양측면에 형성시키는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법의 상기 에칭 공정은 상기 웨이퍼의 결정면을 따라 식각하는 이방성 식각을 하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 프린트 헤드용 웨이퍼 레벨 패키지는 본 발명에 따른 프린트 헤드의 제조 방법은 복수개의 잉크 챔버와 상기 잉크 챔버에 각각 연결되는 다수의 노즐을 구비하는 몸체부; 상기 잉크 챔버와 상기 노즐이 잉크 헤드 단위로 절단되도록 상기 몸체부에 절단부가 형성되는 칩핑 방지부; 및 상기 몸체부에 형성되어 상기 잉크 챔버와 상기 잉크 저장부를 연결시키는 아댑터부;를 포함하고, 상기 절단부는 상기 노즐이 형성되는 면보다 낮은 높이로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 프린트 헤드용 웨이퍼 레벨 패키지의 상기 몸체부는 잉크가 저장되는 복수개의 잉크 챔버를 구비하는 유로 웨이퍼; 및 상기 유로 웨이퍼와 접착되며, 상기 잉크 챔버에 연결되어 외부로 상기 잉크를 토출시키기 위한 노즐을 구비하는 노즐 웨이퍼;를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 프린트 헤드용 웨이퍼 레벨 패키지는 상기 유로 웨이퍼 및 상기 노즐 웨이퍼 사이에 배치되며, 상기 잉크 챔버 및 상기 노즐을 연결하기 위한 댐퍼를 구비하는 중간 웨이퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명에 따른 잉크젯 프린트 헤드, 잉크젯 프린트 헤드용 웨이퍼 레벨 패키지 및, 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법은 상기 잉크 헤드의 절단부가 노즐이 형성되는 면보다 낮은 높이로 형성되는 칩핑 방지부를 포함하므로 절단 시에 발생될 수 있는 칩핑이 외측으로 돌출되지 않아 노즐을 오염시키거나 그 형상을 변화시키는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 설명하기 위한 개략적인 분해 사시도이다.
도 2는 도 1의 잉크젯 프린트 헤드를 설명하기 위한 단면 처리한 단면도이다.
도 3은 도 2의 잉크젯 프린트 헤드를 제조하기 위한 웨이퍼 레벨 패키지를 설명하기 위한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드에서 아댑터부를 설명하기 위한 사시도 및 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 제조하는 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 제조하는 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
본 발명에 따른 잉크젯 프린트 헤드, 잉크젯 프린트 헤드용 웨이퍼 레벨 패키지 및 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법에 관하여 도 1 내지 도 9를 참조하여 좀 더 구체적으로 설명한다. 이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시예에 제한되지 아니하고, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 구성요소를 추가, 변경, 삭제 등을 통하여, 퇴보적인 다른 발명이나 본 발명 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본원 발명 사상 범위 내에 포함된다고 할 것이다.
또한, 각 실시예의 도면에 나타나는 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 설명하기 위한 개략적인 분해 사시도이고, 도 2는 도 1의 잉크젯 프린트 헤드를 설명하기 위한 단면 처리한 단면도이며, 도 3은 도 2의 잉크젯 프린트 헤드를 제조하기 위한 웨이퍼 레벨 패키지를 설명하기 위한 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 잉크젯 프린트 헤드(100)는 잉크 헤드(110) 및 칩핑 방지부(120)를 포함할 수 있다.
잉크 헤드(110)는 일면에 장착되는 압전 엑츄에이터(52)의 구동에 의해서 내부의 잉크를 외부로 토출한다.
잉크 헤드(110)는 하나의 몸체를 이룰 수 있으며, 아댑터부(130)와 잉크 저장부(140)와 연결될 수 있다. 이때, 잉크 헤드(110)에는 잉크를 외부로 토출하기 위한 노즐(54)과 노즐(54)에 각각 연결되는 잉크 챔버(42)를 구비할 수 있다.
칩핑 방지부(120)는 잉크 헤드(110)의 절단부(122)가 노즐(54)이 형성되는 면보다 낮은 높이로 형성될 수 있다. 본 실시예에서는 절단부(122)가 상기 노즐(54)이 형성된 면으로부터 테이퍼 진 형상으로 형성될 수 있다.
