CN116278390A - 头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置 - Google Patents

头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置 Download PDF

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Abstract

提供能够在谋求省电化的基础上使产生压力提高的头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置。本公开的一个方案所涉及的头芯片具备：流路部件，其具有容纳有液体的压力室；致动器板，其在相对于压力室沿第1方向相向的状态下层叠于流路部件上；驱动电极，其形成于致动器板中的朝向第1方向的面，使致动器板沿第1方向变形而使压力室的容积变化；以及非驱动部件，其层叠于在第1方向上夹着致动器板而与流路部件相反的一侧，限制致动器板向第1方向上的与流路部件相反的一侧的位移。

Description

头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置
技术领域
本公开涉及头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置。
背景技术
搭载于喷墨打印机的头芯片通过喷嘴孔吐出容纳于压力室内的墨水，从而对被记录介质印刷文字或图像等信息。在头芯片中，为了使墨水吐出，首先，针对由压电材料形成的致动器板产生电场，使致动器板变形。在头芯片中，由于致动器板的变形而导致压力室内的容积变化，压力室内的压力增加，从而墨水通过喷嘴孔吐出。
在此，作为致动器板的变形模式，存在通过在致动器板产生的电场来使致动器板进行剪切变形(厚度滑移变形)的所谓的剪模式。剪模式中的所谓的顶射型头芯片是致动器板相对于形成于流路部件的压力室相向而配置的构成(例如，参照下述专利文献1)。在顶射型头芯片中，致动器板沿厚度方向变形，从而压力室的容积变化。在下述专利文献1的构成中，在相对于致动器板与流路部件相反的一侧，形成有用于容许致动器板的变形的空间。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：美国专利第4584590号说明书。
发明内容
发明要解决的课题
可是，为了高效地使致动器板驱动(变形)，优选致动器板的厚度薄。然而，如果使致动器板变薄，则致动器板的刚性下降。于是，致动器板存在由于压力室内的墨水的阻力(柔量)而妨碍电压施加所导致的理论上的变形行为的可能性。其结果是，存在不能确保在吐出墨水时压力室内的产生压力的可能性。在顶射型头芯片中，为了确保产生压力，需要增大驱动电压。
本公开提供能够在谋求省电化的基础上使在吐出墨水时的压力室内的产生压力提高的头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置。
用于解决课题的手段
为了解决上述课题，本公开采用了以下的方案。
(1)本公开的一个方案所涉及的头芯片具备：流路部件，其具有容纳有液体的压力室；致动器板，其在相对于前述压力室沿第1方向相向的状态下层叠于前述流路部件上；驱动电极，其形成于前述致动器板中的朝向前述第1方向的面，使前述致动器板沿前述第1方向变形而使前述压力室的容积变化；以及非驱动部件，其层叠于在前述第1方向上夹着前述致动器板而与前述流路部件相反的一侧，限制前述致动器板向前述第1方向上的与前述流路部件相反的一侧的位移。
依据本方案，例如，能够由非驱动部件针对起因于压力室内的液体的压力等而作用于致动器板的液体的阻力限制致动器板向第1方向上的与流路部件相反的一侧的位移。由此，致动器板示出电压施加所导致的理论上的变形行为，能够有效地将致动器板的变形朝向压力室传递。在此情况下，与增厚致动器板本身等而确保能够承受液体的阻力的刚性的情况相比，能够高效地使致动器板驱动。其结果是，能够使在致动器板变形时的压力室内的产生压力提高而谋求省电化。
(2)在上述(1)的方案所涉及的头芯片中，也可以是，关于前述非驱动部件，前述第1方向的厚度比前述致动器板更厚。
依据本方案，容易确保非驱动部件的刚性，因而在致动器板变形时，有效地限制致动器板向第1方向上的与流路部件相反的一侧的位移，致动器板容易示出电压施加所导致的理论上的变形行为。
(3)在上述(1)或(2)的方案所涉及的头芯片中，也可以是，前述非驱动部件具备：第1缓冲件，其压缩弹性模量比前述致动器板更小；和刚性部件，其夹着前述第1缓冲件而设置于前述第1方向上的与前述致动器板相反的一侧，压缩弹性模量比前述第1缓冲件更大。
依据本方案，在刚性部件与致动器板之间，配置有第1缓冲件。由此，伴随着致动器板的变形，缓冲件变形，从而能够容许致动器板的变形，并同时由刚性部件限制致动器板的位移。由此，能够在致动器板确保与供给至驱动电极的电力相应的变形量。
(4)在上述(1)至(3)的任一个方案所涉及的头芯片中，也可以是，前述压力室在与前述第1方向交叉的第2方向上将分隔壁夹在之间而设置有多个，前述非驱动部件架设于相对于一个前述压力室位于前述第2方向的两侧的前述分隔壁之间。
依据本方案，非驱动部件架设于分隔壁之间，因而容易确保非驱动部件的刚性。由此，抑制致动器板向第1方向上的与流路部件相反的一侧的位移，致动器板容易示出电压施加所导致的理论上的变形行为。
(5)在上述(1)至(4)的任一个方案所涉及的头芯片中，也可以是，前述压力室具备在前述第1方向上朝向前述致动器板开口的开口部，前述开口部由压缩弹性模量比前述致动器板更小的第2缓冲件闭塞，前述致动器板夹着前述第2缓冲件而设置于与前述流路部件相反的一侧。
依据本方案，在致动器板与流路部件之间，以将开口部闭塞的方式设置有第2缓冲件，从而能够利用第2缓冲件来缓和通过开口部而作用的液体的阻力。由此，抑制致动器板向第1方向上的与流路部件相反的一侧的位移，致动器板容易示出电压施加所导致的理论上的变形行为。
