CN116278393A - 头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置 - Google Patents

Abstract

提供能够谋求小型化或喷嘴密度的提高的头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置。本公开的一个方案所涉及的头芯片具备：流路部件，其具有包括液体流通的流路和与流路连通并且容纳有液体的压力室的流路形成区域；致动器板，其在相对于压力室沿第1方向相向的状态下层叠于流路部件上；驱动电极，其形成于致动器板中的朝向第1方向的面，使致动器板沿第1方向变形而使压力室的容积变化；以及焊盘，其是从第1方向观察而与流路形成区域重合的区域，形成于相对于流路部件在第1方向上朝向相反侧设置的焊盘形成面，连接至驱动电极，另一方面，安装有外部布线。

Description

头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置

技术领域

本公开涉及头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置。

背景技术

搭载于喷墨打印机的头芯片通过喷嘴孔吐出容纳于压力室内的墨水，从而对被记录介质记录文字或图像等印刷信息。在头芯片中，为了使墨水吐出，首先，针对由压电材料形成的致动器板产生电场，使致动器板变形。在头芯片中，由于致动器板的变形而导致压力室内的容积变化，压力室内的压力增加，从而墨水通过喷嘴孔吐出。

在此，作为致动器板的变形模式，存在通过在致动器板产生的电场来使致动器板进行剪切变形(厚度滑移变形)的所谓的剪模式。剪模式中的所谓的顶射型头芯片是致动器板相对于形成于流路部件的压力室相向而配置的构成(例如，参照下述专利文献1)。在顶射型头芯片中，致动器板沿厚度方向变形，从而压力室的容积变化。

在头芯片中，为了使致动器板变形，需要经由柔性印刷基板等的外部布线对形成于致动器板的驱动电极施加电压。例如，在下述专利文献2中，公开了在致动器板中的从压力室延伸出的部分安装有外部布线的构成。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利第4584590号说明书。

专利文献2：日本特开2015-193083号公报。

发明内容

发明要解决的课题

然而，在上述的现有技术中，在致动器板中的从压力室延伸出的部分设置外部布线的安装区域，因而存在导致头芯片的俯视观察外形大型化的可能性。另外，在具备多个头芯片的构成中，在相邻的头芯片之间设定有安装区域的情况下，不能使相邻的头芯片之间的间隔变窄。其结果是，在喷嘴密度提高上存在界限。

本公开提供能够谋求小型化或喷嘴密度的提高的头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本公开采用了以下的方案。

(1)本公开的一个方案所涉及的头芯片具备：流路部件，其具有包括液体流通的流路和与前述流路连通并且容纳有液体的压力室的流路形成区域；致动器板，其在相对于前述压力室沿第1方向相向的状态下层叠于前述流路部件上；驱动电极，其形成于前述致动器板中的朝向前述第1方向的面，使前述致动器板沿前述第1方向变形而使前述压力室的容积变化；以及焊盘，其是从前述第1方向观察而与前述流路形成区域重合的区域，形成于相对于前述流路部件在前述第1方向上朝向相反侧设置的焊盘形成面，连接至前述驱动电极，另一方面，安装有外部布线。

依据本方案，在设置于与流路形成区域相向的位置的焊盘形成面形成焊盘，从而当将外部布线安装于焊盘时，不需要相对于流路形成区域在与第1方向交叉的方向(以下，称为交叉方向。)的外侧设置安装区域。因此，能够谋求头芯片在交叉方向上的小型化。另外，在从1块晶圆切出头芯片的情况下，能够使每1块晶圆的头芯片的获取个数增加。其结果是，能够谋求低成本化。

(2)在上述(1)的方案所涉及的头芯片中，也可以是，前述驱动电极设置于前述致动器板中的在前述第1方向上与前述流路部件相向的第1面，在前述致动器板，形成有沿前述第1方向贯通前述致动器板的第1贯通孔，在前述第1贯通孔内，形成有将前述驱动电极和前述焊盘之间连接的第1贯通布线。

依据本方案，第1贯通布线贯通致动器板本身而设置，从而能够使第1贯通布线的布局的自由度提高。另外，与例如绕入于致动器板的侧表面而设置布线的情况等相比，能够缩短布线的距离。由此，能够有效地对驱动电极施加电压。

(3)在上述(2)的方案所涉及的头芯片中，也可以是，前述压力室在与前述第1方向交叉的第2方向上将分隔壁夹在之间而设置有多个，前述第1贯通孔设置于从前述第1方向观察而与前述分隔壁重合的位置。

依据本方案，第1贯通孔设置于相邻的压力室之间，从而能够抑制致动器板中的与一个压力室对应的部分的变形牵涉到和与一个压力室相邻的其它压力室对应的部分(所谓的机械串扰)。其结果是，能够抑制由于机械串扰的产生而导致的喷射性能的下降。

(4)在上述(2)的方案所涉及的头芯片中，也可以是，前述压力室在与前述第1方向交叉的第2方向上将分隔壁夹在之间而设置有多个，前述第1贯通孔在从前述第1方向观察而在与前述第2方向交叉的第3方向上位于前述压力室的外侧的部分跨越多个前述压力室而沿前述第2方向延伸。

依据本方案，第1贯通孔在第3方向上设置于压力室的外侧，从而与在相邻的压力室之间设置有第1贯通孔的情况相比，能够使相邻的压力室之间的间隔变窄。由此，能够谋求头芯片在第2方向上的小型化。另外，通过使第1贯通孔相对于多个压力室公共化，从而能够谋求构成的简化。

(5)在上述(2)的方案所涉及的头芯片中，也可以是，前述压力室在与前述第1方向交叉的第2方向上将分隔壁夹在之间而设置有多个，前述第1贯通孔在从前述第1方向观察而与前述第2方向交叉的第3方向上位于前述压力室的外侧的部分针对每个前述压力室而设置。

依据本方案，第1贯通孔在第3方向上设置于压力室的外侧，从而与在相邻的压力室之间设置有第1贯通孔的情况相比，能够使相邻的压力室之间的间隔变窄。由此，能够谋求头芯片在第2方向上的小型化。另外，通过针对每个压力室而设置有第1贯通孔，能够相对于各第1贯通孔内形成与一个压力室对应的贯通布线。由此，容易进行布线的图案化，能够谋求制造效率的提高。

(6)在上述(3)至(5)的任一个的方案所涉及的头芯片中，也可以是，前述驱动电极具备：第1电极，其设置于前述致动器板的前述第1面；和第2电极，其设置于前述致动器板中的在前述第1方向上朝向与前述第1面相反的一侧的第2面。

依据本方案，通过在致动器板的两面设置有驱动电极，能够增大在致动器板产生的电场，能够使压力室的产生压力提高。

(7)在上述(1)至(6)的任一个的方案所涉及的头芯片中，也可以是，在前述第1方向上，在夹着前述致动器板而与前述流路部件相反的一侧，设置有覆盖前述致动器板的盖板，前述盖板中的在前述第1方向上朝向与前述致动器板相反的一侧的面构成前述焊盘形成面。

依据本方案，通过在与流路部件或致动器板分体的盖板形成焊盘，与在致动器板形成焊盘的情况等相比，能够使布局的自由度提高。

(8)在上述(1)至(7)的任一个的方案所涉及的头芯片中，也可以是，在前述第1方向上，在夹着前述致动器板而与前述流路部件相反的一侧，层叠有限制前述致动器板向前述第1方向上的与前述流路部件相反的一侧的位移的限制部件。

依据本方案，能够由限制部件针对例如起因于压力室内的液体的压力等而作用于致动器板的液体的阻力(柔量)限制致动器板向与第1方向上的流路部件相反的一侧的位移(变形的朝向)。由此，能够有效地将致动器板的变形朝向压力室传递。在此情况下，与增厚致动器板本身等而确保能够承受液体的阻力的刚性的情况相比，能够高效地使致动器板驱动。其结果是，能够使在致动器板变形时的压力室内的产生压力提高而谋求省电化。