여기서, 절단부(122)가 테이퍼 진 형상으로 형성시키는 방법은 에칭 공정을 통해서 이뤄질 수 있으며, 칩핑 방지부(120)는 웨이퍼의 결정면을 따라 이방성 식각에 의해서 자연적으로 테이퍼진 형상으로 형성되게 되는 것이다.
일반적으로 칩핑 방지부(120)가 없는 웨이퍼를 칩 사이즈로 절단하는 경우에는 잉크 헤드(110)의 절단 부분에 불필요하게 외측으로 돌출되는 칩핑이 발생될 수 있다. 이러한 칩핑에 의해서 분리된 잉크젯 프린트 헤드의 노즐면을 닦아내거나 아댑터에 장착 시 노즐(54)이 오염되거나 노즐(54)의 형상이 변형되는 문제점이 발생될 수 있다.
그러나, 본 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드는 상기 잉크 헤드(110)의 절단부(122)가 노즐(54)이 형성되는 면보다 낮은 높이로 형성되는 칩핑 방지부(120)를 포함하므로 절단 시에 발생될 수 있는 칩핑이 외측으로 돌출되지 않아 노즐(54)을 오염시키거나 그 형상을 변화시키는 것을 방지할 수 있다.
도 3을 참조하면, 잉크젯 프린트 헤드용 웨이퍼 레벨 패키지는 몸체부(210) 및 칩핑 방지부(220)를 포함할 수 있다.
몸체부(210)는 원형인 웨이퍼 형상으로 형성되며, 복수개의 잉크 챔버와 상기 잉크 챔버에 각각 연결되는 다수의 노즐을 구비하게 된다. 따라서, 몸체부(210)를 절단하여 하나의 잉크젯 프린트 헤드 단위로 제조할 수 있는 것이다.
또한, 칩핑 방지부(220)는 잉크 챔버와 상기 노즐이 잉크 프린트 헤드 단위로 절단되도록 상기 몸체부(210)에 절단부가 형성되며, 상기 절단부는 상기 노즐이 형성되는 면보다 낮은 높이로 형성될 수 있다.
이하는 도 1 및 도 2에서 도시된 구성들을 자세하게 설명하는 것이다.
잉크 헤드(110)는 유로 플레이트(10), 중간 플레이트(20) 및 노즐 플레이트(30)를 포함할 수 있다.
유로 플레이트(10)는 복수개의 잉크 챔버(42)가 형성되며, 잉크가 유입되기 위한 잉크 인렛(50)이 마련될 수 있다. 이때, 잉크 인렛(50)는 리저버(44)와 연결되도록 제공되며, 리저버(44)는 리스트릭터(48)를 통해서 잉크 챔버(42)로 잉크를 공급하는 역할을 한다.
그리고, 잉크 챔버(42)는 압전 엑츄에이터(52)가 장착되는 위치의 하부에 마련된다. 이때, 유로 플레이트(10) 중에서 잉크 챔버(42)의 천장을 이루는 부분은 진동판 역할을 하게 된다.
따라서, 잉크의 토출을 위해서 압전 엑츄에이터(52)에 구동 신호를 인가하면, 압전 엑츄에이터(52)와 함께 그 아래의 진동판이 변형되면서 잉크 챔버(42)의 내부 체적이 변화하게 된다.
이에 따른 잉크 챔버(42) 내의 압력 증가에 의해서 잉크 챔버(42) 내의 잉크는 댐퍼(46)와 노즐(54)을 통해 외부로 토출된다.
그리고, 압전 엑츄에이터(52)는 상면 및 하면에 전기적으로 연결되는 전극이 형성될 수 있으며, 압전 물질인 PZT(Lead Zirconate Titanate) 세라믹 재료로 이루어질 수 있다. 그러나, 엑츄에이터는 이에 한정되지 않으며 열에 의한 엑츄에이터와 같이 다양한 종류의 엑츄에이터를 치환하는 것도 가능하다.
중간 플레이트(20)는 길이 방향으로 길게 형성되는 리저버(44) 및 노즐(54)과 잉크 챔버(42)를 연결하는 댐퍼(46)를 포함할 수 있다.