(6)本公开的一个方案所涉及的液体喷射头具备上述(1)至(5)的任一个方案所涉及的头芯片。
依据本方案，能够提供省电且高性能的液体喷射头。
(7)本公开的一个方案所涉及的液体喷射记录装置具备上述(6)的方案所涉及的液体喷射头。
依据本方案，能够提供省电且高性能的液体喷射记录装置。
发明的效果
依据本公开的一个方案，能够在谋求省电化的基础上使产生压力提高。
附图说明
图1是实施方式所涉及的喷墨打印机的概略构成图。
图2是实施方式所涉及的喷墨头和墨水循环机构的概略构成图。
图3是实施方式所涉及的头芯片的分解立体图。
图4是与图3的IV-IV线对应的头芯片的截面图。
图5是与图4的V-V线对应的头芯片的截面图。
图6是实施方式所涉及的致动器板的仰视图。
图7是实施方式所涉及的致动器板的俯视图。
图8是用于对于实施方式所涉及的头芯片说明在吐出墨水时的变形的行为的说明图。
图9是用于说明实施方式所涉及的头芯片的制造方法的流程图。
图10是用于说明实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。
图11是用于说明实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。
图12是用于说明实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。
图13是用于说明实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。
图14是用于说明实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。
图15是用于说明实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。
图16是用于说明实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。
图17是用于说明实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。
图18是用于说明实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。
图19是用于说明实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。
图20是用于说明实施方式所涉及的头芯片的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。
图21是变形例所涉及的头芯片的截面图。
图22是变形例所涉及的头芯片的截面图。
图23是变形例所涉及的头芯片的截面图。
图24是变形例所涉及的头芯片的截面图。
图25是变形例所涉及的头芯片的截面图。
具体实施方式
以下，参照附图，对本公开所涉及的实施方式进行说明。在以下所说明的实施方式或变形例中，有时针对对应的构成赋予同一符号并省略说明。在以下的说明中，示出例如“平行”或“正交”、“中心”、“同轴”等相对或绝对配置的表达不仅表示严格地那样的配置，而且还表示以公差或可得到相同功能的程度的角度或距离相对地位移的状态。在以下的实施方式中，举例说明利用墨水(液体)来在被记录介质进行记录的喷墨打印机(以下，仅称为打印机)。在以下的说明中所使用的附图中，为了使各部件为能够识别的大小，适当变更各部件的比例尺。
(第1实施方式)
[打印机1]
图1是打印机1的概略构成图。
图1中示出的打印机(液体喷射记录装置)1具备一对输送机构2、3、墨水罐4、喷墨头(液体喷射头)5、墨水循环机构6以及扫描机构7。
在以下的说明中，与需要相应地使用X、Y、Z的正交坐标系来说明。在此情况下，X方向与被记录介质P(例如，纸等)的输送方向(副扫描方向)一致。Y方向与扫描机构7的扫描方向(主扫描方向)一致。Z方向示出与X方向和Y方向正交的高度方向(重力方向)。在以下的说明中，在X方向、Y方向和Z方向中，以图中箭头侧为正(+)侧并以与箭头相反的一侧为负(-)侧来说明。在本说明书中，+Z侧相当于重力方向的上方，-Z侧相当于重力方向的下方。
输送机构2、3将被记录介质P向+X侧输送。输送机构2、3例如各自包括沿Y方向延伸的一对辊11、12。
在墨水罐4，例如分别容纳有黄色、品红色、青色、黑色的4种颜色的墨水。各喷墨头5以能够与所连接的墨水罐4相应地各自吐出黄色、品红色、青色、黑色的4种颜色的墨水的方式构成。
图2是喷墨头5和墨水循环机构6的概略构成图。
如图1、图2中示出那样，墨水循环机构6使墨水在墨水罐4与喷墨头5之间循环。具体地，墨水循环机构6具备：循环流路23，其具有墨水供给管21和墨水排出管22；加压泵24，其连接至墨水供给管21；以及吸引泵25，其连接至墨水排出管22。
加压泵24对墨水供给管21内进行加压，通过墨水供给管21将墨水送出至喷墨头5。由此，墨水供给管21侧相对于喷墨头5成为正压。
吸引泵25对墨水排出管22内进行减压，通过墨水排出管22内从喷墨头5吸引墨水。由此，墨水排出管22侧相对于喷墨头5成为负压。墨水能够利用加压泵24和吸引泵25的驱动来在喷墨头5与墨水罐4之间通过循环流路23循环。
如图1中示出那样，扫描机构7使喷墨头5沿Y方向往复扫描。扫描机构7具备沿Y方向延伸的导轨28和以能够移动的方式被导轨28支撑的滑架29。
<喷墨头5>
喷墨头5搭载于滑架29。在图示的示例中，多个喷墨头5沿Y方向并排地搭载于一个滑架29。喷墨头5具备：头芯片50(参照图3)；墨水供给部(未图示)，其将墨水循环机构6和头芯片50之间连接；以及控制部(未图示)，其将驱动电压施加至头芯片50。
<头芯片50>
图3是头芯片50的分解立体图。图4是与图3的IV-IV线对应的头芯片50的截面图。图5是与图4的V-V线对应的头芯片50的截面图。