(9)在上述(8)的方案所涉及的头芯片中，也可以是，前述限制部件中的在前述第1方向上朝向与前述致动器板相反的一侧的面构成前述焊盘形成面，在前述限制部件，形成有沿前述第1方向贯通前述限制部件的第2贯通孔，在前述第2贯通孔内，形成有将前述驱动电极和前述焊盘之间连接的第2贯通布线。

依据本方案，第2贯通布线贯通限制部件本身而设置，从而能够使第2贯通布线的布局的自由度提高。另外，与例如绕入于限制部件而设置布线的情况等相比，能够缩短第2贯通布线的距离。由此，能够有效地对驱动电极施加电压。

(10)本公开的一个方案所涉及的液体喷射头具备上述(1)至(9)的任一个的方案所涉及的头芯片。

依据本方案，能够提供小型且高性能的液体喷射头。

(11)本公开的一个方案所涉及的液体喷射记录装置具备上述(10)的方案所涉及的液体喷射头。

依据本方案，能够提供小型且高性能的液体喷射记录装置。

发明的效果

依据本公开的一个方案，能够谋求小型化或喷嘴密度的提高。

附图说明

图1是第1实施方式所涉及的喷墨打印机的概略构成图。

图2是第1实施方式所涉及的喷墨头和墨水循环机构的概略构成图。

图3是第1实施方式所涉及的头芯片的分解立体图。

图4是与图3的IV-IV线对应的头芯片的截面图。

图5是与图4的V-V线对应的头芯片的截面图。

图6是第1实施方式所涉及的流路部件的俯视图。

图7是第1实施方式所涉及的致动器板的仰视图。

图8是第1实施方式所涉及的致动器板的俯视图。

图9是第1实施方式所涉及的盖板的俯视图。

图10是用于对于第1实施方式所涉及的头芯片说明在吐出墨水时的变形的行为的说明图。

图11是用于说明第1实施方式所涉及的头芯片的制造方法的流程图。

图12是用于说明第1实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。

图13是用于说明第1实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。

图14是用于说明第1实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。

图15是用于说明第1实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。

图16是用于说明第1实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。

图17是用于说明第1实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。

图18是用于说明第1实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。

图19是用于说明第1实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。

图20是用于说明第1实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。

图21是用于说明第1实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。

图22是用于说明第1实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。

图23是用于说明第1实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。

图24是与图25的XXIV-XXIV线对应的头芯片的截面图。

图25是与图24的XXV-XXV线对应的头芯片的截面图。

图26是第2实施方式所涉及的致动器板的仰视图。

图27是第2实施方式所涉及的致动器板的俯视图。

图28是第2实施方式所涉及的盖板的俯视图。

图29是第3实施方式所涉及的致动器板的仰视图。

图30是第3实施方式所涉及的致动器板的俯视图。

图31是第3实施方式所涉及的盖板的俯视图。

图32是变形例所涉及的头芯片的截面图。

图33是变形例所涉及的头芯片的截面图。

图34是变形例所涉及的头芯片的截面图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本公开所涉及的实施方式进行说明。在以下所说明的实施方式或变形例中，有时针对对应的构成赋予同一符号并省略说明。在以下的说明中，示出例如“平行”或“正交”、“中心”、“同轴”等相对或绝对配置的表达不仅表示严格地那样的配置，而且还表示以公差或可得到相同功能的程度的角度或距离相对地位移的状态。在以下的实施方式中，举例说明利用墨水(液体)来在被记录介质进行记录的喷墨打印机(以下，仅称为打印机)。在以下的说明中所使用的附图中，为了使各部件为能够识别的大小，适当变更各部件的比例尺。

(第1实施方式)

[打印机1]

图1是打印机1的概略构成图。

图1中示出的打印机(液体喷射记录装置)1具备一对输送机构2、3、墨水罐4、喷墨头(液体喷射头)5、墨水循环机构6以及扫描机构7。

在以下的说明中，根据需要而使用X、Y、Z的正交坐标系来说明。在此情况下，X方向与被记录介质P(例如，纸等)的输送方向(副扫描方向)一致。Y方向与扫描机构7的扫描方向(主扫描方向)一致。Z方向示出与X方向和Y方向正交的高度方向(重力方向)。在以下的说明中，在X方向、Y方向和Z方向中，以图中箭头侧为正(+)侧并以与箭头相反的一侧为负(-)侧来说明。在本说明书中，+Z侧相当于重力方向的上方，-Z侧相当于重力方向的下方。

输送机构2、3将被记录介质P向+X侧输送。输送机构2、3例如分别包括沿Y方向延伸的一对辊11、12。

在墨水罐4，例如分别容纳有黄色、品红色、青色、黑色的4种颜色的墨水。各喷墨头5以能够根据所连接的墨水罐4而分别吐出黄色、品红色、青色、黑色的4种颜色的墨水的方式构成。

图2是喷墨头5和墨水循环机构6的概略构成图。

如图1、图2中示出那样，墨水循环机构6使墨水在墨水罐4与喷墨头5之间循环。具体地，墨水循环机构6具备：循环流路23，其具有墨水供给管21和墨水排出管22；加压泵24，其连接至墨水供给管21；以及吸引泵25，其连接至墨水排出管22。

加压泵24对墨水供给管21内进行加压，通过墨水供给管21将墨水送出至喷墨头5。由此，墨水供给管21侧相对于喷墨头5成为正压。

吸引泵25对墨水排出管22内进行减压，通过墨水排出管22内从喷墨头5吸引墨水。由此，墨水排出管22侧相对于喷墨头5成为负压。墨水能够利用加压泵24和吸引泵25的驱动来在喷墨头5与墨水罐4之间通过循环流路23循环。

如图1中示出那样，扫描机构7使喷墨头5沿Y方向往复扫描。扫描机构7具备沿Y方向延伸的导轨28和以能够移动的方式被导轨28支撑的滑架29。

<喷墨头5>

喷墨头5搭载于滑架29。在图示的示例中，多个喷墨头5沿Y方向并排地搭载于一个滑架29。喷墨头5具备：头芯片50(参照图3)；墨水供给部(未图示)，其将墨水循环机构6和头芯片50之间连接；以及控制部(未图示)，其将驱动电压施加至头芯片50。

<头芯片50>

图3是头芯片50的分解立体图。图4是与图3的IV-IV线对应的头芯片50的截面图。图5是与图4的V-V线对应的头芯片50的截面图。

图3至图5中示出的头芯片50是使墨水在与墨水罐4之间循环并且从后述的压力室61的延展方向(Y方向)的中央部吐出墨水的所谓的循环式侧射型头芯片50。头芯片50具备喷嘴板51、流路部件52、第1膜53、致动器板54、第2膜55以及盖板56。在以下的说明中，有时以Z方向中的从喷嘴板51朝向盖板56的方向(+Z侧)为上侧并以从盖板56朝向喷嘴板51的方向(-Z侧)为下侧来说明。

流路部件52是以Z方向为厚度方向的板状。流路部件52由具有耐墨性的材料形成。作为这样的材料，能够采用例如金属或金属氧化物、玻璃、树脂、陶瓷等。在流路部件52，形成有墨水流通的流路60和与流路60连通并且容纳有墨水的多个压力室61。流路60和压力室61沿Z方向贯通流路部件52。流路60和压力室61构成第1实施方式中的流路形成区域。

图6是流路部件52的俯视图。

如图6中示出那样，各压力室61沿X方向隔开间隔地并排。因此，流路部件52中的位于相邻的压力室61之间的部分构成将相邻的压力室61之间沿X方向分隔的分隔壁62。各压力室61以沿Y方向以直线状延伸的槽状形成。各压力室61在Y方向的至少一部分(在第1实施方式中，Y方向的中央部)贯通流路部件52。此外，在第1实施方式中，对通道延展方向与Y方向一致的构成进行说明，但通道延展方向也可以与Y方向交叉。另外，压力室61的俯视观察形状不限于长方形状(以X方向和Y方向中的任一个为长边方向并以另一个作为短边方向的形状)。压力室61的俯视观察形状也可以是正方形状或三角形状等多边形状、圆形状、椭圆形状等。