리저버(44)는 잉크 인렛(50)으로부터 잉크를 공급받아 잉크 챔버(42)로 잉크를 공급하는 데, 리저버(44) 및 잉크 챔버(42)는 리스트릭터(48)에 의해서 서로 연결된다.
그리고, 댐퍼(46)는 잉크 챔버(42)로부터 압전 엑츄에이터(52)에 의해서 토출되는 잉크를 전달받아 노즐(54)을 통해서 외부로 토출시킨다.
또한, 댐퍼(46)는 다단 형상으로 형성될 수 있으며, 이러한 구조에 의해서 잉크 챔버(42)로부터 받아들이는 잉크 양과 노즐(54)로 진행되는 잉크 양을 조절할 수 있게 된다.
또한, 잉크 저장부(140)는 잉크 헤드(110)에 잉크를 공급하도록 내부에 잉크를 저장하는 공간을 형성한다. 따라서, 잉크 저장부(140)에서는 아댑터부(130)를 통해서 잉크 헤드(110)로 잉크가 유동하도록 한다.
그리고, 아댑터부(130)는 잉크 저장부(140)와 대응되는 사이즈로 형성되어 상기 잉크를 잉크 헤드(110)로 전달하는 역할을 하며, 구조적으로 하나의 모듈이 되도록 하는 것이다. 따라서, 아댑터부(130)는 상기 잉크 저장부(140)와 상기 잉크 헤드(110)의 사이에 개재될 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 4를 참조하면, 잉크 헤드(310)는 앞선 실시예와 실질적으로 그 구성이 동일하므로 그 구체적인 설명은 생략할 수 있다.
여기서, 칩핑 방지부(320)는 잉크 챔버(310)와 상기 노즐(54)이 잉크 프린트 헤드 단위로 절단되도록 상기 잉크 헤드(310)에 절단부(322)가 형성되며, 상기 절단부(322)는 상기 노즐이 형성되는 면보다 낮은 높이로 형성될 수 있다.
이때, 절단부(322)는 잉크 챔버(310)의 양측에 위치하도록 형성될 수 있다. 따라서, 절단부(322)는 잉크 헤드(310)의 노즐(54)이 형성되는 면과 엑츄에이터(52)이 장착되는 면에 형성될 수 있는 것이다.
따라서, 본 실시예에서는 상기 잉크 헤드(310)의 절단부(322)가 노즐(54)이 형성되는 면과 엑츄에이터(52)의 장착면보다 낮은 높이로 형성되는 칩핑 방지부(320)를 포함하므로 절단 시에 발생될 수 있는 칩핑이 외측으로 돌출되지 않는 효과가 있다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 5를 참조하면, 잉크 헤드(410)는 앞선 실시예와 실질적으로 그 구성이 동일하므로 그 구체적인 설명은 생략할 수 있다.
여기서, 칩핑 방지부(420)는 잉크 챔버(410)의 양 모서리에 형성될 수 있는 데, 절단부(422)는 일부가 페이퍼진 형상이며, 그 단부는 잉크 챔버(410)의 일면과 수평하도록 형성될 수 있다. 따라서, 칩핑 방지부(420)는 계단 형식으로 형성될 수 있는 것이다.
이때, 이러한 칩핑 방지부(420)를 제조하는 방법은 웨이퍼의 결정면 즉, 실리콘일 경우 [100] 방향을 따라 자연적으로 식각되면 상기의 형상으로 형성되는 것이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드에서 아댑터부를 설명하기 위한 사시도 및 단면도이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 아댑터부(130)는 잉크 저장부와 동일한 사이즈로 형성되어 상기 잉크를 잉크 헤드(110)로 전달하는 역할을 하며, 구조적으로 하나의 모듈이 되도록 하는 것이다.
이때, 아댑터부(130)는 잉크 헤드(110)를 구조적으로 고정하기 위하여 고정부(132)를 포함할 수 있다.
여기서, 고정부(132)는 아댑터부(130)의 몸체와 일체로 형성되며 일면으로 돌출된 형상으로 형성되는 것이다. 이때, 잉크 헤드(110)의 칩핑 방지부(120)와 대응되도록 고정부(132)의 내측면은 잉크 헤드의 일면과 장착되는 장착면(134) 및 상기 장착면으로부터 절곡 형성되어 테이퍼지도록 형성되는 측면부(136)를 포함할 수 있다. 따라서, 고정부(132)의 상기 구조에 의해서 잉크 헤드(110)를 안정적으로 수용할 수 있다.