图3至图5中示出的头芯片50是使墨水在与墨水罐4之间循环并且从后述的压力室61的延展方向(Y方向)的中央部吐出墨水的所谓的循环式侧射型头芯片50。头芯片50具备喷嘴板51、流路部件52、第1膜53、致动器板54、第2膜55以及盖板56。在以下的说明中，有时以Z方向中的从喷嘴板51朝向盖板56的方向(+Z侧)为上侧并以从盖板56朝向喷嘴板51的方向(-Z侧)为下侧来说明。
流路部件52是以Z方向为厚度方向的板状。流路部件52由具有耐墨性的材料形成。作为这样的材料，能够采用例如金属或金属氧化物、玻璃、树脂、陶瓷等。在流路部件52，形成有多个压力室61。在各压力室61内，容纳有墨水。各压力室61沿X方向隔开间隔地并排。因此，流路部件52中的位于相邻的压力室61之间的部分构成将相邻的压力室61之间沿X方向分隔的分隔壁62。
各压力室61以沿Y方向以直线状延伸的槽状形成。各压力室61在Y方向上的至少一部分(在本实施方式中，Y方向的中央部)贯通流路部件52。此外，在本实施方式中，对通道延展方向与Y方向一致的构成进行说明，但通道延展方向也可以与Y方向交叉。另外，压力室61的俯视观察形状不限于长方形状(以X方向和Y方向中的任一个为长边方向并以另一个为短边方向的形状)。压力室61的俯视观察形状也可以是正方形状或三角形状等多边形状、圆形状、椭圆形状等。
喷嘴板51通过粘接等来固定于流路部件52的下表面。关于喷嘴板51，其俯视观察外形与流路部件52同等。因此，喷嘴板51将压力室61的下端开口部闭塞。在本实施方式中，喷嘴板51由聚酰亚胺等树脂材料以厚度为数十至百数十μm左右形成。但是，喷嘴板51除了树脂材料以外，也可以是基于金属材料(SUS或Ni-Pd等)、玻璃、硅等的单层构造或层叠构造。
在喷嘴板51，形成有沿Z方向贯通喷嘴板51的多个喷嘴孔71。各喷嘴孔71沿X方向隔开间隔地配置。各喷嘴孔71分别相对于对应的压力室61在X方向和Y方向的中央部连通。在本实施方式中，各喷嘴孔71例如以内径随着从上方朝向下方而逐渐缩小的渐缩状形成。在本实施方式中，对多个压力室61和多个喷嘴孔71沿X方向并排成一列的构成进行了说明，但不限于该构成。如果以沿X方向并排的多个压力室61和多个喷嘴孔71为喷嘴列，则喷嘴列也可以沿Y方向隔开间隔地设置有多列。在此情况下，如果将喷嘴列的列数作为n，则一个喷嘴列的喷嘴孔71(压力室61)的Y方向上的排列间距优选相对于与一个喷嘴列相邻的其它喷嘴列的喷嘴孔71的排列间距每个偏移1/n间距而排列。
第1膜53通过粘接等来固定于流路部件52的上表面。第1膜53遍及流路部件52的上表面整个区域配置。由此，第1膜53将各压力室61的上端开口部闭塞。第1膜53由具有绝缘性和耐墨性、能够弹性变形的材料形成。作为这样的材料，第1膜53例如由树脂材料(聚酰亚胺类或环氧树脂类、聚丙烯类等)形成。在本实施方式中，“能够弹性变形”意味着是在层叠有多个部件的状态下，与在Z方向上相邻的部件相比而压缩弹性模量小的部件。即，关于第1膜53，其压缩弹性模量比流路部件52和致动器板54更小。
致动器板54以Z方向为厚度方向，通过粘接等来固定于第1膜53的上表面。致动器板54的俯视观察外形比流路部件52的俯视观察外形更大。因此，致动器板54将第1膜53夹在之间而与各压力室61在Z方向上相向。此外，致动器板54不限于将各压力室61一并覆盖的构成，也可以针对每个各压力室61单独地设置。
致动器板54由PZT(钛酸锆酸铅)等压电材料形成。致动器板54以极化方向朝向-Z侧的方式设定。在致动器板54的两面，形成有驱动布线64。致动器板54以能够通过利用由驱动布线64施加的电压来产生电场而沿Z方向变形的方式构成。致动器板54通过Z方向的变形来使压力室61内的容积扩大或缩小，从而使墨水从压力室61内吐出。此外，在后文中，对驱动布线64的构成进行阐述。
第2膜55通过粘接等来固定于致动器板54的上表面。在本实施方式中，第2膜55覆盖致动器板54的上表面整个区域。第2膜55由具有绝缘性、能够弹性变形的材料形成。作为这样的材料，能够采用与第1膜53同样的材料。即，关于第2膜55，其压缩弹性模量比流路部件52和致动器板54更小。
盖板56以Z方向为厚度方向，通过粘接等来固定于第2膜55的上表面。盖板56的Z方向的厚度比致动器板54或流路部件52、各膜53、55更厚。在本实施方式中，盖板56与流路部件52同样地由金属或金属氧化物、玻璃、树脂、陶瓷等形成。关于盖板56，其压缩弹性模量至少比第2膜55更大。如图5中示出那样，盖板56、第2膜55和致动器板54中的相对于流路部件52向+Y侧突出的部分构成尾部65。
在盖板56，形成有入口公共墨水室66和出口公共墨水室67。
入口公共墨水室66例如形成于从Z方向观察而与压力室61的+Y侧端部重叠的位置。入口公共墨水室66例如以跨越各压力室61的长度沿X方向延伸，并且在盖板56的上表面开口。
出口公共墨水室67例如形成于从Z方向观察而与压力室61的-Y侧端部重叠的位置。出口公共墨水室67例如以跨越各压力室61的长度沿X方向延伸，并且在盖板56的上表面开口。
在入口公共墨水室66，在从Z方向观察而与压力室61重合的位置，形成有入口狭缝68。入口狭缝68沿Z方向贯通盖板56、第2膜55、致动器板54和第1膜53。入口狭缝68将各压力室61与入口公共墨水室66内之间分别连通。
在出口公共墨水室67，在从Z方向观察而与压力室61重合的位置，形成有出口狭缝69。出口狭缝69沿Z方向贯通盖板56、第2膜55、致动器板54和第1膜53。出口狭缝69将各压力室61与出口公共墨水室67内之间分别连通。
接下来，对驱动布线64的构造进行说明。图6是致动器板54的仰视图。图7是致动器板54的俯视图。驱动布线64与各压力室61对应地设置。与相邻的压力室61对应的驱动布线64彼此以沿着Y方向的对称轴T为基准而线对称地形成。在以下的说明中，以与多个压力室61中的一个压力室61A对应地设置的驱动布线64A为示例而说明，对于与其它压力室61对应的驱动布线64，适当省略说明。
如图6、图7中示出那样，驱动布线64A具备公共布线81和单独布线82。