流路60包括入口侧公共流路64、入口侧连通路65、出口侧公共流路66、出口侧连通路67以及旁通路68。

入口侧公共流路64在流路部件52中的相对于各压力室61位于+Y侧的部分沿X方向延伸。入口侧公共流路64的-X侧端部连接至入口端口(未图示)。入口端口直接或间接地连接至墨水供给管21(参照图2)。即，流动于墨水供给管21内的墨水通过入口端口供给至入口侧公共流路64。

入口侧连通路65将入口侧公共流路64与各压力室61之间分别连接。具体地，各入口侧连通路65从入口侧公共流路64中的从X方向观察而与各压力室61重合的部分朝向-Y侧分别分支。入口侧连通路65中的-Y侧端部连接至压力室61。

出口侧公共流路66在流路部件52中的相对于各压力室61位于-Y侧的部分沿X方向延伸。出口侧公共流路66的+X侧端部连接至出口端口(未图示)。出口端口直接或间接地连接至墨水排出管22(参照图2)。即，流动于出口侧公共流路66内的墨水通过出口端口供给至墨水排出管22。

出口侧连通路67将出口侧公共流路66与各压力室61之间分别连接。具体地，各出口侧连通路67从出口侧公共流路66中的从X方向观察而与各压力室61重合的部分朝向+Y侧分别分支。出口侧连通路67的+Y侧端部连接至压力室61。在第1实施方式中，各连通路65、67的X方向的宽度与压力室61的X方向的宽度相比而较窄。由此，能够抑制在一个压力室61内产生的压力变动通过连通路65、67传播至其它压力室61的所谓的串扰。但是，能够适当变更连通路65、67的尺寸。

如图4、图5中示出那样，喷嘴板51通过粘接等来固定于流路部件52的下表面。关于喷嘴板51，其俯视观察外形与流路部件52同等。因此，喷嘴板51将流路60和压力室61的下端开口部闭塞。在第1实施方式中，喷嘴板51由聚酰亚胺等树脂材料以厚度为数十至百数十μm左右形成。但是，喷嘴板51除了树脂材料以外，也可以是基于金属材料(SUS或Ni-Pd等)、玻璃、硅等的单层构造或层叠构造。

在喷嘴板51，形成有沿Z方向贯通喷嘴板51的多个喷嘴孔71。各喷嘴孔71沿X方向隔开间隔地配置。各喷嘴孔71分别相对于对应的压力室61在X方向和Y方向的中央部连通。在第1实施方式中，各喷嘴孔71例如以内径随着从上方朝向下方而逐渐缩小的渐缩状形成。在第1实施方式中，对多个压力室61和多个喷嘴孔71沿X方向并排成一列的构成进行了说明，但不限于该构成。如果以沿X方向并排的多个压力室61和多个喷嘴孔71为喷嘴列，则喷嘴列也可以沿Y方向隔开间隔地设置有多列。在此情况下，如果以喷嘴列的列数为n，则一个喷嘴列的喷嘴孔71(压力室61)的Y方向上的排列间距优选相对于与一个喷嘴列相邻的其它喷嘴列的喷嘴孔71的排列间距每个偏移1/n间距而排列。

第1膜53通过粘接等来固定于流路部件52的上表面。第1膜53遍及流路部件52的上表面整个区域配置。由此，第1膜53将流路60和各压力室61的上端开口部闭塞。第1膜53由具有绝缘性和耐墨性、能够弹性变形的材料形成。作为这样的材料，第1膜53例如由树脂材料(聚酰亚胺类或环氧树脂类、聚丙烯类等)形成。在第1实施方式中，“能够弹性变形”意味着，是在层叠有多个部件的状态下，压缩弹性模量与在Z方向上相邻的部件相比而较小的部件。即，关于第1膜53，其压缩弹性模量比流路部件52和致动器板54更小。

致动器板54以Z方向为厚度方向，通过粘接等来固定于第1膜53的上表面。致动器板54的俯视观察外形比流路部件52的俯视观察外形更大。因此，致动器板54将第1膜53夹在之间而与各压力室61在Z方向上相向。此外，致动器板54不限于将各压力室61一并覆盖的构成，也可以针对每个各压力室61单独设置。

致动器板54由PZT(钛酸锆酸铅)等压电材料形成。致动器板54以极化方向朝向+Z侧的方式设定。在致动器板54的两面，形成有驱动布线75。致动器板54以能够通过利用由驱动布线75施加的电压来产生电场从而沿Z方向变形的方式构成。致动器板54通过Z方向的变形来使压力室61内的容积扩大或缩小，从而使墨水从压力室61内吐出。此外，对驱动布线75的构成在后面阐述。

第2膜55通过粘接等来固定于致动器板54的上表面。在第1实施方式中，第2膜55覆盖致动器板54的上表面整个区域。第2膜55由具有绝缘性、能够弹性变形的材料形成。作为这样的材料，能够采用与第1膜53同样的材料。即，关于第2膜55，其压缩弹性模量比流路部件52和致动器板54更小。

盖板56以Z方向为厚度方向，通过粘接等来固定于第2膜55的上表面。盖板56的Z方向的厚度比致动器板54或流路部件52、各膜53、55更厚。在第1实施方式中，盖板56由具有绝缘性的材料(例如，金属氧化物、玻璃、树脂、陶瓷等)形成。关于盖板56，其压缩弹性模量至少比第2膜55更大。

接下来，对驱动布线75的构造进行说明。图7是致动器板54的仰视图。图8是致动器板54的俯视图。驱动布线75与各压力室61对应地设置。与相邻的压力室61对应的驱动布线75彼此以沿着Y方向的对称轴T为基准而线对称地形成。在以下的说明中，以与多个压力室61中的一个压力室61A对应地设置的驱动布线75A为示例而说明，对于与其它压力室61对应的驱动布线75，适当省略说明。

如图7、图8中示出那样，驱动布线75A具备公共布线81和单独布线82。

公共布线81具备第1公共电极81a、第2公共电极81b、下表面迂回布线81c、上表面迂回布线81d、第1贯通布线81e、第2贯通布线81f和公共焊盘81g。此外，优选在公共布线81中的除了公共电极81a、81b以外的部分(下表面迂回布线81c、上表面迂回布线81d、第1贯通布线81e、第2贯通布线81f和公共焊盘81g)与致动器板54之间设置有未图示的绝缘体(例如，SiO₂等)。

如图4、图7中示出那样，第1公共电极81a在致动器板54的下表面分别形成于从Z方向观察而与各分隔壁62重合的位置。具体地，各第1公共电极81a中的位于+X侧的第1公共电极81a(以下，称为+X侧公共电极81a1。)的整体从Z方向观察而与划分压力室61的分隔壁62中的位于+X侧的分隔壁62(以下，称为分隔壁62a。)重合。另一方面，各第1公共电极81a中的位于-X侧的第1公共电极81a(以下，称为-X侧公共电极81a2。)的整体从Z方向观察而与划分压力室61的分隔壁62中的位于-X侧的分隔壁62(以下，称为分隔壁62b。)重合。各第1公共电极81a以与压力室61同等的长度沿Y方向以直线状延伸。

如图4、图8中示出那样，第2公共电极81b在致动器板54的上表面从Z方向观察而与对应的压力室61重合，且配置于从Z方向观察而不与第1公共电极81a重合的位置。在图示的示例中，第2公共电极81b包括压力室61的X方向的中央部，且形成于压力室61的X方向的宽度的1/3以上。第2公共电极81b以与压力室61同等的长度沿Y方向以直线状延伸。此外，第2公共电极81b只要形成于从Z方向观察而与压力室61重合的位置，就能够对X方向的宽度等进行适当变更。

如图4、图7中示出那样，下表面迂回布线81c在致动器板54的下表面一并连接至各第1公共电极81a。下表面迂回布线81c在连接至各第1公共电极81a的-Y侧端部的状态下沿X方向延伸。下表面迂回布线81c的-X侧端部延伸直到从Z方向观察而与分隔壁62b的X方向的中央部重合的位置。

如图4、图8中示出那样，上表面迂回布线81d在致动器板54的上表面连接至第2公共电极81b。上表面迂回布线81d从第2公共电极81b的-Y侧端部向-X侧延伸。上表面迂回布线81d的-X侧端部延伸直到从Z方向观察而与分隔壁62b的X方向的中央部重合的位置。