그리고, 잉크젯 프린트 헤드는 상기 아댑터부(130)와 상기 잉크 헤드(110)의 사이에 장착되는 실링부(150)를 더 포함할 수 있다. 이때, 실링부(150)는 고무 재질로 형성되어 잉크젯 프린트 헤드가 진동되는 경우에 그 진동력을 흡수하도록 설계될 수 있다. 그러나, 본 실시예에서 실링부(150)는 설계자의 의도에 따라 생략되도록 설계될 수 있으며, 그 재질을 보다 다양하게 제조할 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 제조하는 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 8(a)를 참조하면, 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법은 다수의 잉크 헤드가 형성되는 웨이퍼(1)를 제공하는 단계를 포함할 수 있다.
이때, 웨이퍼(1)는 복수개의 잉크 챔버와 상기 잉크 챔버에 각각 연결되는 다수의 노즐을 구비하게 되는 몸체부를 포함한다.
그리고, 도 8(b)를 참조하면, 개별적인 상기 잉크 헤드의 단위로 구분하기 위해서 상기 웨이퍼(1) 상에 포토 레지스트층(2)을 형성시킬 수 있다. 이때, 포토 레지스트츠층(2)은 칩핑 방지부(3)가 형성되는 절단 위치에 형성되는 것이다.
또한, 도 8(c)를 참조하면, 에칭 공정을 통해서 상기 웨이퍼(1)를 식각하여 절단부(3a)를 형성시키게 된다.
이때, 절단부(3a)는 웨이퍼(1)의 결정면을 따라 식각되므로 일측면이 V-형상으로 패인 형상으로 형성되게 된다.
그리고, 도 8(d)를 참조하면, 절단부(3a)가 형성된 웨이퍼(1)에서 포토 레지스트층(2)을 제거하게 된다.
그리고, 도 8(e)에서 도시된 바와 같이, 절단부(3a)를 따라 절단하여 상기 웨이퍼(1)에서 개별적인 잉크 헤드로 제조할 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드를 제조하는 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 9(a)를 참조하면, 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법은 다수의 잉크 헤드가 형성되는 웨이퍼(1')를 제공하는 단계를 포함할 수 있다.
이때, 웨이퍼(1')는 복수개의 잉크 챔버와 상기 잉크 챔버에 각각 연결되는 다수의 노즐을 구비하게 되는 몸체부를 포함한다.
그리고, 도 9(b)를 참조하면, 개별적인 상기 잉크 헤드의 단위로 구분하기 위해서 상기 웨이퍼(1')의 양측면에 포토 레지스트층(2')을 형성시킬 수 있다. 이때, 포토 레지스트츠층(2')은 칩핑 방지부(3')가 형성되는 절단 위치에 형성되는 것이다.
또한, 도 8(c)를 참조하면, 에칭 공정을 통해서 상기 웨이퍼(1')를 식각하여 절단부(3a')를 형성시키게 된다.
이때, 절단부(3a')는 웨이퍼(1')의 결정면을 따라 식각되므로 양측면이 V-자 형상으로 페이퍼진 형상으로 형성되게 된다.
그리고, 도 8(d)를 참조하면, 절단부(3a')가 형성된 웨이퍼(1')에서 포토 레지스트층(2')을 제거하게 된다.
그리고, 도 8(e)에서 도시된 바와 같이, 절단부(3a')를 따라 절단하여 상기 웨이퍼(1')에서 개별적인 잉크 헤드로 제조할 수 있다.
따라서, 본 실시예에 따른 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법은 상기 웨이퍼(1, 1')의 절단부(3a, 3a')가 노즐이 형성되는 면 및 엑츄에이터의 장착면의 적어도 하나의 면에 형성되며, 상기 노즐이 형성되는 면과 엑츄에이터의 장착면 보다 낮은 높이로 형성되는 칩핑 방지부(3, 3')를 포함하므로 절단 시에 발생될 수 있는 칩핑이 외측으로 돌출되지 않는 효과가 있다.