公共布线81具备第1公共电极81a、第2公共电极81b、下表面迂回布线81c、上表面迂回布线81d、贯通布线81e、公共连接布线81f以及公共焊盘81g。此外，优选在公共布线81中的除了公共电极81a、81b以外的部分(下表面迂回布线81c、上表面迂回布线81d、贯通布线81e、公共连接布线81f和公共焊盘81g)与致动器板54之间设置有未图示的绝缘体(例如，SiO2等)。
如图4、图6中示出那样，第1公共电极81a在致动器板54的下表面，在Z方向上与对应的压力室61相向的位置，沿Y方向以直线状延伸。在图示的示例中，第1公共电极81a形成于包括压力室61的X方向的中央部的位置。但是，第1公共电极81a只要形成于与压力室61相向的位置，就能够对X方向的宽度或位置等进行适当变更。
如图4、图7中示出那样，第2公共电极81b在致动器板54的上表面，在从Z方向观察而不与对应的压力室61的第1公共电极81a重合的位置，沿Y方向以直线状延伸。在本实施方式中，第2公共电极81b相对于第1公共电极81a各自形成于X方向的两侧。各第2公共电极81b形成于相对于压力室61的X方向的中央部对称的位置。
各第2公共电极81b中的位于+X侧的第2公共电极81b(以下，称为+X侧公共电极81b1。)的一部分从Z方向观察而与划分对应的压力室61的分隔壁62中的位于+X侧的分隔壁62(以下，称为分隔壁62a。)重合。+X侧公共电极81b1的剩余的一部分相对于分隔壁62a向-X侧伸出。即，+X侧公共电极81b1的剩余的一部分从Z方向观察而与压力室61的一部分重合。
各第2公共电极81b中的位于-X侧的第2公共电极81b(以下，称为-X侧公共电极81b2。)的一部分从Z方向观察而与划分对应的压力室61的分隔壁62中的位于-X侧的分隔壁62(以下，称为分隔壁62b。)重合。此外，在相邻的压力室61之间，一个压力室61的+X侧公共电极81b1和其它压力室61的-X侧公共电极81b2在分隔壁62上沿X方向间隔开。
-X侧公共电极81b2的剩余的一部分相对于分隔壁62b向+X侧伸出。即，-X侧公共电极81b2的剩余的一部分从Z方向观察而与压力室61的一部分重合。此外，第1公共电极81a的Y方向的宽度D1优选与各第2公共电极81b中的与压力室61重合的部分的Y方向的宽度D2相比而较宽。
如图6中示出那样，下表面迂回布线81c在致动器板54的下表面连接至第1公共电极81a。下表面迂回布线81c从第1公共电极81a的-Y侧端部向+X侧延伸。下表面迂回布线81c的+X侧端部延伸直到从Z方向观察而与分隔壁62a的X方向的中央部重合的位置。
如图7中示出那样，上表面迂回布线81d在致动器板54的上表面一并连接至各第2公共电极81b。上表面迂回布线81d在连接至各第2公共电极81b的-Y侧端部的状态下沿X方向延伸。上表面迂回布线81d的+X侧端部延伸直到从Z方向观察而与分隔壁62a的X方向的中央部重合的位置。
如图4、图6、图7中示出那样，贯通布线81e将下表面迂回布线81c和上表面迂回布线81d之间连接。贯通布线81e沿Z方向贯通致动器板54而设置。具体地，在致动器板54中的相对于+X侧公共电极81b1位于+X侧的部分，形成有布线用贯通孔91。在本实施方式中，布线用贯通孔91形成于致动器板54中的从Z方向观察而与分隔壁62a的X方向的中央部重合的部分。布线用贯通孔91沿着+X侧公共电极81b1沿Y方向延伸。在图示的示例中，布线用贯通孔91的Y方向的长度成为比+X侧公共电极81b1略长且比压力室61更短的长度。但是，能够适当变更布线用贯通孔91的Y方向的长度。
贯通布线81e形成于布线用贯通孔91的内表面。贯通布线81e在布线用贯通孔91的内表面至少遍及Z方向的整个区域形成。贯通布线81e在布线用贯通孔91的下端开口缘连接至下表面迂回布线81c，另一方面，在布线用贯通孔91的上端开口缘连接至上表面迂回布线81d。此外，贯通布线81e也可以在布线用贯通孔91的内表面遍及整周形成。
如图6中示出那样，公共连接布线81f在致动器板54的下表面将贯通布线81e与公共焊盘81g之间连接。具体地，公共连接布线81f在比贯通布线81e更靠+Y侧沿Y方向延伸。公共连接布线81f的-Y侧端部在布线用贯通孔91的下端开口缘连接至贯通布线81e。公共连接布线81f的+Y侧端部终止于尾部65上。
公共焊盘81g在尾部65的下表面连接至公共连接布线81f。公共焊盘81g在尾部65的下表面沿X方向延伸。
如图6、图7中示出那样，单独布线82具备第1单独电极82a、第2单独电极82b、下表面迂回布线82c、上表面迂回布线82d、贯通布线82e、单独连接布线82f、单独焊盘82g以及内表面布线82h。此外，优选在单独布线82中的除了单独电极82a、82b以外的部分(下表面迂回布线82c、上表面迂回布线82d、贯通布线82e、单独连接布线82f和单独焊盘82g)与致动器板54之间设置有未图示的绝缘体(例如，SiO2等)。
如图4、图6中示出那样，第1单独电极82a在致动器板54的下表面各自形成于相对于第1公共电极81a位于X方向的两侧的部分。各第1单独电极82a在相对于第1公共电极81a沿X方向隔开间隔的状态下沿Y方向延伸。第1单独电极82a在与第1公共电极81a之间产生电位差。第1单独电极82a的X方向的宽度D3比第1公共电极81a的X方向的宽度D1更窄。
各第1单独电极82a中的位于+X侧的第1单独电极82a(以下，+X侧单独电极82a1)的整体从Z方向观察而与分隔壁62a重合。+X侧单独电极82a1在分隔壁62a上在Z方向上与+X侧公共电极81b1的一部分相向。另一方面，各第1单独电极82a中的位于-X侧的第1单独电极82a(以下，-X侧单独电极82a2)的整体从Z方向观察而与分隔壁62b重合。-X侧单独电极82a2在分隔壁62b上在Z方向上与-X侧公共电极81b2的一部分相向。各第1单独电极82a在与在Z方向上相向的第2公共电极81b之间产生电位差。