如图4、图7、图8中示出那样，第1贯通布线81e将下表面迂回布线81c和上表面迂回布线81d之间连接。第1贯通布线81e沿Z方向贯通致动器板54而设置。具体地，在致动器板54中的相对于-X侧公共电极81a2位于-X侧的部分，形成有公共布线用第1孔91。在第1实施方式中，公共布线用第1孔91形成于致动器板54中的从Z方向观察而与分隔壁62b的X方向的中央部重合的部分。公共布线用第1孔91沿着-X侧公共电极81a2沿Y方向延伸。公共布线用第1孔91在相邻的压力室61之间分割致动器板54。在图示的示例中，公共布线用第1孔91的Y方向的长度成为比-X侧公共电极81a2略短且比压力室61更短的长度。但是，能够适当变更公共布线用第1孔91的Y方向的长度。

第1贯通布线81e形成于公共布线用第1孔91的内表面。第1贯通布线81e在公共布线用第1孔91的内表面至少遍及Z方向的整个区域形成。第1贯通布线81e在公共布线用第1孔91的下端开口缘连接至下表面迂回布线81c，另一方面，在公共布线用第1孔91的上端开口缘连接至上表面迂回布线81d。此外，第1贯通布线81e也可以在公共布线用第1孔91的内表面遍及整周形成。

图9是盖板56的俯视图。

如图4、图9中示出那样，第2贯通布线81f将第1贯通布线81e迂回直到盖板56的上表面。第2贯通布线81f沿Z方向贯通第2膜55和盖板56而设置。具体地，在第2膜55和盖板56中的从Z方向观察而与公共布线用第1孔91重合的位置，形成有公共布线用第2孔92。公共布线用第2孔92是与公共布线用第1孔91同样地沿Y方向延伸的长槽。公共布线用第2孔92与公共布线用第1孔91连通。公共布线用第2孔92从Z方向观察而比公共布线用第1孔91的外形更大一圈。因此，在公共布线用第2孔92内，在与公共布线用第1孔91的边界部分，形成有由致动器板54的上表面形成的台阶差面98。

第2贯通布线81f形成于公共布线用第2孔92的内表面。第2贯通布线81f在公共布线用第2孔92的内表面至少遍及Z方向的整个区域形成。第2贯通布线81f在公共布线用第2孔92的下端开口缘通过上述的台阶差面98连接至第1贯通布线81e。

如图9中示出那样，公共焊盘81g形成于盖板56的上表面。在第1实施方式中，盖板56的上表面构成相对于流路部件52朝向Z方向的相反侧设置的焊盘形成面。公共焊盘81g在盖板56的上表面中的从Z方向观察而与压力室61重合的部分沿X方向延伸。公共焊盘81g的-X侧端部在公共布线用第2孔92的上端开口缘连接至第2贯通布线81f。此外，公共焊盘81g也可以从Z方向观察而至少一部分与流路60重合。

如图7、图8中示出那样，单独布线82具备第1单独电极82a、第2单独电极82b、下表面迂回布线82c、上表面迂回布线82d、第1贯通布线82e、第2贯通布线82f以及单独焊盘82g。此外，优选在单独布线82中的除了单独电极82a、82b以外的部分(下表面迂回布线82c、上表面迂回布线82d、第1贯通布线82e、第2贯通布线82f和单独焊盘82g)与致动器板54之间设置有未图示的绝缘体(例如，SiO₂等)。

如图4、图7中示出那样，第1单独电极82a在致动器板54的下表面形成于各第1公共电极81a之间。第1单独电极82a在相对于各第1公共电极81a沿X方向隔开间隔的状态下沿Y方向延伸。第1单独电极82a的整体从Z方向观察而与对应的压力室61重合。第1单独电极82a在与第1公共电极81a之间产生电位差。第1单独电极82a的至少一部分从Z方向观察而与第2公共电极81b重合。因此，第1单独电极82a在与第2公共电极81b之间产生电位差。

如图4、图8中示出那样，第2单独电极82b在致动器板54的上表面分别形成于相对于第2公共电极81b位于X方向的两侧的部分。各第2单独电极82b在相对于第2公共电极81b沿X方向隔开间隔的状态下沿Y方向延伸。第2单独电极82b在与第2公共电极81b之间产生电位差。第2单独电极82b的X方向的宽度比第1公共电极81a的X方向的宽度更窄。

如图4、图8中示出那样，各第2单独电极82b中的位于+X侧的第2单独电极82b(以下，称为+X侧单独电极82b1。)在与+X侧公共电极81a1之间产生电位差。+X侧单独电极82b1的一部分从Z方向观察而与分隔壁62a重合。+X侧单独电极82b1在分隔壁62a上在Z方向上与+X侧公共电极81a1相向。+X侧单独电极82b1的剩余的一部分相对于分隔壁62a向-X侧伸出。即，+X侧单独电极82b1的剩余的一部分从Z方向观察而与压力室61的一部分重合。

另一方面，各第2单独电极82b中的位于-X侧的第2单独电极82b(以下，称为-X侧单独电极82b2。)在与-X侧公共电极81a2之间产生电位差。-X侧单独电极82b2的一部分从Z方向观察而与分隔壁62b重合。-X侧单独电极82b2在分隔壁62b上在Z方向上与-X侧公共电极81a2相向。-X侧单独电极82b2的剩余的一部分相对于分隔壁62b向+X侧伸出。即，-X侧单独电极82b2的剩余的一部分从Z方向观察而与压力室61的一部分重合。此外，在相邻的压力室61之间，一个压力室61的+X侧单独电极82b1和其它压力室61的-X侧单独电极82b2在分隔壁62上沿X方向间隔开。

如图7中示出那样，下表面迂回布线82c在致动器板54的下表面连接至第1单独电极82a。下表面迂回布线82c从第1单独电极82a的+Y侧端部向+X侧延伸。下表面迂回布线82c的+X侧端部延伸直到从Z方向观察而与分隔壁62a的X方向的中央部重合的位置。

如图8中示出那样，上表面迂回布线82d在致动器板54的上表面一并连接至各第2单独电极82b。上表面迂回布线82d在连接至各第2单独电极82b的+Y侧端部的状态下沿X方向延伸。上表面迂回布线82d的+X侧端部延伸直到从Z方向观察而与分隔壁62a的X方向的中央部重合的位置。

如图4、图7、图8中示出那样，第1贯通布线82e将下表面迂回布线82c和上表面迂回布线82d之间连接。第1贯通布线82e沿Z方向贯通致动器板54而设置。具体地，在致动器板54中的相对于+X侧单独电极82b1位于+X侧的部分，形成有单独布线用第1孔93。在第1实施方式中，单独布线用第1孔93形成于致动器板54中的从Z方向观察而与分隔壁62a的X方向的中央部重合的部分。单独布线用第1孔93沿着+X侧单独电极82b1沿Y方向延伸。单独布线用第1孔93在相邻的压力室61之间分割致动器板54。在图示的示例中，单独布线用第1孔93的Y方向的长度成为比+X侧单独电极82b1略短且比压力室61更短的长度。但是，能够适当变更单独布线用第1孔93的Y方向的长度。

在单独布线用第1孔93的内表面，以相互分离的状态形成有相邻的压力室61的第1贯通布线82e。在以下的说明中，对驱动布线75A所涉及的第1贯通布线82e进行说明。第1贯通布线82e在单独布线用第1孔93的内表面至少遍及Z方向的整个区域形成。第1贯通布线82e在单独布线用第1孔93的下端开口缘连接至下表面迂回布线82c，另一方面，在单独布线用第1孔93的上端开口缘连接至上表面迂回布线82d。在图示的示例中，与相邻的压力室61对应的第1贯通布线82e彼此分别形成于单独布线用第1孔93的内表面中的在X方向上相向的面。因此，与相邻的压力室61对应的第1贯通布线82e彼此在单独布线用第1孔93中的Y方向的两端部被分割。