10.... 유로 플레이트 20.... 중간 플레이트
30.... 노즐 플레이트 42.... 잉크 챔버
44.... 리저버 46.... 댐퍼
48.... 리스트릭터 50.... 잉크 인렛
52.... 압전 엑츄에이터 54.... 노즐
110.... 잉크 헤드 120, 220.... 칩핑 방지부
122.... 절단부 130.... 아댑터부
140.... 잉크 저장부 150.... 실링부
210.... 몸체부
1.... 웨이퍼 2....포토 레지스트층
3.... 칩핑 방지부

Claims (12)

  1. 일면에 장착되는 압전 엑츄에이터의 구동에 의해서 내부의 잉크를 외부로 토출하기 위한 잉크 헤드;
    상기 잉크 헤드의 절단부가 노즐이 형성되는 면보다 낮은 높이로 형성되는 칩핑 방지부; 및
    잉크 저장부와 상기 잉크 헤드의 사이에 개재되어 상기 잉크 저장부와 상기 잉크 헤드를 서로 연결시키는 아댑터부;
    를 포함하는 잉크젯 프린트 헤드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 칩핑 방지부는,
    상기 절단부가 상기 노즐이 형성된 면으로부터 테이퍼 진 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 칩핑 방지부는,
    상기 노즐이 형성된 면과 상기 압전 엑츄에이터가 장착된 면에 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 잉크 헤드에 잉크를 공급하기 위한 잉크 저장부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 아댑터부는,
    상기 잉크 헤드의 일면과 장착되는 장착면 및 상기 장착면으로부터 절곡 형성되어 상기 절단부를 따라 형성되는 측면부를 포함하는 잉크젯 프린트 헤드.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 아댑터부와 상기 절단부의 사이에 장착되는 실링부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드.
  7. 다수의 잉크 헤드가 일체로 형성되는 웨이퍼를 제공하는 단계;
    개별적인 상기 잉크 헤드의 단위로 구분하기 위해서 상기 웨이퍼 상에 포토 레지스트층을 형성시키는 단계;
    에칭 공정을 통해서 상기 웨이퍼를 식각하여 절단부를 형성시키는 단계;
    상기 절단부를 따라 절단하여 상기 웨이퍼에서 개별적인 상기 잉크 헤드를 제조하는 단계; 및
    잉크 저장부와 상기 잉크 헤드의 사이에 개재되어 상기 잉크 저장부와 상기 잉크 헤드를 서로 연결시키는 아댑터부를 형성시키는 단계;
    를 포함하는 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 절단부를 형성시키는 단계는,
    상기 웨이퍼의 양측면에 형성시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 에칭 공정은,
    상기 웨이퍼의 결정면을 따라 식각하는 이방성 식각을 하는 것을 특징으로 하는 프린트 헤드의 제조 방법.
  10. 복수개의 잉크 챔버와 상기 잉크 챔버에 각각 연결되는 다수의 노즐을 구비하는 웨이퍼 형상의 몸체부;
    상기 잉크 챔버와 상기 노즐이 잉크 헤드 단위로 절단되도록 상기 몸체부에 형성되는 절단부를 구비하는 칩핑 방지부; 및
    상기 몸체부에 형성되어 상기 잉크 챔버와 상기 잉크 저장부를 연결시키는 아댑터부;
    를 포함하고,
    상기 절단부는 상기 노즐이 형성되는 면보다 낮은 높이로 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드용 웨이퍼 레벨 패키지.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 몸체부는,
    잉크가 저장되는 복수개의 잉크 챔버를 구비하는 유로 웨이퍼; 및
    상기 유로 웨이퍼와 접착되며, 상기 잉크 챔버에 연결되어 외부로 상기 잉크를 토출시키기 위한 노즐을 구비하는 노즐 웨이퍼;를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드용 웨이퍼 레벨 패키지.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 유로 웨이퍼 및 상기 노즐 웨이퍼 사이에 배치되며, 상기 잉크 챔버 및 상기 노즐을 연결하기 위한 댐퍼를 구비하는 중간 웨이퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드용 웨이퍼 레벨 패키지.
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