如图4、图7中示出那样，第2单独电极82b在致动器板54的上表面形成于位于各第2公共电极81b之间的部分。第2单独电极82b在相对于第1公共电极81a沿X方向隔开间隔的状态下沿Y方向延伸。因此，第2单独电极82b的整体从Z方向观察而与对应的压力室61重合。第2单独电极82b在与第2公共电极81b之间产生电位差。关于第2单独电极82b的至少一部分，一部分从Z方向观察而与第1公共电极81a重合。因此，第2单独电极82b在与第1公共电极81a之间产生电位差。此外，第2单独电极82b的Y方向的宽度比第2公共电极81b的Y方向的宽度更宽。
如图6中示出那样，下表面迂回布线82c在致动器板54的下表面一并连接至各第1单独电极82a。下表面迂回布线82c在连接至各第1单独电极82a的+Y侧端部的状态下沿X方向延伸。下表面迂回布线82c的-X侧端部延伸直到从Z方向观察而与分隔壁62b的X方向的中央部重合的位置。
如图7中示出那样，上表面迂回布线82d在致动器板54的上表面连接至第2单独电极82b。上表面迂回布线82d从第2单独电极82b的+Y侧端部向-X侧延伸。上表面迂回布线82d的-X侧端部延伸直到从Z方向观察而与分隔壁62b的X方向的中央部重合的位置。
如图4、图6、图7中示出那样，贯通布线82e将下表面迂回布线82c和上表面迂回布线82d之间连接。贯通布线82e沿Z方向贯通致动器板54而设置。具体地，在致动器板54中的相对于-X侧单独电极82a2位于-X侧的部分，形成有布线用贯通孔92。在本实施方式中，布线用贯通孔92形成于致动器板54中的从Z方向观察而与分隔壁62b的X方向的中央部重合的部分。在图示的示例中，布线用贯通孔92的Y方向的长度成为比-X侧单独电极82a2略长且比压力室61更短的长度。但是，能够适当变更布线用贯通孔92的Y方向的长度。
在布线用贯通孔92的内表面，相邻的压力室61的贯通布线82e以相互分离的状态形成。在以下的说明中，对驱动布线64A所涉及的贯通布线82e进行说明。贯通布线82e在布线用贯通孔92的内表面至少遍及Z方向的整个区域形成。贯通布线82e在布线用贯通孔92的下端开口缘连接至下表面迂回布线82c，另一方面，在布线用贯通孔92的上端开口缘连接至上表面迂回布线82d。在图示的示例中，与相邻的压力室61对应的贯通布线82e彼此各自形成于布线用贯通孔92的内表面中的在X方向上相向的面。因此，与相邻的压力室61对应的贯通布线82e彼此在布线用贯通孔92中的Y方向的两端部被分割。
如图6中示出那样，单独连接布线82f在致动器板54的下表面将贯通布线82e与单独焊盘82g之间连接。具体地，单独连接布线82f从贯通布线82e向+Y侧延伸。单独连接布线82f的-Y侧端部在布线用贯通孔92的下端开口缘连接至贯通布线82e。单独连接布线82f的+Y侧端部终止于在尾部65上位于比公共焊盘81g更靠+Y侧的部分。
相邻的压力室61的单独连接布线82f彼此在尾部65上在X方向上相邻。在尾部65中的位于相邻的压力室61的单独连接布线82f彼此之间的部分，形成有单独分离槽93。单独分离槽93沿Z方向贯通尾部65，并且在尾部65的+Y侧端面上开口。
单独焊盘82g在致动器板54的下表面形成于位于比公共焊盘81g更靠+Y侧的部分。单独焊盘82g在尾部65的下表面沿X方向延伸。在尾部65，在位于公共焊盘81g和单独焊盘82g之间的部分，形成有公共分离槽94。公共分离槽94在尾部65例如以跨越各压力室61的长度沿X方向延伸。
内表面布线82h形成于单独分离槽93的内表面。相邻的压力室61的内表面布线82h彼此在单独分离槽93内分离。内表面布线82h的Z方向的尺寸比公共分离槽94的深度更大。因此，内表面布线82h在单独分离槽93的内表面上跨越公共分离槽94而沿Y方向连续。内表面布线82h中的相对于公共分离槽94位于-Y侧的部分在单独分离槽93的开口缘连接至单独连接布线82f。内表面布线82h中的相对于公共分离槽94位于+Y侧的部分在单独分离槽93的开口缘连接至单独连接布线82f(或单独焊盘82g)。
各驱动布线64中的与流路部件52相向的部分被第1膜53覆盖。具体地，各驱动布线64中的第1公共电极81a、第1单独电极82a、下表面迂回布线81c、82c、贯通布线81e、82e、连接布线81f、82f的一部分被第1膜53覆盖。另一方面，驱动布线64中的位于尾部65的下表面上的部分(公共连接布线81f、单独连接布线82f、公共焊盘81g和单独焊盘82g)露出于外部。
驱动布线64中的形成于致动器板54的上表面的部分被第2膜55覆盖。具体地，驱动布线64中的第2公共电极81b、第2单独电极82b、上表面迂回布线81d、82d和贯通布线81e、82e被第2膜55覆盖。
在尾部65的下表面，压接有柔性印刷基板95。柔性印刷基板95在尾部65的下表面连接至公共焊盘81g和单独焊盘82g。柔性印刷基板95通过致动器板54的外侧向上方被引出。此外，与多个压力室61对应的各公共布线81在柔性印刷基板95上被公共化。
[打印机1的动作方法]
接着，在以下对利用如上述那样构成的打印机1来在被记录介质P记录文字或图形等的情况进行说明。
此外，作为初始状态，在图1中示出的4个墨水罐4，各自充分地封入有不同颜色的墨水。另外，成为墨水罐4内的墨水经由墨水循环机构6填充至喷墨头5内的状态。
在这样的初始状态下，如果使打印机1工作，则被记录介质P被输送机构2、3的辊11、12夹入并同时向+X侧输送。另外，与此同时，滑架29沿Y方向移动，从而搭载于滑架29的喷墨头5沿Y方向往复移动。
在喷墨头5往复移动期间，使墨水从各喷墨头5适当吐出至被记录介质P。由此，能够对被记录介质P进行文字或图像等的记录。
在此，在以下，对各喷墨头5的活动详细地进行说明。
在如本实施方式那样的循环式侧射型喷墨头5中，首先，使图2中示出的加压泵24和吸引泵25工作，从而使墨水流通于循环流路23内。在此情况下，流通于墨水供给管21的墨水通过入口公共墨水室66和入口狭缝68供给至各压力室61内。供给至各压力室61内的墨水沿Y方向流通于各压力室61。此后，墨水在通过出口狭缝69排出至出口公共墨水室67之后，通过墨水排出管22返回至墨水罐4。由此，能够使墨水在喷墨头5与墨水罐4之间循环。