如图4、图9中示出那样，第2贯通布线82f将第1贯通布线82e迂回直到盖板56的上表面。第2贯通布线82f沿Z方向贯通第2膜55和盖板56而设置。具体地，在第2膜55和盖板56中的从Z方向观察而与单独布线用第1孔93重合的位置，形成有单独布线用第2孔94。单独布线用第2孔94是与单独布线用第1孔93同样地沿Y方向延伸的长槽。单独布线用第2孔94与单独布线用第1孔93连通。单独布线用第2孔94从Z方向观察而比单独布线用第1孔93的外形更大一圈。因此，在单独布线用第2孔94内，在与单独布线用第1孔93的边界部分，形成有由致动器板54的上表面形成的台阶差面99。

在单独布线用第2孔94的内表面，以相互分离的状态形成有相邻的压力室61的第2贯通布线82f。第2贯通布线82f在单独布线用第2孔94的内表面至少遍及Z方向的整个区域形成。第2贯通布线82f在单独布线用第2孔94的下端开口缘通过上述的台阶差面99连接至第1贯通布线82e。在图示的示例中，与相邻的压力室61对应的第2贯通布线82f彼此分别形成于单独布线用第2孔94的内表面中的在X方向上相向的面。因此，与相邻的压力室61对应的第2贯通布线82f彼此在单独布线用第2孔94中的Y方向的两端部被分割。

单独焊盘82g形成于盖板56的上表面。单独焊盘82g在盖板56的上表面中的从Z方向观察而与压力室61重合的部分沿X方向延伸。单独焊盘82g的+X侧端部在单独布线用第2孔94的上端开口缘连接至第2贯通布线82f。此外，单独焊盘82g也可以从Z方向观察而至少一部分与流路60重合。

如图4中示出那样，驱动布线75中的与流路部件52相向的部分被第1膜53覆盖。具体地，驱动布线75中的第1公共电极81a、第1单独电极82a、下表面迂回布线81c、82c和第1贯通布线81e、82e被第1膜53覆盖。另一方面，驱动布线75中的形成于致动器板54的上表面的部分被第2膜55覆盖。具体地，驱动布线75中的第2公共电极81b、第2单独电极82b、上表面迂回布线81d、82d和第1贯通布线81e、82e被第2膜55覆盖。

如图5、图9中示出那样，在盖板56的上表面，形成有公共分离槽96。公共分离槽96在盖板56的上表面中的位于公共焊盘81g和单独焊盘82g之间的部分以横穿各压力室61之间的方式沿X方向延伸。在盖板56的上表面，压接有柔性印刷基板97。柔性印刷基板97在盖板56的上表面安装于公共焊盘81g和单独焊盘82g。即，柔性印刷基板97的公共焊盘81g和单独焊盘82g的安装部分从Z方向观察而与压力室61重合。柔性印刷基板97向上方被引出。此外，与多个压力室61对应的各公共布线81(公共焊盘81g)在柔性印刷基板97上被公共化。

[打印机1的动作方法]

接着，在以下对利用如上述那样构成的打印机1来在被记录介质P记录文字或图形等的情况进行说明。

此外，作为初始状态，在图1中示出的4个墨水罐4，分别充分地封入有不同颜色的墨水。另外，成为墨水罐4内的墨水经由墨水循环机构6填充至喷墨头5内的状态。

在这样的初始状态下，如果使打印机1工作，则被记录介质P被输送机构2、3的辊11、12夹入并同时向+X侧输送。另外，与此同时，滑架29沿Y方向移动，从而搭载于滑架29的喷墨头5沿Y方向往复移动。

在喷墨头5往复移动期间，使墨水从各喷墨头5适当吐出至被记录介质P。由此，能够对被记录介质P进行文字或图像等的记录。

在此，在以下，对各喷墨头5的活动详细地进行说明。

在如本实施方式那样的循环式侧射型喷墨头5中，首先，使图2中示出的加压泵24和吸引泵25工作，从而使墨水流通于循环流路23内。在此情况下，流通于墨水供给管21的墨水通过入口侧公共流路64和入口侧连通路65供给至各压力室61内。供给至各压力室61内的墨水沿Y方向流通于各压力室61。此后，墨水在通过出口侧连通路67排出至出口侧公共流路66之后，通过墨水排出管22返回至墨水罐4。由此，能够使墨水在喷墨头5与墨水罐4之间循环。

然后，如果通过滑架29(参照图1)的移动来开始喷墨头5的往复移动，则经由柔性印刷基板97将驱动电压施加至公共电极81a、81b和单独电极82a、82b之间。此时，使公共电极81a、81b为基准电位GND并使单独电极82a、82b为驱动电位Vdd来施加驱动电压。

图10是用于对于头芯片50说明在吐出墨水时的变形的行为的说明图。

如图10中示出那样，通过施加驱动电压，在第1公共电极81a和第1单独电极82a之间以及在第2公共电极81b和第2单独电极82b之间，在X方向上产生电位差。通过沿X方向产生的电位差，在致动器板54沿与极化方向(Z方向)正交的方向产生电场。其结果是，致动器板54通过剪模式沿Z方向进行厚度滑移变形。具体地，在致动器板54的下表面，在第1公共电极81a和第1单独电极82a之间，沿在X方向上相互接近的朝向产生电场(参照箭头E1)。在致动器板54的上表面，在第2公共电极81b和第2单独电极82b之间，沿在X方向上相互分离的朝向产生电场(参照箭头E2)。其结果是，致动器板54中的与各压力室61对应的部分随着从X方向的两端部朝向中央部而朝向上方进行剪切变形。另一方面，在第1公共电极81a和第2单独电极82b之间以及在第1单独电极82a和第2公共电极81b之间，在Z方向上产生电位差。通过沿Z方向产生的电位差，在致动器板54沿与极化方向(Z方向)平行的方向产生电场(参照箭头E0)。其结果是，致动器板54通过弯曲模式沿Z方向进行伸缩变形。即，在第1实施方式的头芯片50中，起因于致动器板54的剪模式和弯曲模式的变形任一都牵涉到Z方向。具体地，通过施加驱动电压，致动器板54沿与压力室61间隔开的朝向变形。由此，压力室61内的容积扩大。此后，如果使驱动电压为零，则致动器板54复原，从而压力室61内的容积欲返回至原状。在致动器板54复原的过程中，压力室61内的压力增加，压力室61内的墨水通过喷嘴孔71向外部吐出。向外部吐出的墨水命中于被记录介质P，从而在被记录介质P记录有印刷信息。

<头芯片50的制造方法>

接着，对上述的头芯片50的制造方法进行说明。图11是用于说明头芯片50的制造方法的流程图。图12至图23是用于说明头芯片50的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。在以下的说明中，为了方便起见，将以芯片级制造头芯片50的情况作为示例而说明。

如图11中示出那样，头芯片50的制造方法具备致动器第1加工工序S01、盖第1加工工序S02、第1接合工序S03、膜加工工序S04、第2接合工序S05、致动器第2加工工序S06、盖第2加工工序S07、第3接合工序S08、流路部件第1加工工序S09、第4接合工序S10、流路部件第2加工工序S11以及第5接合工序S12。

如图12中示出那样，在致动器第1加工工序S01中，首先，形成成为公共布线用第1孔91和单独布线用第1孔93的凹部100、101(凹部形成工序)。具体地，对致动器板54的上表面形成公共布线用第1孔91和单独布线用第1孔93的形成区域开口的掩模图案。接下来，通过掩模图案对致动器板54的上表面进行喷砂等。由此，在致动器板54，形成有相对于上表面凹陷的凹部100、101。此外，凹部100、101也可以通过切块机加工或精密钻孔加工、蚀刻加工等来形成。

接着，如图13中示出那样，在致动器第1加工工序S01中，形成驱动布线75中的位于致动器板54的上表面的部分(上表面布线形成工序)。在上表面布线形成工序中，首先，对致动器板54的上表面形成驱动布线75的形成区域开口的掩模图案。接着，例如通过蒸镀等将电极材料相对于致动器板54成膜。电极材料通过掩模图案的开口部成膜于致动器板54。由此，在致动器板54的上表面和凹部100、101的内表面，形成有驱动布线75。

如图14中示出那样，在盖第1加工工序S02中，对盖板56形成成为公共布线用第2孔92和单独布线用第2孔94的一部分的贯通孔105、106。贯通孔105、106能够与在致动器板54形成凹部100、101的方法同样地通过喷砂或切块机加工等来形成。

如图15中示出那样，在第1接合工序S03中，通过粘接剂等将第2膜55粘贴于致动器板54的上表面。

在膜加工工序S04中，形成成为公共布线用第2孔92和单独布线用第2孔94的一部分的贯通孔107、108。贯通孔107、108能够通过对第2膜55中的从Z方向观察而与对应的凹部100、101重合的部分进行例如激光加工等来形成。由此，凹部100和贯通孔107彼此以及凹部101和贯通孔108彼此相互连通。

如图16中示出那样，在第2接合工序S05中，通过粘接剂等将盖板56粘贴于第2膜55的上表面。

如图17中示出那样，在致动器第2加工工序S06中，对致动器板54的下表面施行磨削加工(磨削工序)。此时，在致动器板54的下表面，将致动器板54磨削直到凹部100、101开口的位置。

接着，如图18中示出那样，在致动器第2加工工序S06中，形成驱动布线75中的位于致动器板54的下表面的部分(下表面布线形成工序)。在下表面布线形成工序中，首先，对致动器板54的下表面形成驱动布线75的形成区域开口的掩模图案。接下来，例如通过蒸镀等将电极材料相对于致动器板54成膜。电极材料通过掩模图案的开口部成膜于致动器板54。由此，在致动器板54的下表面和布线用第1孔91、93的内表面，形成有驱动布线75。

如图19中示出那样，在盖第2加工工序S07中，将第2贯通布线81f、82f和焊盘81g、82g形成于盖板56。具体地，首先，对盖板56的上表面形成第2贯通布线81f、82f和焊盘81g、82g的形成区域开口的掩模图案。接着，例如通过蒸镀等将电极材料相对于盖板56成膜。电极材料通过掩模图案的开口部成膜于盖板56。由此，形成有第2贯通布线81f、82f和焊盘81g、82g。

接着，在盖第2加工工序S07中，对盖板56的上表面形成公共分离槽96。公共分离槽96通过使切块机相对于致动器板54例如从上表面侧进入来进行。

如图20中示出那样，在第3接合工序S08中，通过粘接剂等将第1膜53粘贴于致动器板54的下表面。

如图21中示出那样，在流路部件第1加工工序S09中，对流路部件52形成流路60(参照图7)或压力室61。流路60或压力室61通过对流路部件52进行例如喷砂等来形成。

如图22中示出那样，在第4接合工序S10中，通过粘接剂等将流路部件52粘贴于第1膜53的下表面。

如图23中示出那样，在流路部件第2加工工序S11中，对流路部件52的下表面施行磨削加工(磨削工序)。此时，在流路部件52的下表面，将流路部件52磨削直到流路60或压力室61开口的位置。

在第5接合工序S12中，在使喷嘴孔71与压力室61位置配合的状态下，将喷嘴板51粘贴于流路部件52的下表面。

通过以上，完成头芯片50。

在此，在第1实施方式中，具备焊盘81g、82g，焊盘81g、82g从Z方向观察而与作为流路形成区域的流路60或压力室61重合，形成于相对于流路部件52在Z方向上朝向相反侧设置的焊盘形成面。焊盘81g、82g作为如下的构成：连接至电极(驱动电极)81a、81b、82a、82b，另一方面，安装有柔性印刷基板(外部布线)97。

依据该构成，当将柔性印刷基板97安装于焊盘81g、82g时，不需要相对于流路形成区域在与Z方向交叉的方向(X方向或Y方向)的外侧设置安装区域。因此，能够谋求头芯片50在X方向或Y方向上的小型化。另外，在从1块晶圆切出头芯片50的情况下，能够使每1块晶圆的头芯片50的获取个数增加。其结果是，能够谋求低成本化。

在第1实施方式中，作为如下的构成：电极81a、82a设置于致动器板54的下表面(第1面)，在致动器板54，形成有沿Z方向贯通致动器板54的布线用第1孔(第1贯通孔)91、93，在布线用第1孔91、93内，形成有将电极81a、82a和焊盘81g、82g之间连接的第1贯通布线81e、82e。

依据该构成，第1贯通布线81e、82e贯通致动器板54本身而设置，从而能够使第1贯通布线81e、82e的布局的自由度提高。另外，与例如绕入于致动器板54的侧表面而设置布线的情况等相比，能够缩短布线的距离。由此，能够有效地对电极81a、82a施加电压。

在第1实施方式中，作为如下的构成：压力室61在X方向(第2方向)上将分隔壁62夹在之间而设置有多个，布线用第1孔91、93设置于从Z方向观察而与分隔壁62重合的位置。

依据该构成，布线用第1孔91、93设置于相邻的压力室61之间，从而能够抑制致动器板54中的与一个压力室61对应的部分的变形牵涉到和与一个压力室61相邻的其它压力室61对应的部分(所谓的机械串扰)。其结果是，能够抑制由于机械串扰的产生而导致的吐出性能的下降。

第1实施方式的头芯片50作为具备设置于致动器板54的下表面的电极81a、82a和设置于致动器板54的上表面(第2面)的电极81b、82b的构成。

依据该构成，通过在致动器板54的两面设置有电极81a、81b、82a、82b，能够增大在致动器板54产生的电场，能够使压力室61的产生压力提高。

在第1实施方式的头芯片50中，盖板56的上表面构成焊盘形成面。

依据该构成，通过在与流路部件52或致动器板54分体的盖板56形成焊盘81g、82g，与在致动器板54的上表面形成焊盘的情况等相比，能够使布局的自由度提高。

在第1实施方式的头芯片50中，作为在夹着致动器板54而与流路部件52相反的一侧层叠有限制致动器板54的位移的盖板(限制部件)56的构成。

依据该构成，能够由盖板56针对例如起因于压力室61内的墨水的压力等而作用于致动器板54的墨水的阻力限制致动器板54向Z方向上的与流路部件52相反的一侧的位移。由此，能够有效地将致动器板54的变形朝向压力室61传递。在此情况下，与增厚致动器板54本身等而确保能够承受墨水的阻力的刚性的情况相比，能够高效地使致动器板54驱动。其结果是，能够使在致动器板54变形时的压力室61内的产生压力提高而谋求省电化。

在第1实施方式的头芯片50中，作为如下的构成：在盖板56，形成有沿Z方向贯通盖板56的布线用第2孔(第2贯通孔)92、94，在布线用第2孔92、94内，形成有将电极81a、81b、82a、82b和焊盘81g、82g之间连接的第2贯通布线81f、82f。

依据该构成，第2贯通布线81f、82f贯通盖板56本身而设置，从而能够使第2贯通布线81f、82f的布局的自由度提高。另外，与例如绕入于盖板56的侧表面而设置布线的情况等相比，能够缩短第2贯通布线81f、82f的距离。由此，能够有效地对电极81a、81b、82a、82b施加电压。

第1实施方式的喷墨头5和打印机1具备上述的头芯片50，因而能够提供小型且高性能的喷墨头5和打印机1。

(第2实施方式)

图24是与图25的XXIV-XXIV线对应的头芯片50的截面图。图25是与图24的XXV-XXV线对应的头芯片50的截面图。图26是致动器板54的仰视图。图27是致动器板54的俯视图。图28是盖板56的俯视图。在第2实施方式中，在如下的点上与上述的实施方式不同：布线用第1孔91、93和布线用第2孔92、94相对于压力室61配置于Y方向的外侧。

在图24至图28中示出的头芯片50中，公共布线81具备第1公共电极81a、第2公共电极81b、第1贯通布线81e、第2贯通布线81f和公共焊盘81g。

第1公共电极81a和第2公共电极81b与上述的第1实施方式同样地针对每个各压力室61设置。

如图25至图27中示出那样，第1贯通布线81e形成于公共布线用第1孔91的内表面。公共布线用第1孔91贯通作为致动器板54中的相对于压力室61位于-Y侧的部分且从Z方向观察而与入口侧公共流路64或入口侧连通路65重合的部分。公共布线用第1孔91以横穿多个压力室61之间的方式沿X方向延伸。