然后，如果通过滑架29(参照图1)的移动来开始喷墨头5的往复移动，则经由柔性印刷基板95将驱动电压施加至公共电极81a、81b和单独电极82a、82b之间。此时，使公共电极81a、81b为基准电位GND并使单独电极82a、82b为驱动电位Vdd来施加驱动电压。
图8是用于对于头芯片50说明在吐出墨水时的变形的行为的说明图。
如图8中示出那样，通过施加驱动电压，在第1公共电极81a和第1单独电极82a之间以及在第2公共电极81b和第2单独电极82b之间，在X方向上产生电位差。通过沿X方向产生的电位差，在致动器板54沿与极化方向(Z方向)正交的方向产生电场。其结果是，致动器板54通过剪模式沿Z方向进行厚度滑移变形。具体地，在致动器板54的下表面，在第1公共电极81a和第1单独电极82a之间，沿在X方向上相互接近的朝向产生电场(参照箭头E1)。在致动器板54的上表面，在第2公共电极81b和第2单独电极82b之间，沿在X方向上相互分离的朝向产生电场(参照箭头E2)。其结果是，致动器板54中的与各压力室61对应的部分随着从X方向的两端部朝向中央部而朝向上方进行剪切变形。另一方面，在第1公共电极81a和第2单独电极82b之间以及在第1单独电极82a和第2公共电极81b之间，在Z方向上产生电位差。通过沿Z方向产生的电位差，在致动器板54沿与极化方向(Z方向)平行的方向产生电场(参照箭头E0)。其结果是，致动器板54通过弯曲模式沿Z方向进行伸缩变形。即，在第1实施方式的头芯片50中，起因于致动器板54的剪模式和弯曲模式的变形任一都牵涉到Z方向。具体地，通过施加驱动电压，致动器板54沿从压力室61间隔开的朝向变形。由此，压力室61内的容积扩大。此后，如果使驱动电压为零，则致动器板54复原，从而压力室61内的容积欲返回至原状。在致动器板54复原的过程中，压力室61内的压力增加，压力室61内的墨水通过喷嘴孔71向外部吐出。向外部吐出的墨水命中于被记录介质P，从而在被记录介质P记录有印刷信息。
<头芯片50的制造方法>
接着，对上述的头芯片50的制造方法进行说明。图9是用于说明头芯片50的制造方法的流程图。图10至图20是用于说明头芯片50的制造方法的工序图，是与图4对应的截面图。在以下的说明中，为了方便起见，将以芯片级制造头芯片50的情况作为示例而说明。
如图9中示出那样，头芯片50的制造方法具备致动器第1加工工序S01、盖加工工序S02、第1接合工序S03、膜加工工序S04、致动器第2加工工序S05、第2接合工序S06、流路部件第1加工工序S07、第3接合工序S08、流路部件第2加工工序S09以及第4接合工序S10。
如图10中示出那样，在致动器第1加工工序S01中，首先，对致动器板54形成成为狭缝68、69的一部分的狭缝用凹部100、101(狭缝用凹部形成工序)。具体地，对致动器板54的上表面形成狭缝68、69的形成区域开口的掩模图案。接下来，通过掩模图案对致动器板54的上表面进行喷砂等。由此，在致动器板54，形成有相对于上表面凹陷的狭缝用凹部100、101。此外，凹部100、101也可以通过切块机加工或精密钻孔加工、蚀刻加工等来形成。另外，也可以与狭缝用凹部100、101同时地形成布线用贯通孔91、92和单独分离槽93。
接着，在致动器第1加工工序S01中，形成驱动布线64中的位于致动器板54的上表面的部分(上表面布线形成工序)。在上表面布线形成工序中，首先，对致动器板54的上表面形成驱动布线64的形成区域开口的掩模图案。接下来，如图11中示出那样，在致动器板54，形成布线用贯通孔91、92和单独分离槽93。布线用贯通孔91、92和单独分离槽93通过使切块机相对于致动器板54例如从上表面侧进入来进行。接着，例如通过蒸镀等将电极材料相对于致动器板54成膜。电极材料通过掩模图案成膜于致动器板54。由此，在致动器板54的上表面、布线用贯通孔91、92的内表面和单独分离槽93的内表面，形成有驱动布线64。
如图12中示出那样，在盖加工工序S02中，对盖板56形成成为公共墨水室66、67和狭缝68、69的一部分的狭缝用凹部105、106。具体地，在致动器板54的上表面，形成位于公共墨水室66、67的形成区域的部分开口的掩模图案。另一方面，对致动器板54的下表面形成狭缝68、69的形成区域开口的掩模图案。接下来，通过掩模图案对致动器板54的两面进行喷砂等。由此，在致动器板54，形成有公共墨水室66、67和狭缝用凹部105、106。
如图13中示出那样，在第1接合工序S03中，通过粘接剂等将第2膜55粘贴于盖板56的下表面。
在膜加工工序S04中，在第2膜55形成成为狭缝68、69的一部分的狭缝用凹部107、108。狭缝用凹部107、108能够通过对第2膜55中的从Z方向观察而与对应的狭缝用凹部105、106重合的部分进行例如激光加工等来形成。由此，狭缝用凹部105、107彼此和狭缝用凹部106、108彼此相互连通。
如图14中示出那样，在第2接合工序S06中，通过粘接剂等将致动器板54粘贴于第2膜55的下表面。
如图15中示出那样，在致动器第2加工工序S05中，对致动器板54的下表面施行磨削加工(磨削工序)。此时，在致动器板54的下表面，将致动器板54磨削直到布线用贯通孔91、92和单独分离槽93开口的位置。
接着，在致动器第2加工工序S05中，形成驱动布线64中的位于致动器板54的下表面的部分(下表面布线形成工序)。在下表面布线形成工序中，首先，对致动器板54的下表面形成驱动布线64的形成区域开口的掩模图案。接下来，例如通过蒸镀等将电极材料相对于致动器板54成膜。电极材料通过掩模图案成膜于致动器板54。由此，在致动器板54的下表面、布线用贯通孔91、92的内表面和单独分离槽93的内表面，形成有驱动布线64。
如图16中示出那样，在致动器第2加工工序S05中，在尾部65形成公共分离槽94。公共分离槽94通过使切块机相对于致动器板54例如从下表面侧进入来进行。
如图17中示出那样，在第2接合工序S06中，通过粘接剂等将第1膜53粘贴于致动器板54的下表面。