第1贯通布线81e在公共布线用第1孔91的内表面至少遍及Z方向的整个区域形成。在图示的示例中，第1贯通布线81e在公共布线用第1孔91的内表面中的朝向-Y侧的面以横穿多个压力室61之间的方式形成。第1贯通布线81e在公共布线用第1孔91的下端开口缘连接至第1公共电极81a的-Y侧端部，另一方面，在公共布线用第1孔91的上端开口缘连接至第2公共电极81b的-Y侧端部。即，与各压力室61对应的公共布线81彼此在公共布线用第1孔91内通过第1贯通布线81e来公共化。此外，第1贯通布线81e也可以在公共布线用第1孔91的内表面遍及整周形成。

如图25、图28中示出那样，第2贯通布线81f形成于公共布线用第2孔92的内表面。公共布线用第2孔92沿Z方向贯通第2膜55和盖板56中的从Z方向观察而与公共布线用第1孔91重合的位置。公共布线用第2孔92从Z方向观察而比公共布线用第1孔91的外形更大一圈。

第2贯通布线81f形成于公共布线用第2孔92的内表面。第2贯通布线81f在公共布线用第2孔92的内表面至少遍及Z方向的整个区域形成。在图示的示例中，第2贯通布线81f在公共布线用第2孔92的内表面中的朝向-Y侧的面以横穿多个压力室61之间的方式形成。第2贯通布线81f在公共布线用第2孔92的下端开口缘连接至第1贯通布线81e。

公共焊盘81g在盖板56的上表面与各压力室61对应地设置。各公共焊盘81g在盖板56的上表面从公共布线用第2孔92的上端开口缘朝向+Y侧延伸。公共焊盘81g的至少一部分从Z方向观察而与压力室61重合。

如图25至图27中示出那样，单独布线82具备第1单独电极82a、第2单独电极82b、第1贯通布线82e、第2贯通布线82f以及单独焊盘82g。

第1单独电极82a和第2单独电极82b与上述的第1实施方式同样地针对每个各压力室61设置。

第1贯通布线82e形成于单独布线用第1孔93的内表面。单独布线用第1孔93贯通作为致动器板54中的相对于压力室61位于+Y侧的部分且从Z方向观察而与出口侧公共流路66或出口侧连通路67重合的部分。单独布线用第1孔93以横穿多个压力室61之间的方式沿X方向延伸。

第1贯通布线82e在单独布线用第1孔93的内表面至少遍及Z方向的整个区域形成。在图示的示例中，第1贯通布线82e形成于单独布线用第1孔93的内表面中的朝向+Y侧的面。第1贯通布线82e在单独布线用第1孔93的下端开口缘连接至对应的第1单独电极82a的+Y侧端部，另一方面，在单独布线用第1孔93的上端开口缘连接至对应的第2单独电极82b的+Y侧端部。与各压力室61对应的第1贯通布线81e彼此在单独布线用第1孔93内相互分离。

如图25、图28中示出那样，第2贯通布线82f形成于单独布线用第2孔94的内表面。单独布线用第2孔94沿Z方向贯通第2膜55和盖板56中的从Z方向观察而与单独布线用第1孔93重合的位置。单独布线用第2孔94从Z方向观察而比单独布线用第1孔93的外形更大一圈。

第2贯通布线82f形成于单独布线用第2孔94的内表面。第2贯通布线82f在单独布线用第2孔94的内表面至少遍及Z方向的整个区域形成。在图示的示例中，第2贯通布线82f形成于单独布线用第2孔94的内表面中的朝向+Y侧的面。第2贯通布线82f在单独布线用第2孔94的下端开口缘连接至对应的第1贯通布线82e。

单独焊盘82g在盖板56的上表面与各压力室61对应地设置。各单独焊盘82g在盖板56的上表面从单独布线用第2孔94的上端开口缘朝向-Y侧延伸。单独焊盘82g的至少一部分从Z方向观察而与压力室61重合。

在第2实施方式的头芯片50中，作为如下的构成：布线用第1孔91、93在Y方向(第3方向)上位于压力室61的外侧的部分跨越多个压力室61而沿X方向延伸。

依据该构成，布线用第1孔91、93在Y方向上设置于压力室61的外侧，从而与在相邻的压力室61之间设置有布线用第1孔91、93的情况相比，能够使相邻的压力室61之间的间隔变窄。由此，能够谋求头芯片在X方向上的小型化或喷嘴孔71的窄间距化。另外，通过使布线用第1孔91、93相对于多个压力室61公共化，能够谋求构成的简化。

(第3实施方式)

图29是致动器板54的仰视图。图30是致动器板54的俯视图。图31是盖板56的俯视图。在第3实施方式中，在如下的点上与上述的实施方式不同：针对每个压力室61而单独地设置有布线用第1孔91、93和布线用第2孔92、94。

如图29、图30中示出那样，公共布线用第1孔91分别形成于致动器板54中的相对于各压力室61位于-Y侧的部分。在公共布线用第1孔91的内表面，形成有第1贯通布线81e。

如图31中示出那样，公共布线用第2孔92沿Z方向贯通第2膜55和盖板56中的从Z方向观察而与公共布线用第1孔91重合的位置。公共布线用第2孔92从Z方向观察而比公共布线用第1孔91的外形更大一圈。在公共布线用第2孔92的内表面，形成有第2贯通布线81f。第2贯通布线81f在公共布线用第2孔92的上端开口缘连接至公共焊盘81g。

如图29、图30中示出那样，单独布线用第1孔93分别形成于致动器板54中的相对于各压力室61位于+Y侧的部分。在单独布线用第1孔93的内表面，形成有第1贯通布线82e。

如图31中示出那样，单独布线用第2孔94沿Z方向贯通第2膜55和盖板56中的从Z方向观察而与单独布线用第1孔93重合的位置。单独布线用第2孔94从Z方向观察而比单独布线用第1孔93的外形更大一圈。在单独布线用第2孔94的内表面，形成有第2贯通布线82f。第2贯通布线82f在单独布线用第2孔94的上端开口缘连接至单独焊盘82g。

在第3实施方式的头芯片50中，作为在相对于压力室61位于Y方向的外侧的部分针对每个压力室61而设置有布线用第1孔91、93的构成。

依据该构成，布线用第1孔91、93在Y方向上设置于压力室61的外侧，从而与在相邻的压力室61之间设置有布线用第1孔91、93的情况相比，能够使相邻的压力室61之间的间隔变窄。由此，能够谋求头芯片50在X方向上的小型化或喷嘴孔71的窄间距化。另外，通过针对每个压力室61而设置有布线用第1孔91、93，能够相对于各布线用第1孔91、93内形成与一个压力室61对应的贯通布线。在此情况下，能够抑制与相邻的压力室61对应的单独布线82彼此在单独布线用第1孔93内连接，因而容易进行布线的图案化，能够谋求制造效率的提高。

(其它变形例)

此外，本公开的技术范围不限定于上述的实施方式，在不脱离本公开的宗旨的范围内，能够添加各种变更。

例如，在上述的实施方式中，作为液体喷射记录装置的一个示例，举例说明了喷墨打印机1，但不限于打印机。例如，也可以是传真机或按需印刷机等。

在上述的实施方式中，以在印刷时喷墨头相对于被记录介质移动的构成(所谓的往返机(シャトル機))为示例而进行了说明，但不限于该构成。本公开所涉及的构成也可以在将喷墨头固定的状态下使被记录介质相对于喷墨头移动的构成(所谓的固定头机)中采用。

在上述的实施方式中，对被记录介质P为纸的情况进行了说明，但不限于该构成。被记录介质P不限于纸，也可以是金属材料或树脂材料，也可以是食品等。

在上述的实施方式中，对液体喷射头搭载于液体喷射记录装置的构成进行了说明，但不限于该构成。即，从液体喷射头喷射的液体不限于命中于被记录介质的液体，也可以是例如在调剂中调配的药液或添加至食品的调料或香料等食品添加物、喷射至空气中的芳香剂等。

在上述的实施方式中，对Z方向与重力方向一致的构成进行了说明，但并非仅限于该构成，也可以使Z方向沿着水平方向。

在上述的实施方式中，以循环式侧射型头芯片50为示例而进行了说明，但不限于该构成。头芯片也可以是从压力室61的延展方向(Y方向)的端部吐出墨水的所谓的边射型。

在上述的实施方式中，对在形成于致动器板54的一个面的各电极与形成于另一个面的各电极之间产生电位差的情况进行了说明，但不限于该构成。例如，也可以如图32中示出那样，是如下的构成：在致动器板54的下表面(第1面)，形成有第1公共电极81a和第1单独电极82a，另一方面，在致动器板54的上表面(第2面)，在与第1公共电极81a相向的位置，仅形成有第2单独电极82b。另外，也可以如图33中示出那样，是如下的构成：在致动器板54的上表面(第1面)，形成有第2公共电极81b和第2单独电极82b，另一方面，在致动器板54的下表面(第2面)，在与第2单独电极82b相向的位置，仅形成有第1公共电极81a。

进而，在上述的图33中示出的构成中，对至少在从Z方向观察而与压力室61重合的位置公共电极和单独电极相向的构成进行了说明，但不限于该构成。例如，也可以如图34中示出那样，是如下的构成：在致动器板54的下表面，在第1公共电极81a和第1单独电极82a并排的状态下，仅在通过分隔壁62相向的位置，第1单独电极82a和第2公共电极81b相向。

在上述的实施方式中，对通过在通过施加电压来使致动器板54沿压力室61的容积扩大的方向变形之后使致动器板54复原而使墨水吐出的构成(所谓的拉射)进行了说明，但不限于该构成。本公开所涉及的头芯片也可以是通过利用施加电压来使致动器板54沿压力室61的容积缩小的方向变形从而使墨水吐出的构成(所谓的推射)。在进行推射的情况下，通过施加驱动电压，致动器板54以朝向压力室61内鼓出的方式变形。由此，压力室61内的容积减少，从而压力室61内的压力增加，压力室61内的墨水通过喷嘴孔71向外部吐出。如果使驱动电压为零，则致动器板54复原。其结果是，压力室61内的容积返回至原状。此外，推射的头芯片能够通过将致动器板54的极化方向和电场的朝向(公共电极和单独电极的布局)的任一个相对于拉射的头芯片相反地设定来实现。

在上述的实施方式中，对致动器板54的两面的电极彼此通过贯通布线连接的构成进行了说明，但不限于该构成。能够适当变更致动器板54的两面的电极彼此的连接。例如，致动器板54的两面的电极彼此也可以通过致动器板54的侧表面等连接。

在上述的实施方式中，对起因于剪模式和弯曲模式的两者的变形模式而使致动器板54变形的构成进行了说明，但不限于该构成。致动器板54能够以剪模式和弯曲模式的至少任一个变形模式变形即可。在仅采用剪模式的情况下，在致动器板54的朝向Z方向的至少任一面，并排地配置有公共电极和单独电极。由此，能够对致动器板54沿X方向赋予电位差。另一方面，在仅采用弯曲模式的情况下，在致动器板54的在Z方向上相向的面，配置有公共电极和单独电极。由此，能够对致动器板54沿Z方向赋予电位差。

在上述的实施方式中，对使盖板56的上表面为焊盘形成面的构成进行了说明，但不限于该构成。焊盘形成面相对于流路部件在Z方向上朝向相反侧设置即可。在此情况下，也可以使致动器板54的上表面作为焊盘形成面起作用。

在上述的实施方式中，对由盖板56限制致动器板54的位移的构成进行了说明，但不限于该构成。盖板56也可以仅具有作为焊盘形成面的功能。即，也可以在盖板56中的与压力室61相向的部分设置有容许致动器板54的位移的退避部等。

此外，在不脱离本公开的宗旨的范围内，能够适当将上述的实施方式的构成要素置换成众所周知的构成要素，另外，也可以适当组合上述的各变形例。

符号说明

1：打印机(液体喷射记录装置)

5：喷墨头(液体喷射头)

50：头芯片

52：流路部件

54：致动器板

56：盖板(限制部件)

60：流路

61：压力室

62：分隔壁

62a：分隔壁

62b：分隔壁

81a：第1公共电极(第1电极、驱动电极)

81b：第2公共电极(第2电极、驱动电极)

81e：第1贯通布线

81f：第2贯通布线

81g：公共焊盘

82a：第1单独电极(第1电极、驱动电极)

82b：第2单独电极(第2电极、驱动电极)

82c：布线

82d：布线

82e：第1贯通布线

82f：第2贯通布线

82g：单独焊盘

91：公共布线用第1孔(第1贯通孔)

92：公共布线用第2孔(第2贯通孔)

93：单独布线用第1孔(第1贯通孔)

94：单独布线用第2孔(第2贯通孔)。

Claims (11)

1.一种头芯片，其具备：

流路部件，其具有包括液体流通的流路和与所述流路连通并且容纳有液体的压力室的流路形成区域；

致动器板，其在相对于所述压力室沿第1方向相向的状态下层叠于所述流路部件上；

驱动电极，其形成于所述致动器板中的朝向所述第1方向的面，使所述致动器板沿所述第1方向变形而使所述压力室的容积变化；以及

焊盘，其是从所述第1方向观察而与所述流路形成区域重合的区域，形成于相对于所述流路部件在所述第1方向上朝向相反侧设置的焊盘形成面，连接至所述驱动电极，另一方面，安装有外部布线。

2.根据权利要求1所述的头芯片，其中，

所述驱动电极设置于所述致动器板中的在所述第1方向上与所述流路部件相向的第1面，

在所述致动器板，形成有沿所述第1方向贯通所述致动器板的第1贯通孔，

在所述第1贯通孔内，形成有将所述驱动电极和所述焊盘之间连接的第1贯通布线。

3.根据权利要求2所述的头芯片，其中，

所述压力室在与所述第1方向交叉的第2方向上将分隔壁夹在之间而设置有多个，

所述第1贯通孔设置于从所述第1方向观察而与所述分隔壁重合的位置。

4.根据权利要求2所述的头芯片，其中，

所述压力室在与所述第1方向交叉的第2方向上将分隔壁夹在之间而设置有多个，

所述第1贯通孔在从所述第1方向观察而在与所述第2方向交叉的第3方向上位于所述压力室的外侧的部分跨越多个所述压力室而沿所述第2方向延伸。

5.根据权利要求2所述的头芯片，其中，

所述压力室在与所述第1方向交叉的第2方向上将分隔壁夹在之间而设置有多个，

所述第1贯通孔在从所述第1方向观察而与所述第2方向交叉的第3方向上位于所述压力室的外侧的部分针对每个所述压力室而设置。

6.根据权利要求3至权利要求5中的任一项所述的头芯片，其中，

所述驱动电极具备：

第1电极，其设置于所述致动器板的所述第1面；和

第2电极，其设置于所述致动器板中的在所述第1方向上朝向与所述第1面相反的一侧的第2面。

7.根据权利要求1至权利要求5中的任一项所述的头芯片，其中，

在所述第1方向上，在夹着所述致动器板而与所述流路部件相反的一侧，设置有覆盖所述致动器板的盖板，

所述盖板中的在所述第1方向上朝向与所述致动器板相反的一侧的面构成所述焊盘形成面。

8.根据权利要求1至权利要求5中的任一项所述的头芯片，其中，

在所述第1方向上，在夹着所述致动器板而与所述流路部件相反的一侧，层叠有限制所述致动器板向所述第1方向上的与所述流路部件相反的一侧的位移的限制部件。

9.根据权利要求8所述的头芯片，其中，

所述限制部件中的在所述第1方向上朝向与所述致动器板相反的一侧的面构成所述焊盘形成面，

在所述限制部件，形成有沿所述第1方向贯通所述限制部件的第2贯通孔，

在所述第2贯通孔内，形成有将所述驱动电极和所述焊盘之间连接的第2贯通布线。

10.一种液体喷射头，其具备根据权利要求1至权利要求9中的任一项所述的头芯片。

11.一种液体喷射记录装置，其具备根据权利要求10所述的液体喷射头。

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