如图18中示出那样，在流路部件第1加工工序S07中，对流路部件52形成压力室61。具体地，通过使切块机相对于流路部件52例如从上表面进入来进行。
如图19中示出那样，在第3接合工序S08中，通过粘接剂等将流路部件52粘贴于第1膜53的下表面。
如图20中示出那样，在流路部件第2加工工序S09中，对流路部件52的下表面施行磨削加工(磨削工序)。此时，在流路部件52的下表面，将流路部件52磨削直到压力室61开口的位置。
在第4接合工序S10中，在使喷嘴孔71与压力室61位置配合的状态下，将喷嘴板51粘贴于流路部件52的下表面。
通过以上，完成头芯片50。
在此，在本实施方式中，作为具备下者的构成：电极81a、81b、82a、82b，其作为形成于致动器板54中的朝向Z方向(第1方向)的面并使致动器板54沿Z方向变形而使压力室61的容积变化的驱动电极；和盖板56，其作为层叠于夹着致动器板54而与流路部件52相反的一侧并限制致动器板54向Z方向上的与流路部件52相反的一侧的位移的非驱动部件。
依据该构成，例如，能够由盖板56针对起因于压力室内的墨水的压力等而作用于致动器板54的墨水的阻力限制致动器板54向Z方向上的与流路部件52相反的一侧的位移。由此，致动器板54示出电压施加所导致的理论上的变形行为，能够有效地将致动器板54的变形朝向压力室61传递。在此，本实施方式的头芯片50采用通过在通过施加驱动电压而使致动器板54沿压力室61的容积扩大的方向变形之后使致动器板54复原来使墨水吐出的构成(所谓的拉射)。因此，在从施加驱动电压的状态(致动器板54向与压力室61相反的一侧变形的状态)使驱动电压为零时，容易使致动器板54复原直到初始位置。因而，在使驱动电压为零时，能够有效地对压力室61内的墨水赋予压力。
而且，与增厚致动器板本身等而确保能够承受墨水的阻力的刚性的情况不同，能够维持致动器板54的厚度，因而能够高效地使致动器板54驱动。其结果是，能够使在致动器板54变形时的压力室61内的产生压力提高而谋求省电化。
在本实施方式中，作为关于盖板56、Z方向的厚度比致动器板54更厚的构成。
依据该构成，容易确保盖板56的刚性，因而在致动器板54变形时，有效地限制致动器板54向Z方向上的与流路部件52相反的一侧的位移，致动器板54容易示出电压施加所导致的理论上的变形行为。
本实施方式的头芯片50作为具备下者的构成：第2膜(第1缓冲件)55，其压缩弹性模量比致动器板54更小；和盖板(刚性部件)56，其设置于夹着第2膜55而与致动器板54相反的一侧，压缩弹性模量比第2膜55更大。
依据该构成，在盖板56与致动器板54之间，配置有第2膜55。由此，伴随着致动器板54的变形，第2膜55变形，从而能够容许致动器板54的变形，并同时由盖板56限制致动器板54的位移。由此，能够在致动器板54确保与施加至电极81a、81b、82a、82b的电压相应的变形量。
在本实施方式中，作为压力室61在X方向(第2方向)上将分隔壁62夹在之间而设置有多个、盖板56和第2膜55架设于相对于一个压力室61位于X方向的两侧的分隔壁62之间的构成。
依据该构成，盖板56和第2膜55架设于分隔壁62之间，因而容易确保盖板56和第2膜55的刚性。由此，抑制致动器板54向与流路部件52相反的一侧的位移，致动器板54容易示出电压施加所导致的理论上的变形行为。
在本实施方式的头芯片50中，作为压力室61的上端开口部由压缩弹性模量比致动器板54更小的第1膜53(第2缓冲件)闭塞、致动器板54设置于夹着第1膜53而与流路部件52相反的一侧的构成。
依据该构成，能够利用第1膜53来缓和通过压力室61的上端开口部而作用的墨水的阻力。由此，抑制致动器板54向与流路部件52相反的一侧的位移，致动器板54容易示出电压施加所导致的理论上的变形行为。
在本实施方式的喷墨头5和打印机1中，具备上述的头芯片50，因而能够提供省电且高性能的喷墨头5和打印机1。
(其它变形例)
此外，本公开的技术范围不限定于上述的实施方式，在不脱离本公开的宗旨的范围内，能够添加各种变更。
例如，在上述的实施方式中，作为液体喷射记录装置的一个示例，举例说明了喷墨打印机1，但不限于打印机。例如，也可以是传真机或按需印刷机等。
在上述的实施方式中，以在印刷时喷墨头相对于被记录介质移动的构成(所谓的往返机)为示例而进行了说明，但不限于该构成。本公开所涉及的构成也可以在将喷墨头固定的状态下使被记录介质相对于喷墨头移动的构成(所谓的固定头机)采用。
在上述的实施方式中，对被记录介质P为纸的情况进行了说明，但不限于该构成。被记录介质P不限于纸，也可以是金属材料或树脂材料，也可以是食品等。
在上述的实施方式中，对液体喷射头搭载于液体喷射记录装置的构成进行了说明，但不限于该构成。即，从液体喷射头喷射的液体不限于命中于被记录介质的液体，也可以是例如在调剂中调配的药液或添加至食品的调料或香料等食品添加物、喷射至空气中的芳香剂等。
在上述的实施方式中，对Z方向与重力方向一致的构成进行了说明，但并非仅限于该构成，也可以使Z方向沿着水平方向。
在上述的实施方式中，以循环式侧射型头芯片50为示例而进行了说明，但不限于该构成。头芯片也可以是从压力室61的延展方向(Y方向)的端部吐出墨水的所谓的边射型。
在上述的实施方式中，对在形成于致动器板54的一个面的各电极与形成于另一个面的各电极之间产生电位差的情况进行了说明，但不限于该构成。例如，也可以如图21中示出那样，是如下的构成：在致动器板54的下表面(第1面)，形成有第1公共电极81a和第1单独电极82a，另一方面，在致动器板54的上表面(第2面)，在与第1公共电极81a相向的位置，仅形成有第2单独电极82b。另外，也可以如图22中示出那样，是如下的构成：在致动器板54的上表面(第1面)，形成有第2公共电极81b和第2单独电极82b，另一方面，在致动器板54的下表面(第2面)，在与第2单独电极82b相向的位置，仅形成有第1公共电极81a。
进而，在上述的图21中示出的构成中，对至少在从Z方向观察而与压力室61重合的位置，公共电极和单独电极相向的构成进行了说明，但不限于该构成。例如，也可以如图23中示出那样，是如下的构成：在致动器板54的下表面，在第1公共电极81a和第1单独电极82a并排的状态下，仅在通过分隔壁62相向的位置，第1单独电极82a和第2公共电极81b相向。
在上述的实施方式中，对通过拉射来吐出墨水的构成进行了说明，但不限于该构成。本公开所涉及的头芯片也可以是通过利用施加电压来使致动器板54沿压力室61的容积缩小的方向变形而使墨水吐出的构成(所谓的推射)。在进行推射的情况下，通过施加驱动电压，致动器板54以朝向压力室61内鼓出的方式变形。由此，压力室61内的容积减少，从而压力室61内的压力增加，压力室61内的墨水通过喷嘴孔71向外部吐出。如果使驱动电压为零，则致动器板54复原。其结果是，压力室61内的容积返回至原状。此外，推射的头芯片能够通过将致动器板54的极化方向和电场的朝向(公共电极和单独电极的布局)的任一个相对于拉射的头芯片相反地设定来实现。即使在利用推射来使头芯片50驱动的情况下，在施加驱动电压时，也能够限制致动器板54向与压力室61相反的一侧的位移，使致动器板54朝向压力室61内以期望的行为变形。因此，在施加驱动电压时，能够有效地对压力室61内的墨水赋予压力。
在上述的实施方式中，对致动器板54的两面的电极彼此通过贯通布线81e、82e连接的构成进行了说明，但不限于该构成。能够适当变更致动器板54的两面的电极彼此的连接。例如，致动器板54的两面的电极彼此也可以通过致动器板54的侧表面等连接。
在上述的实施方式中，对起因于剪模式和弯曲模式的两者的变形模式而使致动器板54变形的构成进行了说明，但不限于该构成。致动器板54能够以剪模式和弯曲模式的至少任一个变形模式变形即可。在仅采用剪模式的情况下，在致动器板54的朝向Z方向的至少任一面，并排地配置有公共电极和单独电极。由此，能够对致动器板54沿X方向赋予电位差。另一方面，在仅采用弯曲模式的情况下，在致动器板54的在Z方向上相向的面，配置有公共电极和单独电极。由此，能够对致动器板54沿Z方向赋予电位差。
在上述的实施方式中，对采用盖板56和第2膜55作为非驱动部件的情况进行了说明，但不限于该构成。非驱动部件是不会因电压等而自身主动地驱动(变形)的部件即可。作为这样的构成，也可以是作为非驱动部件仅具有盖板56的构成(参照图24)，也可以是仅具有第2膜55的构成(参照图25)。另外，作为非驱动部件，也可以与致动器板54同样地采用压电材料。进而，能够适当变更非驱动部件的厚度等。
在上述的实施方式中，对作为刚性部件采用盖板56的情况进行了说明，但不限于该构成。刚性部件是具有相对于墨水的阻力实质上不会变形的程度的刚性的部件即可。但是，刚性部件是能够限制起因于墨水的阻力的致动器板54向与压力室61相反的一侧的位移的部件即可，也可以在容许致动器板54伴随着驱动电压的变化的理论上的变形行为的范围内变形。
在上述的实施方式中，对采用膜53、55作为缓冲件的情况进行了说明，但不限于该构成。缓冲件是压缩弹性模量比致动器板54或盖板56更小的材料即可，也可以是例如粘接剂等。
在上述的实施方式中，对通过作为非驱动部件的第2膜55或盖板56遍及致动器板54的上表面整个区域设置来架设于构成压力室61的分隔壁62之间的构成进行了说明，但不限于该构成。非驱动部件也可以仅设置于从Z方向观察而与各压力室61重合的部分(位于分隔壁62的内侧的部分)。即使是这样的构成，也能够通过非驱动部件的自重等限制致动器板54向与流路部件52相反的一侧的位移。
此外，在不脱离本公开的宗旨的范围内，能够适当将上述的实施方式的构成要素置换成众所周知的构成要素，另外，也可以适当组合上述的各变形例。
符号说明
1：打印机(液体喷射记录装置)
5：喷墨头(液体喷射头)
50：头芯片
52：流路部件
53：第1膜(第2缓冲件)
54：致动器板
55：第2膜(第1缓冲件、非驱动部件)
56：盖板(刚性部件、非驱动部件)
61：压力室
62：分隔壁
62a：分隔壁
62b：分隔壁
81a：第1公共电极(驱动电极)
81b：第2公共电极(驱动电极)
82a：第1单独电极(驱动电极)
82b：第2单独电极(驱动电极)。

Claims (7)

1.一种头芯片，其具备：
流路部件，其具有容纳有液体的压力室；
致动器板，其在相对于所述压力室沿第1方向相向的状态下层叠于所述流路部件上；
驱动电极，其形成于所述致动器板中的朝向所述第1方向的面，使所述致动器板沿所述第1方向变形而使所述压力室的容积变化；以及
非驱动部件，其层叠于在所述第1方向上夹着所述致动器板而与所述流路部件相反的一侧，限制所述致动器板向所述第1方向上的与所述流路部件相反的一侧的位移。
2.根据权利要求1所述的头芯片，其中，关于所述非驱动部件，所述第1方向的厚度比所述致动器板更厚。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的头芯片，其中，
所述非驱动部件具备：
第1缓冲件，其压缩弹性模量比所述致动器板更小；和
刚性部件，其夹着所述第1缓冲件而设置于所述第1方向上的与所述致动器板相反的一侧，压缩弹性模量比所述第1缓冲件更大。
4.根据权利要求1或权利要求2所述的头芯片，其中，
所述压力室在与所述第1方向交叉的第2方向上将分隔壁夹在之间而设置有多个，
所述非驱动部件架设于相对于一个所述压力室位于所述第2方向的两侧的所述分隔壁之间。
5.根据权利要求1或权利要求2所述的头芯片，其中，
所述压力室具备在所述第1方向上朝向所述致动器板开口的开口部，
所述开口部由压缩弹性模量比所述致动器板更小的第2缓冲件闭塞，
所述致动器板夹着所述第2缓冲件而设置于与所述流路部件相反的一侧。
6.一种液体喷射头，其具备根据权利要求1至权利要求5中的任一项所述的头芯片。
7.一种液体喷射记录装置，其具备根据权利要求6所述的液体喷射头。
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